JPH03123810A - 原子間力顕微鏡 - Google Patents
原子間力顕微鏡Info
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- JPH03123810A JPH03123810A JP26206289A JP26206289A JPH03123810A JP H03123810 A JPH03123810 A JP H03123810A JP 26206289 A JP26206289 A JP 26206289A JP 26206289 A JP26206289 A JP 26206289A JP H03123810 A JPH03123810 A JP H03123810A
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Links
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は探針と試料面との間で作用する原子間力を検
出し、試料面の像を原子的な分解能で構成する原子間力
顕微鏡に関する。
出し、試料面の像を原子的な分解能で構成する原子間力
顕微鏡に関する。
[従来の技術]
原子間力顕微鏡(Atomic Force Mlcr
oscope :AFM)は、原子間力を用いて、試料
の表面を原子的な分解能で観察できる装置で、先端が鋭
く尖った探針と、この探針を支持する板ばね状のカンチ
レバーを備える。探針を試料表面に非常に接近させると
、探針先端の原子と試料表面の原子との間に原子間力が
作用し、結果としてカンチレバーが上下方向に変位する
。このカンチレバーの変位量(カンチレバーに生じる反
りの量)を検出しつつ、探針を試料表面に沿って走査す
ることにより、試料表面における力の2次元情報を得、
この2次元情報から原子的尺度で試料表面の像を構成す
る。
oscope :AFM)は、原子間力を用いて、試料
の表面を原子的な分解能で観察できる装置で、先端が鋭
く尖った探針と、この探針を支持する板ばね状のカンチ
レバーを備える。探針を試料表面に非常に接近させると
、探針先端の原子と試料表面の原子との間に原子間力が
作用し、結果としてカンチレバーが上下方向に変位する
。このカンチレバーの変位量(カンチレバーに生じる反
りの量)を検出しつつ、探針を試料表面に沿って走査す
ることにより、試料表面における力の2次元情報を得、
この2次元情報から原子的尺度で試料表面の像を構成す
る。
[発明が解決しようとする課題]
AFMにおいて、探針を支持するカンチレバーは、微少
な原子間力に対して大きく変形するように、柔軟である
ことが望ましい。また、一般的構造物などから受ける数
100Hz程度の振動ノイズに対する感度を最小にする
ため、高い共振周波数を有することも必要である。弾性
体の共振周波数foは、弾性係数をに1弾性体の有する
実効質量をm□としたとき、 fo −(1/2π) JT:フm□ で与えられ、カンチレバーの共振周波数は、この関係式
から外部ノイズと感度との兼合いで決められる。弾性係
数kを小さくして柔軟性を持たせるとともに、共振周波
数foを高くするには、実効質ffimoを小さくする
必要がある。現在、マイクロッアプリケーション技術を
用いて、その実効質量を10−” kgとし、共振周波
数を2kHzに抑えようとの提案もあるが限界がある。
な原子間力に対して大きく変形するように、柔軟である
ことが望ましい。また、一般的構造物などから受ける数
100Hz程度の振動ノイズに対する感度を最小にする
ため、高い共振周波数を有することも必要である。弾性
体の共振周波数foは、弾性係数をに1弾性体の有する
実効質量をm□としたとき、 fo −(1/2π) JT:フm□ で与えられ、カンチレバーの共振周波数は、この関係式
から外部ノイズと感度との兼合いで決められる。弾性係
数kを小さくして柔軟性を持たせるとともに、共振周波
数foを高くするには、実効質ffimoを小さくする
必要がある。現在、マイクロッアプリケーション技術を
用いて、その実効質量を10−” kgとし、共振周波
数を2kHzに抑えようとの提案もあるが限界がある。
また、AFMのカンチレバーの反りの検出する方法の一
つに、カンチレバーの背面に37M探針を配置し、37
M探針とカンチレバーとの間に流れるトンネル電流を用
いて、カンチレバーの反りを測定する方法がある。しか
し、この方法による測定では、37M探針とAFMカン
チレバーの間で作用する原子間力が測定結果に含まれる
とともに、STM系のノイズを測定結果に含み、正確な
AFM+111J定が得られないという問題がある。
つに、カンチレバーの背面に37M探針を配置し、37
M探針とカンチレバーとの間に流れるトンネル電流を用
いて、カンチレバーの反りを測定する方法がある。しか
し、この方法による測定では、37M探針とAFMカン
チレバーの間で作用する原子間力が測定結果に含まれる
とともに、STM系のノイズを測定結果に含み、正確な
AFM+111J定が得られないという問題がある。
この発明の目的は、原子間力に敏感に反応する柔軟なカ
ンチレバーを有するとともに、振動などの外部ノイズの
影響を受けにくい原子間力顕微鏡の提供にある。さらに
、この発明の別の目的は、カンチレバーの変位検出にS
TM系を用いる際に、STM系の探針とAFMカンチレ
バーの間に作用する原子間力、及びSTM系のノイズを
含まない変位検出結果の提供にある。
ンチレバーを有するとともに、振動などの外部ノイズの
影響を受けにくい原子間力顕微鏡の提供にある。さらに
、この発明の別の目的は、カンチレバーの変位検出にS
TM系を用いる際に、STM系の探針とAFMカンチレ
バーの間に作用する原子間力、及びSTM系のノイズを
含まない変位検出結果の提供にある。
[課題を解決するための手段]
この発明の原子間力顕微鏡は、探針を支持する第1のカ
ンチレバーと、第1のカンチレバーの近傍に設けられる
第2のカンチレバーであって、第1のカンチレバーと同
じ固有振動数を有する第2のカンチレバーと、前記第1
及び第2のカンチレバーの先端部の動きをそれぞれ検出
する第1及び第2の検出手段と、前記第1及び第2の検
出手段の出力の差を検出する手段を備えることを特徴と
する。
ンチレバーと、第1のカンチレバーの近傍に設けられる
第2のカンチレバーであって、第1のカンチレバーと同
じ固有振動数を有する第2のカンチレバーと、前記第1
及び第2のカンチレバーの先端部の動きをそれぞれ検出
する第1及び第2の検出手段と、前記第1及び第2の検
出手段の出力の差を検出する手段を備えることを特徴と
する。
[作用コ
この発明による原子間力顕微鏡では、試料表面に作用す
る探針を備える第1のカンチレバーと、第1のカンチレ
バーと同じ固有振動数を有する第2のカンチレバーが、
互いに近接して設けられる。
る探針を備える第1のカンチレバーと、第1のカンチレ
バーと同じ固有振動数を有する第2のカンチレバーが、
互いに近接して設けられる。
例えば、これらのカンチレバーは、マイクロッアプリケ
ーション技術により、シリコンウェハをベースとして、
蒸着、エツチング等の工程を経て形成される。第1のカ
ンチレバーは、探針と試料との間で作用する原子間力及
び外部ノイズを受けて変位する。一方、第2のカンチレ
バーには試料表面と作用する探針はなく、外部ノイズに
よってのみ変位する。第1及び第2のカンチレバーは外
部ノイズを受けて同等に振動するので、第1及び第2の
カンチレバーの動きを検出し、これらの動きを示す信号
の差をとることによって、外部ノイズが容易に除去され
る。
ーション技術により、シリコンウェハをベースとして、
蒸着、エツチング等の工程を経て形成される。第1のカ
ンチレバーは、探針と試料との間で作用する原子間力及
び外部ノイズを受けて変位する。一方、第2のカンチレ
バーには試料表面と作用する探針はなく、外部ノイズに
よってのみ変位する。第1及び第2のカンチレバーは外
部ノイズを受けて同等に振動するので、第1及び第2の
カンチレバーの動きを検出し、これらの動きを示す信号
の差をとることによって、外部ノイズが容易に除去され
る。
[実施例コ
以下、図面を参照しながら、この発明の原子間力顕微鏡
の一実施例について説明する。使用されるカンチレバー
の上面図及び断面図が、それぞれ第1A図及び第1B図
に示される。基板10は、円形開口部の対向する周縁部
に固定端を有し、その自由端領域が近接する2本のカン
チレバー12及び14を備える。2本のカンチレバー1
2及び14は、幅、厚さ、長さが等しく形成される。カ
ンチレバーの弾性係数には、ヤング率をE1カンチレバ
ーの幅、厚さ、長さをそれぞれa、b。
の一実施例について説明する。使用されるカンチレバー
の上面図及び断面図が、それぞれ第1A図及び第1B図
に示される。基板10は、円形開口部の対向する周縁部
に固定端を有し、その自由端領域が近接する2本のカン
チレバー12及び14を備える。2本のカンチレバー1
2及び14は、幅、厚さ、長さが等しく形成される。カ
ンチレバーの弾性係数には、ヤング率をE1カンチレバ
ーの幅、厚さ、長さをそれぞれa、b。
lとすると、
k−Eab3/413
で与えられる。共振周波数を小さくするには、kの値を
大きくすればよいので、lを長く、b(厚さ)を薄くす
る。例えば、カンチレバーの幅a1厚さb1長さlは、
それぞれa−200庫、b−1on、l−2〜3ml1
1が採用される。
大きくすればよいので、lを長く、b(厚さ)を薄くす
る。例えば、カンチレバーの幅a1厚さb1長さlは、
それぞれa−200庫、b−1on、l−2〜3ml1
1が採用される。
第1のカンチレバー12は、原子間力を検出するための
探針16を先端(自由端)部下面に備える。探針16は
、異なる大きさの孔を有する複数のリソグラフィーマス
クパターンを用い、タングステンを積層蒸着して形成さ
れる。一方、第2のカンチレバー14の先端部下面には
、探針16に等しい実効質量を有するダミーウェイト1
8が、複数の孔を有するマスクを介して、タングステン
を蒸着することによって形成される。
探針16を先端(自由端)部下面に備える。探針16は
、異なる大きさの孔を有する複数のリソグラフィーマス
クパターンを用い、タングステンを積層蒸着して形成さ
れる。一方、第2のカンチレバー14の先端部下面には
、探針16に等しい実効質量を有するダミーウェイト1
8が、複数の孔を有するマスクを介して、タングステン
を蒸着することによって形成される。
この発明に適用される2本のカンチレバーは、同じ固有
振動数を有するとともに、先端部が近接する一対のカン
チレバーであればよく、第1A図及び第1B図に示され
るカンチレバー以外の他のカンチレバーが適用されても
よい。例えば、第2図にその上面図が示されるように、
基板10の矩形開口部の一辺に共通して固定端を有し、
平行に延出する2本のカンチレバー12及び14が適用
されてもよい。
振動数を有するとともに、先端部が近接する一対のカン
チレバーであればよく、第1A図及び第1B図に示され
るカンチレバー以外の他のカンチレバーが適用されても
よい。例えば、第2図にその上面図が示されるように、
基板10の矩形開口部の一辺に共通して固定端を有し、
平行に延出する2本のカンチレバー12及び14が適用
されてもよい。
次に第3図を参照しながら、この実施例で適用されるカ
ンチレバーの変位検出系について説明する。簡単のため
、図には中心光線だけが示される。
ンチレバーの変位検出系について説明する。簡単のため
、図には中心光線だけが示される。
レーザーダイオード(LD)20は、紙面に垂直な方向
に偏光面を有する光ビームLを射出する。
に偏光面を有する光ビームLを射出する。
光ビームLはコリメータレンズ22で平行ビームに変換
され、紙面に垂直な方向に格子方向を有する回折格子2
4に入射される。回折格子24は、光ビームLを2本の
光ビームL1及びL2に分割し、光ビームL1及びL2
はプリズム26により下方に反射される。プリズム26
で反射された光ビームL1及びL2は、偏光ビームスプ
リッタ−28及び1/4波長板30を通過し、対物レン
ズ32によって集光される。この結果、光ビームLl及
びL2は、3−程度の径を有し、20tnx程度離れる
2つのビームスポットとして、それぞれ、カンチレバー
12及び14の先端部に照射される。
され、紙面に垂直な方向に格子方向を有する回折格子2
4に入射される。回折格子24は、光ビームLを2本の
光ビームL1及びL2に分割し、光ビームL1及びL2
はプリズム26により下方に反射される。プリズム26
で反射された光ビームL1及びL2は、偏光ビームスプ
リッタ−28及び1/4波長板30を通過し、対物レン
ズ32によって集光される。この結果、光ビームLl及
びL2は、3−程度の径を有し、20tnx程度離れる
2つのビームスポットとして、それぞれ、カンチレバー
12及び14の先端部に照射される。
カンチレバー上面で反射される光ビームL1及びL2は
、対物レンズ32及び174波長板30を介して、偏光
ビームスプリッタ−28に入射する。
、対物レンズ32及び174波長板30を介して、偏光
ビームスプリッタ−28に入射する。
光ビームL1及びL2は、1/4波長板30の2度の通
過によって、その偏光方向が90°回転され、紙面に平
行な偏光ビームに変換されるので、偏光ビームスプリッ
タ−28で反射される。偏光ビームスプリッタ−28で
反射された光ビームL1及びL2は縮小レンズ34で集
光され、第4図に示されるように、2つの2分割フォト
ダイオード38及び40を備える光検出器36に入射さ
れる。光検出器36は、第1及び第2のカンチレバー1
2及び14の位置を反映する信号をそれぞれ出力端子4
2及び44から出力する。端子42は、原子間力と外部
ノイズの影響が含まれる第1のカンチレバー12の動き
を反映する信号を出力し、端子44は、外部ノイズによ
ってのみ変動する第2のカンチレバー14の動きを反映
する信号を出力する。これらの出力信号は差動増幅器4
6に入力されて減算され、外部ノイズが除去された第1
のカンチレバー12の動きを反映する信号が、出力端子
48から出力される。
過によって、その偏光方向が90°回転され、紙面に平
行な偏光ビームに変換されるので、偏光ビームスプリッ
タ−28で反射される。偏光ビームスプリッタ−28で
反射された光ビームL1及びL2は縮小レンズ34で集
光され、第4図に示されるように、2つの2分割フォト
ダイオード38及び40を備える光検出器36に入射さ
れる。光検出器36は、第1及び第2のカンチレバー1
2及び14の位置を反映する信号をそれぞれ出力端子4
2及び44から出力する。端子42は、原子間力と外部
ノイズの影響が含まれる第1のカンチレバー12の動き
を反映する信号を出力し、端子44は、外部ノイズによ
ってのみ変動する第2のカンチレバー14の動きを反映
する信号を出力する。これらの出力信号は差動増幅器4
6に入力されて減算され、外部ノイズが除去された第1
のカンチレバー12の動きを反映する信号が、出力端子
48から出力される。
次に、カンチレバー12及び14の上下方向の動きの検
出について、第5図及び第6図を参照して説明する。カ
ンチレバー12及び14の動きを検出する光学系は同じ
であり、ここではカンチレバー12を対象として説明す
る。カンチレバー12の上面が対物レンズ32の合焦位
置Aにあるとき、カンチレバーで反射される光ビームL
は、第5図の実線で示される経路に沿って、偏光ビーム
スプリッタ−28のビームスブリット面28Aで反射さ
れ、光検出器36の2分割フォトダイオード38に照射
される。このとき、光ビームLは、第6図の実線の円で
示されるように、その中心が2分割フォトダイオード3
8の分割線上に位置する。これに対し、カンチレバー1
2の上面が対物レンズ32の焦点からずれた位置Bに移
行したとき、カンチレバーで反射される光ビームL゛は
、第5図の破線示される経路に沿って伝搬し、結果とし
て2分割フォトダイオード28上の結像中心が、第6図
の破線の円で示されるように、フォトダイオード28A
側に移行する。従って、2分割フォトダイオード28A
及び28Bからの各出力を差動増幅器50に入力するこ
とによって、カンチレバーの動きが検出される。
出について、第5図及び第6図を参照して説明する。カ
ンチレバー12及び14の動きを検出する光学系は同じ
であり、ここではカンチレバー12を対象として説明す
る。カンチレバー12の上面が対物レンズ32の合焦位
置Aにあるとき、カンチレバーで反射される光ビームL
は、第5図の実線で示される経路に沿って、偏光ビーム
スプリッタ−28のビームスブリット面28Aで反射さ
れ、光検出器36の2分割フォトダイオード38に照射
される。このとき、光ビームLは、第6図の実線の円で
示されるように、その中心が2分割フォトダイオード3
8の分割線上に位置する。これに対し、カンチレバー1
2の上面が対物レンズ32の焦点からずれた位置Bに移
行したとき、カンチレバーで反射される光ビームL゛は
、第5図の破線示される経路に沿って伝搬し、結果とし
て2分割フォトダイオード28上の結像中心が、第6図
の破線の円で示されるように、フォトダイオード28A
側に移行する。従って、2分割フォトダイオード28A
及び28Bからの各出力を差動増幅器50に入力するこ
とによって、カンチレバーの動きが検出される。
カンチレバーの変位検出系の別の例が、第7図及び第8
図に示される。この検出系では、トンネル電流を用いて
カンチレバー12及び14の動きを検出する。第1及び
第2のカンチレバー12及び14の先端部上方に、トン
ネル電流を検出するための探針52及び54がそれぞれ
設けられる。
図に示される。この検出系では、トンネル電流を用いて
カンチレバー12及び14の動きを検出する。第1及び
第2のカンチレバー12及び14の先端部上方に、トン
ネル電流を検出するための探針52及び54がそれぞれ
設けられる。
探針52及び54は、基板10の円形開口部の周縁で固
定されるカンチレバー56及び58によってそれぞれ支
持される。2つのカンチレバー56及び58は同様に構
成され、ここでは、カンチレバー56についてのみ説明
する。カンチレバー56は、共通電極60の上下面にそ
れぞれZnO圧電体層62及び64が設けられ、さらに
圧電体層62及び64の上下面に、圧電体を駆動するた
めの電極66及び68を備える、いわゆるバイモルフタ
イプのカンチレバーである。このカンチレバー56は、
AFM系のカンチレバー12に比べてその厚さは厚くて
もよく、またその長さは短くてもよい。重要なのは、探
針52を設ける位置だけである。
定されるカンチレバー56及び58によってそれぞれ支
持される。2つのカンチレバー56及び58は同様に構
成され、ここでは、カンチレバー56についてのみ説明
する。カンチレバー56は、共通電極60の上下面にそ
れぞれZnO圧電体層62及び64が設けられ、さらに
圧電体層62及び64の上下面に、圧電体を駆動するた
めの電極66及び68を備える、いわゆるバイモルフタ
イプのカンチレバーである。このカンチレバー56は、
AFM系のカンチレバー12に比べてその厚さは厚くて
もよく、またその長さは短くてもよい。重要なのは、探
針52を設ける位置だけである。
カンチレバー12の変位検出は、例えば第8図に示され
るように、カンチレバー12の上面に設けられる導電層
12Aと探針52との間に所定の電圧を印加し、探針5
2と導電層12Aとの間に流れるトンネル電流を電流検
出器70を用いて検出しつつ、トンネル電流の値を一定
に保つようにサーボ回路72でカンチレバー56を駆動
する際のサーボ電圧から検出される。
るように、カンチレバー12の上面に設けられる導電層
12Aと探針52との間に所定の電圧を印加し、探針5
2と導電層12Aとの間に流れるトンネル電流を電流検
出器70を用いて検出しつつ、トンネル電流の値を一定
に保つようにサーボ回路72でカンチレバー56を駆動
する際のサーボ電圧から検出される。
以上に説明したように、この発明の原子間力顕微鏡によ
れば、同じ固有振動数を有し、その自由端が近接する2
本のカンチレバーを設け、2本のカンチレバーの動きの
差から原子間力の情報を得るので、振動などの外部ノイ
ズの影響を受は易くすることなく、柔軟なカンチレバー
が使用でき、原子間力の検出感度の向上がはかれる。ま
た、カンチレバーの変位検出にSTM系を使用した際、
STMの探針が受ける原子間力及びSTM系のノイズを
含まない検出結果が得られるようになり、測定精度が向
上する。
れば、同じ固有振動数を有し、その自由端が近接する2
本のカンチレバーを設け、2本のカンチレバーの動きの
差から原子間力の情報を得るので、振動などの外部ノイ
ズの影響を受は易くすることなく、柔軟なカンチレバー
が使用でき、原子間力の検出感度の向上がはかれる。ま
た、カンチレバーの変位検出にSTM系を使用した際、
STMの探針が受ける原子間力及びSTM系のノイズを
含まない検出結果が得られるようになり、測定精度が向
上する。
[発明の効果]
この発明の原子間力顕微鏡によれば、試料面に作用する
探針を備える第1のカンチレバーの近くに、これと同じ
固有振動数を有する第2のカンチレバーを設け、第1の
カンチレバーの動きから、外部ノイズによってのみ変位
する第2のカンチレバーの動きを減算して原子間力の情
報を得るので、外部ノイズの影響を受は易くすることな
く、検出感動の向上をはかることができる。さらに、カ
ンチレバーの変位検出にSTM系を用いた際、原子間力
及びSTM系のノイズの影響を含まずに、カンチレバー
の変位が検出される。
探針を備える第1のカンチレバーの近くに、これと同じ
固有振動数を有する第2のカンチレバーを設け、第1の
カンチレバーの動きから、外部ノイズによってのみ変位
する第2のカンチレバーの動きを減算して原子間力の情
報を得るので、外部ノイズの影響を受は易くすることな
く、検出感動の向上をはかることができる。さらに、カ
ンチレバーの変位検出にSTM系を用いた際、原子間力
及びSTM系のノイズの影響を含まずに、カンチレバー
の変位が検出される。
第1A図はこの発明の原子間力顕微鏡の実施例において
使用されるカンチレバーの上面図、第1B図は第1A図
に示されるカンチレバーの断面図、第2図は別のカンチ
レバーの上面図、第3図はカンチレバーの変位検出系の
構成を示す図、第4図は外部ノイズを除去する回路の構
成を示す図、第5図はカンチレバーの変位を検出する原
理を説明する図、第6図は変位検出部の回路構成を示す
図、第7図は別の変位検出系の構成を示す図、第8図は
第7図に示される変位検出系の動作を説明する図である
。 12・・・第1のカンチレバー 14・・・第2のカン
チレバー 16・・・探針。
使用されるカンチレバーの上面図、第1B図は第1A図
に示されるカンチレバーの断面図、第2図は別のカンチ
レバーの上面図、第3図はカンチレバーの変位検出系の
構成を示す図、第4図は外部ノイズを除去する回路の構
成を示す図、第5図はカンチレバーの変位を検出する原
理を説明する図、第6図は変位検出部の回路構成を示す
図、第7図は別の変位検出系の構成を示す図、第8図は
第7図に示される変位検出系の動作を説明する図である
。 12・・・第1のカンチレバー 14・・・第2のカン
チレバー 16・・・探針。
Claims (3)
- (1)試料と探針の先端との間に作用する原子間力を検
出し、試料の表面構造を原子・分子レベルで測定する原
子間力顕微鏡において、 前記探針を支持する第1のカンチレバーと、この第1の
カンチレバーと同じ固有振動数を有するとともに、前記
第1のカンチレバーの近傍に設けられる第2のカンチレ
バーと、前記第1のカンチレバーの先端部の動きを検出
する第1の検出手段と、前記第2のカンチレバーの先端
部の動きを検出する第2の検出手段と、前記第1及び第
2の検出手段の出力の差を検出する手段とを備えること
を特徴とする原子間力顕微鏡。 - (2)前記検出手段は、前記カンチレバーの背面に接近
して支持される探針を備え、この探針と前記カンチレバ
ーとの間に流れるトンネル電流を検出して、前記カンチ
レバーの動きを検出することを特徴とする請求項1記載
の原子間力顕微鏡。 - (3)前記検出手段は、前記カンチレバーの背面に設け
られる反射体と、この反射体に光を照射し、反射される
光を検出することによって、前記カンチレバーの動きを
検出する光学系とを備えることを特徴とする原子間力顕
微鏡。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26206289A JPH03123810A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 原子間力顕微鏡 |
US07/592,239 US5206702A (en) | 1989-10-09 | 1990-10-03 | Technique for canceling the effect of external vibration on an atomic force microscope |
DE69019913T DE69019913T2 (de) | 1989-10-09 | 1990-10-08 | Atomkraftmikroskop. |
EP90119243A EP0422548B1 (en) | 1989-10-09 | 1990-10-08 | Atomic force microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26206289A JPH03123810A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 原子間力顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03123810A true JPH03123810A (ja) | 1991-05-27 |
Family
ID=17370500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26206289A Pending JPH03123810A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 原子間力顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03123810A (ja) |
-
1989
- 1989-10-09 JP JP26206289A patent/JPH03123810A/ja active Pending
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