JPH0295224A - レーザ周波数計 - Google Patents
レーザ周波数計Info
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- JPH0295224A JPH0295224A JP24788488A JP24788488A JPH0295224A JP H0295224 A JPH0295224 A JP H0295224A JP 24788488 A JP24788488 A JP 24788488A JP 24788488 A JP24788488 A JP 24788488A JP H0295224 A JPH0295224 A JP H0295224A
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- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
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Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザの光周波数を」１定するレーザ周波数
計の改良に関するものである。
計の改良に関するものである。
（従来の技術）
従来レーザ光の光周波数を測定する場合は、般にレーザ
の波長を測定して、演算により周波数を求めている。
の波長を測定して、演算により周波数を求めている。
第４図はレーザの波長を測定する波長計の第１の従来例
で、回折格子を利用したものを示す原理構成図である。
で、回折格子を利用したものを示す原理構成図である。
被測定光を回折格子に入射すると、回折格子３１を回転
中心３２の回りに回転することによって光の入射角θが
変化する。光検出器３３に入射する光、の波長は入射角
θに依存するので、θを測ることで被測定光の波長値λ
８を一定することができる。
中心３２の回りに回転することによって光の入射角θが
変化する。光検出器３３に入射する光、の波長は入射角
θに依存するので、θを測ることで被測定光の波長値λ
８を一定することができる。
第５図は波長計の第２の従来例で、マイケルソン干渉計
を利用するものを示す原理構成図である。
を利用するものを示す原理構成図である。
ハーフミラ−４１で未知の波長λ８の被測定光ビームと
既知の波長λ、。ｆの参照光ビーム（例えばＨｅ−Ｎｅ
レーＶ ６３３ｎｎ等）を合波しマイゲルソン干渉計に
入射する０合波された光はハーフミラ−４２で２方向に
分離され、一方は可動ミラー４３で反射され他方は固定
ミラー４４で反射されて光検出器４５に入射する（被測
定光と参照光の分離手段は図では省略）。可動ミラー４
３がΔを動くと光検出器４５に干渉縞が明暗の変化とな
って現れる。このとき被測定光の干渉縞変化数をＭ 、
参照光の干渉縞変化数をＭ、。、とすると、次式が成立
つ。
既知の波長λ、。ｆの参照光ビーム（例えばＨｅ−Ｎｅ
レーＶ ６３３ｎｎ等）を合波しマイゲルソン干渉計に
入射する０合波された光はハーフミラ−４２で２方向に
分離され、一方は可動ミラー４３で反射され他方は固定
ミラー４４で反射されて光検出器４５に入射する（被測
定光と参照光の分離手段は図では省略）。可動ミラー４
３がΔを動くと光検出器４５に干渉縞が明暗の変化とな
って現れる。このとき被測定光の干渉縞変化数をＭ 、
参照光の干渉縞変化数をＭ、。、とすると、次式が成立
つ。
Δｆｔ−Ｍ −λ ／２中Ｍ −λｒｅｆ／２ｘ
ｘ ｒｅｆ・・・ （１） したがって、 λ ＝ （Ｍ、ｅｆ／Ｍ ）・λｒｅｆ ’・・
（２）×× より被測定光の波長λ８を測定することができる。
ｘ ｒｅｆ・・・ （１） したがって、 λ ＝ （Ｍ、ｅｆ／Ｍ ）・λｒｅｆ ’・・
（２）×× より被測定光の波長λ８を測定することができる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記の各従来方式は共に機械的な可動部
分があるため、高速応答性が悪い。また第４図の方式の
場合は機械精度が測定精度に影響するので、高精度化が
困難で経時変化にも弱い。
分があるため、高速応答性が悪い。また第４図の方式の
場合は機械精度が測定精度に影響するので、高精度化が
困難で経時変化にも弱い。
また第５図の方式も可動距離が大きいので高精度化が困
難である。精度を上げるには第４図の場合には回折格子
と光検出器の距離を大きくし、第５図の場合は可動距離
へ２を大きくしなければならないが、いずれも光学系が
大きくなるという問題を生じる。また大型のファブリ・
ベロー干渉計を用いて圧力掃引により波長を精密に測定
する方式もあるが、大型で真空ポンプが必要等測定時間
が長くなり、実用的でない。
難である。精度を上げるには第４図の場合には回折格子
と光検出器の距離を大きくし、第５図の場合は可動距離
へ２を大きくしなければならないが、いずれも光学系が
大きくなるという問題を生じる。また大型のファブリ・
ベロー干渉計を用いて圧力掃引により波長を精密に測定
する方式もあるが、大型で真空ポンプが必要等測定時間
が長くなり、実用的でない。
本発明はこのような課題を解決するためになされたもの
で、簡単な構成で高精度かつ高速応答でレーザ周波数を
測定できるレーザ周波数計を実現することを目的とする
。
で、簡単な構成で高精度かつ高速応答でレーザ周波数を
測定できるレーザ周波数計を実現することを目的とする
。
（課題を解決するための手段）
本発明に係るレーザ周波数計は被測定レーザ光を第１の
周波数で位相変調する位相変調器と、この位相変調器の
出力光と第２の周波数で位相変調され発振周波数が既知
の参照レーザ光とを合波する光学手段と、この光学手段
の出力光を入射するファブリ・ペロー・エタロンと、こ
のファブリ・ペロー・エタロンを透過する光を検出する
光検出器と、この光検出器の出力を前記第１の周波数で
位相検波する第１の増幅手段と、この第１の増幅手段の
出力を記憶する第１のメモリ回路と、前記光検出器の出
力を前記第２の周波数で位相検波する第２の増幅手段と
、この第２の増幅手段の出力を記憶する第２のメモリ回
路と、前記ファブリ・ペロー・エタロンのミラー間隔を
微小変化させる掃引手段と、この掃引手段によるミラー
間隔の変化に対応する第１のメモリ回路出力と第２のメ
モリ回路出力に基づいて被測定レーザ光の周波数を演算
する周波数演算回路とを備えたことを特徴とする。
周波数で位相変調する位相変調器と、この位相変調器の
出力光と第２の周波数で位相変調され発振周波数が既知
の参照レーザ光とを合波する光学手段と、この光学手段
の出力光を入射するファブリ・ペロー・エタロンと、こ
のファブリ・ペロー・エタロンを透過する光を検出する
光検出器と、この光検出器の出力を前記第１の周波数で
位相検波する第１の増幅手段と、この第１の増幅手段の
出力を記憶する第１のメモリ回路と、前記光検出器の出
力を前記第２の周波数で位相検波する第２の増幅手段と
、この第２の増幅手段の出力を記憶する第２のメモリ回
路と、前記ファブリ・ペロー・エタロンのミラー間隔を
微小変化させる掃引手段と、この掃引手段によるミラー
間隔の変化に対応する第１のメモリ回路出力と第２のメ
モリ回路出力に基づいて被測定レーザ光の周波数を演算
する周波数演算回路とを備えたことを特徴とする。
（作用）
ファブリ・ペロー・エタロンの透過光は光検出器で検出
され、それぞれの増幅手段でそれぞれ被測定レーザ光お
よび参照レーザ光の干渉信号の１次微分信号が検出され
、メモリ回路を介して被測定レーザ光の周波数が演算さ
れる。
され、それぞれの増幅手段でそれぞれ被測定レーザ光お
よび参照レーザ光の干渉信号の１次微分信号が検出され
、メモリ回路を介して被測定レーザ光の周波数が演算さ
れる。
（実施例）
以下本発明を図面を用いて詳しく説明する。
第１図は本発明に係るレーザ周波数計の一実施例を示す
構成ブロック図である。１は参照し〜ザで、発振周波数
が安定な既知の周波数で、例えばＲｂ吸収線に出力周波
数を制御した半導体レーザ（λ＝ ７８０．２４４ｎｌ
）を使用する。２．３はそれぞれ被測定レーザ光、参照
レーザ光を入射して位相変調するＬｉＮｂＯ３等の電気
光学結晶からなる第１．第２の位相変調器で、１５は第
１の位相変調器２を第１の周波数ｆ、で励振する第１の
発振器、１６は第２の位相変調器３を第２の周波数ｆ２
で励振する第２の発振器、４は第１の位相変調器２の出
力光をその一方の面に入射し他方の面に第２の位相変調
器３の出力光を入射して両方の光を合波する光学手段を
構成するハーフミラ−１５，６はハーフミラ−４の出力
光を入射するピンホール、７はピンホール５．６の通過
光を入射するファブリ・ペロー・エタロンである。ファ
ブリ・ペロー・エタロン７は互いの焦点が他方の鏡面上
に来るように配置された２枚の半透性の凹面鏡７１．７
２およびそのミラー間隔を微小に掃引する挿引手段を構
成するＰＺＴ等の圧電アクチュエータ７３からなり、真
空チャンバ７６内に構成されている。１３は圧電アクチ
ュエータ７３を駆動する例えば０．５１１ｚの三角波発
振器、８はファブリ・ペロー・エタロン７を透過する光
を入射する光検出器、９は発振器１５の出力を参照信号
として光検出器８の出力信号を位相検波する第１の増幅
手段を構成するロックインアンプ、１０は発振器１６の
出力を参照信号として光検出器８の出力信号を位相検波
する第２の増幅手段を構成するロックインアンプ、１１
はロックインアンプ９の出力信号を記憶する第１のメモ
リ回路、１２はロックインアンプ１０の出力信号を記憶
する第２のメモリ回路、１４はメモリ回路９．１０の出
力および発振器１３の出力を入力して被測定光の周波数
値を演算する周波数演算回路である。
構成ブロック図である。１は参照し〜ザで、発振周波数
が安定な既知の周波数で、例えばＲｂ吸収線に出力周波
数を制御した半導体レーザ（λ＝ ７８０．２４４ｎｌ
）を使用する。２．３はそれぞれ被測定レーザ光、参照
レーザ光を入射して位相変調するＬｉＮｂＯ３等の電気
光学結晶からなる第１．第２の位相変調器で、１５は第
１の位相変調器２を第１の周波数ｆ、で励振する第１の
発振器、１６は第２の位相変調器３を第２の周波数ｆ２
で励振する第２の発振器、４は第１の位相変調器２の出
力光をその一方の面に入射し他方の面に第２の位相変調
器３の出力光を入射して両方の光を合波する光学手段を
構成するハーフミラ−１５，６はハーフミラ−４の出力
光を入射するピンホール、７はピンホール５．６の通過
光を入射するファブリ・ペロー・エタロンである。ファ
ブリ・ペロー・エタロン７は互いの焦点が他方の鏡面上
に来るように配置された２枚の半透性の凹面鏡７１．７
２およびそのミラー間隔を微小に掃引する挿引手段を構
成するＰＺＴ等の圧電アクチュエータ７３からなり、真
空チャンバ７６内に構成されている。１３は圧電アクチ
ュエータ７３を駆動する例えば０．５１１ｚの三角波発
振器、８はファブリ・ペロー・エタロン７を透過する光
を入射する光検出器、９は発振器１５の出力を参照信号
として光検出器８の出力信号を位相検波する第１の増幅
手段を構成するロックインアンプ、１０は発振器１６の
出力を参照信号として光検出器８の出力信号を位相検波
する第２の増幅手段を構成するロックインアンプ、１１
はロックインアンプ９の出力信号を記憶する第１のメモ
リ回路、１２はロックインアンプ１０の出力信号を記憶
する第２のメモリ回路、１４はメモリ回路９．１０の出
力および発振器１３の出力を入力して被測定光の周波数
値を演算する周波数演算回路である。
上記のような構成のレーザ周波数計の動作を次に説明す
る。被測定レーザ光は位相変調器２により周波数ｆ、で
位相変調を受け、参照レーザ光は位相変調器３により周
波数ｆ２で位相変調を受ける０位相変調された被測定レ
ーザ光および参照レーザ光はハーフミラ−４で合波され
る。被測定レーザ光および参照レーザ光は、それぞれピ
ンホール５．６の両方を通過するように光軸が調整され
ている。その結果、ハーフミラ−４において被測定レー
ザ光が透過し参照レーザ光が反射して合波されると、ピ
ンホール５．６を通過し同一光路を通ってファブリ・ペ
ロー・エタロン７に入射する。
る。被測定レーザ光は位相変調器２により周波数ｆ、で
位相変調を受け、参照レーザ光は位相変調器３により周
波数ｆ２で位相変調を受ける０位相変調された被測定レ
ーザ光および参照レーザ光はハーフミラ−４で合波され
る。被測定レーザ光および参照レーザ光は、それぞれピ
ンホール５．６の両方を通過するように光軸が調整され
ている。その結果、ハーフミラ−４において被測定レー
ザ光が透過し参照レーザ光が反射して合波されると、ピ
ンホール５．６を通過し同一光路を通ってファブリ・ペ
ロー・エタロン７に入射する。
ファブリ・ペロー・エタロン７に入射した光は凹面鏡７
１と７２の間を３往復して入射光と干渉して凹面鏡７２
を通過する。すなわち凹面鏡７１と７２の焦点は互いの
鏡面上にあるので、入射光は凹面鏡７２で反射して焦点
７４に至ってそこで反射し、凹面鏡７２で反射して入射
光と平行光となりさらに凹面鏡７１で反射して焦点７５
に至って反射し、凹面１Ａ７１で反射して入射光と同一
経路に戻り、干渉する。ファブリ・ペロー・エタロン７
を透過した光は光検出器８で検出される。光検出器８の
出力はロックインアンプ９，１０においてそれぞれ周波
数ｆ、 、 ｆ２で同期検波され、ロックインアンプ９
からは被測定レーザ光のファブリ・ペロー・エタロン７
の透過信号の１次微分波形が出力され、ロックインアン
プ１０からは参照レーザ光のファブリ・ペロー・エタロ
ン７の透過信号の１次微分波形が得られる。ファブリ・
ペロー・エタロン７のミラー間隔は発振器１３により三
角波で掃引されているので、ミラー掃引長とロックイン
アンプ９．１０の出力信号との関係は第２図のようにな
る。ただし参照レーザ光の光周波数が０．７８μｍ１、
被測定レーザ光の光周波数が１．５５μｍ、三角波の掃
引周波数か０．５１１ｚの場合を一例として示している
。この１次微分波形がそれぞれメモリ回路１１．１２に
記憶され、メモリ回路１１．１２の出力と発振器１３出
力から被測定レーザ周波数が周波数演算回路１４で演算
される。
１と７２の間を３往復して入射光と干渉して凹面鏡７２
を通過する。すなわち凹面鏡７１と７２の焦点は互いの
鏡面上にあるので、入射光は凹面鏡７２で反射して焦点
７４に至ってそこで反射し、凹面鏡７２で反射して入射
光と平行光となりさらに凹面鏡７１で反射して焦点７５
に至って反射し、凹面１Ａ７１で反射して入射光と同一
経路に戻り、干渉する。ファブリ・ペロー・エタロン７
を透過した光は光検出器８で検出される。光検出器８の
出力はロックインアンプ９，１０においてそれぞれ周波
数ｆ、 、 ｆ２で同期検波され、ロックインアンプ９
からは被測定レーザ光のファブリ・ペロー・エタロン７
の透過信号の１次微分波形が出力され、ロックインアン
プ１０からは参照レーザ光のファブリ・ペロー・エタロ
ン７の透過信号の１次微分波形が得られる。ファブリ・
ペロー・エタロン７のミラー間隔は発振器１３により三
角波で掃引されているので、ミラー掃引長とロックイン
アンプ９．１０の出力信号との関係は第２図のようにな
る。ただし参照レーザ光の光周波数が０．７８μｍ１、
被測定レーザ光の光周波数が１．５５μｍ、三角波の掃
引周波数か０．５１１ｚの場合を一例として示している
。この１次微分波形がそれぞれメモリ回路１１．１２に
記憶され、メモリ回路１１．１２の出力と発振器１３出
力から被測定レーザ周波数が周波数演算回路１４で演算
される。
次に第２図に示す１次微分波形から周波数演算回路１４
において被測定レーザ光波長λ８を演算する方法を説明
する。ただしファブリ・ペロー・エタロン７を通過した
２つの光ビームの干渉ピーク位置は第２図の１次微分波
形のセロクロス点と一致する。ファブリ・ペロー・エタ
ロン７は前述のような構成であるため、干渉ピークの間
隔はλ８／６．λ、。、／６となり、被測定光の干渉ピ
ーク数Ｍ に対応する掃引距離を△２、掃引距離△ｅに
対応する参照光の干渉ピーク数をＭ 、参照ｅｆ 光のミラー掃引距離の端数をα、βとすると、次式が成
立つ。
において被測定レーザ光波長λ８を演算する方法を説明
する。ただしファブリ・ペロー・エタロン７を通過した
２つの光ビームの干渉ピーク位置は第２図の１次微分波
形のセロクロス点と一致する。ファブリ・ペロー・エタ
ロン７は前述のような構成であるため、干渉ピークの間
隔はλ８／６．λ、。、／６となり、被測定光の干渉ピ
ーク数Ｍ に対応する掃引距離を△２、掃引距離△ｅに
対応する参照光の干渉ピーク数をＭ 、参照ｅｆ 光のミラー掃引距離の端数をα、βとすると、次式が成
立つ。
ΔＱ＝（λ ／６）−（Ｍ −１＞＝（λｒｅｆ ／
ｘ ６） −（Ｍ、。、 −ｔ ＞十α十β・・・ （３） したがって、 λ ＝λ −（Ｍｒ８．−１ ）／ （Ｍｘ−１）
＋ｘ ｒｅｆ ６（α十β）／（Ｍｘ １） （ｎｍ）・・・ （
４） となり、被測定光周波数ｆｘは次式で求められる。
ｘ ６） −（Ｍ、。、 −ｔ ＞十α十β・・・ （３） したがって、 λ ＝λ −（Ｍｒ８．−１ ）／ （Ｍｘ−１）
＋ｘ ｒｅｆ ６（α十β）／（Ｍｘ １） （ｎｍ）・・・ （
４） となり、被測定光周波数ｆｘは次式で求められる。
ｆ ＝ｃ／λ８ ・・・（５）次にα、
βの求め方を示す。被測定レーザ光のエタロン透過光が
干渉ピークａ、ｂとなったときの圧電アクチュエータ７
３の印加電圧をそれぞれ■８、■ｂとし、参照レーザ光
のエタロン透過光が干渉ピークｃ、ｄとなったときの圧
電アクチュエタ７３の印加電圧をそれぞれＶ、Ｖｄとす
る。
βの求め方を示す。被測定レーザ光のエタロン透過光が
干渉ピークａ、ｂとなったときの圧電アクチュエータ７
３の印加電圧をそれぞれ■８、■ｂとし、参照レーザ光
のエタロン透過光が干渉ピークｃ、ｄとなったときの圧
電アクチュエタ７３の印加電圧をそれぞれＶ、Ｖｄとす
る。
参照レーザ光の干渉ピーク間隔はλｒｅｆ／６で一定で
あるので、ミラー掃引長ΔＸは圧電アクチュエータ７３
の印加電圧■の関数となり、Δｘ＝Ｇ （Ｖ）
・・・（６）と表すことができる。したがって
、α、βはそれぞれ次式で演算できる。
あるので、ミラー掃引長ΔＸは圧電アクチュエータ７３
の印加電圧■の関数となり、Δｘ＝Ｇ （Ｖ）
・・・（６）と表すことができる。したがって
、α、βはそれぞれ次式で演算できる。
α＝Ｇ （Ｖ ） −Ｇ （Ｖ ） ・・・（
７）ｂ ｄ β−Ｇ（Ｖ ）−Ｇ（Ｖ ） ・・・（８）ａ 上記の実施例における数値例として例えば、λｒｅｆ
＝７８０，２４４ｎｎとしてλ ＝１．５５μ１１を測
定することができる。
７）ｂ ｄ β−Ｇ（Ｖ ）−Ｇ（Ｖ ） ・・・（８）ａ 上記の実施例における数値例として例えば、λｒｅｆ
＝７８０，２４４ｎｎとしてλ ＝１．５５μ１１を測
定することができる。
このような構成のレーザ周波数計によれば、ファブリ・
ペロー・エタロンを使用しているのでマイケルソンの干
渉計を用いる場合よりも干渉縞のフィネス（ｆｉｎｅｓ
ｓｅ：干渉ピークの鋭さ）が高い。
ペロー・エタロンを使用しているのでマイケルソンの干
渉計を用いる場合よりも干渉縞のフィネス（ｆｉｎｅｓ
ｓｅ：干渉ピークの鋭さ）が高い。
このため干渉ピークの印加電圧Ｖａ〜Ｖｄを精度良く検
出でき、ミラー掃引距離の端数α、βも精度良く測定す
ることができる。したがってミラー掃引が微小量でも高
精度の測定ができる。
出でき、ミラー掃引距離の端数α、βも精度良く測定す
ることができる。したがってミラー掃引が微小量でも高
精度の測定ができる。
また参照レーザ光と被測定レーザ光のエタロン透過信号
を異なる変調周波数により分離するので、光検出器が１
つですみ、２つの光ビームを分離する光学手段も必要な
い。また参照レーザ光と被測定レーザ光が同一波長でも
信号を分離することができるので、測定可能である。
を異なる変調周波数により分離するので、光検出器が１
つですみ、２つの光ビームを分離する光学手段も必要な
い。また参照レーザ光と被測定レーザ光が同一波長でも
信号を分離することができるので、測定可能である。
また被測定レーザ光の偏波面がいかなる場合でも、２つ
の光ビームの透過信号を分離することかできる０例えば
、円面波のレーザ光でも発振周波数を測定することがで
きる。
の光ビームの透過信号を分離することかできる０例えば
、円面波のレーザ光でも発振周波数を測定することがで
きる。
また平面ミラーのファブリ・ペロー・エタロンに比べて
同じ掃引長に対して３倍の干渉縞が観測できる。したが
って（４）式からも明らかなように、波長測定精度が３
倍向上する。
同じ掃引長に対して３倍の干渉縞が観測できる。したが
って（４）式からも明らかなように、波長測定精度が３
倍向上する。
またＰＺＴでミラー間隔を掃引するので高速掃引ができ
、測定時間の短縮を測ることができる。
、測定時間の短縮を測ることができる。
また回折格子やマイケルソン干渉計を用いた波長針と比
べて小型で簡単な構成とすることができる。
べて小型で簡単な構成とすることができる。
また参照レーザ光の波長に絶対精度かでているため、被
測定レーザ光の波長値にも絶対精度がでる。したがって
回折格子の波長計のように校正する必要がない。
測定レーザ光の波長値にも絶対精度がでる。したがって
回折格子の波長計のように校正する必要がない。
なお上記の実施例では焦点が互いの鏡面上にある２つの
凹面鏡を用いて掃引長に対する精度を高めているか、こ
れに限らす平面鏡を用いたファブリ・ペロー・エタロン
を使用することもできる。
凹面鏡を用いて掃引長に対する精度を高めているか、こ
れに限らす平面鏡を用いたファブリ・ペロー・エタロン
を使用することもできる。
また上記の実施例において、参照レーザ１として変調出
力のものを使用すれば、位相変調器３を省略することが
できる。
力のものを使用すれば、位相変調器３を省略することが
できる。
第３図は第１図のレーザ周波数計の変形例で、ファブリ
・ペロー・エタロンの凹面鏡の１つを半透性の平面鏡で
置換えたものを示す要部構成ブロック図である０図にお
いて、７１は第１図と同じ四■１鏡、７７はこの凹面鏡
７１に平行に配置された半透性の平面鏡である。この平
面鏡７７は、疑似的に平面鏡７７の鏡面７９に関して凹
面鏡７１と対称な反対側の位置に点線で示した凹面鏡７
８があるのと同じ効果を生じる。すなわち凹面鏡７１と
平面ｇ７７の間隔および平面鏡７７と疑似的な凹面′Ｉ
Ｊ：Ａ７８との間隔は等しい、この疑似的な凹面鏡７８
の焦点７４か凹面ＭＡ７１の鏡面上に来るように平面鏡
７７の位置を定める。
・ペロー・エタロンの凹面鏡の１つを半透性の平面鏡で
置換えたものを示す要部構成ブロック図である０図にお
いて、７１は第１図と同じ四■１鏡、７７はこの凹面鏡
７１に平行に配置された半透性の平面鏡である。この平
面鏡７７は、疑似的に平面鏡７７の鏡面７９に関して凹
面鏡７１と対称な反対側の位置に点線で示した凹面鏡７
８があるのと同じ効果を生じる。すなわち凹面鏡７１と
平面ｇ７７の間隔および平面鏡７７と疑似的な凹面′Ｉ
Ｊ：Ａ７８との間隔は等しい、この疑似的な凹面鏡７８
の焦点７４か凹面ＭＡ７１の鏡面上に来るように平面鏡
７７の位置を定める。
凹面鏡７１と疑似的な凹面ＩＡ７８の特性は同じなので
、このようにすると凹面ａ７１の焦点は疑似的な凹面鏡
７８の鏡面上に来るようになる。動作は第１図の場合と
同様であるので、説明を省略する。このような構成のフ
ァブリ・ペロー・エタロンによれば、第１図の場合と比
べて鏡の間隔をさらに半分にすることができる。
、このようにすると凹面ａ７１の焦点は疑似的な凹面鏡
７８の鏡面上に来るようになる。動作は第１図の場合と
同様であるので、説明を省略する。このような構成のフ
ァブリ・ペロー・エタロンによれば、第１図の場合と比
べて鏡の間隔をさらに半分にすることができる。
（発明の効果）
以上述べたように本発明によれば、高精度かつ高速応答
でレーザ周波数を測定できるレーザ周波数計を簡単な構
成で実現することができる。
でレーザ周波数を測定できるレーザ周波数計を簡単な構
成で実現することができる。
第１図は本発明に係るレーザ周波数計の一実施例を示ず
構成ブロック図、第２図は第１図装置の動作を示す説明
図、第３図は第１図装置の−変形例を示す要部構成ブロ
ック図、第４図および第５図は従来のレーザ周波数計を
示す原理図である。 ２・・・位相変調器、４・・・光学手段、７・・・ファ
ブリ・ペロー・エタロン、８・・・光検出器、９・・・
第１の増幅手段、１０・・・第２の増幅手段、１１・・
・第１のメモリ回路、１２・・・第２のメモリ回路、１
４・・・周波数演算回路、７３・・・掃引手段、ｆ、・
・・第１の周波数、ｆ２・・・第２の周波数。 第 図 ？９ 役則来シロ ４反唄ツｆｆｉりＣ５
構成ブロック図、第２図は第１図装置の動作を示す説明
図、第３図は第１図装置の−変形例を示す要部構成ブロ
ック図、第４図および第５図は従来のレーザ周波数計を
示す原理図である。 ２・・・位相変調器、４・・・光学手段、７・・・ファ
ブリ・ペロー・エタロン、８・・・光検出器、９・・・
第１の増幅手段、１０・・・第２の増幅手段、１１・・
・第１のメモリ回路、１２・・・第２のメモリ回路、１
４・・・周波数演算回路、７３・・・掃引手段、ｆ、・
・・第１の周波数、ｆ２・・・第２の周波数。 第 図 ？９ 役則来シロ ４反唄ツｆｆｉりＣ５
Claims (1)
- 被測定レーザ光を第１の周波数で位相変調する位相変
調器と、この位相変調器の出力光と第２の周波数で位相
変調され発振周波数が既知の参照レーザ光とを合波する
光学手段と、この光学手段の出力光を入射するファブリ
・ペロー・エタロンと、このファブリ・ペロー・エタロ
ンを透過する光を検出する光検出器と、この光検出器の
出力を前記第１の周波数で位相検波する第１の増幅手段
と、この第１の増幅手段の出力を記憶する第１のメモリ
回路と、前記光検出器の出力を前記第２の周波数で位相
検波する第２の増幅手段と、この第２の増幅手段の出力
を記憶する第２のメモリ回路と、前記ファブリ・ペロー
・エタロンのミラー間隔を微小変化させる掃引手段と、
この掃引手段によるミラー間隔の変化に対応する第１の
メモリ回路出力と第２のメモリ回路出力に基づいて被測
定レーザ光の周波数を演算する周波数演算回路とを備え
たことを特徴とするレーザ周波数計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24788488A JPH0774762B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | レーザ周波数計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24788488A JPH0774762B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | レーザ周波数計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0295224A true JPH0295224A (ja) | 1990-04-06 |
| JPH0774762B2 JPH0774762B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=17170031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24788488A Expired - Fee Related JPH0774762B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | レーザ周波数計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0774762B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101875590B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2018-08-02 | 에스케이 텔레콤주식회사 | 주파수 측정 방법 및 장치 |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP24788488A patent/JPH0774762B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0774762B2 (ja) | 1995-08-09 |
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