JPH0320686B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は三次元測定機に係り、特にタツチ信号
プローブを支持するＺ軸構造物の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a three-dimensional measuring machine, and more particularly to an improvement of a Z-axis structure that supports a touch signal probe.

［背景技術］ 一般に、タツチ信号プローブを被測定物に対し
相対的に三次元移動させて接触させ、このタツチ
信号プローブからの信号により被測定物の形状を
測定する三次元測定機が知られており、その相対
移動を自動的に行えるようにした、いわゆる
CNC三次元測定機における自動化の実効を期す
るには、各種タツチ信号プローブを自動的に交換
できるようにすることが必要となる。[Background Art] In general, three-dimensional measuring machines are known that move a touch signal probe three-dimensionally relative to an object to be measured and bring it into contact with the object, and measure the shape of the object using signals from the touch signal probe. The so-called
In order to achieve effective automation in CNC coordinate measuring machines, it is necessary to be able to automatically exchange various touch signal probes.

しかし、従来はタツチ信号プローブの交換は手
動で行われており、自動化するとしても三次元測
定機の外部に別個のプローブ着脱機構を設けなけ
ればならないと考えられていた。これは、測定機
本体に設けたのでは、プローブ着脱機構の重量分
だけ本体全体を強化しないと精度維持ができない
こととなり、この強化のために更に本体の重量が
増加して更に強度増強を行う結果、駆動源等も大
型化して技術的にも経済的にも不利となるからで
ある。 However, conventionally, the touch signal probe has been replaced manually, and even if it were to be automated, it was thought that a separate probe attachment/detachment mechanism would have to be provided outside the coordinate measuring machine. If this is installed in the main body of the measuring machine, the accuracy cannot be maintained unless the entire main body is strengthened by the weight of the probe attachment/detaching mechanism.This reinforcement further increases the weight of the main body, further increasing its strength. As a result, the drive source and the like become larger, which is disadvantageous both technically and economically.

［発明の目的］ 本発明の目的は、タツチ信号プローブの着脱機
構を内装してもタツチ信号プローブを保持するＺ
軸構造物の重量をそれ程大きくしないで済み、装
置の大型化および経済的不利を招来することのな
い三次元測定機のＺ軸構造を提供するにある。[Object of the Invention] The object of the present invention is to provide a Z-type structure that retains a touch signal probe even if a touch signal probe attaching/detaching mechanism is installed.
To provide a Z-axis structure of a three-dimensional measuring machine that does not require a significant increase in the weight of the shaft structure, does not increase the size of the device, and does not cause economic disadvantage.

［発明の構成］ 本発明は、測定機本体に軸方向摺動自在かつ回
転不能に支持されたＺ軸構造物に中空のＺスピン
ドルを軸方向変位不能に設けるとともに、このＺ
スピンドルの先端部にタツチ信号プローブの取付
部を設け、かつ、Ｚスピンドル内に駆動棒の軸方
向変位を利用して前記取付部にタツチ信号プロー
ブを着脱させるプローブ支持手段を設け、このプ
ローブ支持手段の駆動棒を常時軸方向の一方向に
付勢するばねを設け、更にこのばねの付勢力に抗
して前記駆動軸を反対方向に強制変位させる圧縮
空気作動のアクチエータを設け、これにより、前
記中空のＺスピンドルで軽量化を図るとともに、
ばねおよび圧縮空気作動のアクチエータで簡単か
つ軽量な機構でＺスピンドルに内装された駆動棒
を介してプローブ支持手段を作動させるように
し、構造の大型化を招来しない構成として前記目
的を達成しようとするものである。[Structure of the Invention] The present invention provides a Z-axis structure that is slidably and non-rotatably supported in the measuring instrument body, and is provided with a hollow Z-spindle that cannot be displaced in the axial direction.
A mounting portion for a touch signal probe is provided at the tip of the spindle, and a probe supporting means is provided in the Z spindle for attaching and detaching the touch signal probe to the mounting portion using axial displacement of a drive rod, and the probe supporting means is provided. A spring is provided that always biases the drive rod in one axial direction, and a compressed air actuator is provided that forcibly displaces the drive shaft in the opposite direction against the biasing force of the spring. In addition to reducing weight with a hollow Z spindle,
To achieve the above object, the probe supporting means is actuated via a drive rod built into the Z spindle using a simple and lightweight mechanism using an actuator operated by a spring and compressed air, and the structure does not increase in size. It is something.

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described based on the drawings.

全体構成を示す第１図および第２図において、
天然石材、セラミツクス等の石様部材からなる基
台１０は設置床１上に水平に設置され、この基台
１０は略凸字状に形成されるとともに、この凸字
状の基台１０の上面中央には基台１０と同様の石
様部材からなりＹ軸方向の案内面を形成する第１
の案内部材１１がばね止め固定され、更に、この
第１の案内部材１１の両側には同じく石様部材か
らなる偏平な一対の第２の案内部材１２が一部を
基台１０の凸部上面から突出された状態で対称に
ねじ止め固定されている。ここにおいて、本明細
書におけるＸ軸方向とは第２図中左右方向を、Ｙ
軸方向とは同図中紙面直交方向を、Ｚ軸方向とは
同図中上下方向即ち鉛直方向を意味し、従つて、
これらのＸ，Ｙ，Ｚ軸はＸ，Ｙ軸を水平面内の軸
とし、Ｚ軸方向を鉛直方向とする互いに直交する
三軸とされている。 In Figures 1 and 2 showing the overall configuration,
A base 10 made of a stone-like member such as natural stone or ceramics is installed horizontally on the installation floor 1, and this base 10 is formed into a substantially convex shape, and the upper surface of the convex base 10 In the center is a first stone-like member similar to the base 10, which forms a guide surface in the Y-axis direction.
A guide member 11 is fixed with a spring, and furthermore, on both sides of the first guide member 11, a pair of flat second guide members 12 also made of a stone-like member partially extend from the upper surface of the convex portion of the base 10. It is symmetrically fixed with screws while protruding from the top. Here, the X-axis direction in this specification refers to the left-right direction in FIG.
The axial direction means the direction perpendicular to the plane of the paper in the figure, and the Z-axis direction means the vertical direction, that is, the vertical direction in the figure.
These X, Y, and Z axes are three axes that are orthogonal to each other, with the X and Y axes being the axes in the horizontal plane and the Z axis direction being the vertical direction.

前記基台１０上には金属製のテーブル５０がＹ
軸方向に移動可能に設けられている。このテーブ
ル５０の下面には、前記第１の案内部材１１の平
行案内面１８に対向されるエアベアリング５１が
ブラケツト５２を介して取付けられるとともに、
前記第２の案内部材１２の上下の平行案内面２０
に対向されるエアベアリング５３およびブラケツ
ト５５を介したエアベアリング５４が夫々取付け
られ、これらの各エアベアリング５１，５３，５
４によりテーブル５０は基台１０上をわずかな力
で移動できるようにされ、かつ、第１の案内部材
１１とエアベアリング５１との作用によりＸ軸方
向への移動が規制され、また、第２の案内部材１
２とエアベアリング５３，５４との作用によりＺ
軸方向への移動が規制され、Ｙ軸方向にのみ真直
に移動できるようになつている。 A metal table 50 is placed on the base 10.
It is provided so as to be movable in the axial direction. An air bearing 51 facing the parallel guide surface 18 of the first guide member 11 is attached to the lower surface of the table 50 via a bracket 52.
Upper and lower parallel guide surfaces 20 of the second guide member 12
An air bearing 53 facing the air bearing 53 and an air bearing 54 via a bracket 55 are respectively installed, and each of these air bearings 51, 53, 5
4 allows the table 50 to move on the base 10 with a slight force, and movement in the X-axis direction is restricted by the action of the first guide member 11 and the air bearing 51. Guide member 1
2 and air bearings 53 and 54, Z
Movement in the axial direction is restricted, and straight movement is possible only in the Y-axis direction.

また、基台１０とテーブル５０との間には、テ
ーブル５０をＹ軸方向に駆動するＹ軸方向駆動機
構６０が設けられている。このＹ軸方向駆動機構
６０は、第３図に示されるように、基台１０にブ
ラケツト６１を介して固定されたモータ６２を備
え、このモータ６２により駆動される送りねじ軸
６４に螺合されたナツト部材６６がブラケツト６
５を介してテーブル５０に固定され、送りねじ軸
６４の回転に伴ないナツト部材６６を介してテー
ブル５０が送りねじ軸６４の軸方向に移動される
よううになつている。この際、送りねじ軸６４は
第１の案内部材１１の溝２１内に配置されてい
る。また、テーブル５０の送り量は、図示しない
Ｙ軸方向変位検出手段により計測されるようにな
つている。 Furthermore, a Y-axis direction drive mechanism 60 is provided between the base 10 and the table 50 to drive the table 50 in the Y-axis direction. As shown in FIG. 3, this Y-axis direction drive mechanism 60 includes a motor 62 fixed to the base 10 via a bracket 61, and is screwed onto a feed screw shaft 64 driven by the motor 62. The nut member 66 is attached to the bracket 6.
5 to the table 50, and as the feed screw shaft 64 rotates, the table 50 is moved in the axial direction of the feed screw shaft 64 via a nut member 66. At this time, the feed screw shaft 64 is disposed within the groove 21 of the first guide member 11. Further, the amount of feed of the table 50 is measured by a Y-axis direction displacement detection means (not shown).

第２図において、前記基台１０の両側面には
夫々支柱９０が固定されている。これらの支柱９
０は夫々鉄等の金属から形成されるとともに、こ
れらの支柱９０の上端間には前記基台１０と同様
な石様部材からなる非移動体側構造体としての梁
１００が横架固定されている。この梁１００の上
には、スライダ１１０がＸ軸方向移動自在に支持
されるとともに、このスライダ１１０はモータ１
２２、送りねじ軸１２４、ナツト部材１２９等か
らなるＸ軸方向駆動機構１２０によりＸ軸方向に
自動送りされ、かつ、その移動量は図示しないＸ
軸方向変位検出手段により計測されるようになつ
ている。 In FIG. 2, pillars 90 are fixed to both sides of the base 10, respectively. These pillars 9
0 are each made of metal such as iron, and a beam 100 as a non-moving object side structure made of a stone-like member similar to the base 10 is horizontally fixed between the upper ends of these pillars 90. . A slider 110 is supported on this beam 100 so as to be movable in the X-axis direction, and this slider 110 is supported by a motor 1.
22, is automatically fed in the X-axis direction by an X-axis direction drive mechanism 120 consisting of a feed screw shaft 124, a nut member 129, etc., and the amount of movement is X (not shown).
The displacement is measured by an axial displacement detection means.

前記スライダ１１０は、第４図に示されるよう
に、前記梁１００を囲むように設けられるととも
に梁１００の四角の各面に対向して夫々エアベア
リング１１１を有するＸ軸方向案内用軸受箱１１
２と、このＸ軸方向案内用軸受箱１１２の前面に
取付けられるとともに内部に平面四角形状に配置
されたエアベアリング１１３を有する上下一対の
Ｚ軸方向案内用軸受箱１１４と、これらのＺ軸方
向案内用軸受箱１１４内にＺ軸方向移動自在に挿
入されたＺ軸構造物１８０と、前記Ｘ軸方向案内
用軸受箱１１２上に立設された支持フレーム１１
５に支持されたＺ軸方向駆動機構１４０と、前記
支持フレーム１１５の上端部に設けられるととも
に前記Ｚ軸方向駆動機構１４０の自由回転を阻止
して前記Ｚ軸構造物１８０の落下を防止するロツ
ク装置１６０とを備えている。 As shown in FIG. 4, the slider 110 includes a bearing box 11 for guiding in the X-axis direction, which is provided so as to surround the beam 100 and has air bearings 111 facing each square surface of the beam 100.
2, a pair of upper and lower bearing boxes 114 for Z-axis direction guidance, each having an air bearing 113 mounted on the front surface of this X-axis direction guidance bearing box 112 and arranged inside in a rectangular planar shape; A Z-axis structure 180 inserted into the guiding bearing box 114 so as to be movable in the Z-axis direction, and a support frame 11 erected on the X-axis guiding bearing box 112.
5, and a lock provided at the upper end of the support frame 115 to prevent free rotation of the Z-axis drive mechanism 140 and prevent the Z-axis structure 180 from falling. A device 160 is provided.

前記Ｚ軸方向駆動機構１４０は、前記支持フレ
ーム１１５に支持されたモータ１４１を備え、こ
のモータ１４１によりタイミングベルト１４２を
介して送りねじ軸１４５を回転駆動できるように
なつている。この送りねじ軸１４５にはナツト部
材１４６が螺合されるとともに、このナツト部材
１４６は一対のローラ１４８および支持フレーム
１１５に固定された案内レール１４７により回動
不能に軸方向に案内されるようになつており、更
に、このナツト部材１４６に固定された連結板１
４９を前記Ｚ軸構造物１８０の上端部に固定され
たブラケツト１５２により軸方向移動不可能かつ
半径方向移動可能に挟持することによつてナツト
部材１４６の軸方向の動きをＺ軸構造物１８０に
伝達できるようになつている。この際、送りねじ
軸１４５の曲がり、偏心等による影響は、連結板
１４９とブラケツト１５２との間の半径方向の滑
りにより吸収され、Ｚ軸構造物１８０にはナツト
部材１４６のＺ軸方向の動きだけが伝達されるよ
うになつている。 The Z-axis direction drive mechanism 140 includes a motor 141 supported by the support frame 115, and is capable of rotationally driving a feed screw shaft 145 via a timing belt 142. A nut member 146 is screwed onto the feed screw shaft 145, and the nut member 146 is unrotatably guided in the axial direction by a pair of rollers 148 and a guide rail 147 fixed to the support frame 115. The connecting plate 1 is fixed to the nut member 146.
49 is held by the bracket 152 fixed to the upper end of the Z-axis structure 180 so as to be immovable in the axial direction but movable in the radial direction. It is now possible to communicate. At this time, the influence of bending, eccentricity, etc. of the feed screw shaft 145 is absorbed by the radial slippage between the connecting plate 149 and the bracket 152, and the Z-axis structure 180 is affected by the movement of the nut member 146 in the Z-axis direction. only the information is being transmitted.

前記Ｚ軸構造物１８０は、四角筒からなりＺ軸
部材としての中空の筐体１８１を備えるととも
に、この筐体１８１内にエアバランス機構１９０
およびプローブ着脱機構２００を備えている。こ
のエアバランス機構１９０は、筐体１８１に固定
されるとともに下端を開放されたシリンダ１９１
と、このシリンダ１９１内に収納されるとともに
前記支持フレーム１１５にピストンロツド１９４
を介して支持されたピストン１９２とを備えて構
成され、このピストン１９２とシリンダ１９１の
上部との間に圧縮空気を供給することにより、こ
の圧縮空気の作用でＺ軸構造物１８０の重量を支
持してＺ軸構造物１８０の自重による送りねじ軸
１４５側への負荷の軽減が図られている。また、
Ｚ軸構造物１８０のＺ軸方向の移動量は図示しな
いＺ軸方向変位検出手段により検出されるように
なつている。 The Z-axis structure 180 is made of a square tube and includes a hollow housing 181 as a Z-axis member, and has an air balance mechanism 190 inside the housing 181.
and a probe attachment/detachment mechanism 200. This air balance mechanism 190 includes a cylinder 191 that is fixed to a housing 181 and has an open bottom end.
A piston rod 194 is housed in the cylinder 191 and is attached to the support frame 115.
By supplying compressed air between the piston 192 and the upper part of the cylinder 191, the weight of the Z-axis structure 180 is supported by the action of this compressed air. This is intended to reduce the load on the feed screw shaft 145 due to the weight of the Z-axis structure 180. Also,
The amount of movement of the Z-axis structure 180 in the Z-axis direction is detected by a Z-axis displacement detection means (not shown).

前記プローブ着脱機構２００は、第５図に示さ
れるように、筐体１８１に取付けられた上部ケー
ス２０１内に収納支持された割出し用モータ２０
２と、この割出し用モータ２０２の出力軸にギヤ
トレイン２０３を介して連結されるとともに前記
上部ケース２０１に回転自在に支持された中間ス
リーブ２０４と、この中間スリーブ２０４にカツ
プリング２０５を介して軸方向移動可能かつ回転
伝達可能に連結されるとともに前記筐体１８１に
支持された下部ケース２０６に回転自在に支持さ
れたスリーブ２０７と、このスリーブ２０７の下
端に固定されるとともに多数角度位置噛合手段と
してのカービツクカツプリング２１０の一方の噛
合部材を構成する第１のギヤ２１１と、この第１
のギヤ２１１に多数角度位置で噛合可能にされ前
記カービツクカツプリング２１０の他方の噛合部
材を構成する第２のギヤ２１２と、この第２のギ
ヤ２１２を上下動可能かつ回転不能に前記下部ケ
ース２０６に取付けるダイヤフラム２１３と、こ
のダイヤフラム２１３に下端を固定されるととも
に前記スリーブ２０７の周囲に上下動可能に被嵌
されたギヤ上下動用ピストン２１４と、このギヤ
上下動用ピストン２１４を摺動自在に収納すると
ともに前記下部ケース２０６に固定されたギヤ上
下動用シリンダ２１５と、このギヤ上下動用シリ
ンダ２１５と前記ギヤ上下動用ピストン２１４と
の間に介装されるとともにギヤ上下動用ピストン
２１４の下端にダイヤフラム２１３を介して固定
された第２のギヤ２１２を常時第１のギヤ２１１
側に付勢するばね２１６と、前記スリーブ２０７
の下端に上端部を固定されて前記第１のギヤ２１
１と同時に回動されるとともに上下２個所のラジ
アルエアベアリング２１７およびスラストエアベ
アリング２１８を介して前記下部ケース２０６に
回転自在に支持されかつ下端にプローブホルダ２
５０の一端部を挿入可能なホルダ取付部としての
テーパ状の孔２１９を有する中空のＺスピンドル
２２０と、前記上下のラジアルエアベアリング２
１７およびスラストエアベアリング２１８に下部
ケース２０６内等に形成された通路を介して夫々
圧縮空気を供給するエア配管２２２と、前記Ｚス
ピンドル２２０内に軸方向摺動自在に収納される
とともに下端部に半径方向移動可能かつ落下防止
された複数のボール２２５を有するプローブ支持
手段としてのボールホルダ２２６を備えた駆動棒
２２７と、この駆動棒２２７の上端部と前記Ｚス
ピンドル２２０との間に介装され前記ボールホル
ダ２２６をＺスピンドル２２０内に引込む方向に
付勢しＺスピンドル２２０に形成された小径のガ
イド孔２２１の作用によりボール２２５を内方に
突出させてプローブホルダ２５０のプルスタツド
２５１を係止するようにする引込み手段としての
皿ばね２２８と、前記駆動棒２２７の上端にボー
ル２２９を介して下端部を当接されるとともに前
記スリーブ２０７内に軸方向摺動可能に収納され
た中間軸２３０と、この中間軸２３０の上端にボ
ール２３１を介して下端部を当接されるとともに
上下方向移動可能にされたピストンロツド２３２
と、このピストンロツド２３２の上端部に複数個
固定されたピストン２３３を摺動自在に収納する
とともに各ピストン２３３を夫々仕切壁２３４で
仕切つて収納し複数の直列な多段受圧面を有する
前記上部ケース２０１に固定されたアクチエータ
２３５と、前記ピストンロツド２３２の途中に固
定されたドツグ２３６およびこのドツグ２３６を
挟んで対向されるとともに前記上部ケース２０１
に支持された一対の検出器２３７を有するピスト
ンロツド軸方向位置検出手段２３８と、前記Ｚス
ピンドル２２０の下端部に突出され前記プローブ
ホルダ２５０の位置決めをする突部２３９と、同
じくＺスピンドル２２０の下端部に突没可能に設
けられるとともにばね２４０により常時突出方向
に付勢され前記プローブホルダ２５０と電気的導
通を取るピン２４１と、前記中間スリーブ２０４
に固定されたロータリデイスク２４６および上部
ケース２０１に支持された検出器２４７からなり
割出し用モータ２０２による中間スリーブ２０４
ひいては第１のギヤ２１１の回転角度を検出する
ロータリエンコーダ２４５と、から構成されてい
る。 As shown in FIG. 5, the probe attachment/detachment mechanism 200 includes an indexing motor 20 housed and supported within an upper case 201 attached to a housing 181.
2, an intermediate sleeve 204 connected to the output shaft of the indexing motor 202 via a gear train 203 and rotatably supported by the upper case 201; and a shaft connected to the intermediate sleeve 204 via a coupling 205. A sleeve 207 is rotatably supported by a lower case 206 which is coupled to be movable in direction and transmit rotation and supported by the housing 181, and a sleeve 207 is fixed to the lower end of the sleeve 207 and serves as a multi-angular position engagement means. A first gear 211 constituting one meshing member of a carbyk coupling 210;
A second gear 212 that can be engaged with the gear 211 at multiple angular positions and constitutes the other engagement member of the carboxylic coupling 210; A diaphragm 213 attached to the diaphragm 206, a gear vertical movement piston 214 whose lower end is fixed to the diaphragm 213 and fitted around the sleeve 207 so as to be vertically movable, and this gear vertical movement piston 214 is slidably housed. At the same time, a gear vertical movement cylinder 215 is fixed to the lower case 206, and a diaphragm 213 is interposed between the gear vertical movement cylinder 215 and the gear vertical movement piston 214, and a diaphragm 213 is provided at the lower end of the gear vertical movement piston 214. The second gear 212 fixed via the first gear 211 is always
a spring 216 that biases the sleeve 207 to the side;
The first gear 21 has its upper end fixed to the lower end of the
Probe holder 2 is rotatably supported by the lower case 206 via radial air bearings 217 and thrust air bearings 218 at two upper and lower locations.
A hollow Z spindle 220 having a tapered hole 219 as a holder attachment part into which one end of the 50 can be inserted, and the upper and lower radial air bearings 2
17 and the thrust air bearing 218 through passages formed in the lower case 206, respectively, and an air pipe 222 which is housed in the Z spindle 220 so as to be slidable in the axial direction, and which is disposed at the lower end thereof. A drive rod 227 is provided with a ball holder 226 as a probe support means having a plurality of balls 225 that are movable in the radial direction and prevented from falling, and is interposed between the upper end of this drive rod 227 and the Z spindle 220. The ball holder 226 is urged in the direction of retracting into the Z spindle 220, and the small diameter guide hole 221 formed in the Z spindle 220 causes the ball 225 to protrude inward and lock the pull stud 251 of the probe holder 250. an intermediate shaft 230 whose lower end is brought into contact with the upper end of the drive rod 227 via a ball 229 and which is housed in the sleeve 207 so as to be slidable in the axial direction; , a piston rod 232 whose lower end is in contact with the upper end of this intermediate shaft 230 via a ball 231 and which is movable in the vertical direction.
The upper case 201 houses a plurality of pistons 233 fixed to the upper end of the piston rod 232 in a slidable manner, each piston 233 is partitioned by a partition wall 234, and has a plurality of serial multistage pressure receiving surfaces. an actuator 235 fixed to the piston rod 232; a dog 236 fixed to the middle of the piston rod 232;
a piston rod axial position detecting means 238 having a pair of detectors 237 supported by a piston rod axial position detecting means 238; a protrusion 239 protruding from the lower end of the Z spindle 220 for positioning the probe holder 250; a pin 241 which is provided so as to be protrusive and retractable and is always urged in the protruding direction by a spring 240 to establish electrical continuity with the probe holder 250; and the intermediate sleeve 204.
The intermediate sleeve 204 is composed of a rotary disk 246 fixed to the upper case 201 and a detector 247 supported by the upper case 201.
Furthermore, the rotary encoder 245 detects the rotation angle of the first gear 211.

このような構成により、プローブ着脱機構２０
０は、アクチユータ２３５を皿ばね２２８に抗し
て作動させ、駆動棒２２７を下降させてボールホ
ルダ２２６をガイド孔２２１内から脱出させてボ
ール２２５を半径方向に移動可能とさせ、このボ
ールホルダ２２６内にプローブホルダ２５０のプ
ルスタツド２５１を挿入し、この状態でアクチエ
ータ２３５の作動を解いて皿ばね２２８により駆
動棒２２７を上昇させると、ボールホルダ２２６
でプローブホルダ２５０のプルスタツド２５１を
Ｚスピンドル２２０の孔２１９内に引込み、ガイ
ド孔２２１とボール２２５との作用によつてプル
スタツド２５１を係止保持でき、かつ、このプロ
ーブホルダ２５０を係止保持した状態或いは保持
しない状態でギヤ上下動用シリンダ２１５を作動
させ、ギヤ上下動用ピストン２１４をばね２１６
に抗して上昇させることにより、カービツクカツ
プリング２１０の第２のギヤ２１２と第１のギヤ
２１１との噛合を解き、この状態で割出し用モー
タ２０２を回転させれば、ギヤトレイン２０３、
中間スリーブ２０４、カツプリング２０５および
スリーブ２０７を介して第１のギヤ２１１が回動
され、この所定角度回動された状態で前記ギヤ上
下動用シリンダ２１５の作動を解けば、ばね２１
６およびダイヤフラム２１３の付勢力の作用によ
りギヤ上下動用ピストン２１４と共に第２のギヤ
２１２が下降され、第２のギヤ２１２と第１のギ
ヤ２１１とが初期とは異なる位置で噛合されて第
１のギヤ２１１と第２のギヤ２１２との噛合角度
が変更されることとなる。この第１のギヤ２１１
の回動に伴ない、スリーブ２０７を介してＺスピ
ンドル２２０も回動されるため、ボールホルダ２
２６に把持されているプローブホルダ２５０も回
動され、プローブホルダ２５０の角度位置を変更
でき、或いはＺスピンドル２２０の下端に固定さ
れた突部２３９の位置を変更して次に取付けられ
るプローブホルダ２５０の取付角度を変更できる
こととなる。この際、第１のギヤ２１１の回動角
度は、前記中間スリーブ２０４の途中に固定され
たロータリデイスク２４６および上部ケース２０
１に支持された検出器２４７からなるロータリエ
ンコーダ２４５により検出されることとなる。 With such a configuration, the probe attachment/detachment mechanism 20
0 operates the actuator 235 against the disc spring 228, lowers the drive rod 227, allows the ball holder 226 to escape from the guide hole 221, and allows the ball 225 to move in the radial direction. When the pull stud 251 of the probe holder 250 is inserted into the probe holder 250 and the actuator 235 is deactivated in this state and the drive rod 227 is raised by the disc spring 228, the ball holder 226
Then, the pull stud 251 of the probe holder 250 is pulled into the hole 219 of the Z spindle 220, and the pull stud 251 can be locked and held by the action of the guide hole 221 and the ball 225, and the probe holder 250 is locked and held. Alternatively, the gear vertical movement cylinder 215 is operated without being held, and the gear vertical movement piston 214 is moved by the spring 216.
When the second gear 212 and the first gear 211 of the carbic coupling 210 are disengaged by raising the gear train 203 against the
The first gear 211 is rotated via the intermediate sleeve 204, the coupling ring 205, and the sleeve 207, and when the gear vertical movement cylinder 215 is deactivated while the first gear 211 is rotated by a predetermined angle, the spring 21
6 and the diaphragm 213, the second gear 212 is lowered together with the gear vertical movement piston 214, and the second gear 212 and the first gear 211 are meshed at a position different from the initial position, and the first The meshing angle between gear 211 and second gear 212 will be changed. This first gear 211
As the ball holder 2 rotates, the Z spindle 220 is also rotated via the sleeve 207.
The probe holder 250 held by the probe holder 26 can also be rotated to change the angular position of the probe holder 250, or the position of the protrusion 239 fixed to the lower end of the Z spindle 220 can be changed to change the position of the probe holder 250 to be attached next. This means that the mounting angle can be changed. At this time, the rotation angle of the first gear 211 is determined by the rotation angle of the rotary disk 246 fixed in the middle of the intermediate sleeve 204 and the upper case 204.
It is detected by a rotary encoder 245 consisting of a detector 247 supported by a rotary encoder 247.

前記プローブホルダ２５０は、第６図および第
７図に示されるように、上端にプルスタツド２５
１を有するとともに下端にフランジ部２５２を有
しかつ途中にテーパ面２５３を有する上部部材２
５４およびこの上部部材２５４の下面に固定され
る下部部材２５５からなるホルダ本体２５６と、
前記上部部材２５４のフランジ部２５２に設けら
れ前記プローブ着脱機構２００の下端部に設けら
れた突部２３９と係合可能にされ突部２３９と共
に位置決め手段を形成する溝状の係合凹部２５７
と、前記下部部材２５５の下端部内に絶縁スリー
ブ２５８を介して挿入固定されるとともに下部内
端に雌ねじ２５９を有する導電スリーブ２６０
と、この導電スリーブ２６０内に絶縁ブツシユ２
６１を介して軸方向移動自在に収納されるととも
にばね２６２により常時突出する方向に付勢され
る導電ピン２６３と、前記フランジ部２５２に絶
縁ブツシユ２６５を介して取付けられるとともに
前記プローブ着脱機構２００の下端部に設けられ
たピン２４１に接触して電気的導通を図りかつ前
記導電ピン２６３に電気的に接続された接点ピン
２６６と、前記フランジ部２５２の下面に形成さ
れたピン孔２６８および係合溝２６９とから構成
されている。このプローブホルダ２５０の下部の
雌ねじ２５９には、下端部に夫々測定子２７１或
いは２８１を有しかつ上部に雄ねじ２７２或いは
２８２を有する形状の異なるタツチ信号プローブ
２７０或いは２８０がねじ込み固定されるように
なつている。この際、タツチ信号プローブ２８０
は、前記測定子２８１を有する回動部２８３を備
え、この回動部２８３の部分が雄ねじ２８２を有
する本体２８４に対して回動かつその回動位置で
固定可能になるようにされている。 The probe holder 250 has a pull stud 25 at its upper end, as shown in FIGS. 6 and 7.
1, a flange portion 252 at the lower end, and a tapered surface 253 in the middle.
54 and a lower member 255 fixed to the lower surface of the upper member 254;
A groove-shaped engagement recess 257 is provided on the flange portion 252 of the upper member 254 and is engageable with the protrusion 239 provided at the lower end of the probe attaching/detaching mechanism 200, and forms positioning means together with the protrusion 239.
A conductive sleeve 260 is inserted and fixed into the lower end of the lower member 255 via an insulating sleeve 258 and has a female thread 259 at the lower inner end.
An insulating bushing 2 is placed inside this conductive sleeve 260.
A conductive pin 263 is housed so as to be movable in the axial direction via a conductive pin 261 and is always urged in a protruding direction by a spring 262. A contact pin 266 that contacts the pin 241 provided at the lower end to establish electrical continuity and is electrically connected to the conductive pin 263 and a pin hole 268 formed on the lower surface of the flange portion 252 and engage with each other. It is composed of a groove 269. A touch signal probe 270 or 280 having a different shape, which has a probe 271 or 281 at the lower end and a male thread 272 or 282 at the upper end, is screwed and fixed into the female thread 259 at the bottom of the probe holder 250. ing. At this time, touch signal probe 280
includes a rotating portion 283 having the measuring element 281, and a portion of the rotating portion 283 can be rotated relative to a main body 284 having a male thread 282 and fixed at the rotated position.

第１図および第２図において、前記テーブル５
０上には、プローブストツカ２９０が設けられて
いる。このプローブストツカ２９０は、第８図に
も示されるように、テーブル５０の一端即ち後端
側に固定された保持台２９１と、この保持台２９
１の上部に固定されるとともにテーブル５０の他
端側即ち前端側に向つて開口された複数の切欠部
２９２を有しテーブル５０の上面と所定間隔を離
された保持板２９３と、この保持板２９３の上面
において前記切欠部２９２の両側位置に突設され
前記プローブホルダ２５０のフランジ部２５２の
下面に形成されたピン孔２６８および係合溝２６
９に係合可能にされこれらのピン孔２６８および
係合溝２６９と共にプローブ姿勢維持手段を構成
するピン２９４およびピン２９５と、から構成さ
れ、このプローブストツカ２９０の保持板２９３
上には前記プローブホルダ２５０が位置調整され
て夫々載置されている。 In FIGS. 1 and 2, the table 5
0, a probe stocker 290 is provided. As shown in FIG. 8, this probe stocker 290 includes a holding base 291 fixed to one end, that is, the rear end side of the table 50, and this holding base 291.
1, a holding plate 293 having a plurality of notches 292 opened toward the other end side, that is, the front end side of the table 50, and spaced apart from the top surface of the table 50 by a predetermined distance; A pin hole 268 and an engagement groove 26 are provided on the upper surface of the probe holder 293 to protrude from both sides of the notch 292 and are formed on the lower surface of the flange portion 252 of the probe holder 250.
The holding plate 293 of the probe stocker 290 includes a pin 294 and a pin 295 that can be engaged with the probe stocker 290 and constitute a probe attitude maintaining means together with the pin hole 268 and the engagement groove 269.
The probe holders 250 are placed thereon with their positions adjusted.

なお、第１図中符号３１０は、簡略図示されて
いるが、表示部３１１を有するとともに図示しな
いプリンタ、CRT等の周辺機器を有し、更に、
内部に演算機能、記憶機能等を持つ計算機システ
ムを有し、所定のプログラムに従つて各部の動き
を制御する制御装置、符号３２０はテーブル５０
上に載置された被測定物、符号２６はＹ軸方向駆
動機構６０を防塵する蛇腹カバー、符号２７はサ
イドカバーである。また、前記プローブ着脱機構
２００とプローブストツカ２９０とにより、プロ
ーブ自動着脱装置が構成されている。 Although the reference numeral 310 in FIG. 1 is shown in a simplified manner, it has a display section 311 and peripheral devices such as a printer and a CRT (not shown), and further includes:
Reference numeral 320 represents a table 50, which is a control device that includes a computer system having arithmetic functions, storage functions, etc., and controls the movement of each part according to a predetermined program.
The objects to be measured placed thereon include a bellows cover 26 for dustproofing the Y-axis direction drive mechanism 60, and a side cover 27. Further, the probe attachment/detachment mechanism 200 and the probe stocker 290 constitute an automatic probe attachment/detachment device.

次に、本実施例の作用につき説明する。 Next, the operation of this embodiment will be explained.

テーブル５０上に固定されたプローブストツカ
２９０の保持板２９３上に所定の形状のタツチ信
号プローブ２７０或いは２８０を取付けたプロー
ブホルダ２５０をセツトし、かつ、テーブル５０
上に被測定物３２０を載置固定する。この状態
で、制御装置３１０により所定の指令を与える
と、この指令によりＹ軸方向駆動機構６０のモー
タ６２が駆動されてカツプリング６３、送りねじ
軸６４等を介してテーブル５０が第１図中左前方
に移動され、プローブストツカ２９０が丁度Ｚ軸
構造物１８０の下方に位置するようにされる。一
方、Ｙ軸方向駆動機構６０の駆動とともに、Ｘ軸
方向駆動機構１２０のモータ１２２が駆動され、
スライダ１１０がＸ軸方向に移動されてＺ軸構造
物１８０がプローブストツカ２９０上に載置され
た所定のプローブホルダ２５０の直上位置に移動
されて停止される。 The probe holder 250 with the touch signal probe 270 or 280 of a predetermined shape attached is set on the holding plate 293 of the probe stocker 290 fixed on the table 50, and
The object to be measured 320 is placed and fixed on top. In this state, when a predetermined command is given by the control device 310, the motor 62 of the Y-axis direction drive mechanism 60 is driven by this command, and the table 50 is moved to the left in FIG. The probe stocker 290 is moved forward so that it is located just below the Z-axis structure 180. On the other hand, along with driving the Y-axis direction drive mechanism 60, the motor 122 of the X-axis direction drive mechanism 120 is driven,
The slider 110 is moved in the X-axis direction, and the Z-axis structure 180 is moved to a position directly above a predetermined probe holder 250 placed on the probe stocker 290, and then stopped.

この状態で、スライダ１１０内にあるＺ軸方向
駆動機構１４０のモータ１４１が作動されてＺ軸
構造物１８０が下降され、Ｚ軸構造物１８０の内
部に収納されたＺスピンドル２２０のプローブ取
付部としての孔２１９にプローブホルダ２５０が
収納されるようになる。この際、第５図におい
て、アクチエータ２３５が作動され、駆動棒２２
７を皿ばね２２８に抗して押し下げているため、
ボールホルダ２２６はガイド孔２２１から外れボ
ール２２５がフリーの状態にあり、このため、プ
ローブホルダ２５０の上端のプルスタツド２５１
がボールホルダ２２６内に容易に挿入されること
なる。 In this state, the motor 141 of the Z-axis direction drive mechanism 140 inside the slider 110 is activated, the Z-axis structure 180 is lowered, and the Z-axis structure 180 is moved as a probe attachment part of the Z-axis spindle 220 housed inside the Z-axis structure 180. The probe holder 250 is housed in the hole 219. At this time, in FIG. 5, the actuator 235 is activated and the drive rod 22
7 is pressed down against the disc spring 228,
The ball holder 226 is removed from the guide hole 221 and the ball 225 is in a free state. Therefore, the pull stud 251 at the upper end of the probe holder 250
can be easily inserted into the ball holder 226.

次いで、アクチエータ２３５の作動を解除する
と、皿ばね２２８の作用により駆動棒２２７が上
昇されるため、ボールホルダ２２６によりプルス
タツド２５１が引込まれ、プローブホルダ２５０
のテーパ面２５３が孔２１９に係合され、かつ、
プローブ着脱機構２００の下端部に形成された突
部２３９がプローブホルダ２５０の係合凹部２５
７へ挿入され、更にプローブ着脱機構２００のピ
ン２４０がプローブホルダ２５０の接点ピン２６
６に接触され電気的な導通がなされる。 Next, when the actuator 235 is deactivated, the drive rod 227 is raised by the action of the disc spring 228, so the pull stud 251 is retracted by the ball holder 226, and the probe holder 250
The tapered surface 253 of is engaged with the hole 219, and
The protrusion 239 formed at the lower end of the probe attachment/detachment mechanism 200 is connected to the engagement recess 25 of the probe holder 250.
7, and the pin 240 of the probe attachment/detachment mechanism 200 is inserted into the contact pin 26 of the probe holder 250.
6 and electrical continuity is established.

このようにしてＺ軸構造物１８０のプローブ着
脱機構２００にプローブホルダ２５０が保持され
た状態で、タツチ信号プローブ２８０の測定子２
８１の位置を変更したい場合には、プローブ着脱
機構２００のギヤ上下動用シリンダ２１５を作動
してギヤ上下動用ピストン２１４をばね２１６に
抗して上昇させ、第１のギヤ２１１を第２のギヤ
２１２との噛合を開放し、この状態で割出し用モ
ータ２０２を駆動してギヤトレイン２０３および
中間スリーブ２０４を介して第１のギヤ２１１を
所定角度回動させることにより行うことができ
る。 With the probe holder 250 held in the probe attachment/detachment mechanism 200 of the Z-axis structure 180 in this manner, the probe 2 of the touch signal probe 280 is
If you want to change the position of 81, actuate the gear vertical movement cylinder 215 of the probe attaching/detaching mechanism 200 to raise the gear vertical movement piston 214 against the spring 216, and move the first gear 211 to the second gear 212. This can be done by disengaging the first gear 211 and rotating the first gear 211 by a predetermined angle by driving the indexing motor 202 in this state and rotating the first gear 211 through the gear train 203 and the intermediate sleeve 204.

このようにして、プローブ着脱機構２００への
プローブホルダ２５０の取付けがおよび取付角度
が調整された後、前記Ｙ軸方向駆動機構６０、Ｘ
軸方向駆動機構１２０およびＺ軸方向駆動機構１
４０を制御装置３１０の指令により駆動し、Ｚ軸
構造物１８０の下端に取付けられたタツチ信号プ
ローブ２８０の測定子２８１を被測定物３２０の
所定位置に接触させ、その接触時における測定子
２８１のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の位置を制御装置３１
０で記憶し、順次この測定子２８１による被測定
物３２０への接触点の測定を行つて被測定物３２
０の計測を終了する。この被測定物３２０の測定
にあたり、タツチ信号プローブ２８０を取換える
必要があるときは、前述と同様にしてＺ軸構造物
１８０をプローブストツカ２９０の上方位置に位
置させ、プローブストツカ２９０上に載置された
所定のプローブホルダ２５０をＺ軸構造物１８０
に取付けることにより行うことができる。この
際、使用済のプローブホルダ２５０は、プローブ
ストツカ２９０の切欠部２９２の内、空いている
個所に戻すこととなるが、この戻し作業は、空い
ている切欠部２９２の位置にＺ軸構造物１８０を
位置させた後、アクチエータ２３５を作動させ、
皿ばね２２８に抗して駆動棒２２７を下降させ、
ボールホルダ２２６によるプルスタツド２５１の
把持を開放し、この開放状態のままＺ軸構造物１
８０を上昇させればよい。 In this way, after the probe holder 250 is attached to the probe attaching/detaching mechanism 200 and the attachment angle is adjusted, the Y-axis direction drive mechanism 60,
Axial drive mechanism 120 and Z-axis drive mechanism 1
40 is driven by a command from the control device 310, the probe 281 of the touch signal probe 280 attached to the lower end of the Z-axis structure 180 is brought into contact with a predetermined position of the object to be measured 320, and the probe 281 is driven at the time of contact. A control device 31 controls the position in the X, Y, and Z axis directions.
0, and sequentially measure the point of contact with the object to be measured 320 with this probe 281.
0 measurement ends. When measuring the object to be measured 320, when it is necessary to replace the touch signal probe 280, the Z-axis structure 180 is positioned above the probe stocker 290 in the same manner as described above, and the touch signal probe 280 is replaced. A predetermined probe holder 250 placed thereon is connected to the Z-axis structure 180.
This can be done by attaching it to At this time, the used probe holder 250 must be returned to an empty position in the notch 292 of the probe stocker 290. After positioning the object 180, actuating the actuator 235;
Lowering the drive rod 227 against the disk spring 228,
Release the grip of the pull stud 251 by the ball holder 226, and move the Z-axis structure 1 in this open state.
All you have to do is raise 80.

上述のような本実施例によれば次のような効果
がある。 According to this embodiment as described above, there are the following effects.

即ち、本実施例は、Ｚスピンドル２２０を中空
とし、このＺスピンドル２２０内にプローブ支持
手段としてのボールホルダ２２６を設けてプロー
ブホルダ２５０を着脱できるようにしたから、軽
量かつ小型な構造でタツチ信号プローブ２７０，
２８０の自動交換を行える。また、このことから
Ｚ軸構造物１８０の重量増加も僅かで済み、Ｚ軸
構造物１８０ひいてはこれを支持するスライダ１
１０、梁１００、支柱９０等の強度増加を最小限
にできて、装置全体の大型化を招来することもな
い。また、Ｚ軸構造物１８０内にはプローブ着脱
機構２００を設けるとともに、テーブル５０上に
プローブストツカ２９０を設け、かつ、テーブル
５０を移動させる構造としたから、タツチ信号プ
ローブ２７０，２８０の自動取換えの機能を小型
かつ簡易に達成することができる。また、複数の
タイプのタツチ信号プローブ２７０，２８０を予
じめプローブホルダ２５０に取付けてプローブス
トツカ２９０上に姿勢調整のうえ用意してあるか
ら、タツチ信号プローブ２７０，２８０の交換作
業はタツチ信号プローブ２７０，２８０による一
点の測定動作と同程度の時間で行なうことがで
き、タツチ信号プローブ２７０，２８０を取換え
ながらの作業を極めて迅速に行なえる。この際、
タツチ信号プローブ２７０，２８０の取換え毎
に、図示しない原点位置にタツチ信号プローブ２
７０，２８０を接触させて原点チエツクを行なつ
ても良く、このように交換毎に原点チエツクをす
れば、より測定精度を向上できる。また、プロー
ブ着脱機構２００におけるピストンロツド２３２
即ち駆動棒２２７の駆動源は、複数の受圧面を有
するアクチエータ２３５により行なつたから、一
般の工場に配設されている比較的低圧の圧縮空気
を用いて、プローブホルダ２５０の保持を行なつ
ている皿ばね２２８を強力なばね力としても、十
分に皿ばね２２８のばね力に打勝つて駆動棒２２
７を駆動することができ、プローブホルダ２５０
の取付けを確実に行なうことができる。また、Ｚ
スピンドル２２０とプローブホルダ２５０とは、
突部２３９と係合凹部２５７とにより位置決めさ
れるから、Ｚスピンドル２２０に対する取付位置
を正確に設定することができる。また、プローブ
ホルダ２５０のプローブストツカ２９０への設置
時には、ピン孔２６８および係合溝２６９とピン
２９４および２９５とにより位置決めされるか
ら、その設置位置を正確に行なうことができる。
また、プローブ支持手段としてのボールホルダ２
２６は、単にボール２２５を保持する構造である
から、簡易に、かつ安価に製作できる。更に、皿
ばね２２８は駆動棒２２７を常時引込む方向に付
勢しているから、アクチエータ２３５へのエアの
供給が断たれてもプローブホルダ２５０を落下さ
せることがない。 That is, in this embodiment, the Z spindle 220 is hollow, and the ball holder 226 as a probe support means is provided in the Z spindle 220 so that the probe holder 250 can be attached and detached. probe 270,
280 can be automatically exchanged. Further, because of this, the weight of the Z-axis structure 180 is only slightly increased, and the weight of the Z-axis structure 180 and the slider 1 that supports it are reduced.
10, the increase in the strength of the beam 100, the support column 90, etc. can be minimized, and the overall size of the device will not be increased. Furthermore, since a probe attaching/detaching mechanism 200 is provided within the Z-axis structure 180, a probe stocker 290 is provided on the table 50, and the table 50 is moved, automatic attachment of the touch signal probes 270, 280 is possible. The replacement function can be achieved compactly and easily. In addition, since a plurality of types of touch signal probes 270, 280 are attached to the probe holder 250 in advance and prepared on the probe stocker 290 after adjusting their posture, the task of replacing the touch signal probes 270, 280 is easy. This can be carried out in about the same amount of time as measuring one point using the probes 270, 280, and the work can be done extremely quickly while replacing the touch signal probes 270, 280. On this occasion,
Each time touch signal probes 270 and 280 are replaced, touch signal probe 2 is placed at the origin position (not shown).
The origin may be checked by bringing the parts 70 and 280 into contact with each other. If the origin is checked every time the parts are replaced in this way, the measurement accuracy can be further improved. In addition, the piston rod 232 in the probe attachment/detachment mechanism 200
That is, since the drive rod 227 is driven by the actuator 235 having a plurality of pressure-receiving surfaces, the probe holder 250 can be held using relatively low-pressure compressed air that is installed in general factories. Even if the force of the disk spring 228 is strong, the force of the disk spring 228 can be sufficiently overcome and the drive rod 22
7, the probe holder 250
can be installed reliably. Also, Z
The spindle 220 and probe holder 250 are
Since the position is determined by the protrusion 239 and the engagement recess 257, the attachment position relative to the Z spindle 220 can be set accurately. Further, when installing the probe holder 250 in the probe stocker 290, the position is determined by the pin hole 268, the engagement groove 269, and the pins 294 and 295, so that the installation position can be accurately performed.
In addition, a ball holder 2 as a probe support means
26 is a structure that simply holds the ball 225, so it can be manufactured easily and at low cost. Furthermore, since the disk spring 228 always urges the drive rod 227 in the retracting direction, the probe holder 250 will not fall even if the air supply to the actuator 235 is cut off.

第９図乃至１２図は、本発明の他の実施例を示
すもので、本実施例は、Ｚ軸構造物１８０内のＺ
スピンドル２２０を回転不能にしたものである。
ここにおいて、前記実施例と同一若しくは相当構
成部分は同一符号を用い、説明を簡略にする。 9 to 12 show other embodiments of the present invention, in which the Z-axis structure 180
The spindle 220 is made non-rotatable.
Here, the same or equivalent components as in the embodiment described above are denoted by the same reference numerals to simplify the explanation.

これらの図において、Ｚ軸構造物１８０の筐体
１８１内には、上部にエアバランス機構１９０が
設けられるとともに、下部にＺスピンドル２２０
が固定されている。このＺスピンドル２２０は、
プローブ取付部としてのテーパ状の孔２１９を有
するとともに、内部にプローブ支持手段としての
ボールホルダ２２６を軸方向移動可能に収納して
いる。このボールホルダ２２６は、ピストンロツ
ド２３２により上下動されるようになつている。
このピストンロツド２３２は多段にピストン２３
３を備え、これらのピストン２３３は仕切壁２３
４を有するアクチエータ２３５内に収納され、ア
クチエータ２３５の作動により、ピストンロツド
２３２は皿ばね２２８に抗してボールホルダ２２
６を小径のガイド孔２２１内から押出し、プロー
ブホルダ２５０のチヤツクを解除できるようにな
つている。また、このピストンロツド２３２の動
きは、ドツグ２３６および一対の検出器２３７か
らなる軸方向位置検出手段２３８により検出され
る。 In these figures, an air balance mechanism 190 is provided in the upper part of the housing 181 of the Z-axis structure 180, and a Z spindle 220 is provided in the lower part.
is fixed. This Z spindle 220 is
It has a tapered hole 219 as a probe attachment part, and a ball holder 226 as a probe support means is accommodated therein so as to be movable in the axial direction. This ball holder 226 is adapted to be moved up and down by a piston rod 232.
This piston rod 232 has pistons 23 in multiple stages.
3, these pistons 233 are connected to the partition wall 23
4, and when the actuator 235 operates, the piston rod 232 moves against the disc spring 228 to move the ball holder 22.
6 from inside the small-diameter guide hole 221 to release the chuck on the probe holder 250. Further, the movement of the piston rod 232 is detected by an axial position detecting means 238 consisting of a dog 236 and a pair of detectors 237.

前記Ｚスピンドル２２０は、その下面に突部２
３９を有するとともに、２種類の接点を有してい
る。即ち、第２１図に示されるように、第２０図
のNo.１，No.２の位置の接点は、Ｚスピンドル２２
０に絶縁された状態で突没可能にされ、かつ、ば
ね２４０で付勢されるピン２４１で構成され、一
方、第２０図のNo.３〜No.12の位置の接点は、Ｚス
ピンドル２２０に絶縁状態で固定された固定ピン
２４３で構成されている。 The Z spindle 220 has a protrusion 2 on its lower surface.
39 and two types of contacts. That is, as shown in FIG. 21, the contacts at positions No. 1 and No. 2 in FIG.
The contact points at positions No. 3 to No. 12 in FIG. 20 are connected to the Z spindle 220. It is composed of a fixing pin 243 fixed in an insulated state to.

このような構成においても、プローブホルダ２
５０の交換は、前記実施例と同様にでき、ただ、
プローブホルダ２５０の回動操作ができないだけ
である。しかし、特に回転させてする測定がない
場合には、構造かつ軽量安価となる分、本実施例
は有利である。 Even in such a configuration, the probe holder 2
50 can be replaced in the same manner as in the previous embodiment, except that
It is only that the probe holder 250 cannot be rotated. However, especially when there is no measurement to be performed by rotating, this embodiment is advantageous because it is structurally lightweight and inexpensive.

なお、本発明の実施にあたり、プローブ着脱機
構２００におけるプルスタツド２５１の支持部即
ちボールホルダ２２６は、前記構造に限らず、電
磁石で支持するもの、コレツトチヤツクで支持す
るもの等でもよい。また、プローブ着脱機構２０
０におけるプルスタツド２５１の支持方法は、前
記実施例のように常時挟持しているものに限ら
ず、一旦、引込み完了後は、プローブホルダ２５
０のテーパ面２５３とＺスピンドル２２０のテー
パ孔２１９とで保持するものであつてもよい。更
に、各Ｙ，Ｘ，Ｚ軸方向駆動機構６０，１２０，
１４０のモータ６２，１２２，１４１は、AC，
DC、パルス電動機のみならず、エアモータ、油
圧モータ等も含むものである。更に、Ｘ，Ｙ，Ｚ
直交三軸のうちＺ軸は必ずしも鉛直である必要は
なく、Ｘ軸が鉛直であつてもよく、この場合はＺ
スピンドル２２０は水平に配置されることとな
る。また、本発明におけるタツチ信号プローブと
は、タツチ信号プローブ２７０，２８０そのもの
に限らず、プローブホルダ２５０に取付けられた
ものをも含む概念である。 In carrying out the present invention, the support portion of the pull stud 251 in the probe attachment/detachment mechanism 200, that is, the ball holder 226, is not limited to the above structure, and may be supported by an electromagnet, a collector chuck, or the like. In addition, the probe attachment/detachment mechanism 20
The method of supporting the pull stud 251 at 0 is not limited to the method of always holding the pull stud 251 as in the above embodiment.
The Z spindle 220 may be held by the tapered surface 253 of the Z spindle 220 and the tapered hole 219 of the Z spindle 220. Further, each Y, X, Z axis direction drive mechanism 60, 120,
The motors 62, 122, 141 of 140 are AC,
It includes not only DC and pulse motors, but also air motors, hydraulic motors, etc. Furthermore, X, Y, Z
Of the three orthogonal axes, the Z axis does not necessarily have to be vertical; the X axis may also be vertical; in this case, the Z axis
The spindle 220 will be placed horizontally. Furthermore, the touch signal probe in the present invention is not limited to the touch signal probes 270 and 280 themselves, but also includes those attached to the probe holder 250.

［発明の効果］ 上述のように本発明によれば、タツチ信号プロ
ーブの着脱機構を内装してもＺ軸構造物の重量を
それ程増大させることのない自動三次元測定機の
Ｚ軸構造を提供できるという効果がある。[Effects of the Invention] As described above, the present invention provides a Z-axis structure of an automatic coordinate measuring machine that does not significantly increase the weight of the Z-axis structure even if a touch signal probe attachment/detachment mechanism is incorporated therein. There is an effect that it can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示す斜
視図、第２図はその正面図、第３図はＹ軸方向駆
動機構の拡大側面図、第４図はスライダの一部を
切欠いた拡大側面図、第５図はプローブ着脱機構
の拡大断面図、第６図はプローブホルダの拡大断
面図、第７図は第６図の平面図、第８図はプロー
ブストツカの拡大平面図、第９図は本発明の他の
実施例におけるプローブ着脱機構を示す拡大断面
図、第１０図はその底面図、第１１図および第１
２図は第１０図の要部の拡大断面図である。 １０…基台、６０…Ｙ軸方向駆動機構、１００
…梁、１１０…スライダ、１２０…Ｘ軸方向駆動
機構、１４０…Ｚ軸方向駆動機構、１８０…Ｚ軸
構造物、２００…プローブ着脱機構、２１９…プ
ローブ取付部としての孔、２２０…Ｚスピンド
ル、２２５…ボール、２２６…プローブ支持手段
としてのボールホルダ、２２７…駆動棒、２２８
…引込み手段としての皿ばね、２３２…ピストン
ロツド、２３３…ピストン、２３５…押出し手段
としてのアクチエータ、２５０…プローブホル
ダ、２７０，２８０…タツチ信号プローブ、２７
１，２８１…測定子、２９０…プローブストツ
カ、３１０…制御装置、３２０…被測定物。 Fig. 1 is a perspective view showing the overall configuration of an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a front view thereof, Fig. 3 is an enlarged side view of the Y-axis direction drive mechanism, and Fig. 4 is a partially cutaway view of the slider. FIG. 5 is an enlarged sectional view of the probe attaching/detaching mechanism, FIG. 6 is an enlarged sectional view of the probe holder, FIG. 7 is a plan view of FIG. 6, and FIG. 8 is an enlarged plan view of the probe stocker. , FIG. 9 is an enlarged sectional view showing a probe attaching/detaching mechanism in another embodiment of the present invention, FIG. 10 is a bottom view thereof, FIG. 11 and FIG.
FIG. 2 is an enlarged sectional view of the main part of FIG. 10. 10... Base, 60... Y-axis direction drive mechanism, 100
...beam, 110...slider, 120...X-axis direction drive mechanism, 140...Z-axis direction drive mechanism, 180...Z-axis structure, 200...probe attaching/detaching mechanism, 219...hole as probe attachment part, 220...Z spindle, 225... Ball, 226... Ball holder as probe support means, 227... Drive rod, 228
... Disc spring as retraction means, 232 ... Piston rod, 233 ... Piston, 235 ... Actuator as push-out means, 250 ... Probe holder, 270, 280 ... Touch signal probe, 27
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,281... Measuring element, 290... Probe stocker, 310... Control device, 320... Measured object.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １ 測定機本体に軸方向摺動自在かつ回転不能に
支持されたＺ軸構造物と、このＺ軸構造物に軸方
向変位不能に支持されるとともに先端部にタツチ
信号プローブの取付部を有する中空のＺスピンン
ドルと、前記Ｚ軸構造物内に納められるとともに
前記Ｚスピンドル内を軸方向移動可能な駆動棒の
軸方向変位を利用してＺスピンドルのタツチ信号
プローブ取付部にタツチ信号プローブを着脱させ
るタツチ信号プローブ支持手段と、このプローブ
支持手段の駆動棒を常時軸方向の一方向に付勢す
るばねと、このばねの付勢力に抗して駆動棒を反
対方向に強制変位させる圧縮空気作動のアクチエ
ータとを備えたことを特徴とする三次元測定機の
Ｚ軸構造。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記プロー
ブ着脱機構は、前記駆動棒の下端に設けられると
ともに複数個のボールを半径方向移動可能に支持
する少なくとも下端が中空のボールホルダを備
え、このボールホルダのボールは、駆動棒がＺス
ピンドルの内方方向に引込まれたときにはＺスピ
ンドルの小径のガイド孔の作用によりボールホル
ダの中空部に一部が突出してこの中空部内に位置
するタツチ信号プローブの軸部を挟持し、一方、
駆動棒がＺスピンドルの外方方向に押出されたと
きにはＺスピンドルの大形の孔内に位置して自由
移動可能にされたことを特徴とする三次元測定機
のＺ軸構造。 ３ 特許請求の範囲第１項または第２項におい
て、前記ばねの付勢方向は、タツチ信号プローブ
をＺスピンドルの取付部内に引込む方向になるよ
うにされていることを特徴とする三次元測定機の
Ｚ軸構造。 ４ 特許請求の範囲第１項乃至第３項の何れかに
おいて、前記アクチエータは、前記駆動棒の軸方
向に対し直列に固定された複数の受圧面を有する
とともに、作動空気が各受圧面に同時に供給され
るよう構成されたことを特徴とする三次元測定機
のＺ軸構造。[Scope of Claims] 1. A Z-axis structure that is slidably and non-rotatably supported in the measuring instrument body in the axial direction, and a touch signal probe that is supported by the Z-axis structure so that it cannot be displaced in the axial direction, and a touch signal probe at the tip. a hollow Z spindle having a mounting portion, and a touch signal probe mounting portion of the Z spindle using the axial displacement of a drive rod that is housed in the Z-axis structure and is movable in the axial direction within the Z spindle. A touch signal probe support means for attaching and detaching the touch signal probe, a spring that always biases the drive rod of the probe support means in one axial direction, and a force for forcing the drive rod in the opposite direction against the biasing force of the spring. A Z-axis structure of a three-dimensional measuring machine characterized by comprising a compressed air-operated actuator for displacement. 2. In claim 1, the probe attachment/detachment mechanism includes a ball holder provided at the lower end of the drive rod and having at least a hollow lower end that supports a plurality of balls movably in a radial direction, and the ball holder When the drive rod is pulled inward of the Z spindle, a portion of the ball protrudes into the hollow part of the ball holder due to the action of the small diameter guide hole of the Z spindle, and the axis of the touch signal probe located in this hollow part. While holding the part,
A Z-axis structure of a three-dimensional measuring machine, characterized in that when the drive rod is pushed outward of the Z spindle, it is positioned in a large hole of the Z spindle and can move freely. 3. The three-dimensional measuring machine according to claim 1 or 2, wherein the biasing direction of the spring is a direction in which the touch signal probe is retracted into the attachment part of the Z spindle. Z-axis structure. 4. In any one of claims 1 to 3, the actuator has a plurality of pressure-receiving surfaces fixed in series in the axial direction of the drive rod, and working air is simultaneously applied to each pressure-receiving surface. A Z-axis structure of a three-dimensional measuring machine, characterized in that it is configured to be supplied.