JPH03148001A - 間隔測定装置 - Google Patents

間隔測定装置

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JPH03148001A
JPH03148001A JP28770689A JP28770689A JPH03148001A JP H03148001 A JPH03148001 A JP H03148001A JP 28770689 A JP28770689 A JP 28770689A JP 28770689 A JP28770689 A JP 28770689A JP H03148001 A JPH03148001 A JP H03148001A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
measuring
capacitance
distance
groove
Prior art date
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Pending
Application number
JP28770689A
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English (en)
Inventor
Atsushi Mizukami
水上 厚
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Individual
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は被加工物の溝状部の一内側面との間隔を測定子
にてキャパシタンス測定方法により測定する間隔測定装
置に関する。
[背景技術] 自動溶接等には開先を倣うことが必要であるが、開先倣
いには案内ローラや探触子を被加工物に接触させて開先
線のずれを例えばポテンシャルメータ、差111)ラン
ス、レゾルバ等の位置検出器により電気信号に変換して
倣い信号を得る接触方式と、測定子として被加工物と対
向してキャパシティを構成する電極を用い、そのキャパ
シタンスにより被加工物との間隔を測定するキャパシタ
ンス測定方式に代表される非接触方式とがある。そして
、接触方式では被加工物の表面が測定子によって傷つけ
られる虞れがあるが、非接触方式にはそのような虞れが
ない。その点で非接触方式の方が優れているといえる。
[発明が解決しようとする問題点コ ところで、開先には7字状のものやL字状のものが多い
が、第2図に示すような断面U字状の溝を倣う必要性が
生じている。しかしながら、このようなU字状の溝をキ
ャパシタンス測定方式により倣うことは従来難しかった
。というのは、溝の一方の内側面λとの間隔を測定し、
その間隔を一定に保つようにしても、測定子Cの測定電
極dと溝の他方の内側面すとの間にも容量が生じるので
、測定子Cの内側面aとの間隔が微妙に変化しても測定
子Cを通じて検出される容量には変化が生じないからで
ある。
そこで本発明はこのような問題点を解決しようとするも
のであり、溝状部の一内側面との間隔を測定子にて正確
にキャパシタンス方式で測定できるようjこすることを
目的とする。
[問題点を解決するために手段] 本発明は上記問題点を解決するため、絶縁板の一方の表
面に被加工物の溝状部の一内側面と対向される測定用電
極を形成し、他方の表面にシールド電極を形成したもの
を測定子として用いることを特徴とするものである。
[作用] 本発明によれば、測定子の絶縁板の測定用電極が形成さ
れた表面と反対側の表面にシールド電極が形成されてい
るので、測定用電極と、それと対向する内側面と反対側
の内側面との間の静電容量分が測定子による容量検出信
号に入り込むのを阻むことができる。したがって測定用
電極と、それにに対向する溝状部の内側面との間の静電
容量のみを正確に検出できるようにすることができ、ひ
いては測定子と溝状部の一方の内側面との間の間隔を正
確に測定することが可能となる。
[実施例コ 以下、本発明を図示実施例により詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例の要部を示す断面図である。
同図において、1は測定子で、絶縁板2の一方の表面に
測定用電極3を形成し、他方の表面にシールド電極4を
形成してなるものである。測定用電極3は導線5、コネ
クタ6及び同軸ケーブル7の芯線8を介して測定回路9
の入力端子に接続されている。また、シールド電極4は
導線10、コネクタ6及び同軸ケーブル7のシールド線
IIを介して測定回路9のアース測端子に接続されてい
る。該測定回路9は測定子lの測定用電極3と金属性の
被加工物12の溝状部の一方の内側面13との間の静電
容量を検出するものである。具体的には、その静電容量
を構成要素とする発信回路の発信周波数がその静電容量
により変化することを利用して静電容量を発信周波数に
変換し、この発信周波数をf−V変換回路により電圧に
変換し、この電圧から上記静電容量を検出し、ひいては
測定子1と被加工物12の一方の内側面I3との間の間
隔を検出するものである。
ところで、測定子Iの測定用電極3とそれに対抗すると
ころの被加工物12の溝状部の上記内側面13との間に
静電容量が存在する(この静電容量を01とする)が、
測定用電極3と、それと対向する内側面I3と反対側の
内側面14との間にも静電容量が存在し得る(この静電
容量C2とする)。しかし、この静電容1G2分も測定
子1によって検出されてしまうことは起こり得ない。な
ぜなら、絶縁板2の測定用電極3が形成された表面と反
対側の表面にはシールド電極4が形成されており、この
シールド電極4が内側面14と測定用電極3との間に介
在すると共にアースされているからである。即ち、測定
子lの測定用電極3を通じて入力される入力信号は測定
用電極3と内側而I4との間の静電容量には影響されな
い。換言すれば、シールド電極によって測定用電極3は
内側面14から静電的にシールドされ、電気的影響を受
けない状態になる。したがって、本測定装置によれば、
測定用電極3とそれに対抗する内側面13との間の静電
容jlc1のみを測定することができる。そして、その
静電容量CIは測定用電極3と内側面】3との間隔によ
って変化し、この間隔が小さくなるほど値が大きくなる
ので、この間隔を正確に測定することが可能になる。
なお。測定子1は倣い機構を構成する例えばロボット本
体(図示せず)に取り付けられ、第1図における左右方
向の位置用サーボ制御系の位置検出手段として用いられ
る。そして高さは別のサーボ系により制御され、この二
つのサーボ系により例えば溶接等のための開先倣いが行
われるようになっている。
[効果] 以上に述べたところから明らかなように、本発明によれ
ば 測定子の絶縁板の測定用電極が形成4 された表面の反対側の表面にシールド電極が形成されて
いるので、測定用電極と、それと対応する内側面と反対
側の内側面との間の静電容量分が測定子による容景検出
信号中に入り込むのを阻止することができ、測定用電極
とそれに対向する溝状部内側面との間の静電容量のを正
確に検出することが可能になる。
したがって測定子と溝状部の一方の内側面との間隔を正
確に測定することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の−・つの実施例を示す断面図、第2図
は背景技術を示す断面図である。 1・・・測定子、 2・・・絶縁板 3・・・測定用電極 4・・・シールド電極 12・・被加工物 13・・測定用電極と対向する内側面 14・・測定用電極と対向する内側面と反対側の内側面 3−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 被加工物の溝状部の一内側面との間隔を測定子にてキャ
    パシタンス測定方式により測定する間隔測定装置におい
    て、 上記測定子が、絶縁板の一方の表面に上記内側面と対向
    される測定用電極を形成し、他方の面にシールド電極を
    形成してなることを特徴とする間隔測定装置。
JP28770689A 1989-11-04 1989-11-04 間隔測定装置 Pending JPH03148001A (ja)

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JP28770689A JPH03148001A (ja) 1989-11-04 1989-11-04 間隔測定装置

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JP28770689A JPH03148001A (ja) 1989-11-04 1989-11-04 間隔測定装置

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Publication Number Publication Date
JPH03148001A true JPH03148001A (ja) 1991-06-24

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ID=17720687

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JP28770689A Pending JPH03148001A (ja) 1989-11-04 1989-11-04 間隔測定装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5818102A (ja) * 1981-07-24 1983-02-02 Nippon Steel Corp 容量式変位計

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5818102A (ja) * 1981-07-24 1983-02-02 Nippon Steel Corp 容量式変位計

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