JPH0316661A - 無発塵空気イオン化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、クリーンルームに使用される空気イオン化装
置に関するものであり、特に、無発塵空気イオン化装置
に係るものである。

［従来の技術］ 従来より、半導体製造のクリーンルームでは、低湿度環
境であることや、ウエハ及び半導体素子を運搬するプラ
スチック容器が帯電しやすいことなどにより、静電気が
発生している。この静電気は、ウエハ表面上に埃塵を付
着させたり、ウエハ上のＩＣや半導体素子を破壊してし
まい、製品の歩留りを低下させている。しかも、最近の
半導体素子の高密度化に伴い、クリーンルームの超高清
浄度化が望まれると共に、半導体素子の静電気耐性も低
下し、このような静電気による生産障害が、益々、問題
となっている。

そこで、従来より、クリーンルームにおける静電気を除
去する対策として、イオンにより帯電体の電荷を中和す
る手段が提案されている。

すなわち、第３図に示すように、クリーンルームｌは、
天井に、清浄な空気を送込む高性能フィルタ５およびイ
オン発生装置２を備えている。このイオン発生装置２は
、正負の針状電極３にそれぞれ正負の高電圧を印加する
ことによって、コロナ放電を発生させる。そして、針状
電極３の周囲の空気を正負にイオン化し、この正負のイ
オン４を高性能フィルタ５からの一様流によって搬送し
、帯電体６上の電荷を逆極性のイオン４で中和するよう
になっている。このようなイオン発生装置２によれば、
半導体のように、電気抵抗が高くて、接地して電荷を漏
洩させることは難しいものに対しても、確実に電気的に
中和させることが可能であり、クリーンルーム内の静電
気発生を防止することができる。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記のような従来技術には、次のような
課題があった。

すなわち、従来より、イオン発生装置２においては、針
状電極３から０．０３〜０．１μｍの微粒子からなる埃
塵が発生していた。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 清浄な空気を供給する空気清浄装置を有するクリーンル
   ームにおいて、 放電電極から該クリーンルームにイオンを供給するイオ
   ン発生装置を備え、 前記クリーンルーム内の気体を吸込む吸気口および前記
   イオン発生装置の放電電極の近傍に気体を供給する供給
   口を有する気体供給路を形成し、該気体供給路に、気体
   中の微粒子を捕集するフィルタを設置し、 さらに、該フィルタへの気体供給路に、放電電極を有し
   て、気体内の超微粒子を微粒子として析出する微粒子析
   出装置を設置する、 以上のことを特徴とする無発塵空気イオン化装置。