JPH03193113A - Solvent recovery apparatus - Google Patents
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- JPH03193113A JPH03193113A JP1333414A JP33341489A JPH03193113A JP H03193113 A JPH03193113 A JP H03193113A JP 1333414 A JP1333414 A JP 1333414A JP 33341489 A JP33341489 A JP 33341489A JP H03193113 A JPH03193113 A JP H03193113A
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- 239000002904 solvent Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 238000011084 recovery Methods 0.000 title claims abstract description 35
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 144
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 94
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 59
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 21
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 11
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 abstract 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 16
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 7
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 6
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 description 2
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000003915 air pollution Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明はフロン等の溶剤を含有する処理ガスからこの溶
剤を回収するバッチ式の溶剤回収装置に関し、特に、再
生ガスとして水の沸点を超える温度に加熱した過熱蒸気
を使用する溶剤回収装置に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Field of Application] The present invention relates to a batch-type solvent recovery device for recovering solvents such as fluorocarbons from a process gas containing them, and in particular, relates to a batch-type solvent recovery device for recovering solvents such as chlorofluorocarbons from a process gas containing them. This invention relates to a solvent recovery device that uses superheated steam heated to a certain temperature.
［従来の技術］
近時、環境汚染に対する関心が高まり、環境保全の見地
から規制が強化されて炭素廃棄物の大気中への放出が禁
止される傾向にある。とりわけ、フッ化物を有するフロ
ンガスによる大気汚染が地球的規模で重大な問題として
注目されており、このためフロンガスの排出規制がなさ
れようとしている。このフロンガス排出規制においては
、将来的にはフロンガスの全面使用中止が唱われている
ものの、その代換品が開発される迄の期間においては、
従来大気に放散されていたフロンガスを系外へ排出しな
いように回収して再使用することを次善策としている。[Prior Art] Recently, there has been an increased interest in environmental pollution, and regulations have been tightened from the standpoint of environmental conservation, and there is a tendency to prohibit the release of carbon waste into the atmosphere. In particular, air pollution caused by fluoride-containing fluorocarbon gases is attracting attention as a serious problem on a global scale, and for this reason, fluorocarbon gas emissions are being regulated. Although this fluorocarbon gas emission regulation calls for the complete discontinuation of the use of fluorocarbon gas in the future, until a replacement product is developed,
The next best option is to collect and reuse the fluorocarbon gas, which was previously released into the atmosphere, without emitting it outside the system.
このため、種々のフロンガス回収装置が開発されている
。For this reason, various fluorocarbon gas recovery devices have been developed.
従来のバッチ式のフロンガス回収装置においては、吸着
材を貯留した複数基の吸着塔に、選択的に且つ交互にフ
ロン含有ガスを通流させて吸着塔内の吸着材にフロンを
吸着させ、これにより清浄ガスを得ている。そして、フ
ロン吸着後の吸着塔内の吸着材には蒸気を通流させ、こ
の蒸気の保有熱により吸着材を加熱すると共にブロアで
吸着塔内を吸引することにより、吸着材からフロンを脱
着させて吸着材を再生する。このように、複数基の吸着
塔にて吸着と脱着とを交互に繰り返すことにより、フロ
ン含有空気からフロンが除去されて清浄空気が得られる
。なお、必要に応じて、脱着工程を終了した吸着塔には
加熱空気を供給して蒸気の通流により湿った吸着材を乾
燥し、更に常温の低温の冷却用空気を通流させて吸着材
を冷却し、その吸着効率を高めた後に吸着工程に移るよ
うになっている。In conventional batch-type fluorocarbon gas recovery equipment, fluorocarbon-containing gas is selectively and alternately passed through multiple adsorption towers storing adsorbent material, and the fluorocarbons are adsorbed by the adsorbent material in the adsorption towers. clean gas is obtained. After adsorbing CFCs, steam is passed through the adsorbent in the adsorption tower, and the heat retained in the vapor heats the adsorbent, and the inside of the adsorption tower is suctioned with a blower to desorb the CFCs from the adsorption material. to regenerate the adsorbent. In this way, by alternately repeating adsorption and desorption in a plurality of adsorption towers, fluorocarbons are removed from fluorocarbon-containing air and clean air is obtained. If necessary, heated air is supplied to the adsorption tower that has completed the desorption process to dry the wet adsorbent by passing steam through it, and cooling air at room temperature is passed through to dry the adsorbent. After cooling and increasing the adsorption efficiency, the adsorption process begins.
従来、吸着材の再生（フロンの脱着）には加熱空気を使
用する場合もあるが、この場合は空気がキャリアガスと
なるため、溶剤を凝縮分離した後の空気の処理が必要に
なり、繁雑である。一方、吸着材の再生に蒸気を使用す
ると、この蒸気は冷却されると水になるため、キャリア
ガスの後処理が不要である。そこで、従来、再生ガスと
して蒸気が多用されている（特開昭５３−５３５８１．
５３−１１２２８３゜５１ｉ−８９８１７，５７−７８
９２１号各公報）。Conventionally, heated air is sometimes used to regenerate the adsorbent (desorb CFCs), but in this case, the air becomes the carrier gas, so the air must be treated after the solvent has been condensed and separated, which is complicated. It is. On the other hand, if steam is used to regenerate the adsorbent, no post-treatment of the carrier gas is required since the steam becomes water when cooled. Therefore, conventionally, steam has been frequently used as the regeneration gas (Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-53581.
53-112283゜51i-89817, 57-78
921 publications).
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、このような従来のフロンガス回収装置に
おいては、吸着材の再生に蒸気を使用するために以下に
示す欠点がある。[Problems to be Solved by the Invention] However, such conventional fluorocarbon gas recovery devices have the following drawbacks because steam is used to regenerate the adsorbent.
即ち、蒸気が吸着材を通過する際に降温して水滴となり
、吸着材に付着してしまう。その結果、５−
フロンを脱着する際に、再生用蒸気のもつエネルギが吸
着材の吸湿水分の加熱にも使用されてしまい、再生蒸気
のもつエネルギがフロンの脱着に有効に使用されていな
い。例えば、活性炭の比熱は０．２４ｋｃａｌ／ｋｇ・
ｃであるのに対し、水の比熱は１．０ｋｃａｌ／ｋｇ・
°Ｃであるから、１°Ｃ温度を上げるのに必要な熱量の
うち約８０％は水の加熱に使用されてしまう。このため
、フロンの脱着には大きなエネルギが必要であり、従っ
て、大量の蒸気を使用する必要があるので、その結果、
吸着材に水分が付着し易くなるという、悪循環が繰り返
されている。That is, when the steam passes through the adsorbent, the temperature decreases and the water droplets form and adhere to the adsorbent. As a result, when desorbing 5-fluorocarbons, the energy of the regeneration steam is also used to heat the moisture absorbed by the adsorbent, and the energy of the regeneration steam is not effectively used for desorption of fluorocarbons. For example, the specific heat of activated carbon is 0.24kcal/kg・
c, whereas the specific heat of water is 1.0 kcal/kg・
°C, approximately 80% of the amount of heat required to raise the temperature by 1 °C is used to heat water. For this reason, desorption of Freon requires a large amount of energy and therefore requires the use of large amounts of steam;
A vicious cycle is repeated in which moisture tends to adhere to the adsorbent.
また、吸着材の再生に蒸気を使用すると、酸の発生を回
避することができないという欠点がある。Furthermore, the use of steam to regenerate the adsorbent has the disadvantage that acid generation cannot be avoided.
即ち、フロン自体は炭素原子、塩素原子及びフッ素原子
により構成され、極めて安定な物質であるが、フロンが
蒸気にさらされた条件下で活性炭に吸着されたまま長時
間経過すると、フロンの一部が分解し、塩酸及びフッ酸
が発生する。そうすると、回収フロン中のフロン純度の
低下、並びに排水及び浄化ガス中への酸の混入等の問題
が生じる。In other words, fluorocarbon itself is composed of carbon, chlorine, and fluorine atoms, and is an extremely stable substance. However, if fluorocarbon is exposed to steam and remains adsorbed on activated carbon for a long time, some of the fluorocarbon decomposes, generating hydrochloric acid and hydrofluoric acid. This causes problems such as a decrease in the purity of fluorocarbons in the recovered fluorocarbons and the mixing of acids into waste water and purified gas.
６一
また、アルコールを含む共沸混合フロンを回収する場合
は、アルコールは水分に溶は込み、その殆どの部分が排
水と共に排出されてしまうため、排水中のＢＯＤ、ＣＯ
Ｄ対策を講じる必要がある等の問題点もある。6-Also, when recovering azeotropic CFCs containing alcohol, the alcohol dissolves in water and most of it is discharged with the wastewater, so BOD and CO in the wastewater are
There are also problems such as the need to take countermeasures D.
なお、フロンが蒸気にさらされる時間を短くして酸の発
生を抑制すべく、脱着速度が早い吸着材を使用する試み
がなされている。これはモノリス成形体活性炭又は繊維
状活性炭を吸着材として使用するものであり、第３図に
示すように横軸に時間をとり、縦軸に回収溶剤の量をと
って脱着量的線を示すと、モノリス成形体活性炭の場合
には粒状活性炭に比して極めて迅速に回収溶剤量が上昇
し、速やかに溶剤を脱着させることができるからである
。しかしながら、このモノリス成形体活性炭を使用して
一般的な２塔式システムの溶剤回収装置を組み立てた場
合、−塔が吸着時間にあるときは、他塔は脱着、乾燥、
冷却を行うことが必要であり、水分量が多ければ多い程
、乾燥及び冷却に多大の時間が必要である。そして、こ
の乾燥及び冷却の時間が長くなると吸着塔の能力が小さ
くなる。このため、通常、吸着側の能力を保持できる比
較的短い時間を優先して設定している。従って、吸着材
の乾燥及び冷却に十分な時間をとることができないとい
う問題点がある。このため、吸着材の水分除去及び冷却
が不十分なまま吸着工程に移行せざるを得す、結局吸着
材の再生処理が不十分となる。そうすると、フロンの回
収効率が低下してしまう。第４図は横軸に時間をとり、
縦軸に水分残留状態でのモノリス成形体活性炭からのフ
ロン１１３ （初期吸着量２０００ｐｐｍ ）の除去
率をとって、この除去率に対する残留水分量の影響を示
すグラフ図である。この図から明らかなように、残留水
分量が多くなるにつれてフロン除去率が低下する。この
ように、脱着速度が早い吸着材を使用すると、フロンの
回収効率の低下を回避することができず、この方法はフ
ロンの蒸気接触時間を短くして酸発生を防止するための
有効な手段とはいえない。In addition, attempts have been made to use adsorbents that have a high desorption rate in order to shorten the time that Freon is exposed to steam and thereby suppress the generation of acids. This uses monolith molded activated carbon or fibrous activated carbon as an adsorbent, and as shown in Figure 3, the horizontal axis represents time and the vertical axis represents the amount of recovered solvent, and the desorption amount line is shown. This is because in the case of monolith molded activated carbon, the amount of recovered solvent increases extremely quickly compared to granular activated carbon, and the solvent can be quickly desorbed. However, when this monolith compact activated carbon is used to assemble a typical two-column system of solvent recovery equipment, when one column is in the adsorption time, the other columns are used for desorption, drying,
It is necessary to carry out cooling, and the greater the moisture content, the more time is required for drying and cooling. As the drying and cooling time becomes longer, the capacity of the adsorption tower decreases. For this reason, priority is usually given to setting a relatively short time in which the ability of the suction side can be maintained. Therefore, there is a problem that sufficient time cannot be taken for drying and cooling the adsorbent. For this reason, the adsorption process is forced to proceed without sufficient water removal and cooling of the adsorbent, resulting in insufficient regeneration of the adsorbent. If this happens, the recovery efficiency of fluorocarbons will decrease. Figure 4 shows time on the horizontal axis,
It is a graph diagram showing the influence of the amount of residual moisture on the removal rate, with the removal rate of Freon 113 (initial adsorption amount 2000 ppm) taken from the monolith molded activated carbon in a state where moisture remains on the vertical axis. As is clear from this figure, as the amount of residual water increases, the fluorocarbon removal rate decreases. In this way, if an adsorbent with a fast desorption rate is used, a decrease in the recovery efficiency of fluorocarbons cannot be avoided, and this method is an effective means to shorten the vapor contact time of fluorocarbons and prevent acid generation. I can't say that.
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
蒸気を使用しながら吸着材の水分付着量を低減できると
共に、吸着材の吸着効率及び溶剤の回収効率を上昇させ
ることができる溶剤回収装置を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of such problems, and includes:
It is an object of the present invention to provide a solvent recovery device capable of reducing the amount of water adhering to an adsorbent while using steam, and increasing the adsorption efficiency of the adsorbent and the recovery efficiency of the solvent.
［課題を解決するための手段］
本発明に係る溶剤回収装置は、主成分が活性炭である吸
着材を収納した吸着塔と、回収処理すべき溶剤含有ガス
を除湿する除湿手段と、この除湿手段による除湿後の溶
剤含有ガスを前記吸着塔に通流させてその含有溶剤を前
記吸着材により吸着除去し清浄ガスを得る溶剤含有ガス
供給手段と、前記吸着塔に過熱蒸気を通流させて前記吸
着材から溶剤を脱着させ吸着材を再生する過熱蒸気供給
手段と、前記吸着塔から排出された脱着溶剤を含有する
排出ガスを冷却し溶剤を凝縮して液化する冷却凝縮手段
と、前記吸着塔に前記溶剤含有ガスと前記過熱蒸気とを
選択的に導入する選択導入手段とを有すことを特徴とす
る。[Means for Solving the Problems] A solvent recovery device according to the present invention comprises an adsorption tower containing an adsorbent whose main component is activated carbon, a dehumidifying means for dehumidifying the solvent-containing gas to be recovered, and the dehumidifying means. a solvent-containing gas supply means for supplying clean gas by passing the solvent-containing gas dehumidified through the adsorption tower to adsorb and remove the contained solvent by the adsorbent; a superheated steam supply means for desorbing the solvent from the adsorbent and regenerating the adsorbent; a cooling condensing means for cooling the exhaust gas containing the desorption solvent discharged from the adsorption tower and condensing the solvent to liquefy it; and the adsorption tower. It is characterized by comprising selective introduction means for selectively introducing the solvent-containing gas and the superheated steam.
［作用コ
本発明においては、溶剤量をガスを除湿してそ９−
の含有水分を吸着材に通過させるため、被処理ガス中の
水分が吸着材に付着することが抑制される。[Function] In the present invention, since the amount of solvent is used to dehumidify the gas and the moisture contained therein is passed through the adsorbent, the adhesion of moisture in the gas to be treated to the adsorbent is suppressed.
また、吸着材の再生ガスとして水の沸点以上に加熱した
過熱蒸気を使用するから、この再生ガスが吸着材を通過
したときにその吸着材に熱を奪われて多少降温しても、
再生ガスが沸点以下になって凝縮してしまうことはない
。従って、この再生ガスが凝縮して水分となって吸着材
に付着することが抑制される。このようにして、本発明
においては、吸着材への水分付着が抑制される結果、酸
の発生が確実に防止される。また、吸着材への水分付着
が防止される結果、溶剤脱着時に水分の加熱に使用され
る再生ガス熱量が減少し、再生ガスである過熱蒸気の持
つ熱量が溶剤の脱着に有効に使用される。In addition, since superheated steam heated above the boiling point of water is used as the regenerating gas for the adsorbent, when the regenerating gas passes through the adsorbent, heat is taken away by the adsorbent and the temperature drops slightly.
The regeneration gas will not fall below its boiling point and condense. Therefore, this regeneration gas is prevented from condensing into moisture and adhering to the adsorbent. In this way, in the present invention, moisture adhesion to the adsorbent is suppressed, and as a result, generation of acid is reliably prevented. Additionally, as moisture is prevented from adhering to the adsorbent, the amount of heat in the regeneration gas used to heat the water during solvent desorption is reduced, and the amount of heat in superheated steam, which is the regeneration gas, is effectively used for solvent desorption. .
［実施例コ
以下、本発明の実施例について添付の図面を参照して具
体的に説明する。[Embodiments] Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第１図は本発明の第１の実施例に係る溶剤回収装置を示
すブロック図である。吸着塔１，２には、１０−
粒状活性炭、繊維状活性炭又はモノリス成形体活性炭等
のフロンに対する吸着能を有する吸着材が収納されてい
る。回収除去すべきフロンを含有するフロン含有空気は
配管３及びこの配管３から分岐した配管３ ａ ＋
３ ｂを介して夫々吸着塔１，２内に導入されている。FIG. 1 is a block diagram showing a solvent recovery device according to a first embodiment of the present invention. The adsorption towers 1 and 2 contain an adsorbent having an adsorption capacity for fluorocarbons, such as 10-granular activated carbon, fibrous activated carbon, or monolith molded activated carbon. The fluorocarbon-containing air containing fluorocarbons to be recovered and removed is transported to a pipe 3 and a pipe 3 a + branched from this pipe 3.
3b into adsorption towers 1 and 2, respectively.
配管３ ａ ｙ ３ ｂには夫々開閉弁Ｖｌ、Ｖ２が介
装されていて、吸着塔１，２へのフロン含有空気の導入
を制御している。また、配管３には冷却器３５が介装さ
れていて、吸着塔１．２に導入するフロン含有空気を冷
却して除湿するようになっている。吸着塔１． ２内に
導入されたフロン含有空気は吸着塔１，２内の吸着材を
通過してその含有フロンが吸着材に吸着除去され、得ら
れた清浄空気は夫々配管４ ａ ＋ ４ ｂ及びこれら
の配管４ａ、４ｂが合流する配管４を介して大気中に排
出されるようになっている。この配管４ａ、４ｂには、
夫々開閉弁Ｖ３．Ｖ４が介装されている。Opening/closing valves Vl and V2 are interposed in the pipes 3 a y 3 b, respectively, to control the introduction of fluorocarbon-containing air into the adsorption towers 1 and 2. Further, a cooler 35 is installed in the pipe 3 to cool and dehumidify the fluorocarbon-containing air introduced into the adsorption tower 1.2. Adsorption tower 1. The fluorocarbon-containing air introduced into the adsorption towers 1 and 2 passes through the adsorbents in the adsorption towers 1 and 2, and the fluorocarbons contained therein are adsorbed and removed by the adsorbents, and the resulting clean air is passed through the pipes 4a + 4b and these pipes, respectively. The gas is discharged into the atmosphere via a pipe 4 where the pipes 4a and 4b join together. These pipes 4a and 4b include
Open/close valve V3. V4 is installed.
また、吸着塔１，２は配管５及びこの配管５から分岐し
た配管５ａ、５ｂを介して蒸気供給源（図示せず）と連
結されている。そして、この配管５にはスーパーヒータ
１０が介装されていて、配管５を介して吸着塔１．２に
導入される蒸気を加熱し、その蒸気の圧力における沸点
よりも高い温度の過熱蒸気を生成する。配管５ ａ ＋
５ ｂには夫々開閉弁ｖ７．ｖ８が介装されていて、
吸着塔１゜２に対する過熱蒸気の供給を制御している。Further, the adsorption towers 1 and 2 are connected to a steam supply source (not shown) via a pipe 5 and pipes 5a and 5b branched from the pipe 5. A super heater 10 is installed in this pipe 5, and heats the steam introduced into the adsorption tower 1.2 through the pipe 5, producing superheated steam at a temperature higher than the boiling point at the pressure of the steam. generate. Piping 5 a +
5b has an on-off valve v7. V8 is interposed,
The supply of superheated steam to the adsorption tower 1.2 is controlled.
また、過熱蒸気は吸着塔１，２を通過してその内部の吸
着材を再生し、フロンを脱着する。そして、脱着したフ
ロンを高濃度で含有する過熱蒸気は配管８ａ、８ｂ及び
この配管Ｅ３ａ、８ｂが合流した配管６を介してコンデ
ンサ１４に供給される。Further, the superheated steam passes through the adsorption towers 1 and 2, regenerates the adsorbent therein, and desorbs fluorocarbons. Then, the superheated steam containing desorbed fluorocarbons at a high concentration is supplied to the condenser 14 via the pipes 8a and 8b and the pipe 6 where the pipes E3a and 8b join together.
このコンデンサ１４には冷却水が通水されており、この
コンデンサ１４内でフロン濃縮過熱蒸気は冷却され、含
有するフロンと共に蒸気が凝縮して液化する。このフロ
ン液及び水はコンデンサ１４から配管７を介してセパレ
ータ１５に供給され、このセパレータ１５にて水とフロ
ン液とが比重分離される。フロン液は配管８を介して回
収タンク１６に集められる。Cooling water is passed through the condenser 14, and the freon-concentrated superheated steam is cooled in the condenser 14, and the steam is condensed and liquefied together with the freon it contains. The fluorocarbon liquid and water are supplied from the condenser 14 to the separator 15 via the pipe 7, and the separator 15 separates the water and the fluorocarbon liquid by specific gravity. The fluorocarbon liquid is collected in a recovery tank 16 via piping 8.
一方、吸着材の乾燥及び冷却用の空気が配管９及びこの
配管９から分岐した分岐配管９ａ、９ｂを介して夫々吸
着塔１，２に供給される。この配管９にはブロア１３が
介装されていて、このブロア１３により空気を吸着塔１
，２内に送り込むようになっている。また、この配管９
におけるブロア１３の下流側には、オンオフ可能のヒー
タ１１が介装されていて、吸着塔１，２内に導入される
空気を選択的に加熱する。即ち、ヒータ１１のオンで熱
風を吸着塔１，２に供給し、ヒータ１１のオフで冷風を
吸着塔１，２に供給する。On the other hand, air for drying and cooling the adsorbent is supplied to the adsorption towers 1 and 2 via a pipe 9 and branch pipes 9a and 9b branched from the pipe 9, respectively. A blower 13 is installed in this pipe 9, and the blower 13 blows air into the adsorption tower 1.
, 2. Also, this piping 9
A heater 11 that can be turned on and off is installed downstream of the blower 13, and selectively heats the air introduced into the adsorption towers 1 and 2. That is, when the heater 11 is turned on, hot air is supplied to the adsorption towers 1 and 2, and when the heater 11 is turned off, cold air is supplied to the adsorption towers 1 and 2.
次に、上述のごとく構成された溶剤回収装置の動作につ
いて説明する。Next, the operation of the solvent recovery device configured as described above will be explained.
先ず、吸着塔１が吸着工程、吸着塔２がフロン脱着工程
を実施するものとする。従って、吸着塔１内の吸着材は
フロンを吸着していない活性状態にあり、吸着塔２内の
吸着材はフロンを飽和又はそれに近い状態に飽和した状
態にある。First, it is assumed that the adsorption tower 1 performs an adsorption process and the adsorption tower 2 performs a fluorocarbon desorption process. Therefore, the adsorbent in the adsorption tower 1 is in an active state in which it does not adsorb fluorocarbons, and the adsorbent in the adsorption tower 2 is in a saturated state or nearly saturated with fluorocarbons.
ブロア１２は常に動作状態にあり、フロン使用源からフ
ロンを含有する空気を常に本装置内に導１３−
大している。また、この工程の当初はヒータエ０はオン
、ヒータ１１はオフ、ブロア１３はオフの状態にある。The blower 12 is always in operation and constantly guides air containing fluorocarbons from the fluorocarbon source into the apparatus. Further, at the beginning of this process, heater 0 is on, heater 11 is off, and blower 13 is off.
また、開閉弁Ｖ 、＋ Ｖ３ ＋ Ｖｓ １ｖ１ｏは開
、開閉弁Ｖ２ ＋ Ｖ４ ＋ Ｖａ ＋ Ｖｅ ＋ Ｖ
７ ＋ｖ８は閉にする。Also, the on-off valve V , +V3 + Vs 1v1o is open, and the on-off valve V2 + V4 + Va + Ve + V
7 +v8 is closed.
そうすると、フロン含有空気は冷却器１７により冷却さ
れて除湿された後、配管３，３ａを介して吸着塔１に供
給され、この吸着塔１内の吸着材を通過して、その含有
空気がこの吸着材に吸着して除去される。得られた清浄
空気は配管４ａ、４を介して排出され、大気中に放出さ
れる。Then, the fluorocarbon-containing air is cooled and dehumidified by the cooler 17, and then supplied to the adsorption tower 1 via the pipes 3 and 3a. It is removed by adsorption to an adsorbent. The obtained clean air is discharged through the pipes 4a, 4 and released into the atmosphere.
一方、配管５を介してスーパーヒータ１０に供給された
蒸気はこのヒータ１０により加熱されて、例えば０．２
ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力の蒸気の沸点である１０５℃より
も４５℃高い１５０℃に加熱する。この過熱蒸気は吸着
塔２内の吸着材を通流して加熱し、この吸着材が従前の
工程で吸着していたフロンを脱着させる。これにより、
この脱着フロンを高濃度で含有したフロン濃縮過熱蒸気
は、配管６ａ、６を介してコンデンサ１４に供給され、
このコンデン１４−
サ１４により冷却されてフロン液及び水が凝縮分離する
。On the other hand, the steam supplied to the super heater 10 via the pipe 5 is heated by the heater 10, and is heated by, for example, 0.2
It is heated to 150°C, which is 45°C higher than the boiling point of steam at a pressure of kgf/cm2, 105°C. This superheated steam is heated by passing through the adsorbent in the adsorption tower 2, and the adsorbent desorbs the fluorocarbons that had been adsorbed in the previous process. This results in
This fluorocarbon concentrated superheated steam containing a high concentration of desorbed fluorocarbons is supplied to the condenser 14 via piping 6a, 6,
The condenser 14 is cooled and the fluorocarbon liquid and water are condensed and separated.
このフロン液及び水はセパレータ１５により比重分離さ
れてフロン液のみが回収タンク１６に集められて回収さ
れる。The fluorocarbon liquid and water are separated by specific gravity by a separator 15, and only the fluorocarbon liquid is collected in a recovery tank 16 and recovered.
次いで、この吸着塔２におけるフロンの脱着が終了した
後、又は若干のフロンが残存している状態で、吸着塔２
は乾燥工程に移行する。即ち、開閉弁Ｖ６．Ｖ４を開、
開閉弁Ｖ １（、、Ｖ８を閉ニスる。他の開閉弁はその
ままである。また、ブロア１３の駆動を開始し、ヒータ
１１をオンにする。Next, after the desorption of fluorocarbons in the adsorption tower 2 is completed, or with some fluorocarbons remaining, the adsorption tower 2
will move on to the drying process. That is, on-off valve V6. Open V4,
Close the on-off valves V1 (, V8). The other on-off valves remain as they are. Also, start driving the blower 13 and turn on the heater 11.
なお、スーパーヒータ１０はオフにする。Note that the super heater 10 is turned off.
これにより、吸着塔２に対する過熱蒸気の供給が停止さ
れ、吸着塔２には配管９，８ｂを介して空気が供給され
る。この空気はヒータ１１により加熱されており、従っ
て、吸着塔２は熱風の通過を受けることになる。吸着塔
２内の吸着材は従前の脱着（再生）工程で過熱蒸気の通
流を受けて湿っており、この熱風の通過を受けて吸着材
が乾燥される。As a result, the supply of superheated steam to the adsorption tower 2 is stopped, and air is supplied to the adsorption tower 2 via the pipes 9 and 8b. This air is heated by the heater 11, so that the adsorption tower 2 receives the passage of hot air. The adsorbent in the adsorption tower 2 is wet due to the passage of superheated steam during the previous desorption (regeneration) step, and is dried by passing this hot air.
次いで、吸着塔２は冷却工程に移る。即ち、開閉弁の開
閉はそのままで、ヒータ１１をオフにする。そうすると
、吸着塔２内には常温の空気が供給され、吸着塔２内の
吸着材はこの常温の空気の通流を受けて冷却される。こ
れにより、吸着塔２内の吸着材は吸着効率が高い低温に
降温する。Next, the adsorption tower 2 moves to a cooling process. That is, the heater 11 is turned off while the on-off valve remains open and closed. Then, room temperature air is supplied into the adsorption tower 2, and the adsorbent within the adsorption tower 2 is cooled by the flow of this room temperature air. As a result, the temperature of the adsorbent in the adsorption tower 2 is lowered to a low temperature at which adsorption efficiency is high.
その後、吸着塔１は脱着工程、吸着塔２は吸着工程に移
る。即ち、開閉弁Ｖ２ ＋ Ｖ４ ＋ Ｖ７ ＋Ｖｅ
ｈｕＬ 開閉弁Ｖｔ ＋ Ｖ３ ＋ Ｖ５ ＋ Ｖｅ
＋ Ｖａ ＋Ｖ＋ｏは閉にする。また、ブロア１３、ヒ
ータ１１をオフ、ヒータ１０をオンにする。これにより
、フロン含有空気が吸着塔２内に供給されてその吸着材
によりフロンが吸着除去される。一方、過熱蒸気は吸着
塔１内の吸着材を通過して加熱し、この吸着材は従前の
吸着工程で吸着されていたフロンを脱着する。After that, the adsorption tower 1 moves to the desorption process, and the adsorption tower 2 moves to the adsorption process. That is, on-off valve V2 + V4 + V7 +Ve
huL Open/close valve Vt + V3 + V5 + Ve
+Va +V+o is closed. Also, the blower 13 and heater 11 are turned off, and the heater 10 is turned on. As a result, air containing fluorocarbons is supplied into the adsorption tower 2, and the fluorocarbons are adsorbed and removed by the adsorbent. On the other hand, the superheated steam passes through an adsorbent in the adsorption tower 1 and is heated, and this adsorbent desorbs the fluorocarbons that were adsorbed in the previous adsorption step.
次に、吸着塔１内の吸着材がフロンを脱着して十分に再
生された後、開閉弁ｖ７．ｖ８を閉、開閉弁Ｖ５．Ｖ３
を開にする。そして、ブロア１３及びヒータ１１をオン
、ヒータ１０をオフにする。Next, after the adsorbent in the adsorption tower 1 has desorbed fluorocarbons and been sufficiently regenerated, the on-off valve v7. Close V8, open/close valve V5. V3
Open. Then, the blower 13 and heater 11 are turned on, and the heater 10 is turned off.
そうすると、熱風が吸着塔１内の吸着材に供給されてこ
の吸着材が乾燥される。次いで、ヒータ１１をオフにす
ると、吸着塔１内の吸着材に常温の空気が供給されてこ
の吸着材が冷却される。Then, hot air is supplied to the adsorbent in the adsorption tower 1 and the adsorbent is dried. Next, when the heater 11 is turned off, room temperature air is supplied to the adsorbent in the adsorption tower 1 to cool the adsorbent.
このようにして、吸着塔１の脱着、乾燥及び冷却の一連
の工程が終了する。In this way, a series of steps of desorption, drying and cooling of the adsorption tower 1 is completed.
爾後、吸着塔１，２で、吸着工程と、脱着、乾燥及び冷
却工程とを選択的に且つ交互に繰り返すことにより、フ
ロン含有空気が連続的に濃縮され、フロンが連続的に回
収される。Thereafter, by selectively and alternately repeating the adsorption step and the desorption, drying and cooling steps in the adsorption towers 1 and 2, the fluorocarbon-containing air is continuously concentrated and the fluorocarbons are continuously recovered.
本実施例においては、吸着材からフロンを脱着させるた
めの再生ガスとして、従来使用していた状態の飽和蒸気
と異なり、その飽和蒸気の温度を超える温度に加熱され
た状態の過熱蒸気を使用するから、再生ガスのもつエネ
ルギが吸着材の加熱に使用されても、再生ガスは降温す
るだけであり、沸点以下に冷却されてしまうことが抑制
される。In this example, unlike the conventionally used saturated steam, superheated steam heated to a temperature exceeding the temperature of the saturated steam is used as the regeneration gas to desorb CFCs from the adsorbent. Therefore, even if the energy of the regeneration gas is used to heat the adsorbent, the temperature of the regeneration gas only decreases, and cooling below the boiling point is suppressed.
このため、再生ガス中に含まれる水分の凝縮が防止され
、再生ガスの通過があっても蒸気の状態の濃度は高く、
湿気によって吸着材が湿ってしまう１７−
こ七が抑制される。For this reason, condensation of moisture contained in the regeneration gas is prevented, and even if the regeneration gas passes through, the concentration in the vapor state is high.
This prevents the adsorbent from becoming damp due to moisture.
また、本実施例においては、フロン含有空気を冷却器１
７により冷却した後、各吸着塔１，２内に導入している
から、フロン含有空気中に不可避的に含まれている水分
がこの冷却器１７により除去された後、吸着塔１，２内
に導入されるので、このフロン含有空気中の水分により
吸着材に水分が付着してしまうことが防止される。In addition, in this embodiment, the fluorocarbon-containing air is transferred to the cooler 1.
7, the air is introduced into each adsorption tower 1, 2. Therefore, after the moisture inevitably contained in the fluorocarbon-containing air is removed by this cooler 17, the air is introduced into each adsorption tower 1, 2. This prevents moisture from adhering to the adsorbent due to the moisture in this Freon-containing air.
このように吸着材に対する水分の付着が抑制される結果
、フロン脱着工程において吸着材の加熱に使用されるべ
き再生ガスのエネルギが水分の加熱に使用されることな
く、吸着材の加熱に有効に使用される。As a result of suppressing the adhesion of moisture to the adsorbent in this way, the energy of the regeneration gas that should be used to heat the adsorbent in the CFC desorption process is not used to heat the moisture and is effectively used to heat the adsorbent. used.
従って、本実施例によれば、極めて高効率でフロンを回
収することができる。Therefore, according to this embodiment, fluorocarbons can be recovered with extremely high efficiency.
また、フロン含有空気中にアルコールが含まれている場
合には、前述のごとく、このフロン含有空気を吸着塔１
，２に導入する前に冷却しているので、水分と共に、こ
のアルコールも除去され、分離器１５内にアルコールが
混入する場合に比し１８−
て排水処理が容易になる。In addition, if alcohol is contained in the air containing fluorocarbons, as mentioned above, the air containing fluorocarbons is transferred to the adsorption tower.
Since the water is cooled before being introduced into the separator 15, this alcohol is also removed along with the moisture, making wastewater treatment easier than when alcohol is mixed into the separator 15.
次に、本発明を４塔式のフロン回収装置に適用した第２
の実施例について説明する。第２図は本発明の第２の実
施例に係る溶剤回収装置を示すブロック図である。４基
の吸着塔２１，２２．２３゜２４はいずれもフロンに対
する吸着能を有する吸着材を収納している。そして、吸
着塔２１，２２゜２３．２４には配管３６と、夫々配管
３６ａ、３６ ｂ、 ３６ ｃ、 ３８ ｄとを介して
フロン含有空気が導入される。この配管３６には冷却器
４０とブロア４１とが介装されている。また、吸着塔２
１゜２２．２３．２４からは夫々配管２６ ａｌ ２
ｅ ｂ＋２６ｃ、２６ｄと、配管２６とを介して清浄
空気が排出される。Next, we will discuss a second example in which the present invention is applied to a four-column type fluorocarbon recovery device.
An example will be described. FIG. 2 is a block diagram showing a solvent recovery device according to a second embodiment of the present invention. Each of the four adsorption towers 21, 22, 23, 24 houses an adsorbent having an ability to adsorb fluorocarbons. Then, fluorocarbon-containing air is introduced into the adsorption towers 21 and 22° 23.24 via a pipe 36 and pipes 36a, 36b, 36c, and 38d, respectively. A cooler 40 and a blower 41 are installed in this pipe 36 . In addition, adsorption tower 2
From 1゜22, 23 and 24, piping 26 al 2
Clean air is discharged via e b+26c, 26d and piping 26.
一方、スーパーヒータ４３が介装された過熱蒸気供給ラ
インとしての配管２７は配管２７ ａ ＋ ２７ｂ、
２７ｃ、２７ｄを介して夫々吸着塔２１゜２２．２３．
２４に連結されている。この過熱蒸気は吸着塔２１，２
２，２３．２４を通流してフロンを脱着し、この脱着フ
ロンを含有する過熱蒸気は配管２８ａ、２８ｂ、２８ｃ
、２８ｃｌを介して排出される。そして、このフロン濃
縮過熱蒸気は配管２８を介してコンデンサ３２に供給さ
れ、コンデンサ３２にて冷却凝縮された後のフロン液及
び水はセパレータ３３にに供給されて水とフロン液とが
比重分離される。そして、水はセパレータ３３から排出
され、フロン液は回収タンク３４に集められる。セパレ
ータ３３及び回収タンク３４内の蒸発フロンは配管３０
を介してバッファタンク３５に一旦集められ、このバッ
ファタンク３５から配管３１を介して配管３６における
ブロア４１の上流側に返戻される。On the other hand, the pipe 27 as a superheated steam supply line in which the super heater 43 is installed is pipe 27 a + 27 b,
Adsorption towers 21°, 22.23.
It is connected to 24. This superheated steam is transferred to adsorption towers 21 and 2.
The superheated steam containing the desorbed fluorocarbons is passed through the pipes 28a, 28b, 28c.
, 28cl. The fluorocarbon concentrated superheated steam is then supplied to the condenser 32 via the pipe 28, and the fluorocarbon liquid and water after being cooled and condensed in the condenser 32 are supplied to the separator 33, where the water and the fluorocarbon liquid are separated by specific gravity. Ru. The water is then discharged from the separator 33 and the fluorocarbon liquid is collected in the recovery tank 34. The evaporative freon in the separator 33 and the recovery tank 34 is connected to the pipe 30.
It is once collected in the buffer tank 35 via the buffer tank 35 and returned to the upstream side of the blower 41 in the pipe 36 via the pipe 31.
また、空気は配管２５及び配管２５ ａ ＋ ２５ ｂ
＋２５ｃを介して夫々吸着塔２５ａ、２５ｂ、２５ｃ
＋ ２５ ｄに供給される。この空気は各吸着塔を通
流したのち、配管３８ ａ、 ３８ ｂ、 ３８
ｃ、 ３８ｄを介して排出され、更に配管３８を介し
てヒータ４４に供給される。ヒータ４４はこの配管３８
から供給された空気を加熱し、この加熱空気は配管３７
及び配管３７ａ＋ ３７ｂ＋ ３７ｃ＋ ３７ｄを介し
て夫々吸着塔２１，２２．２３．２４に供給される。In addition, air is connected to pipe 25 and pipe 25 a + 25 b
adsorption towers 25a, 25b, 25c respectively via +25c
+25 d. After this air flows through each adsorption tower, it is transferred to piping 38a, 38b, 38
c and 38d, and is further supplied to the heater 44 via the pipe 38. The heater 44 is connected to this pipe 38
The heated air is heated through the pipe 37.
and are supplied to adsorption towers 21, 22, 23, and 24 via piping 37a+ 37b+ 37c+ 37d, respectively.
各配管２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ及び配管２Ｃ３
ａ、２６ｂ、２８ｃ、２６ｄ及び配管２７ａ、 ２７
ｂ、 ２７ ｃ、 ２７ ｄ及び配管２８ａ、２８
ｂ、２８ｃ、２８ｄ及び配管３８ ａ、 ３６ ｂ。Each pipe 25a, 25b, 25c, 25d and pipe 2C3
a, 26b, 28c, 26d and piping 27a, 27
b, 27 c, 27 d and piping 28a, 28
b, 28c, 28d and piping 38a, 36b.
３Ｅ３ｃ、３６ｄ及び配管３８ ａ 、３８ ｂ ＋
３８ ｃ ＋３８ｄ及び配管３７ａ、３７ｂ、３７ｃ
、３７ｄには、夫々開閉弁Ｖ ２１１ Ｖ ２２１ Ｖ
２３１ Ｖ ２４及び開閉弁Ｖ ２５１ Ｖ ２Ｂ１
Ｖ ２７１ Ｖ ２８及びＶ２９１ Ｖ３ｏ＋ Ｖ３
１１ Ｖ３２及び開閉弁Ｖ ３３１ Ｖ ３４１ Ｖ
３５１ Ｖ ３Ｂ及び開閉弁Ｖ ３７１ Ｖ ３８１
Ｖ ３９１ Ｖ ４０及び開閉弁ｖ４１゜Ｖ ４２Ｔ
Ｖ ４３１ Ｖ ４４及び開閉弁Ｖ ４５１ Ｖ ４６
１ Ｖ ４７１Ｖ４８が介装されていて、いずれもこれ
らの配管を介してのガスの通流を制御するようになって
いる。3E3c, 36d and piping 38 a, 38 b +
38c +38d and piping 37a, 37b, 37c
, 37d are on-off valves V 211 V 221 V, respectively.
231 V 24 and on-off valve V 251 V 2B1
V271 V28 and V291 V3o+ V3
11 V32 and on-off valve V 331 V 341 V
351 V 3B and on-off valve V 371 V 381
V 391 V 40 and on-off valve v41°V 42T
V 431 V 44 and on-off valve V 451 V 46
1 V 471V48 are interposed, both of which control the flow of gas through these pipes.
次に、このように構成された溶剤回収装置の動作につい
て説明する。Next, the operation of the solvent recovery device configured as described above will be explained.
先ず、第１の吸着塔２１が吸着工程、第２の吸着塔２２
が脱着工程、第３の吸着塔２３が乾燥工程、第４の吸着
塔２４が冷却工程を実施するもの２１−
とする。開閉弁Ｖ ３７１ Ｖ２５１ Ｖ３ｏ＋ Ｖ３
４＋ Ｖ２４＋Ｖ ４４１ Ｖ ４７１ Ｖ ２７を開
、その他の開閉弁は閉にする。ブロア４１，４２及びヒ
ータ４３，４４は常に稼働の状態にする。そうすると、
処理すべきフロン含有空気は冷却器４０により冷却され
て、フロン含有空気中に不可避的に含まれる水分が除去
されると共に、フロン含有空気が冷却される。これによ
り、吸着材における吸着負荷が軽減される。First, the first adsorption tower 21 undergoes an adsorption process, and the second adsorption tower 22
Assume that 21- carries out the desorption process, the third adsorption tower 23 carries out the drying process, and the fourth adsorption tower 24 carries out the cooling process. Open/close valve V 371 V251 V3o+ V3
4+ V24+V 441 V 471 Open V 27 and close the other on-off valves. The blowers 41, 42 and heaters 43, 44 are always kept in operation. Then,
The fluorocarbon-containing air to be treated is cooled by the cooler 40, and moisture inevitably contained in the fluorocarbon-containing air is removed, and the fluorocarbon-containing air is also cooled. This reduces the adsorption load on the adsorbent.
また、アルコールを含有するフロン含有空気の場合には
、アルコールが水と共に除去される。この除湿及び冷却
されたフロン含有空気は第１の吸着塔２１を通流してそ
の含有フロンが第１の吸着塔２１内の吸着材により吸着
除去される。得られた清浄空気は配管２６を介して大気
中に排出される。Furthermore, in the case of air containing fluorocarbons containing alcohol, the alcohol is removed together with water. This dehumidified and cooled air containing fluorocarbons flows through the first adsorption tower 21, and the fluorocarbons contained therein are adsorbed and removed by the adsorbent in the first adsorption tower 21. The obtained clean air is discharged to the atmosphere via piping 26.
一方、蒸気はスーパーヒータ４３により加熱されて過熱
蒸気となった後、第２の吸着塔２２を通過する。この過
熱蒸気により吸着材が加熱され、吸着材は従前の工程で
吸着していたフロンを脱着する。脱着されたフロンは過
熱蒸気と共にコンデンサ３２に送給され、このコンデン
サ３２により２２−
冷却されてフロン及び水が凝縮する。得られた水及びフ
ロン液はセパレータ３３により水とフロン液とに比重分
離され、フロン液は回収タンク３４内に回収される。セ
パレータ３３及び回収タンク３４の蒸発フロンは配管３
０及び３１を介して配管３６におけるブロア４１の上流
側に返戻され、処理すべきフロン含有空気と共に第１の
吸着塔２１に供給され、再度吸着処理される。On the other hand, the steam is heated by the super heater 43 to become superheated steam, and then passes through the second adsorption tower 22 . The adsorbent is heated by this superheated steam, and the adsorbent desorbs the fluorocarbons that were adsorbed in the previous process. The desorbed fluorocarbons are sent to the condenser 32 together with superheated steam, and are cooled by the condenser 32 to condense the fluorocarbons and water. The obtained water and fluorocarbon liquid are separated by specific gravity into water and fluorocarbon liquid by a separator 33, and the fluorocarbon liquid is recovered in a recovery tank 34. The evaporative freon in the separator 33 and the recovery tank 34 is connected to the pipe 3
The air is returned to the upstream side of the blower 41 in the piping 36 via lines 0 and 31, and is supplied to the first adsorption tower 21 together with the fluorocarbon-containing air to be treated, where it is adsorbed again.
一方、常温の空気はブロア４２により本装置内に送り込
まれ、配管２５ｄを介して第４の吸着塔２４内の吸着材
を通流する。これにより、この空気は吸着塔２４内の吸
着材を冷却する。この冷却後の空気は、ヒータ４４に供
給され、このヒータ４４により加熱された後、配管３７
，３７ｃを介して第３の吸着塔２３に供給される。この
場合に、第４の吸着塔２４内の吸着材は従前の乾燥工程
でヒータ４４により加熱された高温の空気の通流を受け
て加熱されているので比較的高温であり、この高温の吸
着材を通流した後の乾燥後空気は昇温しでいるため、ヒ
ータ４４の出力は小さくても足りる。このようにして、
第３の吸着塔２３内の吸着材が熱風の通過を受けて乾燥
される。この第３の吸着塔２３から排出された乾燥後空
気は配管２６ｃ、２（３を介して第１の吸着塔２１から
排出された清浄空気と共に、大気に排出される。On the other hand, room temperature air is sent into the apparatus by the blower 42 and flows through the adsorbent in the fourth adsorption tower 24 via the pipe 25d. This air thereby cools the adsorbent within the adsorption tower 24. This cooled air is supplied to the heater 44, heated by the heater 44, and then
, 37c to the third adsorption tower 23. In this case, the adsorbent in the fourth adsorption tower 24 has a relatively high temperature because it has been heated by the flow of high-temperature air heated by the heater 44 in the previous drying process, and this high-temperature adsorption Since the temperature of the dried air after passing through the material remains elevated, the output of the heater 44 may be small. In this way,
The adsorbent in the third adsorption tower 23 is dried by passing hot air through it. The dried air discharged from the third adsorption tower 23 is discharged to the atmosphere together with the clean air discharged from the first adsorption tower 21 via the pipes 26c, 2 (3).
上述のごとく、第１の吸着塔２１は吸着、第２の吸着塔
２２は脱着、第３の吸着塔２３は乾燥、第４の吸着塔２
４は冷却の各工程を実施している。As mentioned above, the first adsorption tower 21 is for adsorption, the second adsorption tower 22 is for desorption, the third adsorption tower 23 is for drying, and the fourth adsorption tower 2 is for desorption.
4 is performing each step of cooling.
そして、一定の時間が経過した後、第１の吸着塔２１は
脱着、第２の吸着塔２２は乾燥、第３の吸着塔２３は冷
却、第４の吸着塔２４は吸着の各工程を実施し、これら
の各工程を交互に繰り返すことにより、フロン含有空気
を連続的に濃縮し、フロンを連続的に回収する。After a certain period of time has passed, the first adsorption tower 21 performs desorption, the second adsorption tower 22 performs drying, the third adsorption tower 23 performs cooling, and the fourth adsorption tower 24 performs adsorption. By repeating these steps alternately, the fluorocarbon-containing air is continuously concentrated and the fluorocarbons are continuously recovered.
特定の吸着塔、例えば吸着塔２１について着目してみる
と、この吸着塔２１はフロン含有空気の通流によるフロ
ン吸着、過熱蒸気の通流によるフロン脱着、ヒータ４４
により加熱された空気の通流による乾燥、外部から導入
された空気の通流による冷却の４工程をこの順に繰り返
し受ける。Focusing on a specific adsorption tower, for example, the adsorption tower 21, this adsorption tower 21 adsorbs fluorocarbons by passing fluorocarbon-containing air, desorbs fluorocarbons by passing superheated steam, and has a heater 44.
Four steps are repeated in this order: drying by passing heated air through, and cooling by passing air introduced from the outside.
即ち、吸着工程において冷却除湿されたフロン含有空気
が通流することによりその含有フロンを吸着除去し、次
いで過熱蒸気の通流を受けて吸着材が加熱され、フロン
を脱着する。この場合に、吸着材は過熱蒸気の通流によ
り加熱されるため、過熱蒸気の熱エネルギの一部が吸着
材の加熱に使用されても、この過熱蒸気は降温するだけ
であり、凝縮エネルギが奪われて水が吸着材表面に凝縮
してしまうことは抑制される。しかしながら、過熱蒸気
の通流によっても、若干の水分は吸着材に付着する。な
お、脱着フロンは濃縮フロン過熱蒸気となってコンデン
サ３２に送給され、フロンが回収される。That is, in the adsorption step, air containing fluorocarbons that has been cooled and dehumidified is passed through the adsorbent to adsorb and remove the fluorocarbons, and then superheated steam is passed through the adsorbent to heat the adsorbent and desorb the fluorocarbons. In this case, the adsorbent is heated by the flow of superheated steam, so even if some of the thermal energy of the superheated steam is used to heat the adsorbent, the temperature of this superheated steam only decreases, and the condensation energy is This prevents water from condensing on the surface of the adsorbent. However, even with the passage of superheated steam, some moisture adheres to the adsorbent. Note that the desorbed fluorocarbon becomes concentrated fluorocarbon superheated vapor and is sent to the condenser 32, where the fluorocarbon is recovered.
その後、吸着塔２１内の吸着材はヒータ４４からの高温
の空気の通流を受けて、従前の脱着工程にて水分が若干
付着していた吸着材が乾燥される。Thereafter, the adsorbent in the adsorption tower 21 receives a flow of high-temperature air from the heater 44, and the adsorbent to which some moisture has adhered in the previous desorption process is dried.
この乾燥用ガスは他の吸着塔の冷却に使用されたガスで
あり、比較的高い温度を有しているものをヒータ４４に
より更に加熱して乾燥用ガスとしたものである。This drying gas is a gas used for cooling other adsorption towers, and has a relatively high temperature, and is further heated by the heater 44 to become the drying gas.
２５−
この吸着材は次いで常温の空気の通流を受けて冷却され
、吸着効率が高い状態に回復する。25- The adsorbent is then cooled by a flow of room-temperature air, restoring its adsorption efficiency to a high state.
このようにして第１の吸着塔２１において吸着、脱着、
乾燥及び冷却の工程をこの順に繰り返し、他の吸着塔に
おいては、第２の吸着塔２２が１／４周期遅れて同一の
工程を繰り返し、第３の吸着塔２３が１／２周期遅れて
同一の工程を繰り返し、更に第４の吸着塔２４が３／４
周期遅れて同一の工程を繰り返す。これにより、連続的
に溶剤含有空気から溶剤が濃縮されて回収される。In this way, adsorption, desorption,
The drying and cooling steps are repeated in this order, and in the other adsorption towers, the second adsorption tower 22 repeats the same process with a delay of 1/4 period, and the third adsorption tower 23 repeats the same process with a delay of 1/2 period. The process is repeated until the fourth adsorption tower 24 reaches 3/4
Repeat the same process with a period delay. As a result, the solvent is continuously concentrated and recovered from the solvent-containing air.
本実施例も第１の実施例と同様の効果を奏するのに加え
、各工程を並行して実施するので、吸着時間が短くなり
、このため、各吸着塔に収納すべき吸着材量が少なくな
る。In addition to having the same effect as the first example, this example also shortens the adsorption time because each step is carried out in parallel, and therefore the amount of adsorbent to be stored in each adsorption tower is reduced. Become.
本発明においては、蒸気を更に加熱して沸点よりも更に
高い温度の過熱蒸気を生成するために、スーパーヒータ
１０，４３を使用する。このスーパーヒータとしては、
電気ヒータを使用してもよいし、元圧の蒸気と使用圧の
蒸気との間の熱交換を利用して蒸気を加熱するものを使
用してもよい。In the present invention, superheaters 10 and 43 are used to further heat the steam to generate superheated steam at a temperature higher than the boiling point. As this super heater,
An electric heater may be used, or one that heats the steam by utilizing heat exchange between the steam at the original pressure and the steam at the working pressure may be used.
２６一
即ち、例えば、元圧（４ｋｇｆ／ａｍ２）の蒸気は沸点
力月５０°Ｃであり、従って飽和蒸気の温度は１５０℃
である。一方、使用圧（０，２ｋｇｆ／ｃｍ２）の蒸気
は飽和蒸気の温度で１０５°Ｃである。従って、元圧の
蒸気と使用圧の蒸気との熱交換により使用圧の蒸気を１
５０℃の過熱状態に加熱することができる。しかも、こ
の熱交換においては、元圧の蒸気が水に凝縮するときに
発生する凝縮熱の方が、１０５°Ｃの蒸気を１５０℃に
加熱するのに必要な熱量よりも大きいので、との元圧の
蒸気の凝縮熱を加熱源として利用することにより容易に
蒸気を過熱状態に加熱することができる。261 That is, for example, steam at the original pressure (4 kgf/am2) has a boiling point of 50°C, so the temperature of saturated steam is 150°C.
It is. On the other hand, steam at working pressure (0.2 kgf/cm2) has a saturated steam temperature of 105°C. Therefore, by heat exchange between the steam at the original pressure and the steam at the working pressure, the steam at the working pressure is reduced to 1
It can be heated to a superheat state of 50°C. Moreover, in this heat exchange, the heat of condensation generated when the steam at the original pressure condenses into water is greater than the amount of heat required to heat the steam at 105°C to 150°C. The steam can be easily heated to a superheated state by using the heat of condensation of the steam at the original pressure as a heating source.
吸着材としては、ハニカム形状の成形体又はペレット状
のもの等、種々の活性炭を使用することができる。しか
し、ハニカム成形体の方がその内部を含めて全域でフロ
ンの吸脱着表面を有するので、吸脱着効率がよくペレッ
トより好ましい。ハニカム形状の成形体として、かさ密
度が０．２Ｋｇ／ノ、３００セル／Ｉｎ２活性炭からな
る吸着体は、過熱蒸気の通流によっても、何ら不具合の
ない効果を得ることができた。As the adsorbent, various activated carbons such as honeycomb shaped bodies or pellets can be used. However, since the honeycomb formed body has a surface for adsorbing and desorbing fluorocarbons throughout the entire area including the inside thereof, the honeycomb body has a better adsorption and desorption efficiency and is preferable to pellets. As a honeycomb-shaped molded body, the adsorbent made of In2 activated carbon with a bulk density of 0.2 Kg/no and 300 cells/In2 was able to obtain effects without any problems even when superheated steam was passed through it.
［発明の効果］
本発明によれば、吸着材からの溶剤の脱着に過熱蒸気を
使用し、溶剤含有ガスを予め除湿した後各吸着塔に供給
するから、水蒸気を使用するにも拘らず、吸着材に対す
る水分の付着を抑制することができ、その結果再生用過
熱蒸気のもつエネルギが吸着材の過熱に有効に使用され
て脱着効率が改善されると共に、酸の発生を防止するこ
とができる。[Effects of the Invention] According to the present invention, superheated steam is used to desorb the solvent from the adsorbent, and the solvent-containing gas is dehumidified beforehand before being supplied to each adsorption tower. It is possible to suppress the adhesion of moisture to the adsorbent, and as a result, the energy of the superheated steam for regeneration is effectively used to superheat the adsorbent, improving desorption efficiency and preventing the generation of acids. .
また、アルコール含有溶剤の場合には、吸着塔への導入
前に溶剤含有ガスを除湿する際に、このアルコールも除
去されるため、回収溶剤液中にアルコールが混入するこ
とが防止され、排水処理を簡素化することができる。In addition, in the case of alcohol-containing solvents, this alcohol is also removed when the solvent-containing gas is dehumidified before being introduced into the adsorption tower, which prevents alcohol from being mixed into the recovered solvent solution and prevents it from entering the wastewater treatment process. can be simplified.
更に、脱着効率の改善により、溶剤の回収効率が向上し
、回収溶剤の品質が改善される。Furthermore, improved desorption efficiency improves solvent recovery efficiency and improves the quality of recovered solvent.
第１図は本発明の第１の実施例に係る溶剤回収装置を示
すブロック図、第２図は同じくその第２の実施例に係る
溶剤回収装置を示すブロック図、第３図は吸着材の脱着
曲線を示すグラフ図、第４図はフロン除去率に対する水
分の影響を示すグラフ図である。
１．２，２１，２２．２３，２４；吸着塔、１０．４３
；スーパーヒータ、１１，４４；ヒータ、１４．３２；
コンデンサ、４０；冷却器２９−FIG. 1 is a block diagram showing a solvent recovery device according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing a solvent recovery device according to the second embodiment, and FIG. FIG. 4 is a graph showing the desorption curve, and FIG. 4 is a graph showing the influence of moisture on the Freon removal rate. 1.2, 21, 22. 23, 24; adsorption tower, 10.43
;Super heater, 11,44;Heater, 14.32;
Condenser, 40; cooler 29-
Claims (6)
、回収処理すべき溶剤含有ガスを除湿する除湿手段と、
この除湿手段による除湿後の溶剤含有ガスを前記吸着塔
に通流させてその含有溶剤を前記吸着材により吸着除去
し清浄ガスを得る溶剤含有ガス供給手段と、前記吸着塔
に過熱蒸気を通流させて前記吸着材から溶剤を脱着させ
吸着材を再生する過熱蒸気供給手段と、前記吸着塔から
排出された脱着溶剤を含有する排出ガスを冷却し溶剤を
凝縮して液化する冷却凝縮手段と、前記吸着塔に前記溶
剤含有ガスと前記過熱蒸気とを選択的に導入する選択導
入手段とを有すことを特徴とする溶剤回収装置。(1) An adsorption tower containing an adsorbent whose main component is activated carbon, and a dehumidifying means for dehumidifying the solvent-containing gas to be recovered and processed;
a solvent-containing gas supply means for supplying clean gas by passing the solvent-containing gas dehumidified by the dehumidifying means through the adsorption tower and removing the contained solvent by adsorption by the adsorbent; and passing superheated steam through the adsorption tower. superheated steam supply means for desorbing the solvent from the adsorbent and regenerating the adsorbent; cooling and condensing means for cooling the exhaust gas containing the desorption solvent discharged from the adsorption tower and condensing the solvent to liquefy it; A solvent recovery device comprising selective introduction means for selectively introducing the solvent-containing gas and the superheated steam into the adsorption tower.
冷却する乾燥ガス供給手段を有し、前記選択導入手段は
前記吸着塔に対する前記過熱蒸気の導入の後に前記溶剤
含有ガスの導入に先立ち前記吸着塔に前記乾燥ガスを導
入することを特徴とする請求項１に記載の溶剤回収装置
。(2) It has a dry gas supply means for passing dry gas through the adsorption tower to cool the adsorbent, and the selective introduction means introduces the solvent-containing gas after the superheated steam is introduced into the adsorption tower. 2. The solvent recovery apparatus according to claim 1, wherein the drying gas is introduced into the adsorption tower prior to the drying.
手段は一の吸着塔に対する前記溶剤含有ガスの導入と、
他の吸着塔に対する前記過熱蒸気の導入及びそれに続く
前記乾燥ガスの導入とを選択的に且つ交互に実施するこ
とを特徴とする請求項２に記載の溶剤回収装置。(3) Two adsorption towers are installed, and the selective introduction means introduces the solvent-containing gas into one adsorption tower;
3. The solvent recovery apparatus according to claim 2, wherein the introduction of the superheated steam and the subsequent introduction of the dry gas to other adsorption towers are selectively and alternately carried out.
冷却する冷却ガス供給手段を有し、前記選択導入手段は
前記吸着塔に対する前記乾燥ガスの導入の後に前記溶剤
含有ガスの導入に先立ち前記吸着塔に前記冷却ガスを導
入することを特徴とする請求項２に記載の溶剤回収装置
。(4) It has a cooling gas supply means for passing cooling gas through the adsorption tower to cool the adsorbent, and the selective introduction means introduces the solvent-containing gas after the drying gas is introduced into the adsorption tower. 3. The solvent recovery apparatus according to claim 2, wherein the cooling gas is introduced into the adsorption tower prior to the above.
手段は一の吸着塔に対する前記溶剤含有ガスの導入と、
他の吸着塔に対する前記過熱蒸気の導入及びそれに続く
前記乾燥ガスの導入及びそれに続く前記冷却ガスの導入
とを選択的に且つ交互に実施することを特徴とする請求
項４に記載の溶剤回収装置。(5) Two adsorption towers are installed, and the selective introduction means introduces the solvent-containing gas into one adsorption tower;
The solvent recovery apparatus according to claim 4, wherein the introduction of the superheated steam, the subsequent introduction of the drying gas, and the subsequent introduction of the cooling gas to other adsorption towers are selectively and alternately carried out. .
手段は前記各吸着塔に対し、溶剤含有ガスの導入、過熱
蒸気の導入、乾燥ガスの導入及び冷却ガスの導入をこの
順に且つ選択的に実施することを特徴とする請求項４に
記載の溶剤回収装置。(6) Four adsorption towers are installed, and the selective introduction means introduces a solvent-containing gas, superheated steam, drying gas, and cooling gas into each adsorption tower in this order. The solvent recovery device according to claim 4, characterized in that the solvent recovery device is selectively implemented.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1333414A JPH03193113A (en) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | Solvent recovery apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1333414A JPH03193113A (en) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | Solvent recovery apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03193113A true JPH03193113A (en) | 1991-08-22 |
Family
ID=18265846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1333414A Pending JPH03193113A (en) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | Solvent recovery apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03193113A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011125800A (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Morikawa Sangyo Kk | Method for desorbing/recovering organic solvent adsorbed on activated carbon |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6218207A (en) * | 1985-07-16 | 1987-01-27 | 杉本 哲也 | Aggregate wood, surface thereof is colored |
| JPS6324734A (en) * | 1986-07-17 | 1988-02-02 | Nec Corp | Clock reproducing circuit |
| JPS63147517A (en) * | 1986-09-16 | 1988-06-20 | オットー、エコ−テヒ、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー、コマンディットゲゼルシャフト | Method and device for separating and recovering volatile solvetn |
-
1989
- 1989-12-22 JP JP1333414A patent/JPH03193113A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6218207A (en) * | 1985-07-16 | 1987-01-27 | 杉本 哲也 | Aggregate wood, surface thereof is colored |
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|---|---|---|---|---|
| JP2011125800A (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Morikawa Sangyo Kk | Method for desorbing/recovering organic solvent adsorbed on activated carbon |
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