JPH0313506A - 熱間静水圧下加工装置および加工方法 - Google Patents

熱間静水圧下加工装置および加工方法

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JPH0313506A
JPH0313506A JP1147673A JP14767389A JPH0313506A JP H0313506 A JPH0313506 A JP H0313506A JP 1147673 A JP1147673 A JP 1147673A JP 14767389 A JP14767389 A JP 14767389A JP H0313506 A JPH0313506 A JP H0313506A
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pressure
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hot isostatic
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high pressure
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Takeshi Kanda
剛 神田
Tomiharu Matsushita
富春 松下
Hiroshi Takigawa
滝川 博
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B30PRESSES
    • B30BPRESSES IN GENERAL
    • B30B11/00Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses
    • B30B11/001Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses using a flexible element, e.g. diaphragm, urged by fluid pressure; Isostatic presses
    • B30B11/002Isostatic press chambers; Press stands therefor

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、熱間静水圧下での加工装置および加工方法に
関し、耐熱性金属材料、セラミックス等の難加工性の材
料を高温静水圧下で加工するのに利用される。
(従来の技術) Ni基合金など耐熱性金属材料については、一般的に加
工性に乏しく、従って、鍛造不可能な高強度系材料につ
いては、従来、粉末冶金法で得られる微細結晶粒超塑性
を利用して加工することが行われている。
また、セラミックスについては、Ni基合金以上に延性
に乏しく加工困難であるが、これについても近年、超塑
性現象の利用により加工が行われるようになってきてい
る。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、超塑性加工においては、ボイドの発生に
伴う加工限界が大きな問題である。
また、低ひずみ速度での加工を必要とすることから、生
産性に劣ることも問題のひとつである。
更に、これまでの超塑性加工装置は、機械プレスを流用
して構成されていたため、被加工品(被加工物)の雰囲
気制御、すなわち、不活性雰囲気の確保が困難であり、
又、加熱の均質性の確保が面倒であった。
本発明は、被加工品の加工を、高温静水圧下で行うこと
により、ボイドの発生を抑制して加工限界を引きあげ得
る熱間静水圧下加工装置および加工方法を提供すること
が第1の目的である。
更に、本発明は、加工速度を早め得ることで生産性を向
上し、しかも、雰囲気制御が容易であるとともに均質加
熱を可能で、大形化に耐え得る熱間静水圧下加工装置お
よび加工方法を提供することが第2の目的である。
また、本発明は、高温静水圧環境を利用しての新たな加
工技術を提供することを第3の目的とする。
(課題を解決するための手段) 本発明は、容器軸方向の少なくとも一端に開口部1A)
(1B、IBを存する高圧容器1と前記開口部1A)(
1B、 1Bを開閉自在に閉塞する蓋部材2とで内部に
高圧室8が画成され、該高圧室8に、倒立コツプ形状の
断熱110と該断熱層10の内側に配設されている加熱
要素11とからなる加熱装置9が内蔵され、該加熱装置
9の内側で被加工物27を熱間静水圧下で加工する処理
室12を備えた熱間静水圧加工装置において、前述の目
的を達成するために、次の技術的手段を講じている。
すなわち、本発明は、前記高圧容器1に、容器軸方向に
移動可能なピストン14が嵌合されており、該ピストン
14に、処理室12に突出する加圧部材22を設けて、
該加圧部材22の容器軸方向の移動で処理室12内にて
被加工物27を熱間静水圧下で鍛造し得るように構成さ
れていることを特徴とするものである。
更に、本発明は、゛熱間静水圧加圧装置を用いて被加工
物27を処理室12で熱間静水圧下で加工する方法であ
って、 前記処理室12に突出されていて容器軸方向に移動する
加圧部材22により、被加工物27を熱間静水圧下で鍛
造加工することを特徴とするものである。
また、本発明は、被加工物27を処理室12にて焼結及
び/又は熱間静水圧下での緻密化処理を行ない、引続い
て該処理室12で被加工物27を熱間静水圧下で鍛造加
工することを特徴とするものである。
更に、本発明は、被加工物27を処理室12内で熱間静
水圧下で鍛造加工し、その後、該処理室12内で熱間静
水圧下での緻密化処理を少なくとも行なうことを特徴と
するものである。
(実施例と作用) 第1図から第5図において、1は高圧容器であり、円筒
形状に形成されていて容器軸方向の両端が上・下開口部
1A)(1B、IBとされている。2は蓋部材であり、
前記上開口部1A)(1Bに挿脱自在に嵌合されてシー
ル材3で気密化されている上蓋4と、前記下開口部IB
に挿脱自在に嵌合されてシール材5で気密化されている
下蓋6からなり、該下蓋6はリング形状の上下蓋6Aと
核上上蓋6Aに挿脱自在に嵌合されてシール材7で気密
化されている上下蓋6Bからなる。
なお、上蓋4および下蓋6には図外の方形枠とされたプ
レスフレームが係脱自在とされて加圧処理中に容器軸方
向に作用する軸力を担持するようになっている。
8は高圧室であり、高圧容器1とこれの開口部LA、 
IBに嵌合されている上・下蓋4.6とで形成されてい
る。なお、高圧容器1は一端のみに開口部を有する有底
筒形であってもよい。
9は加熱装置(加熱炉)であり、倒立コツプ形状の断熱
層10と該断熱層10の内側に配置されている加熱要素
11とからなり、高圧室8に内蔵されていてその内部で
被加工物27を熱間静水圧下で加工する処理室12を備
えていて、加熱要素11およびその電力供給部材13は
上下蓋6Aに備えられている。
断熱層10はガス不透性の内外金属筒10A、 108
間に、繊維状の断熱材10Gを充填して構成されている
14はピストンであり、高圧容器1の上蓋4側にシール
材5を介して気密化されてかつ容器軸方向に移動自在と
して嵌合されていて、この実施例ではピストン14に前
記断熱層10が懸垂状に取付けられている。
16は加圧室であり、ピストン14を高圧容器1に嵌合
することで分画されており、この加圧室16に、上蓋4
に形成している通路17からガス圧媒を供給することで
、前記ピストン14に容器軸方向の加圧力を付与可能と
している。
1gはクランプ部材であり、上蓋4に縦軸心回りに回動
自在として備えられていて、その下端のフック19がピ
ストン14に形成した引掛は部20に係脱自在とされて
おり、21はクランブロック装置を示している。
従って、クランプ部材18のフック部工9を引掛は部2
0にロックした状態でピストン14は保持されており、
アンロックすることで、ピストン14は容器軸方向に移
動可能な体勢となる。
22は加圧部材であり、円柱状の断熱材料よりなる連結
具23と上金型24とからなり、両者はピストン14に
ボルト等で共線めされており、ピストン14の中央、す
なわち、容器軸心上に配置されて処理室12に突出され
ている。なお、断熱層10と連結具23はガス密に接合
されている。
25は断熱材よりなる炉床で、上下蓋6Bに載置されて
おり、この炉床25上に下金型26を有して上・下金型
24.26間で被加工物(被加工品)27が配置されて
おり、従って、この実施例では被加工物27は処理室1
2に対して下方から装入、取出される。
28はストロークセンサであり、断熱層10の下端位置
を検出すべく容器1の底部側に備えられていて、その検
出信号は制御器29に送られる。
なお、ストロークセンサ28はピストン14の動きを検
出してもよいが、容器1の底部側の方が上部側より低温
であることから有利となる。
30は圧媒給排装置であり、本実施例では上下蓋6Aに
形成された通路31に、管路32を介してガス集合装置
33が接続されており、管路32にはコンプレフサ34
、開閉弁35.36および圧力計37と安全弁38を備
えており、開閉弁35.36間には回収管路39を有し
、該回収管路39には開閉弁40と絞り弁41を有して
いる。
更に、開閉弁36と安全弁38との間には真空引管路4
2が接続されていて、真空ポンプ43を備えており、4
4.45はその開閉弁を示している。なお、46は大気
解放用の開閉弁を示している。
47ぽ加圧ピストン駆動装置であり、上M4の通路7に
管路48を介して蓋圧器49が接続されており、該管路
48には圧力計50、安全弁51および開閉弁52゜5
3が直列に備えられているとともに、絞り弁54と開閉
弁55とを有するバイパス回路56を備え、圧媒給排装
置30のコンプレッサ34を共用すべくそれぞれ開閉弁
57.58を有する連絡管路59.60を備えていると
ともに、制御器29からのフィードバック信号を絞り弁
54に送信して加圧スピードを制御可能としている。
なお、例えば処理温度が1000℃〜1100℃程度で
あるNi基超超合金被加工品27とした場合には、断熱
層10としてはインコネル、ステンレス鋼などが用いら
れ、加熱要素11としてはFe −Cr −Af等が用
いられ、又、上・下金型24 、26としてはTZMの
ような特殊合金が用いられ、更に、連結具23及び炉床
25としてはセラミックス系断熱材料例えば、’h03
+ Zr01或いはそれらの複合材料を用いることが好
適である。
次に、前述した第1実施例の作用を第1〜5図を参照し
て概略説明する。
被加工品27は炉床25、下金型26を介して上下蓋6
Bに載置されていて、高圧容器1の下方から処理室12
に装入される。
この場合、加圧ピストン14はそのクランプ部材18に
よって後退(上昇)位置に保持されている。
次に、脱気工程に移行する。なお、第2図から第5図に
おいて、各開閉弁35,36.40,44.45.46
.52゜53.54,55.57.58は、図において
黒色は閉状態を示し、白色は開状態を示している。
第2図の脱気工程にあっては、開閉弁57を開にした状
態で真空ポンプ43を駆動すると、高圧室8は通路32
、管路32,42を介して脱気され、一方加圧室16は
通路17、管路4B、 49.42を介して脱気される
脱気完了後は、第3図に示す弁状態にしてコンプレフサ
34を駆動すると、ガス集合装置33から管路32、通
路31を経て高圧室8に不活性ガス等の圧媒ガスが送気
されるとともに、連絡管路60を介して畜圧器49に送
気充填される。
高圧室8への所定圧の送気が完了すると、開閉弁35を
閉とし、畜圧器49への送気充填が完了すると開閉弁3
6.58.53を閉とする(第3図参照)。
次いで、加熱要素11に電力供給して処理室12の温度
を所定温度に到達させる。この際、温度上昇に伴なって
高圧室8および処理室12の圧力が上昇する。
所定の温度圧力に到達すると、ピストン14を保持して
いたクランプ部材18をアンタランプにしてピストン1
4を容器軸方向に移動可能な体勢とし、第4図に示す如
く開閉弁55を開にして畜圧器49からの圧媒ガスを加
圧室16に送気し、加圧室16と高圧室8との圧力均衡
を図りつつピストン14を加圧方向(鍛造方向)に移動
させる。これによって、加圧部材22の上金型24と下
金型26との間で被加工物27は熱間静水圧下の鍛造加
工すなわち、超塑性加工を得ることになる。
この場合、ピストン14の容器軸方向の移動ストローク
がこの実施例では断熱層10の下端をストロークセンサ
28で検出し、この検出信号を制御器29に送信し、該
制御器29の信号を絞り弁54に送信して該絞り弁54
の開度を調整し、加圧室16の圧力を高圧室8の圧力を
高としてピストン14の速度制御がなされる(第4図参
照)。
所定の加工操作が完了すると、加熱要素11への電力供
給を遮断し、第5図に示す如く開閉弁52゜58.40
を開にして絞り弁41を介して加圧室16内のガスが通
路17、管路48,60および回収管路39を通してガ
ス集合装置33に回収すると、これにともなってピスト
ン14は上昇するので、該上昇位置にてクランプ部材1
8で保持する(第5図参照)。
次いで、高圧室8および処理室12の温度降下後に、開
閉弁35.40を開にして絞り弁41を介して通路31
、管路32,39を通してガス集合装置33に回収し、
最終的には開閉弁46を開にして大気圧まで減圧してか
ら上下蓋6Bを降下させて所定の加工がなされた被加工
物27を取出す。
第6図は本発明装置の第2実施例を示しており、前述し
た第1実施例と共通する部分は共通符号で示し、以下、
相違点について説明する。
この第2実施例では、ピストン14の加圧動作が絞り弁
41による開度調整に基づく減圧制御によってなされる
ようにされており、このために、制御器29からのフィ
ードバック信号は絞り弁41に送信されて該絞り弁41
の開度調整を行なうようにしている。
第7図は本発明装置の第3実施例であり、ピストン14
は高圧容器1の下部側に嵌合されていて、このピストン
14に炉床25および下金型26が取付けられて加圧部
材22とされており、断熱層10は連結具23を介して
上蓋4に懸垂固定されているとともに、加熱要素IIは
通電部材13を介して上蓋4に支持されている。
また、クランプ部材18およびそのロック装置21は下
蓋6に備えられているとともに、ストロークセンサ28
はピストン14の動きを検出するようにされている。
この7第3実施例によると、高圧室8の温度勾配が高圧
容器1の下部側が通常、上部側よりも低いことから、ピ
ストン14のシール部材15の耐久性およびピストン1
4の加工速度制御性等の点で、第1・2実施例よりは有
利となる。
なお、第3実施例にあっては図示省略しているけれども
、圧媒給排装置、ピストン駆動装置については第1及び
第2実施例で説明したものが利用できる。また、この第
3実施例では被加工物27の装入、取出は高圧容器1の
上開口部1A)(1Bを通じて行なわれる。
また、上述した各実施例にあっては、ピストン14のた
めの加圧力発生は、処理室12への圧媒ガスを共用して
いるけれども、該加圧力発生のためのガスは、圧媒給排
装置30とは独立した個別の駆動装置47に従うことが
できる。ただ、各実施例で示したように、ガスを共用す
る方が、装置構成の簡略化および清浄性の確保の点から
は有利となる。
更に、前述した本発明に係る装置構成(以下、装置と略
称する)にあっては、前述したような加工以外に、以下
のような形態の加工方法を採用できる。
■;ジルコニアなど超塑性現象を示すセラミックスを、
装置内で焼結し、引続いて熱間静水圧下での超塑性加工
(鍛造加工)を装置内で行なう。
■;装置内で熱間静水圧下で被加工物を緻密化したのち
、引続いて熱間静水圧下での超塑性加工(鍛造加工)を
装置内で行なう。
特に、■の加工方法によれば、鍛造加工前のHrp処理
によって被加工物の組織的欠陥を排除し、しかも、鍛造
加工中も静水圧の作用に基づいてボイドの発生を伴うこ
となく、大変形加工あるいは高ひずみ速度下での加工を
行なうことができる。
また、鍛造加工終了後に、再度HIP処理を行なうこと
によって、加工中に生成したボイドを消滅し、より一層
の強度向上を期待できる。
(実施例の1) サブミクロン粒径(7)3s II 9’6 YzOs
 −TZR/’ 20wt%Al2O3焼結体(140
0℃、空気中1.5 hr焼結、密度5.32、φ80
鶴Xt30m+)を、装置内で、外径100酊、キャビ
ティ径6011.テーバ角45″、深さ20Bの形状に
以下に述べる各種条件で加工し、金型テーパ一部近傍か
らJ I S R1601準拠の曲げ試験片を切り出し
、室温曲げ試験に供した結果、下記の通りであった。
(次    葉) ■;超塑性加工現象を示すNi基合金粉末などをカプセ
ル封入して、まず熱間静水圧下に緻密化し、引き続いて
熱間静水圧下での超塑性加工を行なう。
前段の緻密化(HI P処理)で超塑性を示す微細結晶
粒組織を得て、さらに、熱間静水圧の作用にもとづきボ
イドの発生を伴うことなく、大変形加工或いは高ひずみ
速度下の加工を行なうことができ、又、熱的作用の連続
性という点で経済的な面でも優れた処理法となる。
(実施例の2) 粉末の直径が50μm以下のNi基合金(12,5Cr
−17,9Co −3,3Mo−4,89Al−4,2
9Ti −0,6V −残部Ni  但しwt%)を、
直径120鶴、高さ90鶴のステンレス製カプセルに真
空中で充填し封入した。
この粉末充填カプセルを、1050℃、1700kgf
/col、1.5 hrの条件で熱間静水圧加工して、
100%密度のNi基合金ビレットを得た。引き続いて
直ちにピストンを作動して熱間静水圧下(1000kg
f/c+J)で超塑性加工(鍛造加工)を行なった。な
お、このときの条件は1050℃、歪速度2X10−’
 S相とした。
その結果、鍛造加工は6 winで完了し、大幅な時間
の短縮が可能となり、また、被加工物の組織はボイドな
ど全く認められず極めて均一で良好な鍛造組織であるこ
とが判明した。
■;前述■のカプセルに封入された被成形品を2種以上
の材質として例えば、予め板材と板材とを熱間静水圧下
に接合した後、鍛造加工に供しうる他、粉末材料と板材
との組合せで加工の後、静水圧下に保持して接合を行な
い、−挙に複合材の製造を行なう。また、この際、板材
自体をカプセルの一部もしくは全部として、変形、拡散
接合により複合材の製造を行なうこともできる。
(実施例) Ni基合金のHIPビレット(下記TMP−3参照)に
て、外径80鶴、内径6011.高さ60鰭、底部5鶴
の容器と、内径部に嵌合する厚さ5fiの基部とを製作
し、内部に別材質のNi基合金粉末(下記AF115参
照)のHIPビレットを気密封入した後、1075℃、
1700kgf/cd、 1.5 hr保持での熱間静
水圧処理を行なった後、1100℃、100100O/
aJ、歪速度、2XIQ−’ S−1で前述同様の鍛造
加工を行なった。
その結果、中心部と周辺部とで材質が異なる接合ディス
クがボイドの形成をみることなく鍛造可能であることが
判明した。
(wt翅 l7ntCCr  Co  Mo  HAI  TI 
 V  B  Zr Hf  Nb NiT?F−30
,f7710.86.93.13.43.92.8−0
.010.05−3.9 朧AF1150.0510.
914.92.85.93.73.8−0.020.0
50.81.9 M上記■〜■から本発明は熱間静水圧
加工装置内において、処理室12に突出されていて容器
軸方向に移動する加圧部材22によって被加工物27を
熱間静水圧下で鍛造加工する方法をも提供しているので
ある。
また、次のような加工方法をも提供している。
■;被加工品の焼結及び/又は熱間静水圧下の緻密化処
理を行い、引き続いて熱間静水圧下の鍛造加工を行う方
法。
これは、焼結後の熱間静水圧下での鍛造加工によってセ
ラミックスの加工に適する。
また、予備焼結後にHIP処理してから鍛造加工するこ
とによって焼結晶の欠陥除去後の鍛造加工ができてセラ
ミックスの加工法に適する。
■;被加工品をカプセル封入して熱間静水圧下の鍛造加
工を行う方法。
これは、緻密化後の鍛造加工であることから、カプセル
封入Ni基粉末合金の加工法に適する。
この場合、被加工品が2種以上の材質であってもよ(、
被加工品自体がカプセルの一部又は全部であってもよい
■;熱間静水圧下の鍛造加工後に、熱間静水圧下の緻密
化処理工程(HI P処理)を行なう加工方法。
これは、鍛造加工後のHIP処理によって欠陥除去でき
てセラミックスに適用でき、また、カプセル封入複合材
にあっては、鍛造加工後に接合できることになる。
前述した本発明方法は第1図から第7図で示した装置で
行なうこともできるが、第8図に示した装置においても
できる。
第8図は加圧ピストン14を蓋部材2、回倒では上蓋4
に嵌合し、該ピストン14の先端を蓋部材2より突出さ
せて、加圧部材22を介して熱間静水圧下で鍛造可能に
したものであり、加圧ピストン14は、ポンプ61、リ
リーフ弁62、切換弁63およびパイロットチエツク弁
64.65を有するガス又は油等の流体による駆動装置
66で加圧されるとともに、後退可能とされており、加
工速度はリリーフ弁62に制御器29からのフィードバ
ック信号を送信して速度制御可能である。
その他、基本構成は第1〜5図と共通するので共通符号
で示している。
なお、第8図の装置において、加圧ピストン14は下蓋
6に設けたものであってもよい。
また、本発明装置にあっては、金型をダイス形状にして
おくことにより、熱間静水圧下での押出加工にも利用で
きる。
(発明の効果) 本発明は以上の通りであり、本発明によれば次の利点が
ある。
■ 熱間静水圧下での加工を可能として、静水圧の作用
による延性増大に基づき難加工性材料の塑性加工範囲を
拡大する・のみならず、Ni基合金、セラミックスなど
超塑性現象を発現する材料に対して、ボイドの発生を抑
制してその加工限界を大幅に改善し、或いは、加工速度
を早め生産性を向上できる。
■ その際、鍛造加工に要する軸力は、熱間静水圧環境
を発生するのに利用する圧媒圧力を利用しているから、
構成が簡単となり、経済性確保の点から有利となり、更
に、装置の大型化に対しても有利となるばかりでなく、
大型化にともなう温度の均質性確保の点でも問題はない
■ 更に、本発明は、同時に被加工品の欠陥除去、緻密
化、接合にも適用できるのは勿論のこと、それらの加工
と加圧部材による鍛造加工との複合化により、すでに述
べた加工限界のより一層の改善を図り、或いは従来にな
い形の複合材料の製造を可能とする。
従って、本発明は、今後増々増大する傾向にある難加工
性を有する先端材料分野の加工に対して極めて有益な技
術を提供できる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の各実施例を示しており、第1図から第5
図は本発明装置の第1実施例による操作工程を順をおっ
て示す各立面断面図、第6図は本発明装置の第2実施例
を示す立面断面図、第7図は本発明装置の第3実施例を
示す一部省略の立面断面図、第8図は本発明方法に適用
できる他の装置を示す立面断面図である。 ■・・・高圧容器、1A)(1B、 IB・・・開口部
、2・・・蓋部材、8・・・高圧室、9・・・加熱装置
、10・・・断熱層、11・・・加熱要素、12・・・
処理室、14・・・ピストン、22・・・加圧部材。 特 許 出 願 人  株式会社神戸製鋼所4

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)容器軸方向の少なくとも一端に開口部(1A)(
    1B)を有する高圧容器(1)と前記開口部(1A)(
    1B)を開閉自在に閉塞する蓋部材(2)とで内部に高
    圧室(8)が画成され、該高圧室(8)に、倒立コップ
    形状の断熱層(10)と該断熱層(10)の内側に配設
    されている加熱要素(11)とからなる加熱装置(9)
    が内蔵され、該加熱装置(9)の内側で被加工物(27
    )を熱間静水圧下で加工する処理室(12)を備えた熱
    間静水圧加工装置において、前記高圧容器(1)に、容
    器軸方向に移動可能なピストン(14)が嵌合されてお
    り、該ピストン(14)に、処理室(12)に突出する
    加圧部材(22)を設けて、該加圧部材(22)の容器
    軸方向の移動で処理室(12)内にて被加工物(27)
    を熱間静水圧下で鍛造し得るように構成されていること
    を特徴とする熱間静水圧下加工装置。
  2. (2)容器軸方向の少なくとも一端に開口部(1A)(
    1B)を有する高圧容器(1)と前記開口部(1A)(
    1B)を開閉自在に閉塞する蓋部材(2)とで内部に高
    圧室(8)が画成され、該高圧室(8)に、倒立コップ
    形状の断熱層(10)と該断熱層(10)の内側に配設
    されている加熱要素(11)とからなる加熱装置(9)
    が内蔵され、該加熱装置(9)の内側で被加工物(27
    )を熱間静水圧下で加工する処理室(12)を備えた熱
    間静水圧加工装置を用いて被加工物(27)を処理室(
    12)で熱間静水圧下で加工する方法であって、 前記処理室(12)に突出されていて容器軸方向に移動
    する加圧部材(22)により、被加工物(27)を熱間
    静水圧下で鍛造加工することを特徴とする加工方法。
  3. (3)被加工物(27)を処理室(12)にて焼結及び
    /又は熱間静水圧下での緻密化処理を行ない、引続いて
    該処理室(12)で被加工物(27)を熱間静水圧下で
    鍛造加工することを特徴とする請求項(2)記載の加工
    方法。
  4. (4)被加工物(27)を処理室(12)内で熱間静水
    圧下で鍛造加工し、その後、該処理室(12)内で熱間
    静水圧下での緻密化処理を少なくとも行なうことを特徴
    とする請求項(2)記載の加工方法。
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