JPH03137547A - 表面観察装置 - Google Patents
表面観察装置Info
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- JPH03137547A JPH03137547A JP1274946A JP27494689A JPH03137547A JP H03137547 A JPH03137547 A JP H03137547A JP 1274946 A JP1274946 A JP 1274946A JP 27494689 A JP27494689 A JP 27494689A JP H03137547 A JPH03137547 A JP H03137547A
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Landscapes
- Accessory Devices And Overall Control Thereof (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、移動される被検査物の表面を観察して、被検
査物の欠点検出や寸法測定のもとになる情報を得るため
の表面観察装置に関する。
査物の欠点検出や寸法測定のもとになる情報を得るため
の表面観察装置に関する。
[従来の技術]
被検査物としての一例である印刷シート各部の欠点寸法
(シート幅、印刷パターンのピッチの異常等)を測定し
たり、印刷シートの欠点(穴、異物、汚れ、黒点、フィ
ッシュアイ、印刷ずれ、色むら、変色、筋等)を検出す
る装置において使用される従来の表面観察装置は、第5
図に示されている。
(シート幅、印刷パターンのピッチの異常等)を測定し
たり、印刷シートの欠点(穴、異物、汚れ、黒点、フィ
ッシュアイ、印刷ずれ、色むら、変色、筋等)を検出す
る装置において使用される従来の表面観察装置は、第5
図に示されている。
この表面観察装置は、撮像部をCCDリニアアレーイメ
ージセンサで形成した多数のセンサカメラaを備えて形
成されている。各センサカメラaは、移動される印刷シ
ートbに対向し、かつ、互いの視野を一部重複させて印
刷シートbの移動方向(第5図中矢印に示す。)と直角
に交差する方向に一列に配設されている。それによって
印刷シー)bの全幅を観察できるようになっている。ま
た、第5図中Cは各センサカメラaの出力端に夫々別々
接続して設けられた欠点検出回路で、これらと上記各セ
ンサカメラaとで欠点検出装置が形成されている。
ージセンサで形成した多数のセンサカメラaを備えて形
成されている。各センサカメラaは、移動される印刷シ
ートbに対向し、かつ、互いの視野を一部重複させて印
刷シートbの移動方向(第5図中矢印に示す。)と直角
に交差する方向に一列に配設されている。それによって
印刷シー)bの全幅を観察できるようになっている。ま
た、第5図中Cは各センサカメラaの出力端に夫々別々
接続して設けられた欠点検出回路で、これらと上記各セ
ンサカメラaとで欠点検出装置が形成されている。
そして、上記センサカメラaで観察した観察情報を、欠
点検出回路Cとは別に目視により判定するために、各セ
ンサカメラaの出力端にメモリdを夫々別々に接続する
とともに、これらメモリdの出力端に夫々別々にモニタ
テレビ等の映像器eが接続されている。これらメモリd
および映像器eにより、各センサカメラaで観察してい
る部分の映像情報を1画面分づつ映像器eに静止画とし
て表示して、オペレータによる目視の欠点判定を可能に
するとともに、映像情報の記録が残るようにしている。
点検出回路Cとは別に目視により判定するために、各セ
ンサカメラaの出力端にメモリdを夫々別々に接続する
とともに、これらメモリdの出力端に夫々別々にモニタ
テレビ等の映像器eが接続されている。これらメモリd
および映像器eにより、各センサカメラaで観察してい
る部分の映像情報を1画面分づつ映像器eに静止画とし
て表示して、オペレータによる目視の欠点判定を可能に
するとともに、映像情報の記録が残るようにしている。
[発明が解決しようとする課題]
従来は第5図より明らかなように、欠点検出を行うため
の各センサカメラaが、目視判定用の映像情報を得るた
めのカメラを兼ねている構成である。しかし、欠点g等
の情報はセンサカメラaの視野を通過しなければ欠点と
して認識されないとともに、上記視野を通り過ぎてしま
った欠点情報を欠点検出処理をした後にメモリdに記憶
することはできず、また、欠点等は印刷シートbの幅方
向のどの位置において発生するか予n1できない。
の各センサカメラaが、目視判定用の映像情報を得るた
めのカメラを兼ねている構成である。しかし、欠点g等
の情報はセンサカメラaの視野を通過しなければ欠点と
して認識されないとともに、上記視野を通り過ぎてしま
った欠点情報を欠点検出処理をした後にメモリdに記憶
することはできず、また、欠点等は印刷シートbの幅方
向のどの位置において発生するか予n1できない。
そのため、既述のようなオペレータによる欠点判定を行
う場合には、各センサカメラaが見ている観察情報を全
て夫々のメモリdに記憶させなければならない。すなわ
ち、センサカメラaの数だけメモリdおよび映像器eを
必要とするから、構成が複雑であり、しかも、メモリd
は非常に高価であるため、装置全体のコストが異常に高
いという問題があった。
う場合には、各センサカメラaが見ている観察情報を全
て夫々のメモリdに記憶させなければならない。すなわ
ち、センサカメラaの数だけメモリdおよび映像器eを
必要とするから、構成が複雑であり、しかも、メモリd
は非常に高価であるため、装置全体のコストが異常に高
いという問題があった。
また、既述のように欠点検出を行うための各センサカメ
ラaが、目視判定用の映像情報を得るためのカメラを兼
ねているから、映像器eに表示される欠点情報の大きさ
はセンサカメラaの視野の大きさに依存してしまう。そ
のため、欠点情報を拡大して視認することは不可能であ
り、目視による欠点判定が難しい場合も多々あった。
ラaが、目視判定用の映像情報を得るためのカメラを兼
ねているから、映像器eに表示される欠点情報の大きさ
はセンサカメラaの視野の大きさに依存してしまう。そ
のため、欠点情報を拡大して視認することは不可能であ
り、目視による欠点判定が難しい場合も多々あった。
本発明の目的は、構成が簡単で安価に得ることができる
表面観察装置を得ることにあり、また、本発明の他の目
的は、目視による欠点判定を容易化できる表面観察装置
を得ることにある。
表面観察装置を得ることにあり、また、本発明の他の目
的は、目視による欠点判定を容易化できる表面観察装置
を得ることにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本発明の表面観察装置にお
いては、撮像部がCCDイメージセンサで形成された多
数の欠点検出センサカメラを、移動される被検査物に対
向させるとともに、上記被検査物の移動方向と交差する
方向に一列に配設して形成される検出用カメラ群と、撮
像部がCCDイメージセンサで形成された多数の画像表
示センサカメラを、上記検出用カメラ群よりも上記被検
査物の移動方向下流位置において上記被検査物に対向さ
せるとともに、上記被検査物の移動方向と交差する方向
に一列に配設して形成される画像表示用カメラ群と、上
記検出用カメラ群の各欠点検出センナカメラの出力端に
夫々接続して設けられた欠点検出回路群と、この欠点検
出回路群および上記画像表示用カメラ群に夫々接続して
設けられ、上記欠点検出回路からの出力を受けたときに
、その出力を出した上記欠点検出センサカメラに対し上
記被検査物の移動方向に対応する上記画像表示センサカ
メラを選択使用させるセレクター手段を有した制m部と
、この$IJ御部に接続して設けられ、上記選択使用さ
れた上記画像表示センサカメラからの映像出力を記憶す
るとともに、記憶された映像情報を映像器に表示させる
メモリとを具備したものである。
いては、撮像部がCCDイメージセンサで形成された多
数の欠点検出センサカメラを、移動される被検査物に対
向させるとともに、上記被検査物の移動方向と交差する
方向に一列に配設して形成される検出用カメラ群と、撮
像部がCCDイメージセンサで形成された多数の画像表
示センサカメラを、上記検出用カメラ群よりも上記被検
査物の移動方向下流位置において上記被検査物に対向さ
せるとともに、上記被検査物の移動方向と交差する方向
に一列に配設して形成される画像表示用カメラ群と、上
記検出用カメラ群の各欠点検出センナカメラの出力端に
夫々接続して設けられた欠点検出回路群と、この欠点検
出回路群および上記画像表示用カメラ群に夫々接続して
設けられ、上記欠点検出回路からの出力を受けたときに
、その出力を出した上記欠点検出センサカメラに対し上
記被検査物の移動方向に対応する上記画像表示センサカ
メラを選択使用させるセレクター手段を有した制m部と
、この$IJ御部に接続して設けられ、上記選択使用さ
れた上記画像表示センサカメラからの映像出力を記憶す
るとともに、記憶された映像情報を映像器に表示させる
メモリとを具備したものである。
また、目視による欠点判定を容易化するために、上記画
像表示用カメラ群をなす画像表示センサカメラの数を、
上記検出用カメラ群をなした欠点検出センサカメラの数
よりも多くするとよい。
像表示用カメラ群をなす画像表示センサカメラの数を、
上記検出用カメラ群をなした欠点検出センサカメラの数
よりも多くするとよい。
[作用]
本発明の表面観察装置において、検出用カメラ群の欠点
検出センサカメラは被検査物を観察し、その観察情報は
欠点検出回路により処理されて、欠点があるかどうかが
自動的に検出される。そして、欠点を自動検出した欠点
検出回路は制御部に出力信号を送るから、制御部のセレ
クター手段が、検出用カメラ群よりも被検査物の移動方
向下流位置に設けられた画像表示用カメラ群のうち、欠
点を自動検出した上記欠点検出回路に対して被検査物の
移動方向に対応している画像表示センサカメラを選択使
用させる。そうすると、選択されたこの画像表示センサ
カメラは、上記欠点検出回路により自動的に検出された
欠点を視野に収めて撮像する。そして、この画像表示セ
ンサカメラの映像出力は上記制御部を介してメモリに記
憶される。
検出センサカメラは被検査物を観察し、その観察情報は
欠点検出回路により処理されて、欠点があるかどうかが
自動的に検出される。そして、欠点を自動検出した欠点
検出回路は制御部に出力信号を送るから、制御部のセレ
クター手段が、検出用カメラ群よりも被検査物の移動方
向下流位置に設けられた画像表示用カメラ群のうち、欠
点を自動検出した上記欠点検出回路に対して被検査物の
移動方向に対応している画像表示センサカメラを選択使
用させる。そうすると、選択されたこの画像表示センサ
カメラは、上記欠点検出回路により自動的に検出された
欠点を視野に収めて撮像する。そして、この画像表示セ
ンサカメラの映像出力は上記制御部を介してメモリに記
憶される。
以上のようにして欠点検出回路が欠点検出をするたびに
、この回路に対応する画像表示センサカメラを選択使用
させて、この画像表示センサカメラの映像出力をメモリ
に記憶させるから、画像表示用カメラ群をなす各画像表
示センサカメラに対してメモリを共通使用できる。メモ
リに記憶された映像情報は、このメモリに接続されたモ
ニタテレビ等の映像器に表示されるから、オペレータは
映像器の画像を見て欠点情報を判別できる。
、この回路に対応する画像表示センサカメラを選択使用
させて、この画像表示センサカメラの映像出力をメモリ
に記憶させるから、画像表示用カメラ群をなす各画像表
示センサカメラに対してメモリを共通使用できる。メモ
リに記憶された映像情報は、このメモリに接続されたモ
ニタテレビ等の映像器に表示されるから、オペレータは
映像器の画像を見て欠点情報を判別できる。
また、画像表示センサカメラの数を欠点検出センサカメ
ラの数よりも多くした表面観察装置においては、画像表
示センサカメラの視野を欠点検出センサカメラの視野よ
りも狭くできるため、その映像情報を映像器上において
大きく表示できる。
ラの数よりも多くした表面観察装置においては、画像表
示センサカメラの視野を欠点検出センサカメラの視野よ
りも狭くできるため、その映像情報を映像器上において
大きく表示できる。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を第1図から第4図を参照して
説明する。
説明する。
第1図および第2図中1は検査領域幅Eよりも小さい幅
を有して形成され、高速で移動される被検査物としての
印刷シートである。このシート1の移動方向は第1図で
は矢印で示され、第2図では同図を描いた紙面の表裏方
向である。この印刷シート1の上方には、その印刷面と
対向して表面観察装置2の検出用カメラ群4および画像
表示用カメラ群10が夫々設置されている。
を有して形成され、高速で移動される被検査物としての
印刷シートである。このシート1の移動方向は第1図で
は矢印で示され、第2図では同図を描いた紙面の表裏方
向である。この印刷シート1の上方には、その印刷面と
対向して表面観察装置2の検出用カメラ群4および画像
表示用カメラ群10が夫々設置されている。
表面観察装置2は、検出用カメラ群4、画像表示用カメ
ラ群10、検出回路群5、制御部11、メモリ12とを
具備して形成されている。
ラ群10、検出回路群5、制御部11、メモリ12とを
具備して形成されている。
検出用カメラ群4は、撮像部をCCDリニアアレーイメ
ージセンサ3で形成した多数の欠点検出センサカメラ4
a、4bからなる。各欠点検出センサカメラ4a、4b
は、印刷シート1と対向して、この印刷シート1の移動
方向と直角に交差する方向に一列に配設されている。な
お、直角に限らず斜めに交差させてもよい(この場合、
信号処理回路には交差角に応じた角度補正回路を設ける
)。
ージセンサ3で形成した多数の欠点検出センサカメラ4
a、4bからなる。各欠点検出センサカメラ4a、4b
は、印刷シート1と対向して、この印刷シート1の移動
方向と直角に交差する方向に一列に配設されている。な
お、直角に限らず斜めに交差させてもよい(この場合、
信号処理回路には交差角に応じた角度補正回路を設ける
)。
なお、本実施例では色調が変化する場合や、明度が同じ
でも色合いが異なる場合であっても欠点の検出が可能と
なるようにするために、第2図に詳しく示すように検出
用カメラ群4は、第1欠点検出センサカメラ群と第2欠
点検出センサカメラ群とを少なくとも備えて形成されて
いる。
でも色合いが異なる場合であっても欠点の検出が可能と
なるようにするために、第2図に詳しく示すように検出
用カメラ群4は、第1欠点検出センサカメラ群と第2欠
点検出センサカメラ群とを少なくとも備えて形成されて
いる。
第1欠点検出センサカメラ群は、CCDリニアアレーイ
メージセンサ3に対する入射光路に交差する単色の色フ
ィルタ、例えば青光色フィルタ7が設けられた複数の欠
点検出センサカメラ4aで形成されている。各欠点検出
センサカメラ4aにはモノクロのものが採用されている
。
メージセンサ3に対する入射光路に交差する単色の色フ
ィルタ、例えば青光色フィルタ7が設けられた複数の欠
点検出センサカメラ4aで形成されている。各欠点検出
センサカメラ4aにはモノクロのものが採用されている
。
第2欠点検出センサカメラ群は、CCDリニアアレーイ
メージセンサ3に対する入射光路に交差する単色の色フ
ィルタ、例えば赤系色フィルタ8が設けられた複数の欠
点検出センサカメラ4bで形成されている。各欠点検出
センサカメラ4bにはモノクロのものが採用されている
。
メージセンサ3に対する入射光路に交差する単色の色フ
ィルタ、例えば赤系色フィルタ8が設けられた複数の欠
点検出センサカメラ4bで形成されている。各欠点検出
センサカメラ4bにはモノクロのものが採用されている
。
なお、各色フィルタ7.8は本実施例ではレンズの前側
に取付けたが、レンズと上記センサ3との間に取付けて
もよい。また、これら色フィルタ7.8には、その分光
感度特性が緑色の波長領域を一部含む分光感度特性を有
する青果と赤系の色フィルタ7.8を用いることが望ま
しい。そして、このようにした場合には、実質上3原色
の色フィルターを使用しているのと略等価となり、十分
に実用的である。勿論、縁糸の色フィルタを備えた複数
のモノクロセンサカメラからなる他の欠点検出センサカ
メラ群を備えても差支えないとともに、検出対象によっ
ては青果または赤系の内の一方を縁糸の色フィルタに置
き換えてもよい。
に取付けたが、レンズと上記センサ3との間に取付けて
もよい。また、これら色フィルタ7.8には、その分光
感度特性が緑色の波長領域を一部含む分光感度特性を有
する青果と赤系の色フィルタ7.8を用いることが望ま
しい。そして、このようにした場合には、実質上3原色
の色フィルターを使用しているのと略等価となり、十分
に実用的である。勿論、縁糸の色フィルタを備えた複数
のモノクロセンサカメラからなる他の欠点検出センサカ
メラ群を備えても差支えないとともに、検出対象によっ
ては青果または赤系の内の一方を縁糸の色フィルタに置
き換えてもよい。
そして、第1欠点検出センサカメラ群の各欠点検出セン
サカメラ4aは、その視野の一部を重複させて一定間隔
ごとに夫々配設されている。第1図中Aに欠点検出セン
サカメラ4aの視野を示すとともに、Bに視野Aの重複
部分が示されている。
サカメラ4aは、その視野の一部を重複させて一定間隔
ごとに夫々配設されている。第1図中Aに欠点検出セン
サカメラ4aの視野を示すとともに、Bに視野Aの重複
部分が示されている。
また、他の欠点検出センサカメラ4bの視野との区別を
容易に理解させるために、便宜上第1図では各欠点検出
センサカメラ4aに対する入射光路に斜線を付して示し
ている。
容易に理解させるために、便宜上第1図では各欠点検出
センサカメラ4aに対する入射光路に斜線を付して示し
ている。
第2欠点検出センサカメラ群の各欠点検出センサカメラ
4bは、上記第1欠点検出センサカメラ群の各欠点検出
センサカメラ4aに対して交互に配設されている。した
がって、これら各欠点検出センサカメラ4bも、その視
野の一部を重複させて一定間隔ごとに夫々配設されてい
る。第2図中Cに欠点検出センサカメラ4bの視野を示
すとともに、Dに視野Cの重複部分が示されている。な
お、各視野A、Cの大きさは等しいとともに、各重複部
分B、Dの大きさも等しくなっている。
4bは、上記第1欠点検出センサカメラ群の各欠点検出
センサカメラ4aに対して交互に配設されている。した
がって、これら各欠点検出センサカメラ4bも、その視
野の一部を重複させて一定間隔ごとに夫々配設されてい
る。第2図中Cに欠点検出センサカメラ4bの視野を示
すとともに、Dに視野Cの重複部分が示されている。な
お、各視野A、Cの大きさは等しいとともに、各重複部
分B、Dの大きさも等しくなっている。
上記画像表示用カメラ群10は、撮像部をCCDリニア
アレーイメージセンサで形成した多数の画像表示センサ
カメラ10a、10bからなる。各画像表示センサカメ
ラ10a、10bは、上記検出用カメラ群4よりも印刷
シート1の移動方向下流位置において、印刷シート1に
対向するとともに、この印刷シート1の移動方向と直角
に交差する方向に一列に配設されている。第1図中寸法
りは、この画像表示用カメラ群10と検出用カメラ群4
との離間距離を示している。そして、各画像表示センサ
カメラ10a、10bは、上記欠点検出センサカメラ4
a、4bの数よりも多く用いられている。その数は配設
スペースの関係により欠点検出センサカメラ4a、4b
の5〜6倍程度が限界であり、それ以下で任意の倍数に
選択できる。
アレーイメージセンサで形成した多数の画像表示センサ
カメラ10a、10bからなる。各画像表示センサカメ
ラ10a、10bは、上記検出用カメラ群4よりも印刷
シート1の移動方向下流位置において、印刷シート1に
対向するとともに、この印刷シート1の移動方向と直角
に交差する方向に一列に配設されている。第1図中寸法
りは、この画像表示用カメラ群10と検出用カメラ群4
との離間距離を示している。そして、各画像表示センサ
カメラ10a、10bは、上記欠点検出センサカメラ4
a、4bの数よりも多く用いられている。その数は配設
スペースの関係により欠点検出センサカメラ4a、4b
の5〜6倍程度が限界であり、それ以下で任意の倍数に
選択できる。
なお、このカメラ群10も印刷シートの移動方向に対し
て直角に限らず斜めに交差させてもよい(この場合、信
号処理回路には交差角に応じた角度補正回路を設ける)
。また、この画像表示用カメラ群10も、印刷シート1
の色調が変化する場合や、明度が同じでも色合いが異な
る場合であっても目視による欠点判定が可能となるよう
にするために、検出用カメラ群4と同様に構成されてい
るが、その詳細は既に説明した検出用センサ群4の構成
と同じであるから、その説明は省略する。
て直角に限らず斜めに交差させてもよい(この場合、信
号処理回路には交差角に応じた角度補正回路を設ける)
。また、この画像表示用カメラ群10も、印刷シート1
の色調が変化する場合や、明度が同じでも色合いが異な
る場合であっても目視による欠点判定が可能となるよう
にするために、検出用カメラ群4と同様に構成されてい
るが、その詳細は既に説明した検出用センサ群4の構成
と同じであるから、その説明は省略する。
また、各センサカメラ4a、4b、10a。
10bが備えるCCDリニアアレーイメージセンサ3に
は、その画素数が1024個または2048個の汎用品
が使用されている。そして、この高感度のCCDリニア
アレーイメージセンサ3の光入射面の一部は、第3図に
示すように光を全く通さない遮光板6で覆われている。
は、その画素数が1024個または2048個の汎用品
が使用されている。そして、この高感度のCCDリニア
アレーイメージセンサ3の光入射面の一部は、第3図に
示すように光を全く通さない遮光板6で覆われている。
遮光板6はCCDリニアアレーイメージセンサ3のシフ
トレジスタ(転送部)からの出力信号電荷の読み出し方
向側に位置する総数N個(つまり255個以下であり、
この場合255個)の画素を露出させて設けられている
。
トレジスタ(転送部)からの出力信号電荷の読み出し方
向側に位置する総数N個(つまり255個以下であり、
この場合255個)の画素を露出させて設けられている
。
第3図中矢印はCCDリニアアレーイメージセンサ3の
シフトレジスタからの出力信号電荷の読み出し方向を示
している。なお、露出画素と遮光板6との境目付近には
光の回り込みが多少あるので、例えば本実施例のように
255個の画素を露出させた場合にも、厳密に256番
目の画素から遮光されるものではなく、上記光の回り込
み分(通常50画素程度)以降から実際に遮光されるよ
うになる。
シフトレジスタからの出力信号電荷の読み出し方向を示
している。なお、露出画素と遮光板6との境目付近には
光の回り込みが多少あるので、例えば本実施例のように
255個の画素を露出させた場合にも、厳密に256番
目の画素から遮光されるものではなく、上記光の回り込
み分(通常50画素程度)以降から実際に遮光されるよ
うになる。
以下、これら露出画素分と光が回り込む画素分とを合わ
せて光入射有効画素と称する。そして、このCCDリニ
アアレーイメージセンサ3の駆動は、その出力信号電荷
の読み出しを、上記光入射有効画素分についての読み出
しが終わった時点で終了するようになっている。また、
以上のような構成の表面観察装置2においては、遮光し
た分だけCCDリニアアレーイメージセンサ3全体の視
野が狭まる(第2図中Hに狭まった視野範囲を示す。)
から、それを補って印刷シート1の横幅−杯を観察でき
るように適当数の各センサカメラ4a、4b、10a、
10bが使用される。
せて光入射有効画素と称する。そして、このCCDリニ
アアレーイメージセンサ3の駆動は、その出力信号電荷
の読み出しを、上記光入射有効画素分についての読み出
しが終わった時点で終了するようになっている。また、
以上のような構成の表面観察装置2においては、遮光し
た分だけCCDリニアアレーイメージセンサ3全体の視
野が狭まる(第2図中Hに狭まった視野範囲を示す。)
から、それを補って印刷シート1の横幅−杯を観察でき
るように適当数の各センサカメラ4a、4b、10a、
10bが使用される。
上記各欠点検出センサカメラ4aの出力端の夫々には、
欠点検出回路5aが一台ずつ接続されているとともに、
各欠点検出センサカメラ4bの出力端の夫々にも欠点検
出回路5bが一台ずつ接続されている。これらの回路5
a、5bは欠点検出回路群5を形成している。
欠点検出回路5aが一台ずつ接続されているとともに、
各欠点検出センサカメラ4bの出力端の夫々にも欠点検
出回路5bが一台ずつ接続されている。これらの回路5
a、5bは欠点検出回路群5を形成している。
各欠点検出回路5a、5bは、CCDリニアアレーイメ
ージセンサ3から直列読み出しされた出力をもとに欠点
の検出をするものであり、例えば第4図の出力波形にお
ける欠点情報Pが、設定されたスレッショルドレベルQ
を越えるかどうかを判定するものである。そして、その
判定が成立した時に上記欠点情報Pを欠点として認識し
て外部に出力する。
ージセンサ3から直列読み出しされた出力をもとに欠点
の検出をするものであり、例えば第4図の出力波形にお
ける欠点情報Pが、設定されたスレッショルドレベルQ
を越えるかどうかを判定するものである。そして、その
判定が成立した時に上記欠点情報Pを欠点として認識し
て外部に出力する。
この欠点検出回路群5の出力端は制御部11に接続され
ている。制御部11には上記画像表示用カメラ群10の
各画像表示センサカメラ10a。
ている。制御部11には上記画像表示用カメラ群10の
各画像表示センサカメラ10a。
10bが接続されている。制御部11はセレクター手段
13、およびモード切替え手段14を備えている。
13、およびモード切替え手段14を備えている。
セレクター手段13は、ROMテーブル、電気回路で組
まれた座標変換回路等で形成されている。
まれた座標変換回路等で形成されている。
このセレクター手段13は、欠点検出により認識された
欠点情報Pを出力した欠点検出回路5a(又は5b)に
繋がっている欠点検出センサカメラ4a(又は4b)の
視野下における欠点対象Tの座標位置(アドレス)を認
識するとともに、上記欠点対象Tを観察した欠点検出セ
ンサカメラに対して、印刷シート1の移動方向に対応す
る位置の画像表示センサカメラ10a (又は10b)
を一定時間の間だけ選択使用させるように構成されてい
る。さらに、制御部11は選択使用された画像表示セン
サカメラからの1画面分の映像出力を、この制御部11
に接続されたメモリ12に入力させて記憶させるように
なっている。
欠点情報Pを出力した欠点検出回路5a(又は5b)に
繋がっている欠点検出センサカメラ4a(又は4b)の
視野下における欠点対象Tの座標位置(アドレス)を認
識するとともに、上記欠点対象Tを観察した欠点検出セ
ンサカメラに対して、印刷シート1の移動方向に対応す
る位置の画像表示センサカメラ10a (又は10b)
を一定時間の間だけ選択使用させるように構成されてい
る。さらに、制御部11は選択使用された画像表示セン
サカメラからの1画面分の映像出力を、この制御部11
に接続されたメモリ12に入力させて記憶させるように
なっている。
モード切替え手段14は、画像表示用カメラ群10の各
画像表示センサカメラ10a、10bの運転モードを、
動作モードと待機モードとに切替えるものである。動作
モードはセレクター手段13が選択した画像表示センサ
カメラに対して実施され、待機モードは非選択状態にあ
る画像表示センサカメラに対して実施される。
画像表示センサカメラ10a、10bの運転モードを、
動作モードと待機モードとに切替えるものである。動作
モードはセレクター手段13が選択した画像表示センサ
カメラに対して実施され、待機モードは非選択状態にあ
る画像表示センサカメラに対して実施される。
待機モードでは、このモードで運転されている画像表示
センサカメラの消費電力を、動作モードにある画像表示
センサカメラの消費電力よりも遥かに小さく抑制するよ
うになっている。このような節電構造によって、表面観
察装置2全体の消費電力を少なくするようにしである。
センサカメラの消費電力を、動作モードにある画像表示
センサカメラの消費電力よりも遥かに小さく抑制するよ
うになっている。このような節電構造によって、表面観
察装置2全体の消費電力を少なくするようにしである。
また、上記メモリ12にはモニタテレビなどの映像器1
5やVTRなどの外部記憶装置が接続され、映像器15
の画面にはメモリ12に記憶された映像情報が静止画と
して表示されるようになっている。
5やVTRなどの外部記憶装置が接続され、映像器15
の画面にはメモリ12に記憶された映像情報が静止画と
して表示されるようになっている。
次ぎに、上記構成の表面観察装置2による欠点の検出動
作を説明する。
作を説明する。
検出用カメラ群4の欠点検出センサカメラ4a。
4bは印刷シート1を観察し、その観察情報は欠点検出
回路群5の各欠点検出回路5a、5bにより夫々処理さ
れる。つまり、各欠点検出回路5a。
回路群5の各欠点検出回路5a、5bにより夫々処理さ
れる。つまり、各欠点検出回路5a。
5bはこれに繋がっている欠点検出センサカメラ4a、
4bの視野内に欠点対象Tがあるかどうかを検出する。
4bの視野内に欠点対象Tがあるかどうかを検出する。
そして、欠点を検出した欠点検出回路5a(又は5b)
は制御部11に出力信号を送る。そうすると、この信号
を受けて制御部11は、そのセレクター手段13を介し
である画像表示センサカメラ10a(又は10b)のみ
を選択して動作使用する。
は制御部11に出力信号を送る。そうすると、この信号
を受けて制御部11は、そのセレクター手段13を介し
である画像表示センサカメラ10a(又は10b)のみ
を選択して動作使用する。
この選択使用される画像表示センサカメラ10a(又は
10b)は、検出用カメラ群4よりも印刷シート1の移
動方向下流位置に設けられた画像表示用カメラ群10の
うち、上記欠点対象Tを検出した欠点検出回路5a(又
は5b)に対して、印刷シート1の移動方向に対応した
ものである。
10b)は、検出用カメラ群4よりも印刷シート1の移
動方向下流位置に設けられた画像表示用カメラ群10の
うち、上記欠点対象Tを検出した欠点検出回路5a(又
は5b)に対して、印刷シート1の移動方向に対応した
ものである。
また、このとき選択されない画像表示センサカメラ10
a(又は10b)の運転状態は、依然として制御部11
のモード切替え手段14により、待機モードに維持され
ている。
a(又は10b)の運転状態は、依然として制御部11
のモード切替え手段14により、待機モードに維持され
ている。
したがって、選択された画像表示センサカメラ10a(
又は10b)は、上記欠点検出回路5a(又は5b)に
より検出された欠点対象Tを視野に収めて撮像する。そ
して、この画像表示センサカメラ10a(又は10b)
の映像出力は制御部11を介してメモリ12に記憶され
る。
又は10b)は、上記欠点検出回路5a(又は5b)に
より検出された欠点対象Tを視野に収めて撮像する。そ
して、この画像表示センサカメラ10a(又は10b)
の映像出力は制御部11を介してメモリ12に記憶され
る。
すなわち、以上のようにして欠点検出回路5a(又は5
b)が欠点検出をするたびに、この回路に対応する画像
表示センサカメラ10a(又は10b)を選択使用させ
て、この画像表示センサカメラ10a(又は10b)の
映像出力をメモリ12に記憶させるから、画像表示用カ
メラ群10をなす各画像表示センサカメラ10a、10
bに対してメモリ12を共通使用できる。
b)が欠点検出をするたびに、この回路に対応する画像
表示センサカメラ10a(又は10b)を選択使用させ
て、この画像表示センサカメラ10a(又は10b)の
映像出力をメモリ12に記憶させるから、画像表示用カ
メラ群10をなす各画像表示センサカメラ10a、10
bに対してメモリ12を共通使用できる。
そのため、メモリ12およびこれに接続される映像器1
5の使用数を一台又は数台に少なくでき、したがって、
表面観察装置2全体の構成を簡単にできるとともに、そ
の低コスト化を大きく実現できる。
5の使用数を一台又は数台に少なくでき、したがって、
表面観察装置2全体の構成を簡単にできるとともに、そ
の低コスト化を大きく実現できる。
そして、メモリ12に記憶された映像情報は、このメモ
リ12に接続されたモニタテレビ等の映像器15に表示
されるから、オペレータは映像器15の画像を見て欠点
情報を判別できる。
リ12に接続されたモニタテレビ等の映像器15に表示
されるから、オペレータは映像器15の画像を見て欠点
情報を判別できる。
また、画像表示センサカメラ10a、10bの数を、欠
点検出センサカメラ4a、4bの数よりも多くしである
から、各画像表示センサカメラlQa、10bの視野を
、欠点検出センサカメラの4a、4b視野よりも狭くで
きる。そのため、記憶された映像情報を映像器15上に
おいて大きく表示できるから、この拡大表示により自動
検出された欠点情報の目視判別をより容易に行うことが
できる。
点検出センサカメラ4a、4bの数よりも多くしである
から、各画像表示センサカメラlQa、10bの視野を
、欠点検出センサカメラの4a、4b視野よりも狭くで
きる。そのため、記憶された映像情報を映像器15上に
おいて大きく表示できるから、この拡大表示により自動
検出された欠点情報の目視判別をより容易に行うことが
できる。
また、本実施例の表面観察装置2においては、印刷シー
ト1の色調が変化する場合や、明度が同じでも色合いが
異なる場合であっても既述の欠点の検出およびその目視
判定が可能である。以下、この点について説明する。、 検出用カメラ群4の第1欠点検出センサカメラ群をなす
各欠点検出センサカメラ4a相互の視野Aは、重複部分
Bにより切れ目なく連続しているから、この第1欠点検
出センサカメラ群は印刷シート1の全幅を観察できる。
ト1の色調が変化する場合や、明度が同じでも色合いが
異なる場合であっても既述の欠点の検出およびその目視
判定が可能である。以下、この点について説明する。、 検出用カメラ群4の第1欠点検出センサカメラ群をなす
各欠点検出センサカメラ4a相互の視野Aは、重複部分
Bにより切れ目なく連続しているから、この第1欠点検
出センサカメラ群は印刷シート1の全幅を観察できる。
同様に、欠点検出センサカメラ群4の第2欠点検出セン
サカメラ群をなす各欠点検出センサカメラ4b相互の視
野Cも、重複部分りにより切れ目なく連続しているから
、第2欠点検出センサカメラ群も印刷シート1の全幅を
観察できる。
サカメラ群をなす各欠点検出センサカメラ4b相互の視
野Cも、重複部分りにより切れ目なく連続しているから
、第2欠点検出センサカメラ群も印刷シート1の全幅を
観察できる。
そして、ml、第2欠点検出センサカメラ群の各欠点検
出センサカメラ4a、4bは交互に配設されているから
、以上のように視野に切れ目がない第1、第2の欠点検
出センサカメラ群の視野A。
出センサカメラ4a、4bは交互に配設されているから
、以上のように視野に切れ目がない第1、第2の欠点検
出センサカメラ群の視野A。
Cは互いに重複されている。そのため、印刷シート1同
じ部分を第1欠点検出センサセンサカメラ群および第2
欠点検出センサカメラ群の夫々により同時に観察できる
。
じ部分を第1欠点検出センサセンサカメラ群および第2
欠点検出センサカメラ群の夫々により同時に観察できる
。
したがって、観察上における抜けをなくすことができ、
そのため観察精度が向上され高性能の観察を実現できる
。
そのため観察精度が向上され高性能の観察を実現できる
。
そして、各欠点検出センサカメラ群の欠点検出センサカ
メラ4aは青果の単色色フィルタ7を有して形成され、
かつ、欠点検出センサカメラ4bは赤系の単色色フィル
タ8を有しているから、これら単色色フィルタ7.8を
通して印刷シート1の同一部分を同時に観察して、その
フィルタ色に応じて、明度が同じで色合いが異なる場合
にも、また色調が変化している場合にも、欠点情報を検
出できる。
メラ4aは青果の単色色フィルタ7を有して形成され、
かつ、欠点検出センサカメラ4bは赤系の単色色フィル
タ8を有しているから、これら単色色フィルタ7.8を
通して印刷シート1の同一部分を同時に観察して、その
フィルタ色に応じて、明度が同じで色合いが異なる場合
にも、また色調が変化している場合にも、欠点情報を検
出できる。
さらに、各欠点検出センサカメラ群の欠点検出センサカ
メラ4g、4bが出力する視野情報は、単色色フィルタ
7.8を通して得たものであるから、この視野情報は予
め色分離された視野情報となっている。
メラ4g、4bが出力する視野情報は、単色色フィルタ
7.8を通して得たものであるから、この視野情報は予
め色分離された視野情報となっている。
そのため、各欠点検出センサカメラ4a、4bからの出
力を、そのまま欠点検出回路5a、5bに入力して処理
できる。したがって、欠点の自動検出のために従来必要
であった色分離回路を省略でき、簡単な構成にできる。
力を、そのまま欠点検出回路5a、5bに入力して処理
できる。したがって、欠点の自動検出のために従来必要
であった色分離回路を省略でき、簡単な構成にできる。
また、以上と同様な観察が画像表示用カメラ群10の各
画像表示センサカメラ10a・・・、10b・・・にお
いても実施されることは勿論である。
画像表示センサカメラ10a・・・、10b・・・にお
いても実施されることは勿論である。
したがって、以上の理由により印刷シート1の色調が変
化する場合や、明度が同じでも色合いが異なる場合であ
っても既述の欠点の自動検出、およびこの検出された欠
点に対する映像器15を用いた目視判定が可能である。
化する場合や、明度が同じでも色合いが異なる場合であ
っても既述の欠点の自動検出、およびこの検出された欠
点に対する映像器15を用いた目視判定が可能である。
しかも、本実施例の表面観察装置2においては、その各
センサカメラ4a、4bのCCDリニアアレーイメージ
センサ3には、第2図中θの範囲の光が1番目から25
5番目までの露出された画素および光が回り込む画素に
対して入射し、それ以外の他の画素には光が入射しない
。
センサカメラ4a、4bのCCDリニアアレーイメージ
センサ3には、第2図中θの範囲の光が1番目から25
5番目までの露出された画素および光が回り込む画素に
対して入射し、それ以外の他の画素には光が入射しない
。
そのため、CCDリニアアレーイメージセンサ3の1番
目から255番目までの露出された画素を含む光入射有
効画素には信号電荷が蓄積され、その他の1024番目
側の他の画素には光起電の電荷がなくゼロであり、これ
ら後者の画素に対応する転送部部分は常に信号電荷の転
送を受は入れる状態に保持されている。
目から255番目までの露出された画素を含む光入射有
効画素には信号電荷が蓄積され、その他の1024番目
側の他の画素には光起電の電荷がなくゼロであり、これ
ら後者の画素に対応する転送部部分は常に信号電荷の転
送を受は入れる状態に保持されている。
そして、このCCDリニアアレーイメージセンサ3の駆
動時には、1番目から255番目までの露出された画素
を含む光入射有効画素に蓄積された信号電荷分が直列読
み出しされる。それによって、画素数が1024の高感
度汎用CCDリニアアレーイメージセンサ3を用いるに
も拘らず、これを等価的に画素数255個のCCDリニ
アアレーイメージセンサとして用いることができる。
動時には、1番目から255番目までの露出された画素
を含む光入射有効画素に蓄積された信号電荷分が直列読
み出しされる。それによって、画素数が1024の高感
度汎用CCDリニアアレーイメージセンサ3を用いるに
も拘らず、これを等価的に画素数255個のCCDリニ
アアレーイメージセンサとして用いることができる。
このようにCCDリニアアレーイメージセンサ3が有す
る全画素(1024画素)についての信号電荷分を直列
読み出しする必要がなく、既述のように1番目から25
5番目までの画素を含む光入射有効画素分についての直
列読み出しをすればよいから、第4図に示す出力波形に
おいて1スキヤンレートに占める読み出し時間Jを短く
できる。
る全画素(1024画素)についての信号電荷分を直列
読み出しする必要がなく、既述のように1番目から25
5番目までの画素を含む光入射有効画素分についての直
列読み出しをすればよいから、第4図に示す出力波形に
おいて1スキヤンレートに占める読み出し時間Jを短く
できる。
そのため、感光部としての1024個の画素に生じた信
号電荷を転送部に並列書き込みするフィールドシフト時
間Fと上記読み出し時間Jとの合計時間である、1スキ
ヤンレート(1走査時間)■を短縮できる。
号電荷を転送部に並列書き込みするフィールドシフト時
間Fと上記読み出し時間Jとの合計時間である、1スキ
ヤンレート(1走査時間)■を短縮できる。
したがって、スキャンレートの短縮によりセンサカメラ
4g、4bを高速駆動できるから、この表面観察装置に
よる各画素の流れ分解能(つまり、CCDリニアアレー
イメージセンサ3の各画素における印刷シートに対する
走行方向の視野幅)が高められ、印刷シート1表面の観
察性能を向上できる。そのため、印刷シート1をより高
速で走行させたり、検出対象となる欠点の大きさがより
小さく定められる場合においても、その欠点を確実に検
出できるものである。
4g、4bを高速駆動できるから、この表面観察装置に
よる各画素の流れ分解能(つまり、CCDリニアアレー
イメージセンサ3の各画素における印刷シートに対する
走行方向の視野幅)が高められ、印刷シート1表面の観
察性能を向上できる。そのため、印刷シート1をより高
速で走行させたり、検出対象となる欠点の大きさがより
小さく定められる場合においても、その欠点を確実に検
出できるものである。
勿論、以上と同様な高速駆動が画像表示用カメラ群10
の各画像表示センサカメラ10a。
の各画像表示センサカメラ10a。
10bにおいても実施されることは言うまでもない。
また、上記一実施例では制御部11、メモリ12、およ
び映像器15のセットを1組だけ設けたが、このセット
を複数組設けてもよく、その場合には、欠点が同時に複
数箇所で検出されたときにも、これらの自動検出と目視
による欠点判定を行うことが可能である。
び映像器15のセットを1組だけ設けたが、このセット
を複数組設けてもよく、その場合には、欠点が同時に複
数箇所で検出されたときにも、これらの自動検出と目視
による欠点判定を行うことが可能である。
なお、本発明は移動される連続または枚葉のシート(印
刷の如何を問わない)状物に対する表面観察に制約され
ず、移動される立体物に対する表面観察にも適用できる
ことはもちろんである。また、本発明において、観察の
高速化が要請されない場合には、上記遮光板6を省略し
てCCDリニアアレーイメージセンサ3の全画素に対す
る信号電荷の直列読み出しを実施してもよい。さらに、
欠点対象によっては、既述のようなモノクロセンサカメ
ラのカラー化構造は省略して実施してもよい。また、本
発明は欠点検出の一種である寸法測定にも適用できる。
刷の如何を問わない)状物に対する表面観察に制約され
ず、移動される立体物に対する表面観察にも適用できる
ことはもちろんである。また、本発明において、観察の
高速化が要請されない場合には、上記遮光板6を省略し
てCCDリニアアレーイメージセンサ3の全画素に対す
る信号電荷の直列読み出しを実施してもよい。さらに、
欠点対象によっては、既述のようなモノクロセンサカメ
ラのカラー化構造は省略して実施してもよい。また、本
発明は欠点検出の一種である寸法測定にも適用できる。
例えば、印刷シートの幅測定において、印刷シートの縁
が欠落しているような場合には、その寸法変化を観察し
て検出することが可能である。
が欠落しているような場合には、その寸法変化を観察し
て検出することが可能である。
[発明の効果]
以上説明した本発明の表面観察装置においては、検出用
カメラ群の各欠点検出センサカメラに接続された欠点検
出回路が欠点検出をするたびに、検出用カメラ群よりも
被検査物の移動方向下流側に設けた画像表示用カメラ群
の各画像表示センサカメラのうち、上記欠点検出をした
欠点検出回路に接続されている欠点検出カメラに対応す
る画像表示センサカメラを、制御部で選択使用させると
ともにこの画像表示センサカメラの映像出力をメモリに
記憶させ、メモリに記憶された映像情報を、このメモリ
に接続される映像器に表示させ目視により欠点判定する
ようにした構成であるから、画像表示用カメラ群をなす
各画像表示センサカメラに対してメモリを共通使用でき
る。したがって、メモリおよびこれに接続される映像器
の使用数を少なくでき、観察装置全体の構成の簡単化と
その低コスト化を実現できる。
カメラ群の各欠点検出センサカメラに接続された欠点検
出回路が欠点検出をするたびに、検出用カメラ群よりも
被検査物の移動方向下流側に設けた画像表示用カメラ群
の各画像表示センサカメラのうち、上記欠点検出をした
欠点検出回路に接続されている欠点検出カメラに対応す
る画像表示センサカメラを、制御部で選択使用させると
ともにこの画像表示センサカメラの映像出力をメモリに
記憶させ、メモリに記憶された映像情報を、このメモリ
に接続される映像器に表示させ目視により欠点判定する
ようにした構成であるから、画像表示用カメラ群をなす
各画像表示センサカメラに対してメモリを共通使用でき
る。したがって、メモリおよびこれに接続される映像器
の使用数を少なくでき、観察装置全体の構成の簡単化と
その低コスト化を実現できる。
また、画像表示センサカメラの数を欠点検出センサカメ
ラの数よりも多くした表面観察装置においては、自動検
出された欠点情報を映像器上において拡大表示できるか
ら、その目視による欠点判定を容品化できる。
ラの数よりも多くした表面観察装置においては、自動検
出された欠点情報を映像器上において拡大表示できるか
ら、その目視による欠点判定を容品化できる。
第1図から第4図は本発明の一実施例に係わり、第1図
は表面観察装置全体の構成を説明するための概略平面図
、第2図は同観察装置の検出用カメラ群とその視野との
関係を説明するための図、第3図はセンサカメラの撮像
部分を説明するための概略図、第4図は欠点検出センサ
カメラの出力信号波形を示す波形図である。第5図は従
来の表面観察装置の構成を説明するための概略平面図で
ある。 1・・・印刷シート(被検査物)、2・・・観察装置、
3・・・CCDリニアアレーイメージセンサ、4・・−
検出用カメラ群、4a、4b・・・欠点検出センサカメ
ラ、10・・・画像表示用カメラ群、10a、10b・
・・画像表示センサカメラ、11・・・制御部、12・
・・メモリ、13・・・セレクター手段、15・・・映
像器。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 1、、= tp畢!シート(今ま1受tマ勿) 2
・・・層芝バシ多!艷。 3・・・CCDリニアアL−づノーシ゛セ〉デ。 4・・・才央七mηメラ「デ、4a、4b−9,欠虐、
呻鉗士セーノ丈ηメラ。 第2図 12・・・メモ、°人13・・七し7 v−+役、15
.,1+夫?奪きし。 第1@ 第311
は表面観察装置全体の構成を説明するための概略平面図
、第2図は同観察装置の検出用カメラ群とその視野との
関係を説明するための図、第3図はセンサカメラの撮像
部分を説明するための概略図、第4図は欠点検出センサ
カメラの出力信号波形を示す波形図である。第5図は従
来の表面観察装置の構成を説明するための概略平面図で
ある。 1・・・印刷シート(被検査物)、2・・・観察装置、
3・・・CCDリニアアレーイメージセンサ、4・・−
検出用カメラ群、4a、4b・・・欠点検出センサカメ
ラ、10・・・画像表示用カメラ群、10a、10b・
・・画像表示センサカメラ、11・・・制御部、12・
・・メモリ、13・・・セレクター手段、15・・・映
像器。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 1、、= tp畢!シート(今ま1受tマ勿) 2
・・・層芝バシ多!艷。 3・・・CCDリニアアL−づノーシ゛セ〉デ。 4・・・才央七mηメラ「デ、4a、4b−9,欠虐、
呻鉗士セーノ丈ηメラ。 第2図 12・・・メモ、°人13・・七し7 v−+役、15
.,1+夫?奪きし。 第1@ 第311
Claims (2)
- (1)撮像部がCCDイメージセンサで形成された多数
の欠点検出センサカメラを、移動される被検査物に対向
させるとともに、上記披検査物の移動方向と交差する方
向に一列に配設して形成される検出用カメラ群と、 撮像部がCCDイメージセンサで形成された多数の画像
表示センサカメラを、上記検出用カメラ群よりも上記被
検査物の移動方向下流位置において上記被検査物に対向
させるとともに、上記披検査物の移動方向と交差する方
向に一列に配設して形成される画像表示用カメラ群と、 上記検出用カメラ群の各欠点検出センサカメラの出力端
に夫々接続して設けられた欠点検出回路群と、 この欠点検出回路群および上記画像表示用カメラ群に夫
々接続して設けられ、上記欠点検出回路からの出力を受
けたときに、その出力を出した上記欠点検出センサカメ
ラに対し上記被検査物の移動方向に対応する画像表示セ
ンサカメラを選択使用させるセレクター手段を有した制
御部と、この制御部に接続して設けられ、上記選択使用
された上記画像表示センサカメラからの映像出力を記憶
するとともに、記憶された映像情報を映像器に表示させ
るメモリとを具備したことを特徴とする表面観察装置。 - (2)上記画像表示用カメラ群をなす画像表示センサカ
メラの数を、上記検出用カメラ群をなした欠点検出セン
サカメラの数よりも多くしたことを特徴とする請求項1
に記載の表面観察装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1274946A JPH03137547A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 表面観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1274946A JPH03137547A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 表面観察装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03137547A true JPH03137547A (ja) | 1991-06-12 |
Family
ID=17548760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1274946A Pending JPH03137547A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 表面観察装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03137547A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016163227A1 (ja) * | 2015-04-06 | 2016-10-13 | ソニー株式会社 | 制御装置および方法、並びにプログラム |
-
1989
- 1989-10-24 JP JP1274946A patent/JPH03137547A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016163227A1 (ja) * | 2015-04-06 | 2016-10-13 | ソニー株式会社 | 制御装置および方法、並びにプログラム |
US10542212B2 (en) | 2015-04-06 | 2020-01-21 | Sony Corporation | Self-position estimation device and method |
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