JPH03137506A - 磁気ディスクの平坦度評価方法 - Google Patents
磁気ディスクの平坦度評価方法Info
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- JPH03137506A JPH03137506A JP27491189A JP27491189A JPH03137506A JP H03137506 A JPH03137506 A JP H03137506A JP 27491189 A JP27491189 A JP 27491189A JP 27491189 A JP27491189 A JP 27491189A JP H03137506 A JPH03137506 A JP H03137506A
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- magnetic disk
- flatness
- frequency
- disk
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Links
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Signal Processing For Digital Recording And Reproducing (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁気ディスクの平坦度評価方法に関するもので
ある。
ある。
［従来の技術］
従来、磁気ディスクの平坦度の評価方法としては、ディ
スク単体では光学干渉計による平面度の観察、実用の形
態に近い評価方法としては通常ＲＶＡテスターとよばれ
る装置にディスクを装着し、電気容量式距離センサーを
用いて回転中のディスクの面ブレを実測し、その振れ幅
により平坦度を評価している。
スク単体では光学干渉計による平面度の観察、実用の形
態に近い評価方法としては通常ＲＶＡテスターとよばれ
る装置にディスクを装着し、電気容量式距離センサーを
用いて回転中のディスクの面ブレを実測し、その振れ幅
により平坦度を評価している。
［発明の解決しようとする課題］
しかし、光学干渉式の平坦度評価では実用状態での平坦
性との対応が明らかでなく、ＲＶＡテスターによる方法
ではスピンドルモーターの回転精度、クランプ面の精度
を充分に管理する必要があり、充分な測定結果の再現性
が得られないためにディスク基板の平坦性の適確な評価
が得られない問題があった。
性との対応が明らかでなく、ＲＶＡテスターによる方法
ではスピンドルモーターの回転精度、クランプ面の精度
を充分に管理する必要があり、充分な測定結果の再現性
が得られないためにディスク基板の平坦性の適確な評価
が得られない問題があった。
［課題を解決するための手段］
本発明は、回転中の磁気ディスクの面ブレ波形の回転周
波数の高調波周波数成分の大きさを測定することによる
、実装時の磁気ディスクの平坦度評価方法を提供するも
のである。
波数の高調波周波数成分の大きさを測定することによる
、実装時の磁気ディスクの平坦度評価方法を提供するも
のである。
また本発明は、磁気ディスクを固定するための締付は力
を強化する前後における前記高調波周波数成分の大きさ
の増加量を測定することによる磁気ディスクの平坦度評
価方法を提供するものである。
を強化する前後における前記高調波周波数成分の大きさ
の増加量を測定することによる磁気ディスクの平坦度評
価方法を提供するものである。
本発明の方法を実施するための装置の構成例を第１図に
示す。第１図において１．被測定磁気ディスク、２１回
転スピンドル、３．磁気ディスク固定金具（ａ、スペー
サーリング。
示す。第１図において１．被測定磁気ディスク、２１回
転スピンドル、３．磁気ディスク固定金具（ａ、スペー
サーリング。
ｂ、クランプ金具）、４．非接触式距離センサー ５．
信号処理回路、６０周波数解析装置、および７０回転規
準角度センサーである。
信号処理回路、６０周波数解析装置、および７０回転規
準角度センサーである。
［作用］
非接触式距離センサー４の検出信号は信号処理回路５に
て較正、さらに必要に応じてセンサーの非線形性の補正
を施して周波数解析装置６に入力される。また回転スピ
ンドル２に設置された回転規準角度センサーの信号も上
記周波数解析装置６に入力される。
て較正、さらに必要に応じてセンサーの非線形性の補正
を施して周波数解析装置６に入力される。また回転スピ
ンドル２に設置された回転規準角度センサーの信号も上
記周波数解析装置６に入力される。
周波数解析装置６の解析結果はデイスブレーにて回転周
波数成分、２次高調波、３次高調波等の高次成分および
比較的スピンドル回転周波数と関連のない磁気ディスク
の振動成分についても結果を得ることができる。
波数成分、２次高調波、３次高調波等の高次成分および
比較的スピンドル回転周波数と関連のない磁気ディスク
の振動成分についても結果を得ることができる。
［実施例］
〈実施例１〉
非接触距離センサーに電気容量式距離センサーを用いて
直径１３０ｍｍの供試磁気ディスクの半径６０ｍｍの位
置を本発明による方法で測定した例を第２図および第３
図に示す。第２図に示した結果は磁気ディスクを回転中
にスリップしない程度に極くわずかの締付力で固定した
場合、第３図に示した結果はクランプ金具の６本の締付
ネジを４ ｋｇ−ｃｍのトルクで締付けて磁気ディスク
を固定した場合である。ディスクの回転数は３．６０Ｏ
ｒｐｍである。
直径１３０ｍｍの供試磁気ディスクの半径６０ｍｍの位
置を本発明による方法で測定した例を第２図および第３
図に示す。第２図に示した結果は磁気ディスクを回転中
にスリップしない程度に極くわずかの締付力で固定した
場合、第３図に示した結果はクランプ金具の６本の締付
ネジを４ ｋｇ−ｃｍのトルクで締付けて磁気ディスク
を固定した場合である。ディスクの回転数は３．６０Ｏ
ｒｐｍである。
締付力が極く小さい場合は磁気ディスクが充分に回転ス
ピンドルに固定されていないため回転周波数（６０Ｈｚ
）成分は大きいが高調波成分は小さい。上述のように４
ｋｇ−ｃｍのトルクで締付けた場合は回転周波数（６
０Ｈｚ）成分は減少するが、高調波成分が増大する。こ
れは締付けによる磁気ディスクの変形に起因するもので
ある。
ピンドルに固定されていないため回転周波数（６０Ｈｚ
）成分は大きいが高調波成分は小さい。上述のように４
ｋｇ−ｃｍのトルクで締付けた場合は回転周波数（６
０Ｈｚ）成分は減少するが、高調波成分が増大する。こ
れは締付けによる磁気ディスクの変形に起因するもので
ある。
第４図に本発明による方法と従来法との比較を示す例と
して、磁気ディスクの回転スピンドルに対する固定位置
を角度（装着角度位置という）４５度毎に変えて測定し
た結果を示す。第１表にこの測定結果の平均値、分散お
よびその比率％を示す。従来法で得られる面ブレ値およ
び本発明の構成による回転周波数（６０Ｈｚ）成分は上
述の磁気ディスクの装着角度位置で変動するが、２次高
調波成分の大きさはほぼ一定の値を示している。
して、磁気ディスクの回転スピンドルに対する固定位置
を角度（装着角度位置という）４５度毎に変えて測定し
た結果を示す。第１表にこの測定結果の平均値、分散お
よびその比率％を示す。従来法で得られる面ブレ値およ
び本発明の構成による回転周波数（６０Ｈｚ）成分は上
述の磁気ディスクの装着角度位置で変動するが、２次高
調波成分の大きさはほぼ一定の値を示している。
〈実施例２〉
実施例１と同様にスペーサーリング上に供試ディスクを
装着し、スピンドルの規準角度位置に対してスペーサー
リングと供試ディスクの装着角度位置を変えて測定した
結果例を第２表に示す。従来法においてはディスクを締
結された状態における分散が増大し、データのバラツキ
程度を示す分散の平均に対する比率は１５．１％から３
５．６％に増大するが、本発明によるディスクの回転周
波数（６０Ｈ２）の第２高調波成分である１２０Ｈｚの
振巾成分のそれは締付けによって２０．５％から２１．
８％に増加するのみである。すなわち、モータースピン
ドル、スペーサーリングおよび供試ディスクの相対角度
位置によるデータのバラツキが少な（、結果の信頼性が
高いと云うことができる。
装着し、スピンドルの規準角度位置に対してスペーサー
リングと供試ディスクの装着角度位置を変えて測定した
結果例を第２表に示す。従来法においてはディスクを締
結された状態における分散が増大し、データのバラツキ
程度を示す分散の平均に対する比率は１５．１％から３
５．６％に増大するが、本発明によるディスクの回転周
波数（６０Ｈ２）の第２高調波成分である１２０Ｈｚの
振巾成分のそれは締付けによって２０．５％から２１．
８％に増加するのみである。すなわち、モータースピン
ドル、スペーサーリングおよび供試ディスクの相対角度
位置によるデータのバラツキが少な（、結果の信頼性が
高いと云うことができる。
また、実施例１．２を比較して明らかなように実施例１
においては従来法によるディスクの面ブレの平均値は８
．０５μｍ、実施例２のそれは２５、６７μｍであり、
このように面ブレの小さいディスクでも大きいディスク
でも同様に本発明による方法は有効であることがわかる
。
においては従来法によるディスクの面ブレの平均値は８
．０５μｍ、実施例２のそれは２５、６７μｍであり、
このように面ブレの小さいディスクでも大きいディスク
でも同様に本発明による方法は有効であることがわかる
。
第１表
本 振れ幅（Ｐｅａｋ−Ｖａｌｌｅｙ値）初 振幅成分
［発明の効果］
本発明は実施例に示したように従来の評価法では得られ
ない磁気ディスクの平坦度に関する情報が得られると共
に、回転スピンドルおよび締付金具の機械的精度に比較
的鈍感であるので測定の再現性がよい。また、回転中の
磁気ディスクの振動状態も同時に定量化できる。
ない磁気ディスクの平坦度に関する情報が得られると共
に、回転スピンドルおよび締付金具の機械的精度に比較
的鈍感であるので測定の再現性がよい。また、回転中の
磁気ディスクの振動状態も同時に定量化できる。
第１図は本発明の方法による装置の実施例の構成図、ま
た第２図および第３図は本発明の方法による面ブレ波形
の測定例、第４図は磁気ディスクの回転スピンドルへの
装着角度位置をかえて得た従来法との比較結果を示す測
定例である。 １・・・磁気ディスク ２・・・回転スピンドル ３・・・磁気ディスク固定金具 ａ・・・スペーサーリング ｂ・・・クランプ金具 ４・・・非接触式距離センサー ５・・・信号処理回路 ６・・・周波数解析装置 ７・・・回転規準角度センサー 第 １ 鴇 ヰ ｚ ■ ｄｅｌ・ 治２ 図 第３ 図 賄１教 Ａ弁
た第２図および第３図は本発明の方法による面ブレ波形
の測定例、第４図は磁気ディスクの回転スピンドルへの
装着角度位置をかえて得た従来法との比較結果を示す測
定例である。 １・・・磁気ディスク ２・・・回転スピンドル ３・・・磁気ディスク固定金具 ａ・・・スペーサーリング ｂ・・・クランプ金具 ４・・・非接触式距離センサー ５・・・信号処理回路 ６・・・周波数解析装置 ７・・・回転規準角度センサー 第 １ 鴇 ヰ ｚ ■ ｄｅｌ・ 治２ 図 第３ 図 賄１教 Ａ弁
Claims (3)
- （１）回転中の磁気ディスクの面ブレ波形の回転周波数
の高調波周波数成分の大きさを測定することによる、実
装時の磁気ディスクの平坦度評価方法。 - （２）磁気ディスクを固定するための締付け力を強化す
る前後における前記高調波周波数成分の大きさの増加量
を測定することによる磁気ディスクの平坦度評価方法。 - （３）高調波周波数が回転周波数の２倍であることを特
徴とする請求項１記載の磁気ディスクの平坦度評価方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27491189A JPH03137506A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 磁気ディスクの平坦度評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27491189A JPH03137506A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 磁気ディスクの平坦度評価方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03137506A true JPH03137506A (ja) | 1991-06-12 |
Family
ID=17548251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27491189A Pending JPH03137506A (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 磁気ディスクの平坦度評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03137506A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6275032B1 (en) | 1997-12-25 | 2001-08-14 | System Seiko Co., Ltd. | Surface flatness measuring apparatus |
-
1989
- 1989-10-24 JP JP27491189A patent/JPH03137506A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6275032B1 (en) | 1997-12-25 | 2001-08-14 | System Seiko Co., Ltd. | Surface flatness measuring apparatus |
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