JPH03190077A - Corona discharger - Google Patents
Corona dischargerInfo
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- JPH03190077A JPH03190077A JP33005489A JP33005489A JPH03190077A JP H03190077 A JPH03190077 A JP H03190077A JP 33005489 A JP33005489 A JP 33005489A JP 33005489 A JP33005489 A JP 33005489A JP H03190077 A JPH03190077 A JP H03190077A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、オゾン発生器、イオン発生器等に使用される
コロナ放電器に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a corona discharger used in ozone generators, ion generators, etc.
[従来の技術]
従来より、セラミック等のw4電体基板を介する一対の
電極間に、高周波高電圧を印可するコロナ放電器が知ら
れている(例えば、特開昭6l−231573rコロナ
放電器」)。[Prior Art] Corona dischargers that apply high frequency and high voltage between a pair of electrodes via a W4 electric substrate made of ceramic or the like have been known (for example, JP-A-6L-231573R corona discharger). ).
このコロナ放電器Pは、第5図の概略断面図に示される
ように、セラミック等からなる誘電体基板P1と、該誘
電体基板21表面に設けられた電極P2と、該電極P2
に対向するよう前記誘電体基板PIに埋設された電極P
3とから構成される。As shown in the schematic sectional view of FIG. 5, this corona discharger P includes a dielectric substrate P1 made of ceramic or the like, an electrode P2 provided on the surface of the dielectric substrate 21, and an electrode P2.
An electrode P embedded in the dielectric substrate PI so as to face the
It consists of 3.
そして、電極P2.P3間に、高周波高電圧源P4を用
埴て高周波高電圧を印可することにより、電極P2近傍
にコロナ放電Cを得る。And electrode P2. During period P3, a high frequency high voltage is applied using a high frequency high voltage source P4 to obtain a corona discharge C near the electrode P2.
[発明が解決しようとする課題]
しかし、この従来のコロナ放電器Pには、以下のような
問題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] However, this conventional corona discharger P had the following problems.
(1)電極P2近傍にはコロナ放電Cにともないオゾン
が発生するが、このオゾンにより、電極P2と電源P4
からのリード線との接続部分が腐食し、接続不良となる
虞がある。(1) Ozone is generated near the electrode P2 due to the corona discharge C, but this ozone causes the electrode P2 and the power source P4 to
There is a risk that the connection part with the lead wire from the inside will corrode, resulting in a poor connection.
(2)また、誘電体基板Pl内に埋設される電極P3は
図示されないスルーホールを用いて、電源P4からのリ
ード線と結線する必要があるが、このスルーホール内で
放電を生じるなどにより劣化する。(2) In addition, the electrode P3 buried in the dielectric substrate Pl needs to be connected to the lead wire from the power supply P4 using a through hole (not shown), but it deteriorates due to discharge occurring in this through hole. do.
[11題を解決するための手段]
本発明の要旨は、例えば第1図の概略構成を示す断面図
に示されるように、
誘電体基板H1と、
該誘電体基板H1の表面に設けられた放電極H2と、
前記誘電体基板H1を介して放電極H2と対向し、かつ
高周波高電圧電源H3に接続された少なくとも一対の電
極H4,H5と
を備えたことを特徴とするコロナ放電器Hにある。[Means for Solving Problem 11] The gist of the present invention is, as shown, for example, in the cross-sectional view showing the schematic configuration of FIG. A corona discharger H comprising: a discharge electrode H2; and at least a pair of electrodes H4, H5 facing the discharge electrode H2 via the dielectric substrate H1 and connected to a high frequency high voltage power source H3. It is in.
[作用]
本発明のコロナ放電器Hの動作原理については、まだ十
分解明されていないが、下記の通りであると推定される
。[Operation] Although the operating principle of the corona discharger H of the present invention has not yet been fully elucidated, it is presumed to be as follows.
誘電体基板H1中の一対の電極H4,H5に高周波高電
圧を印加すると、これらの電極)(4,H5間に電界が
生じる。When a high frequency high voltage is applied to a pair of electrodes H4 and H5 in the dielectric substrate H1, an electric field is generated between these electrodes (4 and H5).
この電界中に導体あるいは半導体である放電極H2をお
くと、電界は放電極H2に集中し、この放電極H2と誘
電体基板H1との間には大きな電位差を生じる。When a discharge electrode H2 made of a conductor or a semiconductor is placed in this electric field, the electric field is concentrated on the discharge electrode H2, and a large potential difference is generated between the discharge electrode H2 and the dielectric substrate H1.
この電位差によって、放電極H2にはコロナ放電Cが生
じる。This potential difference causes corona discharge C to occur at the discharge electrode H2.
[実施例コ 本発明の詳細な説明する。[Example code] The present invention will be described in detail.
第2図は本実施例のコロナ放電器1の構成を示す部分破
断図である。なお、図においては、説明を容易とするた
めに、任意の縮尺としている。FIG. 2 is a partially cutaway view showing the structure of the corona discharger 1 of this embodiment. Note that in the figures, an arbitrary scale is used for ease of explanation.
本コロナ放電器1は、セラミック製の誘電体基板2と、
該誘電体基板2上に設けられた面状の金属製電極3と、
前記誘電体基板2内に埋設された一対の板状電極4,5
とを有する。この板状電極4.5は、各々図示されない
スルーホールを介して、図示されない高周波高圧電源に
接続される。This corona discharger 1 includes a dielectric substrate 2 made of ceramic,
a planar metal electrode 3 provided on the dielectric substrate 2;
A pair of plate-shaped electrodes 4 and 5 embedded in the dielectric substrate 2
and has. The plate-like electrodes 4.5 are connected to a high-frequency, high-voltage power source (not shown) through through holes (not shown).
本コロナ放電器lは、例えば、以下の方法で製造される
。This corona discharger 1 is manufactured, for example, by the following method.
(1)誘電体基板2の下部となるグリーンシート上に板
状電極4,5となるパターンをスクリーン印刷等によっ
て形成する。(1) A pattern that will become the plate electrodes 4 and 5 is formed on a green sheet that will be the lower part of the dielectric substrate 2 by screen printing or the like.
(2)このパターン上に誘電体基板2の上部となるグリ
ーンシートを載置する。(2) A green sheet that will become the upper part of the dielectric substrate 2 is placed on this pattern.
(3)このグリーンシート上に放電極3となるパターン
をスクリーン印刷等によって形成する。(3) A pattern that will become the discharge electrode 3 is formed on this green sheet by screen printing or the like.
(4)この成形体を焼成する。(4) Fire this molded body.
このようにして、製造された本コロナ放電器1の板状電
橋4,5間に、I K)Iz、 5 KVの高周波高
電圧を印可したところ%5pl)lのオゾンが安定的に
得られた。When a high frequency high voltage of 5 KV was applied between the plate bridges 4 and 5 of the corona discharger 1 manufactured in this manner, ozone of %5 pl)l was stably obtained. It was done.
本コロナ放電器lは、放電極3に高周波高電圧を印可す
る必要が無く、また接地する必要も無いので、構成が容
易になる。This corona discharger 1 does not need to apply a high frequency high voltage to the discharge electrode 3, nor does it need to be grounded, so it is easy to configure.
また、放電極3にリード線を接続する必要が無いため、
端子の腐食等の問題が無い。In addition, since there is no need to connect a lead wire to the discharge electrode 3,
There are no problems such as corrosion of terminals.
そして、電気的にみて対称な構造であるため、電気分解
の問題がなく耐久性を高めることが容易である。Since the structure is electrically symmetrical, there is no problem of electrolysis and durability can be easily increased.
なお、前記コロナ放電器lの誘電体基板2に埋設される
一対の板状電極4.5のパターンは、種々の形状とする
ことができ、例えば、第3図(A)〜(D)のパターン
をあげることができる。また、板状電極間に電圧を印可
して、電界を形成することができればよく、例えば、第
3図(D)のように、4枚の電極パターンから構成する
こともできる。Note that the pattern of the pair of plate-like electrodes 4.5 embedded in the dielectric substrate 2 of the corona discharger 1 can be made into various shapes, for example, as shown in FIGS. 3(A) to 3(D). I can give you a pattern. Further, it is only necessary to apply a voltage between the plate-shaped electrodes to form an electric field, and for example, as shown in FIG. 3(D), it may be constructed from four electrode patterns.
また、コロナ放電器1の誘電体基板2上に設けられる放
電極3のパターンにお〜)ても、種々の形状とすること
ができ、例えば、第4図(A)〜(D)のパターンをあ
げることができる。Furthermore, the pattern of the discharge electrode 3 provided on the dielectric substrate 2 of the corona discharger 1 can also have various shapes, for example, the patterns shown in FIGS. 4(A) to 4(D). can be given.
第4図(A)〜第4図(C)は、スクリーン印刷によっ
て形成された1枚あるいは複数枚の電極パターンから構
成される放電極3である。FIGS. 4(A) to 4(C) show a discharge electrode 3 composed of one or more electrode patterns formed by screen printing.
また、第4図(D)は、金網からなる放電極3である。Further, FIG. 4(D) shows a discharge electrode 3 made of a wire mesh.
そして、図示しないが、多孔質状等の放電極3も使用す
ることができる。金網等のように、交換が可能な形状の
ものを放電極3として使用すれば、使用によって劣化し
た放電極3のみを交換することも容易である。Although not shown, a porous discharge electrode 3 can also be used. If a replaceable shape such as a wire mesh is used as the discharge electrode 3, it is easy to replace only the discharge electrode 3 that has deteriorated due to use.
さらに、本実施例では、放電極3として、金属を使用し
ているが、金属以外の材料を使用することも可能であり
、例えば半導体等も使用可能であ放電極30体積抵抗以
外は本実施例と同様のコロナ放電器を作成し、実験した
ところ、体積抵抗がおおよそ1QIiΩ・C■以下であ
れば、十分なコロナ放電が発生することが確認された。Further, in this embodiment, metal is used as the discharge electrode 3, but it is also possible to use materials other than metal, for example, semiconductors can be used. When a corona discharger similar to the example was prepared and tested, it was confirmed that sufficient corona discharge occurs when the volume resistance is approximately 1QIiΩ·C■ or less.
本コロナ放電器lにおいて使用される誘電体基板2の材
質はセラミック以外に、通常コロナ放電器に誘電体とし
て使用されるものであれば特に限定されない。例えば、
セラミックの他に合成樹脂、ガラス等を使用できる。The material of the dielectric substrate 2 used in this corona discharger I is not particularly limited as long as it is other than ceramic and is normally used as a dielectric in corona dischargers. for example,
In addition to ceramic, synthetic resin, glass, etc. can be used.
また、コロナ放電器をオゾン発生器等として使用する場
合に、コロナ放電器にヒータを設けることが行われるが
、本実施例のコロナ放電器lにおいても、ヒータを適時
設けることができる。ヒータは、発熱体パターンとして
誘電体基板2内に、板状電極4,5とともに形成したり
、あるいは、放電極3に通電可能として、放電極3をヒ
ータとして用いることができる。Furthermore, when the corona discharger is used as an ozone generator or the like, a heater is provided in the corona discharger, and the corona discharger 1 of this embodiment can also be provided with a heater as appropriate. The heater can be formed as a heating element pattern in the dielectric substrate 2 together with the plate electrodes 4 and 5, or the discharge electrode 3 can be used as a heater by being able to conduct electricity to the discharge electrode 3.
[効果コ
以上のように、本発明のコロナ放電器Hは、放電極H2
に高周波高電圧を印可する必要が無く、また接地する必
要も無いので、構成が容易になる。[Effects] As described above, the corona discharger H of the present invention has a discharge electrode H2
Since there is no need to apply a high frequency and high voltage to the device, and there is no need to ground it, the configuration becomes easy.
また、放電極H2にリード線を接続する必要が無いため
、端子の腐食等の問題が無い。Further, since there is no need to connect a lead wire to the discharge electrode H2, there is no problem such as corrosion of the terminal.
さらに、放電極H2のみを交換することも容易である。Furthermore, it is also easy to replace only the discharge electrode H2.
そして、電気的にみて対称な構造であるため、電気分解
の問題がなく耐久性を高めることが容易である。Since the structure is electrically symmetrical, there is no problem of electrolysis and durability can be easily increased.
第1図は本発明の構成を例示する断面模式図、第2図は
本発明の一実施例を説明する部分破断斜視図、第3図(
A)〜(D)は本発明の電極のパターンの説明図、第4
図(A)〜(D)は本発明の放電極のパターンの説明図
、第6図は従来のコロナ放電器を説明する断面模式図で
ある。
1、 H,P・・・コロナ放電器
2、Hl、Pi・・・誘電体基板
8、H2,P2・・・放電極
4、 5. H4,H5,P3・・・電極H3,P4
・・・高周波高電圧電源
C・・・コロナ放電
第1図FIG. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating the configuration of the present invention, FIG. 2 is a partially cutaway perspective view illustrating an embodiment of the present invention, and FIG.
A) to (D) are explanatory diagrams of the electrode pattern of the present invention, the fourth
Figures (A) to (D) are explanatory diagrams of the pattern of the discharge electrode of the present invention, and Fig. 6 is a schematic cross-sectional diagram illustrating a conventional corona discharger. 1. H, P... corona discharger 2, Hl, Pi... dielectric substrate 8, H2, P2... discharge electrode 4, 5. H4, H5, P3... Electrode H3, P4
...High frequency high voltage power supply C...Corona discharge Figure 1
Claims (1)
基板を介して放電極と対向し、かつ高周波高電圧電源に
接続された少なくとも一対の電極と を備えたことを特徴とするコロナ放電器。[Scope of Claims] A dielectric substrate, a discharge electrode provided on the surface of the dielectric substrate, and at least one pair of discharge electrodes facing the discharge electrode via the dielectric substrate and connected to a high frequency high voltage power source. A corona discharger characterized by comprising an electrode.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33005489A JPH03190077A (en) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | Corona discharger |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33005489A JPH03190077A (en) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | Corona discharger |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5340354A Division JP2699143B2 (en) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | Ozone generator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03190077A true JPH03190077A (en) | 1991-08-20 |
Family
ID=18228265
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33005489A Pending JPH03190077A (en) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | Corona discharger |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03190077A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5407639A (en) * | 1991-10-14 | 1995-04-18 | Toto, Ltd. | Method of manufacturing a corona discharge device |
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JPS6216962B2 (en) * | 1978-12-29 | 1987-04-15 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | |
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JPS63153162A (en) * | 1986-12-17 | 1988-06-25 | Canon Inc | Electrostatic recording head |
-
1989
- 1989-12-19 JP JP33005489A patent/JPH03190077A/en active Pending
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