JPH03108807A - 薄型水晶振動子容器の製造方法 - Google Patents

薄型水晶振動子容器の製造方法

Info

Publication number
JPH03108807A
JPH03108807A JP24609289A JP24609289A JPH03108807A JP H03108807 A JPH03108807 A JP H03108807A JP 24609289 A JP24609289 A JP 24609289A JP 24609289 A JP24609289 A JP 24609289A JP H03108807 A JPH03108807 A JP H03108807A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cap
base
groove
grooves
crystal resonator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24609289A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuyoshi Sugama
一義 須釜
Toru Matsuno
松野 亨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Electronic Components Ltd
Original Assignee
Seiko Electronic Components Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Electronic Components Ltd filed Critical Seiko Electronic Components Ltd
Priority to JP24609289A priority Critical patent/JPH03108807A/ja
Publication of JPH03108807A publication Critical patent/JPH03108807A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子機器産業では著しい発展がみられる高密
度実装化に貢献するものであり、主に表面実装に好適な
電子部品として供給されている薄型の圧電振動子に関す
るもので、特に振動子ユニットのベースとキャップを接
合してなる容器の製造方法に関するものである。
〔発明の概要〕
本発明は、表面実装に好適な薄型の水晶振動子において
、容器であるベースとキャップを平面的に多数個つなが
った形状とし、生産性の向上、さらには、ベースとキャ
ップの接合後の切り離し部分に溝を設け、気密容器の信
頼性向上を提供することにある。少なくとも2体よりな
る平板または凹凸板のセラミックまたはガラスは、平面
的に多数個同じ形状の収容部を凹設しており、その個々
の収容部の境界部にV字形・U字形・コの字形等任意の
溝を設ける、この溝は、ベースとキャップの接合するた
めの接合部を回避させた位置に設けることにより、バッ
チ処理で個々の振動子容器の切り離し後の気密容器の信
頼性を向上させたものである。
〔従来の技術〕
従来の容器の構造は、第2図(a)の斜視図に示すよう
に、平板状のキャップ2とベース1はセラミックまたは
ガラスよりなり、平面的に多数個取り形状となっており
、第2図(b)のように、ベース1とキャップ2を接合
部4で接合し、その後点線で示す切り離し部5の切断に
より切り離しを行なっていた。つまり、接合後の切り離
し時に接合部が切断されていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、従来の容器構造は、ベース1とキャップ
2を接合し切り離す時に、接合部を切断していたため、
接合部への切断応力が生じ、容器の長期的な気密性を損
ねるという欠点を有していた。つまり、水晶振動子を収
容する気密容器の長期信頼性がなく、問題であった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は上記問題を解決するために、薄型水晶振動容器
のベースに同じ形状の収容部を複数個整列して配設し、
接合部によりキャップを封止して気密化された収容部を
形成する薄型水晶振動子の容器の製造方法において、前
記収容部を囲む前記接合部と、それに隣接する収容部を
囲む接合部との境界部に溝を設け、前記接合部の接合機
能は前記溝によって遮断され、かつ前記溝と平面的に一
致する位置で前記ベース及びキャップの任意な面にも溝
を設け、上記溝を案内にして切り離すことにより接合部
への残留応力の悪影響を防止したものである。
〔作用〕
このように本発明は、薄型水晶振動子の容器を構成する
多数個取り形状のべ、−スとキャップにおいて、切り離
し部と接合部が影響しないように溝を設けることにより
、長期気密性を満足する容器を、バッチ処理生産で同時
に多数何畳ることが可能となった。
〔実施例〕
本発明の実施例を図面により具体的に述べる。
第1図(a)・(b)は、本発明の薄型水晶振動子容器
の構造と製造方法を示す斜視図である。セラミックより
なるベース1とガラスよりなるキャップ2を平面的に多
数個整列し、図示ではマトリックス状に凹状をなす有底
の収容部5がベース1の平面につながった形状となって
いる、さらに、ベース1とキャップ2の切り離し部5に
V字形・U字形・コの字形等の溝3とキャップ溝3′を
設けである。この合溝3と3′は、接合部4と隣接する
接合部の境界部7をなし、この部分の接合機能を遮断し
ている切り離し部分5を回避させるようにする。したが
って、セラミックベース1とガラスキャップ2の接合体
を切り離す際に、接合部分4を切断加工せずに、あらか
じめ設けた溝3と3′を切断する。これにより、接合体
の切り離し後において、切り離し部5の切断による残留
応力が極めて少ないため、接合部4に加わる歪は微少で
ありバッチ処理による多数個の同時製造であっても容器
の気密性を維持した薄型水晶振動子が得られた、なお図
示のように、接合部の境界部7に施した溝3と平面的に
一致する位置でベース1やキャップ2の任意な平面にキ
ャップ溝3′や裏溝3′を設けることは、作業性の向上
などに有効である。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明は、バッチ処理でのベースと
キャップの接合体における切り離し部分と接合部分を回
避する溝を設けることにより、切り離し後の容器の気密
性を向上させた薄型水晶振動子が得られた。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)は本発明の構造を示す斜視図、第
2図は従来の構造を示す斜視図である。 Φベース 0キヤツプ ・溝 ・キャップ溝 ・接合部分 ・切り離し部分 ・収容部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ベースに同じ形状の収容部を複数個整列して配設し、接
    合部によりキャップを封止して気密化された収容部を形
    成する薄型水晶振動子の容器の製造方法において、前記
    収容部を囲む前記接合部と、それに隣接する収容部を囲
    む接合部との境界部に溝を設け、前記接合部の接合機能
    は前記溝によって遮断され、かつ前記溝と平面的に一致
    する位置で前記ベース及びキャップの任意な面にも溝を
    設け、上記溝を案内にして切り離すことを特徴とする薄
    型水晶振動子容器の製造方法。
JP24609289A 1989-09-21 1989-09-21 薄型水晶振動子容器の製造方法 Pending JPH03108807A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24609289A JPH03108807A (ja) 1989-09-21 1989-09-21 薄型水晶振動子容器の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24609289A JPH03108807A (ja) 1989-09-21 1989-09-21 薄型水晶振動子容器の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03108807A true JPH03108807A (ja) 1991-05-09

Family

ID=17143374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24609289A Pending JPH03108807A (ja) 1989-09-21 1989-09-21 薄型水晶振動子容器の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03108807A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1187318A2 (en) * 2000-09-11 2002-03-13 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) Acoustic resonator
JP2014143317A (ja) * 2013-01-24 2014-08-07 Seiko Instruments Inc 電子部品及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1187318A2 (en) * 2000-09-11 2002-03-13 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) Acoustic resonator
EP1187318A3 (en) * 2000-09-11 2003-05-28 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) Acoustic resonator
JP2014143317A (ja) * 2013-01-24 2014-08-07 Seiko Instruments Inc 電子部品及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8179023B2 (en) Package-type piezoelectric resonator and method of manufacturing package-type piezoelectric resonator
JPH04116619A (ja) 薄型液晶表示素子の製造方法
US5302880A (en) Piezoelectric tuning fork resonator and method of manufacturing the same
JP2006339896A (ja) 圧電振動子の製造方法及び圧電振動子
JP2003517946A (ja) 微細機械構造の製造方法
JP2007096777A (ja) 圧電振動子の製造方法
JP3621435B2 (ja) パッケージおよびその製造方法
JPH03108807A (ja) 薄型水晶振動子容器の製造方法
JP2008072456A (ja) チップ型圧電振動子、チップ型sawデバイス、及び製造方法
JP2001217270A (ja) 電子部品の製造方法及び製造装置
JP2009088057A (ja) 電子部品の製造方法
JPH02299310A (ja) 圧電共振子及びその製造方法
JPS60122113A (ja) 半導体ウエ−ハの分割方法
JP2538574B2 (ja) 液晶表示器の製造方法
JPH08148962A (ja) 圧電部品
JP2006005019A (ja) 電子デバイスの製造方法
JP2974309B1 (ja) 液晶表示装置の製造方法
JP5751844B2 (ja) 圧電デバイスの製造方法
JP2008271262A (ja) 電子部品の製造方法
JPH0738199A (ja) 半導体レーザの端面コーティング膜の形成方法
JPH03179809A (ja) 圧電振動部品の製造方法
JPH06163943A (ja) 電子デバイスの製造方法
JPH04335706A (ja) 圧電振動子と圧電発振器及びそれらの製造方法
JPH0422567Y2 (ja)
JPS6276742A (ja) 半導体装置及びその製造方法