JPH03172221A - Clean carrier device - Google Patents
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- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 15
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 8
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 241001669679 Eleotris Species 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体、バイオ関連品などの製造工程に採用
してワークを清浄空間内で搬送するクリーン搬送装置に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a clean conveyance device that is employed in the manufacturing process of semiconductors, bio-related products, etc., and conveys workpieces in a clean space.
頭記のクリーン搬送装置として、クリーンチューブ内に
レールを敷設して搬送台車を走行させるようにしたクリ
ーンチューブ型搬送装置が公知である。As the above-mentioned clean conveyance device, a clean tube type conveyance device in which a rail is laid inside a clean tube and a conveyance cart is run is known.
次に、従来におけるクリーンチューブ型搬送装置の構成
を第３図に示す０図において、ｌはワークの搬送経路に
沿って周囲空気と遮断するように密閉構造で構築された
クリーンチューブのチューブ本体、２はチューブ本体１
の内部床面上に敷設したレール、３は被搬送物（例えば
半導体ウェハを収納したカセット）であるワーク４を搭
載してレール２の上を走行する搬送台車、５はチューブ
本体ｌの天井部に設置した高性能フィルタ（ＨＥＰＡフ
ィルタ） ５ａと送風ｍｓｂとの組合せからなるクリー
ンユニット、６はクリーンユニット５とチューブ本体ｌ
の下部との間を連通してチューブ本体ｌの側方に配管し
た吸気ダクトである。Next, in Fig. 3 which shows the configuration of a conventional clean tube type conveyance device, l is a tube body of a clean tube constructed with a sealed structure so as to be isolated from the surrounding air along the workpiece conveyance path; 2 is the tube body 1
3 is a transport vehicle carrying a workpiece 4, which is an object to be transported (for example, a cassette containing a semiconductor wafer), and runs on the rail 2; 5 is the ceiling of the tube body L; A clean unit consisting of a combination of a high-performance filter (HEPA filter) 5a and a ventilation MSB installed in the , 6 is the clean unit 5 and the tube body l
This is an intake duct installed on the side of the tube body l and communicating with the lower part of the tube body l.
ここで、前記の搬送台車３は台車本体３ａの上部に支柱
３ｂを介してワーク４を載せる荷台３Ｃを設けた構造で
あり、台車本体３ｊは電源パンテリを搭載するか、ある
いはトロリ線を通じて外部より給電を受け、台車本体に
組み込んだ回転モータにより車輪３ｄを駆動してレール
上を走行する。なお、搬送台車３の駆動方式として、前
記した回転モータの代わりにリニアモータを採用した駆
動方式もある。一方、チューブ本体工の中段部には、前
記しため送り車３の支柱３ｂが通過する中央の狭いスリ
ットを残して左右側壁より片持式に張り出した仕切隔壁
１ａを備えており、この仕切隔壁１ａを境にしてチュー
ブ本体ｌの内部空間が上部空間１ｂと下部空間１ｃとに
区分されている。Here, the above-mentioned transport vehicle 3 has a structure in which a loading platform 3C is provided on the upper part of the vehicle body 3a on which the workpiece 4 is placed via a support 3b, and the vehicle body 3j is equipped with a power supply pantry or is connected from the outside through a contact wire. When powered, the wheels 3d are driven by a rotary motor built into the trolley body, and the trolley travels on the rails. In addition, as a drive method for the transport vehicle 3, there is also a drive method that employs a linear motor instead of the above-mentioned rotary motor. On the other hand, the middle part of the tube main body is provided with a partition wall 1a that cantilevers from the left and right side walls, leaving a narrow slit in the center through which the strut 3b of the tamping wheel 3 passes. The internal space of the tube body 1 is divided into an upper space 1b and a lower space 1c with 1a as a boundary.
かかる構成で、運転時にはクリーンユニット５゜吸気ダ
クト６を経由してチューブ本体ｌとの間に空気が循環送
風され、この循環送風過程で高性能フィルタ５ａを透過
して除塵された清浄空気がチューブ本体ｌの上部空間１
ｂに向けてダウンフロー式に吹き出す、また、クリーン
ユニット５より吹出した清浄空気流は上部空間１ｂを流
下した後に仕切隔壁１ａの中央に開口するスリットを通
じて下部空間１ｃに入り、ここから吸気ダクト６に吸い
込まれて再びクリーンユニット５に還流する。With this configuration, during operation, air is circulated between the clean unit 5 and the tube body l via the intake duct 6, and during this circulating air blowing process, the clean air that is dust-removed after passing through the high-performance filter 5a flows through the tube. Upper space 1 of main body l
The clean air flow blown out from the clean unit 5 in a downflow manner toward the direction b flows down the upper space 1b, and then enters the lower space 1c through a slit opened in the center of the partition wall 1a, and from there flows into the intake duct 6. The water is sucked into the water and refluxed to the clean unit 5 again.
これにより、搬送台車３の走行に伴って台車本体３ａの
車輪３ｄなどから発塵する塵埃は、空気流と一緒に吸気
ダクト６に吸い込まれるので仕切隔壁ｌａで仕切られた
上部空間１ｂに侵入することがなく、ワーク４を塵埃に
よる汚損から保護しつつクリーンチューブ内を搬送する
ことができる。As a result, dust generated from the wheels 3d of the trolley body 3a as the transport vehicle 3 travels is sucked into the intake duct 6 together with the airflow, and thus enters the upper space 1b partitioned by the partition wall la. Therefore, the workpiece 4 can be transported inside the clean tube while being protected from contamination by dust.
ところで、前記した従来のクリーン搬送装置では次記の
ような難点がある。However, the conventional clean conveyance apparatus described above has the following drawbacks.
ずなわら、従来構造では搬送台車３の走行に伴う発塵か
ワーク４に影響を及ぼすことのないように、チューブ本
体１の中段に仕切隔壁１ａを設け゛Ｃ内部空間を上下段
に区分し、この仕切隔壁１ａに開けた狭いスリットを搬
送台車３の支柱３ｂが通過するようにしている。However, in the conventional structure, a partition wall 1a is provided at the middle stage of the tube body 1 to prevent dust generation caused by the movement of the transport vehicle 3 from affecting the workpiece 4.The internal space is divided into upper and lower stages. The support column 3b of the transport vehicle 3 is made to pass through a narrow slit made in the partition wall 1a.
しかして、前記の仕切隔壁１ａはチューブ本体ｌの左右
側壁から張り出すように片持式に支持されているので支
持が不安定であり、搬送台車３の走行時に振動などが加
わると搬送台車３に接触して走行を阻害することがある
。さらに、搬送台車３゜ないしチューブ本体１の内部を
点検する場合には、チューブ本体１の内部を上下段に仕
切る仕切隔壁１ａがメンテナンス作業の障害物となる。However, since the partition wall 1a is supported in a cantilevered manner so as to protrude from the left and right side walls of the tube body l, the support is unstable, and if vibration etc. are applied while the transport vehicle 3 is running, the transport vehicle 3 may come into contact with the vehicle and impede driving. Further, when inspecting the inside of the transport vehicle 3 or the tube body 1, the partition wall 1a that partitions the inside of the tube body 1 into upper and lower stages becomes an obstacle to maintenance work.
本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、チュ
ーブ本体に対する循環送風路を改良することにより、搬
送台車の走行に伴う台車本体からの発塵がワークに影響
を及ぼすのを安全に回避しつつ、しかもＦＪＭな構造で
内部のメンテナンス作業が容品に行えるようにしたクリ
ーン搬送装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in consideration of the above points, and by improving the circulation air passage for the tube body, it is possible to safely avoid dust generated from the trolley body as the transport trolley travels from affecting the workpiece. The purpose of the present invention is to provide a clean conveyance device which has an FJM structure and allows internal maintenance work to be carried out easily.
（！Ｉｆｆを解決するための手段〕
上記課題を解決するために、本発明のクリーン搬送装置
は、その内部に搬送台車が走行するクリーンチューブに
対し、チューブ本体内部の底部側に残余空間を残してそ
の上方の中段位置にレールを敷設するとともに、クリー
ンユニットに通じる吸気ダクトの吸込口をレールより下
方の底部空間に開口して配管するものとする。(Means for solving !If) In order to solve the above problem, the clean conveyance device of the present invention leaves a residual space on the bottom side inside the tube main body for the clean tube in which the conveyance cart runs. A rail will be laid in the middle position above the rail, and the suction port of the air intake duct leading to the clean unit will be opened and piped into the bottom space below the rail.
上記の構成により、上部のクリーンユニットからチュー
ブ本体の内部空間へ向けてダウン２０−した清浄空気流
は、同じ空間内で搬送台車に搭載されているワーク、台
車本体、レール周辺の順にその周囲を流下した後にチュ
ーブ本体内部の底部空間に流入し、ここから吸気ダクト
を経由して再びクリーンユニットに還流するように循環
送風される。したがって搬送台車の走行に伴って車輪の
周辺より発塵した塵埃はワークの方へ逆流することなく
内部空間をダウンフローする空気流と一緒にレール下方
の底部空間へ移行し、ここから吸気ダクトに殴い込まれ
ることになる。With the above configuration, the clean air flow that flows downward from the upper clean unit to the inner space of the tube body flows around the workpiece mounted on the transport trolley, the trolley body, and the rail area in that order in the same space. After flowing down, the air flows into the bottom space inside the tube body, and is circulated from there through the air intake duct so as to return to the clean unit. Therefore, the dust generated from around the wheels as the transport vehicle travels does not flow back toward the workpiece, but moves along with the airflow that flows down the internal space to the bottom space below the rail, and from there to the intake duct. You will get beaten up.
なお、搬送台車の駆動モータとしてリニアモータを採用
することにより、走行時に回転モータのようにモータ本
体の回転機構部からの発塵がないので有利である。In addition, by employing a linear motor as the drive motor of the conveyance vehicle, it is advantageous because there is no dust generated from the rotation mechanism of the motor body during traveling, unlike in the case of a rotary motor.
第１図、第２図は本発明実施例の構成を示すものであり
第３図に対応する同一部材には同じ符号が付しである。1 and 2 show the structure of an embodiment of the present invention, and the same members corresponding to FIG. 3 are given the same reference numerals.
まず、クリーンチューブのチューブ本体１は隔壁を組合
せて横築したトンネル状の密閉箱構造体としてなり、特
にチューブ本体１の下部構造は、チャンネル形鋼を使用
した左右一対のレール支持枠１１と、レール支持枠１１
の間の下部に取付けてチューブ本体の底面を閉塞するケ
ーブルダクト兼用の底面板１２とを組合せてこの部分に
底部空間１３を形成するとともに、前記レール支持枠１
１の上面側には左右の支持枠１１の間にまたがって架設
した枕木１４を介してその上面にレール２が敷設されて
いる。なお、１５はチューブ本体１の側壁部に設けた保
守点検用の扉である。First, the tube main body 1 of the Clean Tube is a tunnel-like closed box structure built horizontally by combining partition walls, and in particular, the lower structure of the tube main body 1 includes a pair of left and right rail support frames 11 made of channel steel, Rail support frame 11
A bottom space 13 is formed in this part by combining with a bottom plate 12 which also serves as a cable duct and closes the bottom surface of the tube body by being attached to the lower part between the rail support frame 1.
A rail 2 is laid on the upper surface side of the rail 1 via a sleeper 14 extending between the left and right support frames 11. Note that 15 is a door for maintenance and inspection provided on the side wall of the tube body 1.
また、搬送台車３はリニアモータ駆動方式として、前記
枕木１４の中央部にはレール２と並べてリニアモータ７
の電機子コイル７１が、該電機子コイル７１に対向して
台車３の底部には界磁永久磁石７２が装備されている。Furthermore, the transport vehicle 3 is driven by a linear motor, and a linear motor 7 is installed in the center of the sleeper 14 in parallel with the rail 2.
A field permanent magnet 72 is provided at the bottom of the truck 3, facing the armature coil 71.
なお、３１は搬送台車３の走行車輪、３２は搬送台車３
に搭載したワーク４を支持する荷台である。Note that 31 is the running wheel of the transport vehicle 3, and 32 is the transport vehicle 3.
This is a loading platform that supports the workpiece 4 loaded on the.
一方、チューブ本体１の頂部１６にはクリーンユニット
５が収設されており、かつ前記のレール支持枠１１の側
面に開口した連通穴Ｉ７と頂部１６との間を結んでクリ
ーンユニット５と底部空間１３との間を連通ずるように
、チューブ本体１の側方に吸気ダクト６が配管されてい
る。On the other hand, a clean unit 5 is housed in the top 16 of the tube body 1, and the communication hole I7 opened in the side surface of the rail support frame 11 and the top 16 are connected to connect the clean unit 5 and the bottom space. An intake duct 6 is installed on the side of the tube body 1 so as to communicate with the tube body 13.
かかる構成のクリーンチューブ組立体は、支持梁８．吊
りボルト９を介してクリーンルームの天井に吊り下げ支
持されている。なお、１０はクリーンユニット５．リニ
アモータ７などに対する給電。A clean tube assembly having such a configuration includes support beams 8. It is suspended and supported from the ceiling of the clean room via hanging bolts 9. In addition, 10 is a clean unit 5. Power supply to linear motor 7, etc.
制御ケーブルであり、前記した底部空間１３を利用して
皿形底板１２の上に敷設、配線されている。This is a control cable, and is laid and wired on the dish-shaped bottom plate 12 using the bottom space 13 described above.
かかる構成で、クリーンユニット５の送風機５ｂを運転
すると、高性能フィルタ５Ｂを透過して除塵された清浄
空気がチューブ本体１の内部空間に向けてダウンフロー
し、ワーク４．搬送台車３の順にその周囲を流下した後
に、レール２の周辺より枕木１４の間を逼って下部空間
１３に流入し、ここから吸気ダクト６を経て再び空気ユ
ニット５に還流するように循環送風される。また、搬送
台車３の走行に伴い車輪の回転、レールと車輪との接触
により発塵した塵埃は、チューブ本体内をダウンフロー
する空気流とともにレール周辺から直ちにレール２より
下方の底部空間１３に移行し、ここから吸気ダクト６に
唆い込まれてクリーンユニット５にて除塵される。した
がって、ワーク４は常に清浄な雰囲気中で搬送されるこ
とになり、塵埃による汚損を受けるおそれはない。With this configuration, when the blower 5b of the clean unit 5 is operated, the clean air that has passed through the high-performance filter 5B and has been dust-removed flows down toward the internal space of the tube body 1, and the workpiece 4. After flowing down around the transport vehicle 3 in order, the circulating air flows from the periphery of the rail 2 between the sleepers 14 and into the lower space 13, and from there returns to the air unit 5 via the air intake duct 6. be done. In addition, dust generated due to the rotation of the wheels and the contact between the rails and wheels as the transport vehicle 3 travels is immediately transferred from around the rails to the bottom space 13 below the rails 2 along with the airflow flowing down inside the tube body. From there, it is drawn into the intake duct 6 and removed by the clean unit 5. Therefore, the workpiece 4 is always transported in a clean atmosphere, and there is no risk of it being contaminated by dust.
また、チューブ本体１の内部には第３図で述べたような
仕切隔壁がなく、搬送装置の保守点検時には第１図に示
した扉１５を解放することにより、チューブ本体Ｉの内
部、および搬送台車３に保守員がアクセスして容易にメ
ンテナンス作業を進めることができる。また、図示実施
例のようにチューブ本体ｌの底部空間１３を利用してこ
こにケーブルダクトを画成したことにより、ケーブル配
線に対する省スペース化が図れる。Furthermore, the inside of the tube body 1 does not have a partition wall as described in FIG. A maintenance worker can access the trolley 3 and easily carry out maintenance work. Furthermore, by defining the cable duct by utilizing the bottom space 13 of the tube body 1 as in the illustrated embodiment, space for cable wiring can be saved.
本発明によるクリーン搬送装置は、以上説明したように
構成されているので、次記の効果を奏する。Since the clean conveyance device according to the present invention is configured as described above, it has the following effects.
（１）クリーンユニットに通じる吸気ダクトを、その吸
込口がレールより下方に画成した底部空間に開口するよ
う配管したので、搬送台車の走行に伴う発塵はチューブ
本体の内部空間にダウンフローする清浄空気流とともに
発塵箇所から直ちに底部空間に移行し、ここから吸気ダ
クトを通じてクリーンユニットで除塵される。したがっ
て、従来装置のようにワークの塵埃汚損を防ぐ狙いから
、チューブ本体の内部空間をワークが移動する空間と搬
送台車の台車本体が走行する空間とに区分して仕切る必
要がなく、搬送台車に搭載したワークを搬送台車ととも
に同じ空間内で塵埃による汚損を回避しつつクリーンな
状態で搬送することができる。(1) The air intake duct leading to the clean unit is piped so that its suction port opens into the bottom space defined below the rail, so dust generated as the transport vehicle travels downflows into the internal space of the tube body. Along with the clean air flow, the dust immediately moves from the dust generation point to the bottom space, where it is removed by the clean unit through the air intake duct. Therefore, in order to prevent dust and dirt from contaminating the workpiece, unlike conventional devices, there is no need to divide the internal space of the tube body into a space in which the workpiece moves and a space in which the transport vehicle main body travels. The loaded work can be transported in a clean state together with the transport vehicle in the same space while avoiding contamination due to dust.
（２）チューブ本体の内部で搬送台車の走行する空間に
は従来装置における仕切隔壁のような障害物がないので
、チューブ本体の内部、および搬送台車に対する検時の
メンテナンス作業が容易に実施できる。(2) Since there are no obstacles such as partition walls in conventional devices in the space in which the transport vehicle runs inside the tube body, maintenance work can be easily carried out during inspection of the inside of the tube body and the transport vehicle.
（３）チューブ本体内部の下部に画成した底部空間を利
用してここに給電、制御用ケーブルを敷設することがで
き、装置全体での省スペース化が図れる。(3) The bottom space defined in the lower part of the inside of the tube body can be used to lay power supply and control cables there, and the space of the entire device can be saved.
第１図は本発明実施例の構造を示す縦断面図、第２図は
第１図の要部構造の鳥嶽図、第３図は従来におけるクリ
ーン搬送装置の略示構成断面図である０図において、
ｌ：チューブ本体、２：レール、３：搬送台車、４：ワ
ーク、５：クリーンユニット、６：吸気ダクト、１１：
レール支持枠、１３；底部空間、１４；枕第１図FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the structure of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a Toritake diagram of the main structure of FIG. 1, and FIG. In the figure, l: tube body, 2: rail, 3: transport vehicle, 4: workpiece, 5: clean unit, 6: intake duct, 11:
Rail support frame, 13; bottom space, 14; pillow Fig. 1
Claims (1)
走行させるクリーン搬送装置であり、密閉構造のチュー
ブ本体に対し、その内部空間の上部に設置したクリーン
ユニット、および該クリーンユニットとチューブ本体内
部空間の下部との間に連通配管した吸気ダクトを通じ空
気を循環送風して搬送台車の走行経路に清浄空気を給気
するものにおいて、チューブ本体内部の底部側に残余空
間を残してその上方の中段位置にレールを敷設するとと
もに、クリーンユニットに通じる吸気ダクトの吸込口を
レールより下方の底部空間に開口して配管したことを特
徴とするクリーン搬送装置。1) This is a clean transport device in which rails are laid inside the clean tube and a transport vehicle runs, and the clean unit is installed above the internal space of the tube main body, which has a sealed structure, and the clean unit and the internal space of the tube main body are connected to each other. In a tube that circulates and blows air through an intake duct that communicates with the lower part of the tube to supply clean air to the travel path of the transport vehicle, the tube is placed in the middle position above the tube, leaving a residual space on the bottom side inside the tube body. 1. A clean conveyance device characterized in that a rail is laid at the bottom of the clean unit, and the suction port of an air intake duct leading to the clean unit is opened and piped in a bottom space below the rail.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31004689A JPH03172221A (en) | 1989-11-29 | 1989-11-29 | Clean carrier device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31004689A JPH03172221A (en) | 1989-11-29 | 1989-11-29 | Clean carrier device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03172221A true JPH03172221A (en) | 1991-07-25 |
Family
ID=18000515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31004689A Pending JPH03172221A (en) | 1989-11-29 | 1989-11-29 | Clean carrier device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03172221A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0526713U (en) * | 1991-09-20 | 1993-04-06 | 三機工業株式会社 | Sealed cylindrical carrier for carrier transportation |
| WO1994014191A1 (en) * | 1992-12-14 | 1994-06-23 | Ebara Corporation | System for transferring wafer |
| DE10104555B4 (en) * | 2001-02-01 | 2007-11-08 | Krauss Maffei Gmbh | Storage device for use in clean environments |
| WO2017077956A1 (en) * | 2015-11-02 | 2017-05-11 | 株式会社東安 | Conveyor apparatus |
-
1989
- 1989-11-29 JP JP31004689A patent/JPH03172221A/en active Pending
Cited By (5)
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