JPH03133099A - Plasma generating device - Google Patents
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- JPH03133099A JPH03133099A JP1270059A JP27005989A JPH03133099A JP H03133099 A JPH03133099 A JP H03133099A JP 1270059 A JP1270059 A JP 1270059A JP 27005989 A JP27005989 A JP 27005989A JP H03133099 A JPH03133099 A JP H03133099A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、プラズマジェット溶射装置やプラズマ処理
装置等に用いられているプラズマ発生装置で、特に消耗
部品である電極の交換時期を的確に検知することのでき
る機構を備えたプラズマ発生装置に関するものである。[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field This invention relates to a plasma generator used in a plasma jet thermal spraying device, a plasma processing device, etc., and in particular accurately detects when to replace an electrode, which is a consumable part. This invention relates to a plasma generating device equipped with a mechanism capable of.
従来の技術
例えば、プラズマジェット溶射装置においては、ノズル
を陽極として陰極との間にアークを連続的に発生させ、
金属材料や酸化物（八９２０３ 。Conventional technology For example, in a plasma jet thermal spraying device, an arc is continuously generated between a nozzle as an anode and a cathode.
Metal materials and oxides (89203).
ｚ「０３等）などの溶射材を溶融すると同時に、この溶
融した溶射材を高速のプラズマジェット流によってグー
クの表面に吹き付ける構造となっているが、このプラズ
マジェット溶射装置のプラズマ発生部である前記陰極は
、プラズマを発生させるのに伴なってその先端側から徐
々に消耗するため、この陰極を適切な時期に交換する必
要がある。そこで、従来においては、前述のプラズマ発
生部である陰極の寿命を、溶射時間を積算したり溶射回
数をカウントし、あるいは作業者が電極部分を頻繁に検
査する等によって交換の時期を判断していた。The structure is such that a thermal spraying material such as z "03" is melted and at the same time this melted spraying material is sprayed onto the surface of the gook using a high-speed plasma jet flow. As the cathode generates plasma, it gradually wears out from the tip side, so it is necessary to replace the cathode at an appropriate time.Therefore, conventionally, the cathode, which is the plasma generating part mentioned above, has been replaced. The lifespan was determined by adding up the spraying time, counting the number of sprayings, or by having workers frequently inspect the electrodes to determine when it was time to replace them.
発明が解決しようとする課題
しかし、陰極材の消耗速度は溶射条件によって大きく異
なるため、前述した従来のプラズマ発生装置の溶射時間
や溶射回数から陰極の寿命を正確に判断することは困難
であり、その結集、陰極材の摩耗が大きくなり過ぎて電
極部を破損したり、逆に、摩耗量が少なくまだ使用でき
るものを交換してしまう等の不都合があった。また、陰
極の交換時期を知るために作業者による電極点検の頻度
を多くすると、点検に要する時間が長くなって生産性が
大幅に低下する等の問題点があった。Problems to be Solved by the Invention However, since the consumption rate of the cathode material varies greatly depending on the spraying conditions, it is difficult to accurately determine the lifespan of the cathode from the spraying time and number of sprayings of the conventional plasma generator mentioned above. As a result, the wear of the cathode material becomes too large, resulting in damage to the electrode part, or, conversely, the cathode material suffers from such inconveniences that a cathode material with less wear and still usable must be replaced. Furthermore, if the frequency of electrode inspection by an operator is increased in order to know when to replace the cathode, the time required for inspection becomes longer, resulting in a significant drop in productivity.
この発明は、上記した事情に鑑みなされたもので、電極
材の交換時期を的確に検知することのできるプラズマ発
生装置を提供することを目的としている。This invention was made in view of the above-mentioned circumstances, and an object of the invention is to provide a plasma generation device that can accurately detect when to replace an electrode material.
課題を解決するための手段
上記課題を解決するための手段としてこの発明は、複数
の処理条件に基づいて処理できるように複数の設定電圧
を有し、一方の電極が消耗した際にこの電極を移動させ
て他方の電極との間の距離を調節することにより所定の
設定電圧に調整する機構を備えたプラズマ発生装置にお
いて、電極を移動させる駆動部と、移動させた電極の位
置を検出する位置検出部と、各設定電圧での正常な電極
の位置を記憶させるメモリー部と、前記位置検出部から
の信号とメモリー部からの信号とを比較して前記一方の
電極の位置が正常か異常かの判定を行なう比較判定部と
を有することを特徴としている。Means for Solving the Problems As a means for solving the above problems, the present invention has a plurality of set voltages so that processing can be performed based on a plurality of processing conditions, and when one electrode is consumed, this electrode is In a plasma generator equipped with a mechanism for adjusting a predetermined set voltage by moving an electrode and adjusting the distance between it and the other electrode, a drive unit that moves an electrode and a position that detects the position of the moved electrode. a detection unit, a memory unit that stores the normal position of the electrode at each set voltage, and a signal from the position detection unit and a signal from the memory unit to determine whether the position of the one electrode is normal or abnormal. The present invention is characterized in that it has a comparison and determination section that makes a determination.
作 用
上記のように構成することにより、プラズマを発生させ
るのに伴なって一方の電極が消耗した場合には、駆動部
によってこの電極を他方の電極の方向に移動させて、両
電極間の電圧が設定電圧となるように調整する。前記一
方の電極を移動させると、位置検出部がこの電極の位置
を検出し、この検出した位置と、メモリー部に予め入力
されている設定電圧における正常な電極の位置範囲のデ
ータとを比較判定部において比較し、移動させた電極の
位置が正常な範囲内か異常域にあるかの判定を行なう。Operation With the above configuration, when one electrode is consumed as plasma is generated, the drive unit moves this electrode in the direction of the other electrode, and the gap between the two electrodes is removed. Adjust the voltage to the set voltage. When one of the electrodes is moved, the position detection unit detects the position of this electrode, and compares and determines the detected position with data of the normal electrode position range at the set voltage that has been input in advance to the memory unit. It is determined whether the position of the moved electrode is within a normal range or an abnormal range.
そして、比較判定の結果が異常と判定された場合には、
警報あるいは警告燈の点滅等の任意の出力手段により異
常を知らせ、電極の交換を促す。If the comparison result is determined to be abnormal,
An abnormality is notified by any output means such as an alarm or a flashing warning light, and the replacement of the electrode is prompted.
実 施 例
以下、この発明のプラズマ発生装置をプラズマジェット
溶射装置に適用した一実施例を第１図ないし第４図に基
づいて説明する。Embodiment Hereinafter, an embodiment in which the plasma generator of the present invention is applied to a plasma jet thermal spraying device will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
プラズマジェット溶射装置１は、先端のノズル部２を開
口した中空状のボデー３内に、ホルダ４が軸線方向（第
１図において左右方向）に摺動可能に設けられており、
このホルダ４の先端側（第１図において左側）にはタン
グステン等からなる棒状の陰極材５が取付けられている
。またポデー３の後端側にはモ〜り６がブラケット７を
介して同軸上に設けられており、このモータ６の出力軸
６ａには、送りねじ軸８がカップリング９を介し連結さ
れ、この送りねじ軸８の先端側は前記ボデー３内に挿入
されるとともに、前記ホルダ４の後端に回転を規制され
て一体に設けられたナツト４ａに螺合し、モータ６を回
転させると送りねじ軸８が回転して陰極材５が取付けら
れているホルダ４が軸線方向に駆動されるようになって
いる。またノズル部２が形成されたボデー３の先端側で
、前記陰極材５が収容されている内側空間に臨む位置に
は、アルゴンガス等の動作ガスの供給口３ａが形成され
ている。またモータ６の後部には、このモータ６の回転
角度からホルダ４の位置、すなわちノズル部２の先端か
らホルダ４のナツト４ａの後端までの距離Ｌ（第１図参
照）を検出する位置検出器１０が、モータ６の回転軸に
直結させて設けられている。The plasma jet thermal spraying apparatus 1 includes a holder 4 slidably provided in a hollow body 3 having a nozzle portion 2 at the tip thereof in an axial direction (left-right direction in FIG. 1).
A rod-shaped cathode material 5 made of tungsten or the like is attached to the tip side of the holder 4 (on the left side in FIG. 1). A motor 6 is coaxially provided on the rear end side of the pod 3 via a bracket 7, and a feed screw shaft 8 is connected to the output shaft 6a of the motor 6 via a coupling 9. The leading end of the feed screw shaft 8 is inserted into the body 3 and is screwed into a nut 4a integrally provided at the rear end of the holder 4 to restrict its rotation, and when the motor 6 is rotated, the As the screw shaft 8 rotates, the holder 4 to which the cathode material 5 is attached is driven in the axial direction. Further, a supply port 3a for operating gas such as argon gas is formed at a position facing the inner space in which the cathode material 5 is housed on the distal end side of the body 3 where the nozzle portion 2 is formed. Further, a position sensor is installed at the rear of the motor 6 to detect the position of the holder 4 from the rotation angle of the motor 6, that is, the distance L from the tip of the nozzle section 2 to the rear end of the nut 4a of the holder 4 (see Fig. 1). A device 10 is provided directly connected to the rotating shaft of the motor 6.
そして、前記ノズル、部２と陰極材５との間に電線を介
して電圧制御部１１が接続されて両者間の電圧をモニタ
するとともに、モニタした電圧が設定電圧の範囲から逸
脱した場合には、前記モータ６に信号を送り、モータ６
を起動して送りねじ軸８を回転させ、ホルダ４を移動さ
せて陰極材５とノズル部２との距離！を調節して、自動
的に設定電圧を維持するようになっている。A voltage control section 11 is connected between the nozzle section 2 and the cathode material 5 via an electric wire to monitor the voltage between the two, and when the monitored voltage deviates from the set voltage range, , sends a signal to the motor 6, and sends a signal to the motor 6.
, rotate the feed screw shaft 8, move the holder 4, and adjust the distance between the cathode material 5 and the nozzle part 2! to automatically maintain the set voltage.
また、このプラズマジェット溶射装置１は、陰極材５が
消耗して交換が必要となったことを知せる機構を備えて
おり、この機構は、メモリー部１２と比較判定部１３と
出力部１４とからなり、前記メモリー部１２には例えば
第２図に示すように、に溶射材の種類や溶融した溶射材
を吹付ける相手となるワークの材質の違い等の複数の溶
射条件１゜２．３・・・に合せて設定した複数の設定電
圧と、各設定電圧におけるホルダ４の位置りの正常な範
囲（ＬｌからＬ２までの範囲一）とが予め記憶させであ
る。Furthermore, this plasma jet thermal spraying apparatus 1 is equipped with a mechanism to notify that the cathode material 5 has been exhausted and needs to be replaced. For example, as shown in FIG. 2, the memory section 12 stores a plurality of thermal spraying conditions such as the type of thermal spraying material and the material of the work to which the molten thermal spraying material is to be sprayed. A plurality of set voltages set according to... and a normal range of the position of the holder 4 at each set voltage (range 1 from Ll to L2) are stored in advance.
そして、位置検出器１０からの信号を位置検出部１５を
介してＡ／Ｄ変換したホルダ４の位置データと、電圧制
御部１１からの電圧データとを比較判定部１３に送り、
メモリー部１２に予め入力されている各設定電圧におけ
るホルダ４の正常な位置のデータとの比較を行なうとと
もに、この比較の結果が異常と判定された際には、出力
部１４が警報または警告燈の点滅等によって判定結果を
出力するようになっている。Then, the position data of the holder 4 obtained by A/D converting the signal from the position detector 10 via the position detection unit 15 and the voltage data from the voltage control unit 11 are sent to the comparison determination unit 13.
A comparison is made with the data of the normal position of the holder 4 at each set voltage input in advance into the memory section 12, and when the result of this comparison is determined to be abnormal, the output section 14 turns on an alarm or a warning light. The judgment result is output by blinking, etc.
次に、上記のように構成されるこの実施例の作用を説明
する。Next, the operation of this embodiment configured as described above will be explained.
プラズマジェット溶射装置１は、ホルダ４に取付けた陰
極材５とノズル部２との間に発生するアークによって溶
融させた溶射材を、動作ガスとのプラズマジェット流に
よってワークに吹付けさせて溶射を行なう。このとき、
例えば溶射条件１に基づいて選択した設定電圧となるよ
うにホルダ４の位置が調整されてノズル部２と陰極材５
との間が距離！となり、溶射開始時は陰極材５の全長寸
法が長いため、ホルダ４は最も後退させた位置し１とな
る（第３図参照）。A plasma jet thermal spraying apparatus 1 sprays a thermal spraying material melted by an arc generated between a cathode material 5 attached to a holder 4 and a nozzle part 2 onto a workpiece by a plasma jet flow together with a working gas. Let's do it. At this time,
For example, the position of the holder 4 is adjusted so that the set voltage selected based on the thermal spraying conditions 1 is achieved, and the nozzle part 2 and the cathode material 5 are
There is a distance between! Since the overall length of the cathode material 5 is long at the start of thermal spraying, the holder 4 is at the most retracted position 1 (see FIG. 3).
そして、溶射を行なうのに伴なって陰極材５が、その先
端側から徐々に消耗すると、ノズル部２から陰極材５ま
での距離！が増大し、ノズル部２と陰極材５との間の抵
抗値が増加し、定電流の場合には電圧が上昇する。この
電圧の上昇を電圧制御部１１が検出すると、モータ６に
信号が送られてこのモータ６を起動し、送りねじ軸８を
回転させてホルダ４を前進させ、ノズル部２と陰極材５
との間の電圧を低下させて設定電圧と一致するように自
動的に制御し、設定電圧と一致すると信号が送られてモ
ータ６が停止する。また、この電圧−致信号のタイミン
グで、ホルダ４の位置りのデータを比較判定部１３に送
り、メモリー部１２から送られてくる溶射条件１におけ
る正常なホルダ位置のデータとの比較を行ない、ホルダ
位置の正常・異常の判定を行なう。この場合には、ホル
ダ４の位置りが、Ｌ１≧Ｌ ＞Ｌ２となり正常と判定
され、警報等は出力されない。As the cathode material 5 gradually wears out from the tip side as thermal spraying is carried out, the distance from the nozzle part 2 to the cathode material 5! increases, the resistance value between the nozzle part 2 and the cathode material 5 increases, and in the case of constant current, the voltage increases. When the voltage control section 11 detects this voltage increase, a signal is sent to the motor 6 to start the motor 6, rotate the feed screw shaft 8, move the holder 4 forward, and move the nozzle section 2 and cathode material 5.
The voltage between the motor 6 and the motor 6 is automatically controlled to be lowered to match the set voltage, and when the voltage matches the set voltage, a signal is sent and the motor 6 is stopped. Further, at the timing of this voltage-matching signal, the data on the position of the holder 4 is sent to the comparison/judgment section 13, and compared with the data on the normal holder position under thermal spraying condition 1 sent from the memory section 12. Determine whether the holder position is normal or abnormal. In this case, the position of the holder 4 is determined to be normal as L1≧L>L2, and no alarm or the like is output.
また、溶射を続行して陰極材５の消耗が進行し、陰極材
５が電極損傷を生じない限界、すなわち、ホルダ４を最
も前進させた位置Ｌ２ （第４図の状態）までは、ノ
ズル部２と陰極材５との間の電圧を電圧制御部１１が常
時モニタし、ホルダ４の位置を自動的に調整して設定電
圧を維持するとともに、調整を行なうたびに、ホルダ４
の新たな位置りのデータと、メモリー部１２からの正常
なホルダ位置のデータとを比較判定部１３で比較し、正
常・異常の判定を行なう。この場合には、ホルダ４の位
置りが、Ｌ＝Ｌ２となり、陰極材５が限界まで消耗して
いるがまだ正常の範囲内と判定され、警報等は出力され
ない。Further, as thermal spraying continues and the cathode material 5 wears out, the nozzle part will reach the limit where the cathode material 5 does not cause damage to the electrode, that is, the position L2 (the state shown in FIG. 4) where the holder 4 is advanced the most. 2 and the cathode material 5, and automatically adjusts the position of the holder 4 to maintain the set voltage.
The comparison/determination section 13 compares the new position data with the normal holder position data from the memory section 12 to determine whether the holder is normal or abnormal. In this case, the position of the holder 4 becomes L=L2, and it is determined that the cathode material 5 is exhausted to the limit but still within the normal range, and no alarm etc. is output.
そして、陰極材５が更に消耗した場合には、ノズル部２
と陰極材５との距離を、電圧が設定電圧となるように自
動調整した際に、比較判定部１３にてホルダ４の新たな
位置りのデータと、メモリー部１２からの正常なホルダ
位置のデータとが比較され、正常・異常の判定が行なわ
れる。この場合には、ホルダ４の位置りが、Ｌ２＞Ｌ
となり異常と判定され、警報が出力される。警報が出
力された場合には、陰極材５を速やかに交換する必要が
あり、交換せずにそのまま溶射を続行すると、陰極材５
の消耗が進み、ホルダ４が溶損するとともに陽極である
ノズル部２が損傷を受ける虞れも高まる。When the cathode material 5 is further consumed, the nozzle part 2
When the distance between the holder 4 and the cathode material 5 is automatically adjusted so that the voltage becomes the set voltage, the comparison/judgment section 13 receives data on the new position of the holder 4 and the normal holder position from the memory section 12. The data is compared to determine whether it is normal or abnormal. In this case, the position of the holder 4 is L2>L
This is determined to be abnormal and an alarm is output. If an alarm is output, it is necessary to replace the cathode material 5 immediately. If you continue thermal spraying without replacing it, the cathode material 5
As the wear progresses, the holder 4 is melted and the nozzle portion 2, which is an anode, is likely to be damaged.
このように、本実施例のプラズマジェット溶射装置１は
、陰極材５の消耗に合せてホルダ４の位置を移動させて
、ノズル部２と陰極材５との間の電圧が設定電圧を維持
するように自動調整されるとともに、陰極材５が消耗し
て交換する必要が生じると、比較判定部１３にて異常と
判定されて警報が発せられるので、消耗による陰極材５
の交換時期を容易に検知でき、陰極材５の過度の消耗に
よる電極部の損傷を未然に防止することができる。In this way, the plasma jet thermal spraying apparatus 1 of this embodiment moves the position of the holder 4 in accordance with the consumption of the cathode material 5, and maintains the voltage between the nozzle part 2 and the cathode material 5 at the set voltage. When the cathode material 5 is exhausted and needs to be replaced, the comparison/determination section 13 determines that it is abnormal and issues an alarm.
It is possible to easily detect when it is time to replace the cathode material 5, and to prevent damage to the electrode portion due to excessive wear and tear on the cathode material 5.
また、アルゴンガス等の動作ガスの供給に異常が生じた
場合には、例えばガス流量の減少により、ノズル部２と
陰極材５との間の抵抗値が減少するため、定電流であれ
ば電圧が低下することから、設定電圧を維持させるため
には、ノズル部２から陰極材５までの距離ｌを大幅に離
すこととなり、ホルダ４の位置りが、Ｌ＞Ｌｌとなって
、溶射条件１では異常と判定され、警報が発せられてガ
ス流量の異常が検出される。In addition, if an abnormality occurs in the supply of operating gas such as argon gas, the resistance value between the nozzle part 2 and the cathode material 5 will decrease due to a decrease in the gas flow rate. decreases, in order to maintain the set voltage, the distance l from the nozzle part 2 to the cathode material 5 must be significantly increased, and the position of the holder 4 becomes L>Ll, so that thermal spraying condition 1 It is determined that there is an abnormality, an alarm is issued, and an abnormality in the gas flow rate is detected.
なお、本実施例においてはプラズマ発生装置をプラズマ
ジェット溶射装置に適用した場合について説明したが、
他にプラズマ表面処理装置やプラズマエツチング処理装
置等にも同様にして適用することができる。In addition, in this example, the case where the plasma generator is applied to a plasma jet thermal spraying apparatus was explained.
It can also be similarly applied to other plasma surface treatment equipment, plasma etching processing equipment, etc.
発明の効果
以上、説明したようにこの発明のプラズマ発生装置は、
一方の電極が消耗した際にこの電極を移動させて設定電
圧を維持するとともに、移動させた電極の位置を検出す
る位置検出部と、各設定電圧での正常な電極の位置を記
憶させるメモリー部と、前記位置検出部からの信号とメ
モリー部からの信号とを比較して電極の位置が正常か異
常かの判定を行なう比較判定部とを有するので、常時設
定電圧を維持できるとともに、電極の消耗による交換時
期を容易に検知でき、電極を消耗限界まで有効に使用で
きるとともに、電極の過度の消耗による電極部等への損
傷を未然に防止することができ、また、動作ガス流量の
異常も検出することができる。As explained above, the plasma generator of the present invention has the following effects:
A position detection section that moves one electrode when it wears out to maintain the set voltage, as well as detects the position of the moved electrode, and a memory section that memorizes the normal electrode position at each set voltage. and a comparison/determination section that compares the signal from the position detection section with the signal from the memory section to determine whether the electrode position is normal or abnormal, so that the set voltage can be maintained at all times and the electrode position can be maintained at all times. It is possible to easily detect when it is time to replace the electrode due to wear and tear, allowing the electrode to be used effectively to the limit of wear, and also to prevent damage to the electrode part due to excessive wear and tear. can be detected.
第１図ないし第４図はこの発明の一実施例を示すもので
、第１図はプラズマジェット溶射装置の構成を示すブロ
ック図、第２図は溶射条件の例を示す図、第３図は陰極
材が未消耗の状態のプラズマ発生部を示す断面側面図、
第４図は陰極材が限界まで消耗してホルダ位置が調整さ
れた状態のプラズマ発生部を示す断面側面図である。
１・・・プラズマジェット溶射装置、 ２・・・ノズル
部、 ３・・・ボデー ３ａ・・・動作ガスの供給口
、４ａ・・・ナツト、 ５・・・陰極材、 ６・・
・モータ、８・・・送りねじ軸、 １０・・・位置検出
器、 １１・・・電圧制御部、 １２・・・メモリー部
、 １３・・・比較判定部、 １４・・・出力部、 １
５・・・位置検出部。
第３図1 to 4 show an embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a plasma jet thermal spraying apparatus, FIG. 2 is a diagram showing an example of thermal spraying conditions, and FIG. A cross-sectional side view showing the plasma generation part in a state where the cathode material is not consumed;
FIG. 4 is a cross-sectional side view showing the plasma generating section in a state where the cathode material has been exhausted to the limit and the holder position has been adjusted. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Plasma jet thermal spraying device, 2... Nozzle part, 3... Body 3a... Operating gas supply port, 4a... Nut, 5... Cathode material, 6...
・Motor, 8... Feed screw shaft, 10... Position detector, 11... Voltage control section, 12... Memory section, 13... Comparison/judgment section, 14... Output section, 1
5...Position detection section. Figure 3
Claims (1)
定電圧を有し、一方の電極が消耗した際にこの電極を移
動させて他方の電極との間の距離を調節することにより
所定の設定電圧に調整する機構を備えたプラズマ発生装
置において、前記一方の電極を移動させる駆動部と、移
動させた電極の位置を検出する位置検出部と、各設定電
圧での正常な電極の位置を記憶させるメモリー部と、前
記位置検出部からの信号とメモリー部からの信号とを比
較して前記一方の電極の位置が正常か異常かの判定を行
なう比較判定部とを有することを特徴とするプラズマ発
生装置。It has multiple set voltages so that processing can be performed based on multiple processing conditions, and when one electrode is exhausted, the predetermined set voltage can be set by moving this electrode and adjusting the distance between it and the other electrode. In the plasma generating apparatus, the plasma generating device is equipped with a mechanism for adjusting the one electrode, a driving part for moving the one electrode, a position detecting part for detecting the position of the moved electrode, and a storing part for storing the normal position of the electrode at each set voltage. Plasma generation characterized by having a memory section and a comparison/determination section that compares a signal from the position detection section and a signal from the memory section to determine whether the position of the one electrode is normal or abnormal. Device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1270059A JPH03133099A (en) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Plasma generating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1270059A JPH03133099A (en) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Plasma generating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03133099A true JPH03133099A (en) | 1991-06-06 |
Family
ID=17480950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1270059A Pending JPH03133099A (en) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Plasma generating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03133099A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6093903A (en) * | 1997-04-18 | 2000-07-25 | Deutsches Zentrum Fuer Luft- Und Raumfahrt E.V. | Plasma burner device with adjustable anode and fixed cathode |
| JP2009527882A (en) * | 2006-02-23 | 2009-07-30 | コミッサリア タ レネルジー アトミーク | Transfer arc type plasma torch |
| JP2013139598A (en) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Electrode managing device for plasma spraying, and plasma spraying system |
| WO2018088252A1 (en) * | 2016-11-10 | 2018-05-17 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma thermal spray device and thermal spray control method |
| WO2018236662A1 (en) * | 2017-06-20 | 2018-12-27 | The Esab Group Inc. | Electromechanical linearly actuated electrode |
-
1989
- 1989-10-16 JP JP1270059A patent/JPH03133099A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6093903A (en) * | 1997-04-18 | 2000-07-25 | Deutsches Zentrum Fuer Luft- Und Raumfahrt E.V. | Plasma burner device with adjustable anode and fixed cathode |
| JP2009527882A (en) * | 2006-02-23 | 2009-07-30 | コミッサリア タ レネルジー アトミーク | Transfer arc type plasma torch |
| JP2013139598A (en) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Electrode managing device for plasma spraying, and plasma spraying system |
| WO2018088252A1 (en) * | 2016-11-10 | 2018-05-17 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma thermal spray device and thermal spray control method |
| WO2018236662A1 (en) * | 2017-06-20 | 2018-12-27 | The Esab Group Inc. | Electromechanical linearly actuated electrode |
| CN110771269A (en) * | 2017-06-20 | 2020-02-07 | 依赛彼集团公司 | Electromechanical linear actuation electrode |
| US10616988B2 (en) | 2017-06-20 | 2020-04-07 | The Esab Group Inc. | Electromechanical linearly actuated electrode |
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