JPH03133169A - Interdigital capacitor - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To prevent the generation of phase difference between signals reaching an output feeding end, by using a structure wherein the signal propagation distances between an input feeding end and input fingers are equal for all of the input fingers, and the signal propagation distances between an output feeding end and output fingers are equal for all of the output fingers. CONSTITUTION:An input feeding end 1, input branching parts 11, and input fingers 5 are arranged. The input branching part 11 has a tree structure wherein two branching paths of the same length are formed at the tip part of the input feeding part, two branching paths of the same length are again formed at tip parts of the formed branching paths, and the above is repeated. The input fingers 5 are connected with the final branching paths of the input branching part. An output feeding end 2, output branching parts 12, and output fingers 6 are arranged. The output branching part 12 is formed at the tip part of the output feeding part in the same manner as the input branching part. The output fingers 6 are connected with the final branching paths of the output branching part. Thereby phase difference is not generated between signals which are inputted to the input feeding end 1 and reach the output feeding end 2 through each input fingers 5 and each output fingers 6, so that high frequency characteristics are not deteriorated in the constitution using the above interdigital capacitor.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、マイクロ波集積回路等に用いるインターディ
ジタルキャパシターに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Field of Industrial Application> The present invention relates to an interdigital capacitor used in microwave integrated circuits and the like.

〈従来の技術〉 以下、図面を参照して従来のインターディジタルキャパ
シターを説明する。第２図は従来のインターディジタル
キャパシターの平面図である。<Prior Art> A conventional interdigital capacitor will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a plan view of a conventional interdigital capacitor.

第２図において、１は入力給電端、２は出力給電端、３
は入力導入電極、４は出力導入電極、５は入力フィンガ
ー、６は出力フィンガーである。In Figure 2, 1 is the input power supply end, 2 is the output power supply end, and 3
is an input introduction electrode, 4 is an output introduction electrode, 5 is an input finger, and 6 is an output finger.

同図に示すように、入力導入電極３の一方の側の中央部
分には、入力給電端ｌが接続されており、他方の側には
、複数の入力フィンガー５が接続されている。また、出
力導入電極４の一方の側の中央部分には、出力給電端２
が接続されており、他方の側には、入力フィンガー５と
同数の出力フィンガー６が接続されている。そして、入
力フィンガー５は出力フィンガー６とは交互に、平行で
、且つ、対向するように配置されている。As shown in the figure, an input power feeding end l is connected to the center portion of one side of the input introduction electrode 3, and a plurality of input fingers 5 are connected to the other side. In addition, an output feed end 2 is provided at the center of one side of the output introduction electrode 4.
are connected, and the same number of output fingers 6 as input fingers 5 are connected to the other side. The input fingers 5 and the output fingers 6 are arranged alternately, parallel to each other, and opposite to each other.

〈発明が解決しようとする課題〉 従来のインターディジタルキャパシターは上記のような
構造であるので、入力給電端１と入力フィンガー５との
距離は、各入力フィンガー５によって異なっており、同
様に、出力給電端２と出力フィンガー６との距離も、各
出力フィンガー６によって異なっている。<Problems to be Solved by the Invention> Since the conventional interdigital capacitor has the above structure, the distance between the input feeding end 1 and the input finger 5 differs depending on each input finger 5, and similarly, The distance between the power feeding end 2 and the output finger 6 also differs depending on each output finger 6.

従って、入力給電端１に供給された信号は、入力給電端
１に最も近い入力フィンガー５に最も早く到達し、入力
フィンガー５が入力給電端１から遠ざかるに応じて、入
力フィンガー５への信号の到達は順次時間的に遅延が生
じる。同様に、出力側においても、出力給電端２に最も
近い出力フィンガー６からの信号が最も早（出力給電端
２に到達し、出力フィンガー６が出力給電端２から遠ざ
かるに応じて、出力給電端２への信号の到達は順次時間
的に遅延が生じる。Therefore, the signal supplied to the input feed end 1 reaches the input finger 5 closest to the input feed end 1 earliest, and as the input finger 5 moves away from the input feed end 1, the signal to the input finger 5 changes. Arrival is sequentially delayed in time. Similarly, on the output side, the signal from the output finger 6 closest to the output feed end 2 reaches the output feed end 2 first, and as the output finger 6 moves away from the output feed end 2, The arrival of the signal at 2 is sequentially delayed in time.

この結果、入力フィンガー５から出力フィンガー６を経
由して出力給電端２に到達した信号同士の間にには、そ
れぞれの信号が経由した経路の距離の違いに応じて位相
差を生じるので、従来のインターディジタルキャパシタ
ーを用いる構成のマイクロ波集積回路の高周波特性が損
なわれるとういう問題が起こっていた。As a result, a phase difference occurs between the signals that have reached the output feed end 2 via the input finger 5 and the output finger 6, depending on the distance of the path that each signal has taken. A problem has arisen in which the high frequency characteristics of microwave integrated circuits configured using interdigital capacitors are impaired.

本発明は上記事情に鑑みて創案されたものであって、入
力給電端と入力フィンガー間の信号伝播距離が全ての入
力フィンガーに対して等しく、また、出力給電端と出力
フィンガー間の信号伝播距離も全ての出力フィンガーに
対して等しい構造を有し、従って、各フィンガーを経由
して出力給電端に到達する信号同士の間に位相差が生じ
ないインターディジタルキャパシターを提供することを
目的としている。The present invention was devised in view of the above circumstances, and the signal propagation distance between the input feeding end and the input finger is equal for all input fingers, and the signal propagation distance between the output feeding end and the output finger is the same for all input fingers. It is an object of the present invention to provide an interdigital capacitor which has the same structure for all output fingers, and therefore does not cause a phase difference between signals reaching the output feeding end via each finger.

く課題を解決するための手段〉 上記問題を解決するために、本発明のインターディジタ
ルキャパシターは、入力給電端と、入力給電端の先端に
２つの等長な分岐路を形成し、形成された分岐路の先端
に再び等長な分岐路を形成することを所定回数繰り返し
てえたツリー構造の入力分岐部と、入力分岐部の最終分
岐路に接続した入力フィンガーと、出力給電端と、出力
給電端の先端に入力分岐部と同様に形成した出力分岐部
と、出力分岐部の最終分岐路に接続した出力フィンガー
とを具備し、入力フィンガーと出力フィンガーを、交互
に、平行で、且つ、対向するように配置したことを構成
の要旨としている。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the interdigital capacitor of the present invention has an input power feeding end and two equal length branch paths at the tip of the input power feeding end. An input branch with a tree structure obtained by repeating a predetermined number of times to form a branch with equal length at the tip of the branch, an input finger connected to the final branch of the input branch, an output feeding end, and an output feeding end. An output branch section formed in the same way as the input branch section at the tip of the end, and an output finger connected to the final branch path of the output branch section, and the input fingers and output fingers are arranged alternately, parallel to each other, and opposite The gist of the configuration is that it is arranged so that

く作用〉 入力給電端に与えられ、各入力フィンガーと各出力フィ
ンガーを経由して出力給電端に到達した信号同士の間に
は、位相差を生じることがない。Effects> There is no phase difference between the signals applied to the input feeding end and reaching the output feeding end via each input finger and each output finger.

従って、このインターディジタルキャパシターを用いる
構成のマイクロ波集積回路等の高周波特性は損なわれな
い。Therefore, the high frequency characteristics of a microwave integrated circuit or the like configured using this interdigital capacitor are not impaired.

〈実施例〉 以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第
１図は本発明の一実施例のインターディジタルキャパシ
ターの平面図である。従来の技術で説明したものと同等
のものには、同一の符号を付して説明する。<Example> Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of an interdigital capacitor according to an embodiment of the present invention. Components equivalent to those described in the related art will be described with the same reference numerals.

本実施例のインターディジタルキャパシターの入力側は
、入力給電端ｌ、入力導入電極３、入力フィンガー５．
１段目接続配線７．２段目フィンガー８．２段目接続配
線９、最終フィンガー１０を備えている。The input side of the interdigital capacitor of this embodiment includes an input power supply terminal l, an input introduction electrode 3, an input finger 5.
It includes a first-stage connection wiring 7, a second-stage finger 8, a second-stage connection wiring 9, and a final finger 10.

この入力側の構造を詳述すると、入力フィンガー５は、
順次、隣り同±２つずつ組み合わされ、組み合わされた
入力フィンガー５の一端同士が１段目接続配線７で接続
されている。１段目接続配線７の中央には、２段目フィ
ンガー８の一端が接続されている。２段目フィンガー８
は、順次、隣り同±２つずつ組み合わされ、組み合わさ
れた２段目フィンガー８の他端同士が２段目接続配ｙＡ
９で接続されている。２段目接続配線９の中央には、最
終フィンガー１０の一端が接続されており、最終フィン
ガー１０の他端は、入力導入電極３の両端に接続されて
いる。そして、入力導入電極３の中央に入力給電端１が
接続されている。To explain the structure of this input side in detail, the input finger 5 is as follows.
Two adjacent input fingers 5 are successively combined, and one ends of the combined input fingers 5 are connected to each other by a first-stage connection wiring 7. One end of a second stage finger 8 is connected to the center of the first stage connection wiring 7. 2nd stage finger 8
are sequentially combined with the same ±2 adjacent ones, and the other ends of the combined second-stage fingers 8 are connected to the second-stage connection arrangement yA.
9 is connected. One end of the final finger 10 is connected to the center of the second-stage connection wiring 9, and the other end of the final finger 10 is connected to both ends of the input introduction electrode 3. The input power feeding end 1 is connected to the center of the input introduction electrode 3.

換言すると、入力給電端１の先端に、２つの等長な分岐
路を入力導入電極３と最終フィンガー１０とで形成し、
こ分岐路の先端に、等長な２つの分岐路を２段目接続配
線９と２段目フィンガー８とで形成し、更に、この分岐
路の先端にも、等長な２つの最終の分岐路を１段目接続
配線７で形成し、これら入力導入電極３、最終フィンガ
ー１０．２段目接続配線９．２段目フィンガー８および
１段目接続配線７でトーナメント形状、即ち、ツリー構
造の入力分岐部１１を作り、１段目接続配線７の両端に
、それぞれ、一つの入力フィンガー５を接続している。In other words, two equal-length branch paths are formed at the tip of the input feed end 1 by the input introduction electrode 3 and the final finger 10,
At the tip of this branch path, two equal-length branch paths are formed using the second-stage connection wiring 9 and the second-stage finger 8, and furthermore, at the tip of this branch path, two equal-length final branches are formed. The input introduction electrode 3, the final finger 10, the second connection wiring 9, the second finger 8, and the first connection wiring 7 form a tournament shape, that is, a tree structure. An input branch section 11 is created, and one input finger 5 is connected to each end of the first stage connection wiring 7.

このインターディジタルキャパシターの入力側は、上記
のような構成となっているので、入力給電端１と各入力
フィンガー５間の距離は、第１図に示す距離ａ、ｂ、ｃ
Ｓｄ、ｅおよびｆを合計した距離となり、この距離は全
ての入力フィンガー５に対して等しくなる。Since the input side of this interdigital capacitor has the above-mentioned configuration, the distance between the input feed end 1 and each input finger 5 is the distance a, b, c shown in FIG.
The distance is the sum of Sd, e and f, and this distance is equal for all input fingers 5.

このインターディジタルキャパシターの出力側は、第１
図に示すように、入力側と同じ構造であって、出力フィ
ンガー６と出力給電端２を有し、出力フィンガー６と出
力給電端２とは、１段目接続配線７ａ、２段目フィンガ
ー８８．２段目接続配線９ａ、最終フィンガー１０ａお
よび出力導入電極４からなる出力分岐部１２を介して接
続されている。従って、出力側においても、出力給電端
２と各出力フィンガー６間の距離は、全ての出力フィン
ガー６に対して等しくなる。The output side of this interdigital capacitor is the first
As shown in the figure, it has the same structure as the input side, and has an output finger 6 and an output power feeding end 2. . They are connected via an output branch 12 consisting of the second-stage connection wiring 9a, the final finger 10a, and the output introduction electrode 4. Therefore, also on the output side, the distance between the output feeding end 2 and each output finger 6 is equal for all output fingers 6.

そして、第１図に示すように、入力フィンガー５と出力
フィンガー６とは交互に、平行で、且つ、対向するよう
に配置されている。従って、入力給電端ｌに与えられ、
各フィンガーを経由して出力給電端２に到達した信号同
士の間には位相差が生じないので、このインターディジ
タルキャパシターを用いる構成のマイクロ波集積回路の
高周波特性が損なわれることはない。As shown in FIG. 1, the input fingers 5 and the output fingers 6 are arranged alternately, parallel to each other, and facing each other. Therefore, given to the input feed terminal l,
Since no phase difference occurs between the signals that reach the output feed end 2 via each finger, the high frequency characteristics of the microwave integrated circuit configured using this interdigital capacitor are not impaired.

なお、本実施例は入力フィンガー５と出力フィンガー６
が、それぞれ、８個の場合について説明したが、これに
限らず、入力フィンガー５および出力フィンガー６の数
が、それぞれ、２の累乗であればよい。Note that this embodiment has an input finger 5 and an output finger 6.
Although a case has been described in which each of the input fingers 5 and the output fingers 6 are eight in number, the number is not limited to this, and the number of the input fingers 5 and the number of output fingers 6 may each be a power of two.

〈発明の効果〉 以上説明したように本発明のインターディジタルキャパ
シターは、入力給電端の先端に２つの等長な分岐路を形
成し、形成された分岐路の先端に再び等長な分岐路を形
成することを所定回数繰り返してえたツリー構造の入力
分岐部の最終分岐路に入力フィンガーを接続し、出力給
電端の先端に入力分岐部と同様に形成した出力分岐部の
最終分岐路に出力フィンガーを接続している。そして、
入力フィンガーと出力フィンガーを、交互に、平行で、
且つ、対向するように配置している。　従って、本発明
のインターディジタルキャパシターは、入力給電端と入
力フィンガー間の信号伝播距離がどの入力フィンガーで
も等しく、また、出力給電端と出力フィンガー間の信号
伝播距離もどの出力フィンガーでも等しいので、入力給
電端に与えられ、各フィンガーを経由して出力給電端に
到達した信号同士の間には位相差が生じない。従って、
本発明のインターディジタルキャパシターを使用したマ
イクロ波集積回路等では高周波特性が損なわれることが
ない。<Effects of the Invention> As explained above, the interdigital capacitor of the present invention forms two equal-length branch paths at the tip of the input power supply end, and forms another equal-length branch path at the tip of the formed branch path. The input finger is connected to the final branch of the input branch of the tree structure obtained by repeating the formation a predetermined number of times, and the output finger is connected to the final branch of the output branch formed in the same way as the input branch at the tip of the output feeding end. are connected. and,
input fingers and output fingers alternately and in parallel.
Moreover, they are arranged to face each other. Therefore, in the interdigital capacitor of the present invention, the signal propagation distance between the input feeding end and the input finger is the same for every input finger, and the signal propagation distance between the output feeding end and the output finger is also the same for every output finger. There is no phase difference between the signals that are applied to the feed end and reach the output feed end via each finger. Therefore,
In microwave integrated circuits and the like using the interdigital capacitor of the present invention, high frequency characteristics are not impaired.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例のインターディジタルキャパ
シターの平面図である。第２図は従来のインターディジ
タルキャパシターの平面図である。 １　・・・入力給電端、２　・・・出力給電端、３・・
・入力導入電極、４　・・・出力導入電極、５・・・入
力フィンガー、６　・・・出力フィンガー７．７ａ・・
・１段目接続配線、８．８ａ・−・・２段目フィンガー
、９．９ａ・・・２段目接続配線、１０．１０ａ　　・
・・最終フィンガー、１１・・・入力分岐部、１２・・
・出力分岐部。FIG. 1 is a plan view of an interdigital capacitor according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of a conventional interdigital capacitor. 1...Input power supply end, 2...Output power supply end, 3...
- Input introduction electrode, 4... Output introduction electrode, 5... Input finger, 6... Output finger 7.7a...
・1st stage connection wiring, 8.8a...2nd stage finger, 9.9a...2nd stage connection wiring, 10.10a
...Final finger, 11...Input branch, 12...
・Output branch.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）入力給電端と、入力給電端の先端に２つの等長な
分岐路を形成し、形成された分岐路の先端に再び等長な
分岐路を形成することを所定回数繰り返してえたツリー
構造の入力分岐部と、入力分岐部の最終分岐路に接続し
た入力フィンガーと、出力給電端と、出力給電端の先端
に入力分岐部と同様に形成した出力分岐部と、出力分岐
部の最終分岐路に接続した出力フィンガーとを具備し、
入力フィンガーと出力フィンガーを、交互に、平行で、
且つ、対向するように配置したことを特徴とするインタ
ーディジタルキャパシター。(1) A tree obtained by repeating a predetermined number of times to form two equal-length branch paths at the input power supply end and the tip of the input power supply end, and then form another equal-length branch route at the end of the formed branch route. The input branch of the structure, the input finger connected to the final branch of the input branch, the output feeding end, the output branch formed at the tip of the output feeding end in the same way as the input branch, and the final branch of the output branch. and an output finger connected to the branch path,
input fingers and output fingers alternately and in parallel.
Further, an interdigital capacitor characterized in that the capacitors are arranged so as to face each other.