JPH03137547A - 表面観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、移動される被検査物の表面を観察して、被検
査物の欠点検出や寸法測定のもとになる情報を得るため
の表面観察装置に関する。

［従来の技術］ 被検査物としての一例である印刷シート各部の欠点寸法
（シート幅、印刷パターンのピッチの異常等）を測定し
たり、印刷シートの欠点（穴、異物、汚れ、黒点、フィ
ッシュアイ、印刷ずれ、色むら、変色、筋等）を検出す
る装置において使用される従来の表面観察装置は、第５
図に示されている。

この表面観察装置は、撮像部をＣＣＤリニアアレーイメ
ージセンサで形成した多数のセンサカメラａを備えて形
成されている。各センサカメラａは、移動される印刷シ
ートｂに対向し、かつ、互いの視野を一部重複させて印
刷シートｂの移動方向（第５図中矢印に示す。）と直角
に交差する方向に一列に配設されている。それによって
印刷シー）ｂの全幅を観察できるようになっている。ま
た、第５図中Ｃは各センサカメラａの出力端に夫々別々
接続して設けられた欠点検出回路で、これらと上記各セ
ンサカメラａとで欠点検出装置が形成されている。

そして、上記センサカメラａで観察した観察情報を、欠
点検出回路Ｃとは別に目視により判定するために、各セ
ンサカメラａの出力端にメモリｄを夫々別々に接続する
とともに、これらメモリｄの出力端に夫々別々にモニタ
テレビ等の映像器ｅが接続されている。これらメモリｄ
および映像器ｅにより、各センサカメラａで観察してい
る部分の映像情報を１画面分づつ映像器ｅに静止画とし
て表示して、オペレータによる目視の欠点判定を可能に
するとともに、映像情報の記録が残るようにしている。

［発明が解決しようとする課題］ 従来は第５図より明らかなように、欠点検出を行うため
の各センサカメラａが、目視判定用の映像情報を得るた
めのカメラを兼ねている構成である。しかし、欠点ｇ等
の情報はセンサカメラａの視野を通過しなければ欠点と
して認識されないとともに、上記視野を通り過ぎてしま
った欠点情報を欠点検出処理をした後にメモリｄに記憶
することはできず、また、欠点等は印刷シートｂの幅方
向のどの位置において発生するか予ｎ１できない。

そのため、既述のようなオペレータによる欠点判定を行
う場合には、各センサカメラａが見ている観察情報を全
て夫々のメモリｄに記憶させなければならない。すなわ
ち、センサカメラａの数だけメモリｄおよび映像器ｅを
必要とするから、構成が複雑であり、しかも、メモリｄ
は非常に高価であるため、装置全体のコストが異常に高
いという問題があった。

また、既述のように欠点検出を行うための各センサカメ
ラａが、目視判定用の映像情報を得るためのカメラを兼
ねているから、映像器ｅに表示される欠点情報の大きさ
はセンサカメラａの視野の大きさに依存してしまう。そ
のため、欠点情報を拡大して視認することは不可能であ
り、目視による欠点判定が難しい場合も多々あった。

本発明の目的は、構成が簡単で安価に得ることができる
表面観察装置を得ることにあり、また、本発明の他の目
的は、目視による欠点判定を容易化できる表面観察装置
を得ることにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明の表面観察装置にお
いては、撮像部がＣＣＤイメージセンサで形成された多
数の欠点検出センサカメラを、移動される被検査物に対
向させるとともに、上記被検査物の移動方向と交差する
方向に一列に配設して形成される検出用カメラ群と、撮
像部がＣＣＤイメージセンサで形成された多数の画像表
示センサカメラを、上記検出用カメラ群よりも上記被検
査物の移動方向下流位置において上記被検査物に対向さ
せるとともに、上記被検査物の移動方向と交差する方向
に一列に配設して形成される画像表示用カメラ群と、上
記検出用カメラ群の各欠点検出センナカメラの出力端に
夫々接続して設けられた欠点検出回路群と、この欠点検
出回路群および上記画像表示用カメラ群に夫々接続して
設けられ、上記欠点検出回路からの出力を受けたときに
、その出力を出した上記欠点検出センサカメラに対し上
記被検査物の移動方向に対応する上記画像表示センサカ
メラを選択使用させるセレクター手段を有した制ｍ部と
、この＄ＩＪ御部に接続して設けられ、上記選択使用さ
れた上記画像表示センサカメラからの映像出力を記憶す
るとともに、記憶された映像情報を映像器に表示させる
メモリとを具備したものである。

また、目視による欠点判定を容易化するために、上記画
像表示用カメラ群をなす画像表示センサカメラの数を、
上記検出用カメラ群をなした欠点検出センサカメラの数
よりも多くするとよい。

［作用］ 本発明の表面観察装置において、検出用カメラ群の欠点
検出センサカメラは被検査物を観察し、その観察情報は
欠点検出回路により処理されて、欠点があるかどうかが
自動的に検出される。そして、欠点を自動検出した欠点
検出回路は制御部に出力信号を送るから、制御部のセレ
クター手段が、検出用カメラ群よりも被検査物の移動方
向下流位置に設けられた画像表示用カメラ群のうち、欠
点を自動検出した上記欠点検出回路に対して被検査物の
移動方向に対応している画像表示センサカメラを選択使
用させる。そうすると、選択されたこの画像表示センサ
カメラは、上記欠点検出回路により自動的に検出された
欠点を視野に収めて撮像する。そして、この画像表示セ
ンサカメラの映像出力は上記制御部を介してメモリに記
憶される。

以上のようにして欠点検出回路が欠点検出をするたびに
、この回路に対応する画像表示センサカメラを選択使用
させて、この画像表示センサカメラの映像出力をメモリ
に記憶させるから、画像表示用カメラ群をなす各画像表
示センサカメラに対してメモリを共通使用できる。メモ
リに記憶された映像情報は、このメモリに接続されたモ
ニタテレビ等の映像器に表示されるから、オペレータは
映像器の画像を見て欠点情報を判別できる。

また、画像表示センサカメラの数を欠点検出センサカメ
ラの数よりも多くした表面観察装置においては、画像表
示センサカメラの視野を欠点検出センサカメラの視野よ
りも狭くできるため、その映像情報を映像器上において
大きく表示できる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図から第４図を参照して
説明する。

第１図および第２図中１は検査領域幅Ｅよりも小さい幅
を有して形成され、高速で移動される被検査物としての
印刷シートである。このシート１の移動方向は第１図で
は矢印で示され、第２図では同図を描いた紙面の表裏方
向である。この印刷シート１の上方には、その印刷面と
対向して表面観察装置２の検出用カメラ群４および画像
表示用カメラ群１０が夫々設置されている。

表面観察装置２は、検出用カメラ群４、画像表示用カメ
ラ群１０、検出回路群５、制御部１１、メモリ１２とを
具備して形成されている。

検出用カメラ群４は、撮像部をＣＣＤリニアアレーイメ
ージセンサ３で形成した多数の欠点検出センサカメラ４
ａ、４ｂからなる。各欠点検出センサカメラ４ａ、４ｂ
は、印刷シート１と対向して、この印刷シート１の移動
方向と直角に交差する方向に一列に配設されている。な
お、直角に限らず斜めに交差させてもよい（この場合、
信号処理回路には交差角に応じた角度補正回路を設ける
）。

なお、本実施例では色調が変化する場合や、明度が同じ
でも色合いが異なる場合であっても欠点の検出が可能と
なるようにするために、第２図に詳しく示すように検出
用カメラ群４は、第１欠点検出センサカメラ群と第２欠
点検出センサカメラ群とを少なくとも備えて形成されて
いる。

第１欠点検出センサカメラ群は、ＣＣＤリニアアレーイ
メージセンサ３に対する入射光路に交差する単色の色フ
ィルタ、例えば青光色フィルタ７が設けられた複数の欠
点検出センサカメラ４ａで形成されている。各欠点検出
センサカメラ４ａにはモノクロのものが採用されている
。

第２欠点検出センサカメラ群は、ＣＣＤリニアアレーイ
メージセンサ３に対する入射光路に交差する単色の色フ
ィルタ、例えば赤系色フィルタ８が設けられた複数の欠
点検出センサカメラ４ｂで形成されている。各欠点検出
センサカメラ４ｂにはモノクロのものが採用されている
。

なお、各色フィルタ７．８は本実施例ではレンズの前側
に取付けたが、レンズと上記センサ３との間に取付けて
もよい。また、これら色フィルタ７．８には、その分光
感度特性が緑色の波長領域を一部含む分光感度特性を有
する青果と赤系の色フィルタ７．８を用いることが望ま
しい。そして、このようにした場合には、実質上３原色
の色フィルターを使用しているのと略等価となり、十分
に実用的である。勿論、縁糸の色フィルタを備えた複数
のモノクロセンサカメラからなる他の欠点検出センサカ
メラ群を備えても差支えないとともに、検出対象によっ
ては青果または赤系の内の一方を縁糸の色フィルタに置
き換えてもよい。

そして、第１欠点検出センサカメラ群の各欠点検出セン
サカメラ４ａは、その視野の一部を重複させて一定間隔
ごとに夫々配設されている。第１図中Ａに欠点検出セン
サカメラ４ａの視野を示すとともに、Ｂに視野Ａの重複
部分が示されている。

また、他の欠点検出センサカメラ４ｂの視野との区別を
容易に理解させるために、便宜上第１図では各欠点検出
センサカメラ４ａに対する入射光路に斜線を付して示し
ている。

第２欠点検出センサカメラ群の各欠点検出センサカメラ
４ｂは、上記第１欠点検出センサカメラ群の各欠点検出
センサカメラ４ａに対して交互に配設されている。した
がって、これら各欠点検出センサカメラ４ｂも、その視
野の一部を重複させて一定間隔ごとに夫々配設されてい
る。第２図中Ｃに欠点検出センサカメラ４ｂの視野を示
すとともに、Ｄに視野Ｃの重複部分が示されている。な
お、各視野Ａ、Ｃの大きさは等しいとともに、各重複部
分Ｂ、Ｄの大きさも等しくなっている。

上記画像表示用カメラ群１０は、撮像部をＣＣＤリニア
アレーイメージセンサで形成した多数の画像表示センサ
カメラ１０ａ、１０ｂからなる。各画像表示センサカメ
ラ１０ａ、１０ｂは、上記検出用カメラ群４よりも印刷
シート１の移動方向下流位置において、印刷シート１に
対向するとともに、この印刷シート１の移動方向と直角
に交差する方向に一列に配設されている。第１図中寸法
りは、この画像表示用カメラ群１０と検出用カメラ群４
との離間距離を示している。そして、各画像表示センサ
カメラ１０ａ、１０ｂは、上記欠点検出センサカメラ４
ａ、４ｂの数よりも多く用いられている。その数は配設
スペースの関係により欠点検出センサカメラ４ａ、４ｂ
の５〜６倍程度が限界であり、それ以下で任意の倍数に
選択できる。

なお、このカメラ群１０も印刷シートの移動方向に対し
て直角に限らず斜めに交差させてもよい（この場合、信
号処理回路には交差角に応じた角度補正回路を設ける）
。また、この画像表示用カメラ群１０も、印刷シート１
の色調が変化する場合や、明度が同じでも色合いが異な
る場合であっても目視による欠点判定が可能となるよう
にするために、検出用カメラ群４と同様に構成されてい
るが、その詳細は既に説明した検出用センサ群４の構成
と同じであるから、その説明は省略する。

また、各センサカメラ４ａ、４ｂ、１０ａ。

１０ｂが備えるＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３に
は、その画素数が１０２４個または２０４８個の汎用品
が使用されている。そして、この高感度のＣＣＤリニア
アレーイメージセンサ３の光入射面の一部は、第３図に
示すように光を全く通さない遮光板６で覆われている。

遮光板６はＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３のシフ
トレジスタ（転送部）からの出力信号電荷の読み出し方
向側に位置する総数Ｎ個（つまり２５５個以下であり、
この場合２５５個）の画素を露出させて設けられている
。

第３図中矢印はＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３の
シフトレジスタからの出力信号電荷の読み出し方向を示
している。なお、露出画素と遮光板６との境目付近には
光の回り込みが多少あるので、例えば本実施例のように
２５５個の画素を露出させた場合にも、厳密に２５６番
目の画素から遮光されるものではなく、上記光の回り込
み分（通常５０画素程度）以降から実際に遮光されるよ
うになる。

以下、これら露出画素分と光が回り込む画素分とを合わ
せて光入射有効画素と称する。そして、このＣＣＤリニ
アアレーイメージセンサ３の駆動は、その出力信号電荷
の読み出しを、上記光入射有効画素分についての読み出
しが終わった時点で終了するようになっている。また、
以上のような構成の表面観察装置２においては、遮光し
た分だけＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３全体の視
野が狭まる（第２図中Ｈに狭まった視野範囲を示す。）
から、それを補って印刷シート１の横幅−杯を観察でき
るように適当数の各センサカメラ４ａ、４ｂ、１０ａ、
１０ｂが使用される。

上記各欠点検出センサカメラ４ａの出力端の夫々には、
欠点検出回路５ａが一台ずつ接続されているとともに、
各欠点検出センサカメラ４ｂの出力端の夫々にも欠点検
出回路５ｂが一台ずつ接続されている。これらの回路５
ａ、５ｂは欠点検出回路群５を形成している。

各欠点検出回路５ａ、５ｂは、ＣＣＤリニアアレーイメ
ージセンサ３から直列読み出しされた出力をもとに欠点
の検出をするものであり、例えば第４図の出力波形にお
ける欠点情報Ｐが、設定されたスレッショルドレベルＱ
を越えるかどうかを判定するものである。そして、その
判定が成立した時に上記欠点情報Ｐを欠点として認識し
て外部に出力する。

この欠点検出回路群５の出力端は制御部１１に接続され
ている。制御部１１には上記画像表示用カメラ群１０の
各画像表示センサカメラ１０ａ。

１０ｂが接続されている。制御部１１はセレクター手段
１３、およびモード切替え手段１４を備えている。

セレクター手段１３は、ＲＯＭテーブル、電気回路で組
まれた座標変換回路等で形成されている。

このセレクター手段１３は、欠点検出により認識された
欠点情報Ｐを出力した欠点検出回路５ａ（又は５ｂ）に
繋がっている欠点検出センサカメラ４ａ（又は４ｂ）の
視野下における欠点対象Ｔの座標位置（アドレス）を認
識するとともに、上記欠点対象Ｔを観察した欠点検出セ
ンサカメラに対して、印刷シート１の移動方向に対応す
る位置の画像表示センサカメラ１０ａ　（又は１０ｂ）
を一定時間の間だけ選択使用させるように構成されてい
る。さらに、制御部１１は選択使用された画像表示セン
サカメラからの１画面分の映像出力を、この制御部１１
に接続されたメモリ１２に入力させて記憶させるように
なっている。

モード切替え手段１４は、画像表示用カメラ群１０の各
画像表示センサカメラ１０ａ、１０ｂの運転モードを、
動作モードと待機モードとに切替えるものである。動作
モードはセレクター手段１３が選択した画像表示センサ
カメラに対して実施され、待機モードは非選択状態にあ
る画像表示センサカメラに対して実施される。

待機モードでは、このモードで運転されている画像表示
センサカメラの消費電力を、動作モードにある画像表示
センサカメラの消費電力よりも遥かに小さく抑制するよ
うになっている。このような節電構造によって、表面観
察装置２全体の消費電力を少なくするようにしである。

また、上記メモリ１２にはモニタテレビなどの映像器１
５やＶＴＲなどの外部記憶装置が接続され、映像器１５
の画面にはメモリ１２に記憶された映像情報が静止画と
して表示されるようになっている。

次ぎに、上記構成の表面観察装置２による欠点の検出動
作を説明する。

検出用カメラ群４の欠点検出センサカメラ４ａ。

４ｂは印刷シート１を観察し、その観察情報は欠点検出
回路群５の各欠点検出回路５ａ、５ｂにより夫々処理さ
れる。つまり、各欠点検出回路５ａ。

５ｂはこれに繋がっている欠点検出センサカメラ４ａ、
４ｂの視野内に欠点対象Ｔがあるかどうかを検出する。

そして、欠点を検出した欠点検出回路５ａ（又は５ｂ）
は制御部１１に出力信号を送る。そうすると、この信号
を受けて制御部１１は、そのセレクター手段１３を介し
である画像表示センサカメラ１０ａ（又は１０ｂ）のみ
を選択して動作使用する。

この選択使用される画像表示センサカメラ１０ａ（又は
１０ｂ）は、検出用カメラ群４よりも印刷シート１の移
動方向下流位置に設けられた画像表示用カメラ群１０の
うち、上記欠点対象Ｔを検出した欠点検出回路５ａ（又
は５ｂ）に対して、印刷シート１の移動方向に対応した
ものである。

また、このとき選択されない画像表示センサカメラ１０
ａ（又は１０ｂ）の運転状態は、依然として制御部１１
のモード切替え手段１４により、待機モードに維持され
ている。

したがって、選択された画像表示センサカメラ１０ａ（
又は１０ｂ）は、上記欠点検出回路５ａ（又は５ｂ）に
より検出された欠点対象Ｔを視野に収めて撮像する。そ
して、この画像表示センサカメラ１０ａ（又は１０ｂ）
の映像出力は制御部１１を介してメモリ１２に記憶され
る。

すなわち、以上のようにして欠点検出回路５ａ（又は５
ｂ）が欠点検出をするたびに、この回路に対応する画像
表示センサカメラ１０ａ（又は１０ｂ）を選択使用させ
て、この画像表示センサカメラ１０ａ（又は１０ｂ）の
映像出力をメモリ１２に記憶させるから、画像表示用カ
メラ群１０をなす各画像表示センサカメラ１０ａ、１０
ｂに対してメモリ１２を共通使用できる。

そのため、メモリ１２およびこれに接続される映像器１
５の使用数を一台又は数台に少なくでき、したがって、
表面観察装置２全体の構成を簡単にできるとともに、そ
の低コスト化を大きく実現できる。

そして、メモリ１２に記憶された映像情報は、このメモ
リ１２に接続されたモニタテレビ等の映像器１５に表示
されるから、オペレータは映像器１５の画像を見て欠点
情報を判別できる。

また、画像表示センサカメラ１０ａ、１０ｂの数を、欠
点検出センサカメラ４ａ、４ｂの数よりも多くしである
から、各画像表示センサカメラｌＱａ、１０ｂの視野を
、欠点検出センサカメラの４ａ、４ｂ視野よりも狭くで
きる。そのため、記憶された映像情報を映像器１５上に
おいて大きく表示できるから、この拡大表示により自動
検出された欠点情報の目視判別をより容易に行うことが
できる。

また、本実施例の表面観察装置２においては、印刷シー
ト１の色調が変化する場合や、明度が同じでも色合いが
異なる場合であっても既述の欠点の検出およびその目視
判定が可能である。以下、この点について説明する。、 検出用カメラ群４の第１欠点検出センサカメラ群をなす
各欠点検出センサカメラ４ａ相互の視野Ａは、重複部分
Ｂにより切れ目なく連続しているから、この第１欠点検
出センサカメラ群は印刷シート１の全幅を観察できる。

同様に、欠点検出センサカメラ群４の第２欠点検出セン
サカメラ群をなす各欠点検出センサカメラ４ｂ相互の視
野Ｃも、重複部分りにより切れ目なく連続しているから
、第２欠点検出センサカメラ群も印刷シート１の全幅を
観察できる。

そして、ｍｌ、第２欠点検出センサカメラ群の各欠点検
出センサカメラ４ａ、４ｂは交互に配設されているから
、以上のように視野に切れ目がない第１、第２の欠点検
出センサカメラ群の視野Ａ。

Ｃは互いに重複されている。そのため、印刷シート１同
じ部分を第１欠点検出センサセンサカメラ群および第２
欠点検出センサカメラ群の夫々により同時に観察できる
。

したがって、観察上における抜けをなくすことができ、
そのため観察精度が向上され高性能の観察を実現できる
。

そして、各欠点検出センサカメラ群の欠点検出センサカ
メラ４ａは青果の単色色フィルタ７を有して形成され、
かつ、欠点検出センサカメラ４ｂは赤系の単色色フィル
タ８を有しているから、これら単色色フィルタ７．８を
通して印刷シート１の同一部分を同時に観察して、その
フィルタ色に応じて、明度が同じで色合いが異なる場合
にも、また色調が変化している場合にも、欠点情報を検
出できる。

さらに、各欠点検出センサカメラ群の欠点検出センサカ
メラ４ｇ、４ｂが出力する視野情報は、単色色フィルタ
７．８を通して得たものであるから、この視野情報は予
め色分離された視野情報となっている。

そのため、各欠点検出センサカメラ４ａ、４ｂからの出
力を、そのまま欠点検出回路５ａ、５ｂに入力して処理
できる。したがって、欠点の自動検出のために従来必要
であった色分離回路を省略でき、簡単な構成にできる。

また、以上と同様な観察が画像表示用カメラ群１０の各
画像表示センサカメラ１０ａ・・・、１０ｂ・・・にお
いても実施されることは勿論である。

したがって、以上の理由により印刷シート１の色調が変
化する場合や、明度が同じでも色合いが異なる場合であ
っても既述の欠点の自動検出、およびこの検出された欠
点に対する映像器１５を用いた目視判定が可能である。

しかも、本実施例の表面観察装置２においては、その各
センサカメラ４ａ、４ｂのＣＣＤリニアアレーイメージ
センサ３には、第２図中θの範囲の光が１番目から２５
５番目までの露出された画素および光が回り込む画素に
対して入射し、それ以外の他の画素には光が入射しない
。

そのため、ＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３の１番
目から２５５番目までの露出された画素を含む光入射有
効画素には信号電荷が蓄積され、その他の１０２４番目
側の他の画素には光起電の電荷がなくゼロであり、これ
ら後者の画素に対応する転送部部分は常に信号電荷の転
送を受は入れる状態に保持されている。

そして、このＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３の駆
動時には、１番目から２５５番目までの露出された画素
を含む光入射有効画素に蓄積された信号電荷分が直列読
み出しされる。それによって、画素数が１０２４の高感
度汎用ＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３を用いるに
も拘らず、これを等価的に画素数２５５個のＣＣＤリニ
アアレーイメージセンサとして用いることができる。

このようにＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３が有す
る全画素（１０２４画素）についての信号電荷分を直列
読み出しする必要がなく、既述のように１番目から２５
５番目までの画素を含む光入射有効画素分についての直
列読み出しをすればよいから、第４図に示す出力波形に
おいて１スキヤンレートに占める読み出し時間Ｊを短く
できる。

そのため、感光部としての１０２４個の画素に生じた信
号電荷を転送部に並列書き込みするフィールドシフト時
間Ｆと上記読み出し時間Ｊとの合計時間である、１スキ
ヤンレート（１走査時間）■を短縮できる。

したがって、スキャンレートの短縮によりセンサカメラ
４ｇ、４ｂを高速駆動できるから、この表面観察装置に
よる各画素の流れ分解能（つまり、ＣＣＤリニアアレー
イメージセンサ３の各画素における印刷シートに対する
走行方向の視野幅）が高められ、印刷シート１表面の観
察性能を向上できる。そのため、印刷シート１をより高
速で走行させたり、検出対象となる欠点の大きさがより
小さく定められる場合においても、その欠点を確実に検
出できるものである。

勿論、以上と同様な高速駆動が画像表示用カメラ群１０
の各画像表示センサカメラ１０ａ。

１０ｂにおいても実施されることは言うまでもない。

また、上記一実施例では制御部１１、メモリ１２、およ
び映像器１５のセットを１組だけ設けたが、このセット
を複数組設けてもよく、その場合には、欠点が同時に複
数箇所で検出されたときにも、これらの自動検出と目視
による欠点判定を行うことが可能である。

なお、本発明は移動される連続または枚葉のシート（印
刷の如何を問わない）状物に対する表面観察に制約され
ず、移動される立体物に対する表面観察にも適用できる
ことはもちろんである。また、本発明において、観察の
高速化が要請されない場合には、上記遮光板６を省略し
てＣＣＤリニアアレーイメージセンサ３の全画素に対す
る信号電荷の直列読み出しを実施してもよい。さらに、
欠点対象によっては、既述のようなモノクロセンサカメ
ラのカラー化構造は省略して実施してもよい。また、本
発明は欠点検出の一種である寸法測定にも適用できる。

例えば、印刷シートの幅測定において、印刷シートの縁
が欠落しているような場合には、その寸法変化を観察し
て検出することが可能である。

［発明の効果］ 以上説明した本発明の表面観察装置においては、検出用
カメラ群の各欠点検出センサカメラに接続された欠点検
出回路が欠点検出をするたびに、検出用カメラ群よりも
被検査物の移動方向下流側に設けた画像表示用カメラ群
の各画像表示センサカメラのうち、上記欠点検出をした
欠点検出回路に接続されている欠点検出カメラに対応す
る画像表示センサカメラを、制御部で選択使用させると
ともにこの画像表示センサカメラの映像出力をメモリに
記憶させ、メモリに記憶された映像情報を、このメモリ
に接続される映像器に表示させ目視により欠点判定する
ようにした構成であるから、画像表示用カメラ群をなす
各画像表示センサカメラに対してメモリを共通使用でき
る。したがって、メモリおよびこれに接続される映像器
の使用数を少なくでき、観察装置全体の構成の簡単化と
その低コスト化を実現できる。

また、画像表示センサカメラの数を欠点検出センサカメ
ラの数よりも多くした表面観察装置においては、自動検
出された欠点情報を映像器上において拡大表示できるか
ら、その目視による欠点判定を容品化できる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第４図は本発明の一実施例に係わり、第１図
は表面観察装置全体の構成を説明するための概略平面図
、第２図は同観察装置の検出用カメラ群とその視野との
関係を説明するための図、第３図はセンサカメラの撮像
部分を説明するための概略図、第４図は欠点検出センサ
カメラの出力信号波形を示す波形図である。第５図は従
来の表面観察装置の構成を説明するための概略平面図で
ある。 １・・・印刷シート（被検査物）、２・・・観察装置、
３・・・ＣＣＤリニアアレーイメージセンサ、４・・−
検出用カメラ群、４ａ、４ｂ・・・欠点検出センサカメ
ラ、１０・・・画像表示用カメラ群、１０ａ、１０ｂ・
・・画像表示センサカメラ、１１・・・制御部、１２・
・・メモリ、１３・・・セレクター手段、１５・・・映
像器。 出願人代理人　　弁理士　鈴江武彦 １、、＝　ｔｐ畢！シート（今ま１受ｔマ勿）　　　２
・・・層芝バシ多！艷。 ３・・・ＣＣＤリニアアＬ−づノーシ゛セ〉デ。 ４・・・才央七ｍηメラ「デ、４ａ、４ｂ−９，欠虐、
呻鉗士セーノ丈ηメラ。 第２図 １２・・・メモ、°人１３・・七し７　ｖ−＋役、１５
．，１＋夫？奪きし。 第１＠ 第３１１

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）撮像部がＣＣＤイメージセンサで形成された多数
   の欠点検出センサカメラを、移動される被検査物に対向
   させるとともに、上記披検査物の移動方向と交差する方
   向に一列に配設して形成される検出用カメラ群と、 撮像部がＣＣＤイメージセンサで形成された多数の画像
   表示センサカメラを、上記検出用カメラ群よりも上記被
   検査物の移動方向下流位置において上記被検査物に対向
   させるとともに、上記披検査物の移動方向と交差する方
   向に一列に配設して形成される画像表示用カメラ群と、 上記検出用カメラ群の各欠点検出センサカメラの出力端
   に夫々接続して設けられた欠点検出回路群と、 この欠点検出回路群および上記画像表示用カメラ群に夫
   々接続して設けられ、上記欠点検出回路からの出力を受
   けたときに、その出力を出した上記欠点検出センサカメ
   ラに対し上記被検査物の移動方向に対応する画像表示セ
   ンサカメラを選択使用させるセレクター手段を有した制
   御部と、この制御部に接続して設けられ、上記選択使用
   された上記画像表示センサカメラからの映像出力を記憶
   するとともに、記憶された映像情報を映像器に表示させ
   るメモリとを具備したことを特徴とする表面観察装置。
2. （２）上記画像表示用カメラ群をなす画像表示センサカ
   メラの数を、上記検出用カメラ群をなした欠点検出セン
   サカメラの数よりも多くしたことを特徴とする請求項１
   に記載の表面観察装置。