JPH0298643A - トレーサガスによる試験容器の漏れ試験方法 - Google Patents

トレーサガスによる試験容器の漏れ試験方法

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JPH0298643A
JPH0298643A JP1210540A JP21054089A JPH0298643A JP H0298643 A JPH0298643 A JP H0298643A JP 1210540 A JP1210540 A JP 1210540A JP 21054089 A JP21054089 A JP 21054089A JP H0298643 A JPH0298643 A JP H0298643A
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JP
Japan
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test
leakage
test vessel
vessel
water tank
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Pending
Application number
JP1210540A
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English (en)
Inventor
Heinz D Buerger
ハインツーデイター・ビユルガー
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Alcatel CIT SA
Original Assignee
Alcatel CIT SA
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 工１」二＠田」Ｌ主Ｉ− 本発明は特に試験容器のような構成要素の漏れ試験方法
に係り、該方法によると、構成要素の一方の側にトレー
サガスを導き、他方の側のスペースを排気し且つトレー
サガス検出器に連結する。
良股良ｌへ１非 このような方法は、特にヘリウムをトレーサガスとして
使用する方法が一最に普及している。容器の内容を排気
するために分子ポンプを使用し、ヘリウム原子を検出す
るために質量分析計を使用すると、比較的少量の漏れを
確実に検出することができる。しかしながら、漏れ率が
減少し、従って検出怒度の増加が望まれると、漏れに由
来するのでなく検出段階以前に既に検出器又は質量分析
計に存在していたヘリウム原子により、正しい測定が妨
げられる。ヘリウムは電子構造が安定且つ対称であるの
で金Ｒ表面に殆ど堆積しないが、例えばシールのような
有機材料中に拡散し、容易にそこから除去することがで
きない。従って、被験容器を大気圧以下に排気する場合
、「ヘリウムバックグラウンド」を減少させるには非常
に長い時間がかかる。この結果、ボンピング時間が非常
に長くなって工業的製造に不適合になるか、又は大型の
ポンプアセンブリを使用しなければならないため高価に
なる。
容器及び測定装置は測定段階以前に窒素のような不活性
ガスでフラッジすることができると考えられるが、この
ようなガスは一般に正常大気中に存在すると同程度の割
合のヘリウム原子を含んでいるので、このようなフラッ
シング工程後にも非常に小さい漏れ率は検出することが
できない。
ｌ利！■Ｕ所 本発明の目的は、大型のポンプアセンブリを使用するこ
となく、非常に低い漏れ率の検出の妨げとなるヘリウム
バックグラウンドを非常に短時間のうちに減少できるよ
うに、上記漏れ試験方法を改良することである。
発１と夏刀− この目的は、構成要素の一方の側にトレーサガスを導き
、他方の側のスペースを排気し且つトレーサガス検出器
に連結する方法により実現され、該方法は、実質的な漏
れ試験に先立−）て構成要素の該他方の側のスペースを
、溶解ガスを含まない水を収容している水タンクに一時
的に連結する付加段階を含んでいる。
好ましくは、水タンクとの連結に先立ち試験容器を１　
ｍ　ｂ　ａ　ｒ　〜０　、０１ｍ　ｂ　ａ　ｒ、好まし
くは０．１ｍｌ＋ａｒの圧力に排気する６ 本発明は、排気及び加熱により溶解ガスを水がへ比較的
容易に除去できるという事実を（ｑ用するしのである。
驚くべきことに、この方法により得られる効果は希釈度
の総合計算から予想されるよりもｍ著である。当然、水
の分子は汚染された器官の表面からヘリウム原子を「駆
逐するＪ。
以下、図面ｆ！：９考に本発明の詳細な説明する。
１制御 容器１は弁２を介して、例えば分子ポンプ３と機械的−
次ボンブ４とを備える２段階ポンプアセンブリに連結さ
れている。これらの２つのポンプの間にはスパイロ分子
ポンプ５′及び弁９を介して、ヘリウム原子を選択的に
検出する質量分析計５が連結されている。
更に、試験容器には別の弁６を介して水タンク７も連結
されており、該タンクは脱ガスした純水を部分的に充填
されており、該タンクのガススペースは弁１１を介して
連結された補助真空ポンプ８により排気可能である。
７にタンク７内の水は排気及び場３によって加熱により
脱ガスしておく。
実質的な漏れ試験に先立ち、試験官２」１をポンプ３及
び４により例えば０．１ｍｂａｒに排気する。同時に水
タンク７内の圧力を補助真空ポンプ８により２０〜５０
ｍｂａ　ｒの所定値に調節する。この圧力はタンクを（
非図示手段により）電気的に加熱し、露点を測定するこ
とにより決定される。次に弁６を開き、水蒸気が試験容
器内に１受入できるようにする。
こうして試験容器１内の圧力は一時的に例えば２３ｍｂ
ａｒに上昇するが、ポンプ３及び４が作動すると再び迅
速に低下する。こうして、試験容器１又は管及び弁内に
残存しているヘリウム原子は迅速に除去される。水タン
クの連結を所定時間維持するのでなく、質量分析計５で
同時に測定されるヘリウムバックグラウンドが閾値以下
に減少するまで連結を維持しても有用であり得る。次に
水タンクヘの弁６を閉じ、容器の外側にヘリウムスプレ
ーガン１０で吹きつける。従って、従来ならば「バック
グラウンド」又は「ノイズ」と混じってしまっていた＠
量の漏れも、質量分析計５により検出される。
本発明は容器１のような試験用中空体に限定されず、一
方の側にヘリウムを導き、他方の側でヘリウムを検出す
るような構成要素であればどのような構成要素の漏れ試
験にも広く適用可能である。
また、本発明はトレーサガスを充填され、試験ベルの内
側に配置された容器にも適用可能である。
トレーサガスの有無についてベルを試験する前に、この
ベルを８２０で上記のように「フラッジ」する。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の方法に従ってヘリウム漏れ試験を行う容
器を示す概略説明図である。 １・・・・・・試験容器、２，６・・・・・・弁、３・
・・・・・分子ポンプ、４・・・・・・−次ポンプ、５
・・・・・・質量分析計、７・・・・・・水タンク、８
・・・・・補助真空ポンプ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）特に試験容器のような構成要素の一方の側にトレ
    ーサガスを導き、他方の側のスペースを排気し且つトレ
    ーサガス検出器に連結する方法であり、実質的な漏れ試
    験に先立って構成要素の該他方の側のスペースを、溶解
    ガスを含まない水を収容している水タンクに一時的に連
    結する付加段階を含んでいることを特徴とする特に試験
    容器のような構成要素の漏れ試験方法。
  2. （２）水タンクとの連結に先立って、構成要素の他方の
    側のスペースを１ｍｂａｒ〜０．０１ｍｂａｒ、好まし
    くは０．１ｍｂａｒの圧力に排気することを特徴とする
    請求項１に記載の方法。
  3. （３）水タンク内の水を加熱及び場合によって排気によ
    り予め脱ガスしておくことを特徴とする請求項１に記載
    の方法。
  4. （４）水タンク内の水を加熱及び場合によって排気によ
    り予め脱ガスしておくことを特徴とする請求項２に記載
    の方法。
JP1210540A 1988-08-23 1989-08-15 トレーサガスによる試験容器の漏れ試験方法 Pending JPH0298643A (ja)

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DE3828588A DE3828588C1 (ja) 1988-08-23 1988-08-23
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