JPH031323A - Method and device for burnishing magnetic disk - Google Patents
Method and device for burnishing magnetic diskInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気記録用ディスク媒体の磁性面をラッピン
グテープにより表面研磨仕上げするバーニッシュ方法に
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a burnishing method for polishing the magnetic surface of a magnetic recording disk medium using a lapping tape.
一般に、磁気ディスク表面をラッピングテープによって
研磨するバーニッシュ方法としては、磁気ディスクを保
持回転させ、ラッピングテープをこの磁気ディスクの磁
性面に押圧して、磁性面の余剰の突起を研磨除去する方
式がとられている。In general, the burnishing method of polishing the surface of a magnetic disk with a lapping tape involves holding and rotating the magnetic disk, pressing the wrapping tape against the magnetic surface of the magnetic disk, and polishing off excess protrusions on the magnetic surface. It is taken.
しかし、Ｆ記のような方法では、ラッピングテープによ
る研磨中に発生する研磨粉あるいは空気中の塵埃などが
ラッピングテープと磁気ディスク間に挾まれて磁気ディ
スク表面に研治傷を発生させるという問題かある。However, with the method described in F, there is a problem in that polishing powder generated during polishing with the lapping tape or dust in the air gets caught between the lapping tape and the magnetic disk, causing abrasive scratches on the surface of the magnetic disk. .
従来、このような問題に対して、（ａ）原因となる研磨
粉あるいは空気中の塵埃をエアーノズルの設置により加
圧エアーで除去する方法、（ｂ）原因となる研磨粉の大
部分が磁性体であるとして磁力で吸着除去する方法、な
どが提案されている。Conventionally, methods for solving this problem include (a) removing the causative abrasive powder or dust in the air with pressurized air by installing an air nozzle, and (b) removing most of the abrasive powder that is magnetic. A method has been proposed that uses magnetic force to attract and remove the particles.
しかしながら、ト記従来例（ａ）では、磁性面の研磨部
分にエアーを導入する条件設定が難しく充分なりリーニ
ング効果を得にくかった。また、従来例（ｂ）では、磁
性層に添加している非磁性の研磨材（例えば、酸化アル
ミナ、酸化クロム、酸化チタンなど）が研磨粉として発
生した場合にはクリーニング効果が発現せず、研磨傷を
充分に防止することができなかった。However, in the prior art example (a), it was difficult to set the conditions for introducing air into the polished portion of the magnetic surface, making it difficult to obtain a leaning effect. In addition, in conventional example (b), if the non-magnetic abrasive material (for example, alumina oxide, chromium oxide, titanium oxide, etc.) added to the magnetic layer is generated as polishing powder, the cleaning effect is not achieved. Polishing scratches could not be sufficiently prevented.
本発明は、上記問題点に鑑み、磁気ディスク媒体のバー
ニッシュ工程における研磨傷の発生を抑制するためのバ
ーニッシュ方法、およびこのバーニッシュ方法を実施す
るためのバーニッシュ装置を提供することを目的として
いる。In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to provide a burnishing method for suppressing the occurrence of polishing scratches in a burnishing process of a magnetic disk medium, and a burnishing device for carrying out this burnishing method. It is said that
（課題を解決するための手段〕
本発明は、ラッピングテープにより磁気ディスクを研磨
するとともに、湿式クリーニングテープを該磁気ディス
クに接触させて該磁気ディスクをクリーニングすること
を特徴とする磁気ディスクのバーニッシュ方法であり、
また、ラッピングテープ、該ラッピングテープを磁気デ
ィスクに接触させる手段、湿式クリーニングテープおよ
び該湿式クリーニングテープを該磁気ディスクに接触さ
せる手段を有することを特徴とする磁気ディスクのバー
ニッシュ装置である。(Means for Solving the Problems) The present invention provides a burnishing method for magnetic disks, which is characterized by polishing a magnetic disk with a wrapping tape and cleaning the magnetic disk by bringing a wet cleaning tape into contact with the magnetic disk. is a method,
The present invention is also a magnetic disk burnishing device characterized by comprising a wrapping tape, a means for bringing the wrapping tape into contact with the magnetic disk, a wet cleaning tape, and a means for bringing the wet cleaning tape into contact with the magnetic disk.
本発明のバーニッシュ方法は、磁気ディスクを回転駆動
し、この磁気ディスクの磁性面を加圧エアーによりラッ
ピングテープに圧接させてディスクを研磨するとともに
、湿式クリーニングテープによって湿式研磨を行ない、
研磨中に発生する研磨粉をこれによって除去することを
特徴とするものである。The burnishing method of the present invention involves rotating a magnetic disk, pressing the magnetic surface of the magnetic disk against a wrapping tape using pressurized air to polish the disk, and performing wet polishing using a wet cleaning tape.
It is characterized in that it removes polishing powder generated during polishing.
（実施例）
以下、第１図および第２図により本発明の詳細な説明す
る。(Example) Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to FIGS. 1 and 2.
磁気ディスク！（フレキシブルディスク）は磁性面１ａ
を上面にして内周部で回転軸２の先端のバキュームチャ
ック２ａによって保持され、回転駆動される。磁気ディ
スク１の回転速度は、例えば５００〜４０００ｒｐ−で
ある。Magnetic disk! (Flexible disk) is magnetic surface 1a
It is held by a vacuum chuck 2a at the tip of the rotary shaft 2 at the inner circumferential portion with the upper surface facing upward, and is rotationally driven. The rotational speed of the magnetic disk 1 is, for example, 500 to 4000 rpm.
上記の高速回５転している磁気ディスク１は下面に設置
されているエアーノズル６からの加圧エアーによりラッ
ピングテープ５に圧接されて研磨が行なわれる。エアー
ノズル６から供給される加圧エアーの圧力は、例えば３
Ｋｇ／ ｃｍ”以下の範囲で可変であり、この加圧エ
アーの圧力調節によって、ラッピングテープ５と磁気デ
ィスク１との接触圧を変化させて、研磨深さを調節する
ことができる。エアーノズル６の圧力は０．５〜２にｚ
／ｃｍ”に設定することが好ましい。The magnetic disk 1 rotating five times at high speed is brought into pressure contact with the wrapping tape 5 by pressurized air from an air nozzle 6 installed on the lower surface and polished. The pressure of the pressurized air supplied from the air nozzle 6 is, for example, 3
By adjusting the pressure of this pressurized air, the contact pressure between the wrapping tape 5 and the magnetic disk 1 can be changed to adjust the polishing depth.Air nozzle 6 The pressure is from 0.5 to 2z
/cm" is preferable.
ラッピングテープ５はガイドロール７ａに掛けられ、こ
こで屈曲して走行するように設定されている。このラッ
ピングテープ５は送り機構によって、磁気ディスク１の
回転方向と反対方向に走行するように送られる。送り速
度は３０ ＋＋ｕｓ／ ｓｅｃ以下で可変であり、好ま
しくは２〜１０ ｍｗ／ ｓｅｃである。ラッピングテ
ープ５としては、研磨粒子として例えば酸化クロム、炭
化ケイ素、酸化鉄、酸化アルミナ、ダイヤモンドなどの
材質のものが使用される。The wrapping tape 5 is placed on a guide roll 7a, and is set to be bent and run there. This wrapping tape 5 is fed by a feeding mechanism so as to run in a direction opposite to the direction of rotation of the magnetic disk 1. The feed rate is variable up to 30 ++ us/sec, preferably between 2 and 10 mw/sec. As the lapping tape 5, abrasive particles made of materials such as chromium oxide, silicon carbide, iron oxide, alumina oxide, and diamond are used.
一方、本発明で用いられるクリーニングテープは磁気デ
ィスク１を、１：・下面から挾み込むように設置される
。上面の湿式クリーニングテープ３は水あるいは潤滑剤
でＳｌ潤されており、ガイドテープ７ｂを経て、屈曲し
て走行するように設定されている。下面のクリーニング
テープ４はガイドロール７ｃを経て、屈曲して走行する
ように設定されている。なお、クリーニングテープ４は
水あるいは潤滑剤で湿潤されていてもいなくとも良い。On the other hand, the cleaning tape used in the present invention is installed so as to sandwich the magnetic disk 1 from the bottom surface. The wet cleaning tape 3 on the upper surface is moistened with water or lubricant, and is set to be bent and run through a guide tape 7b. The cleaning tape 4 on the lower surface is set to run in a bent manner after passing through a guide roll 7c. Note that the cleaning tape 4 may or may not be moistened with water or lubricant.
これらクリーニングテープ３．４は磁気ディスクの内周
から外周方向に送り機構によって送られる。送り速度は
３０ ｌ１ｍ１ ｓｅｃ以下で可変であり、好ましくは
２〜ｌ Ｏｆｆ１ｍ／ ｓｅｃである。潤滑剤としては
、磁気ディスク媒体に一般に用いられているシリコンオ
イル、脂肪酸、脂肪酸エステル、他のエステル、フッ素
化オイルなどを使用することができる。These cleaning tapes 3.4 are fed by a feeding mechanism from the inner circumference to the outer circumference of the magnetic disk. The feed rate is variable below 30 l1m1 sec, preferably 2-1 m/sec. As the lubricant, silicone oil, fatty acids, fatty acid esters, other esters, fluorinated oils, etc. commonly used in magnetic disk media can be used.
上記構成により、駆動機構で磁気ディスク１を高速回転
している状態で、湿式クリーニングテープ３とクリーニ
ングテープ４を接触させ、同時にエアーノズル６から所
定圧め加圧エアーを磁気ディスク！に吹き付け、これに
よりラッピングテープ５と磁性面１ａとを所定の接触圧
で圧接して研磨仕上げを、例えば０．１ｘ １．０ｓｅ
ｃ程度の時間性なうものである。With the above configuration, while the magnetic disk 1 is being rotated at high speed by the drive mechanism, the wet cleaning tape 3 and the cleaning tape 4 are brought into contact with each other, and at the same time, pressurized air is applied to the magnetic disk from the air nozzle 6 at a predetermined pressure. As a result, the wrapping tape 5 and the magnetic surface 1a are brought into contact with each other with a predetermined contact pressure to achieve a polished finish, for example, 0.1 x 1.0 se.
It has a temporal characteristic of about c.
本発明によれば、磁気ディスクの研磨中に発生し、研磨
傷の原因となる研磨粉を湿式クリーニングテープで効果
的に除去できるとともに、磁気ディスクとラッピングテ
ープとの間に潤滑剤が供給されるため、磁気ディスクの
研磨面の傷付きを防止できる。According to the present invention, polishing powder that is generated during polishing of a magnetic disk and causes polishing scratches can be effectively removed using a wet cleaning tape, and a lubricant is supplied between the magnetic disk and the wrapping tape. Therefore, scratches on the polished surface of the magnetic disk can be prevented.
第１図は本発明に用いられるバーニッシュ装置の正面図
、第２図は上片からの斜視図である。
１：磁気ディスク媒体 １ａ：磁性面２：回転軸
２ａ：チャック３：湿式クリーニングテープ
４：クリーニングテープ
５：ラッピングテープ ６：エアーノズル７：ガイド
ロール
特許出願人 キャノン株式会社
代 理 人 若 林 忠第１図
第２図FIG. 1 is a front view of the varnishing device used in the present invention, and FIG. 2 is a perspective view from the top. 1: Magnetic disk medium 1a: Magnetic surface 2: Rotating shaft
2a: Chuck 3: Wet cleaning tape 4: Cleaning tape 5: Wrapping tape 6: Air nozzle 7: Guide roll Patent applicant Canon Co., Ltd. Agent Tadashi Wakabayashi Figure 1 Figure 2
Claims (1)
ともに、湿式クリーニングテープを該磁気ディスクに接
触させて該磁気ディスクをクリーニングすることを特徴
とする磁気ディスクのバーニッシュ方法。 ２、ラッピングテープ、該ラッピングテープを磁気ディ
スクに接触させる手段、湿式クリーニングテープおよび
該湿式クリーニングテープを該磁気ディスクに接触させ
る手段を有することを特徴とする磁気ディスクのバーニ
ッシュ装置。[Claims] 1. A method for burnishing a magnetic disk, which comprises polishing the magnetic disk with a lapping tape and cleaning the magnetic disk by bringing a wet cleaning tape into contact with the magnetic disk. 2. A magnetic disk burnishing device comprising a wrapping tape, a means for bringing the wrapping tape into contact with the magnetic disk, a wet cleaning tape, and a means for bringing the wet cleaning tape into contact with the magnetic disk.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13470289A JPH031323A (en) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | Method and device for burnishing magnetic disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13470289A JPH031323A (en) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | Method and device for burnishing magnetic disk |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031323A true JPH031323A (en) | 1991-01-08 |
Family
ID=15134599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13470289A Pending JPH031323A (en) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | Method and device for burnishing magnetic disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031323A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11232644A (en) * | 1998-02-12 | 1999-08-27 | Yac Co Ltd | Working apparatus for magnetic disk |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP13470289A patent/JPH031323A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11232644A (en) * | 1998-02-12 | 1999-08-27 | Yac Co Ltd | Working apparatus for magnetic disk |
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