JPH0294282A - セラミック発熱体 - Google Patents
セラミック発熱体Info
- Publication number
- JPH0294282A JPH0294282A JP63245191A JP24519188A JPH0294282A JP H0294282 A JPH0294282 A JP H0294282A JP 63245191 A JP63245191 A JP 63245191A JP 24519188 A JP24519188 A JP 24519188A JP H0294282 A JPH0294282 A JP H0294282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating element
- aln
- zrb2
- section
- ceramic heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 12
- 229910007948 ZrB2 Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N boron;zirconium Chemical compound B#[Zr]#B VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 1
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は各種ボイラの点火器に係わり、特に大型の事業
用ボイラに好適な点火器用セラミック発熱体に関する。
用ボイラに好適な点火器用セラミック発熱体に関する。
従来のセラミック発熱体は、特開昭60−14784号
公報に記載のように、導電材に係る粉末の粒径のうち細
粒についての含有量は配慮がなされていない。
公報に記載のように、導電材に係る粉末の粒径のうち細
粒についての含有量は配慮がなされていない。
従来1発熱部(SiC−ZrB、)と絶縁部(A Q
N)の界面近傍に於けるZrB2とAflNとの反応に
ついて配慮がなされておらず、このためこの反応に依っ
て形成された難焼結性化合物であるBNが発熱体の耐酸
化、耐熱サイクル等の耐熱特性を低下させるという問題
があった。
N)の界面近傍に於けるZrB2とAflNとの反応に
ついて配慮がなされておらず、このためこの反応に依っ
て形成された難焼結性化合物であるBNが発熱体の耐酸
化、耐熱サイクル等の耐熱特性を低下させるという問題
があった。
本発明の目的は発熱部と絶縁部との界面近傍に生成され
るBHの形成量を低減し、耐熱特性を高めたセラミック
発熱体を提供することにある。
るBHの形成量を低減し、耐熱特性を高めたセラミック
発熱体を提供することにある。
上記目的は、反応に関与するZrB2とAlNの原料粉
の粒径5μm以下の細粒粉を5%以下にすることに依り
達成される。特にZrB2原料粉の細粒の含有率を低減
することによって有効に達成される。
の粒径5μm以下の細粒粉を5%以下にすることに依り
達成される。特にZrB2原料粉の細粒の含有率を低減
することによって有効に達成される。
細粒粉を含まないZrB2粉末は、焼結の際に、隣接す
るAΩNMB粉末との反応が抑止されるために、BNの
生成量が極めて少ない。かつ、ZrB2は粗大粒をも含
まないことが望ましい。粗大粒を含む混粒は、ZrB2
の分散と連結を不均一化するために、発熱体の電気抵抗
、従って一定電圧下での発熱体の温度不揃いの原因とな
るので望ましくない。AlNも細粒を含まないことが望
ましいが、焼結温度が1950〜2150℃とAQHの
焼結温度(約1700’c)よりもかなり高いために、
ZrB2の場合はどには有効でなはい。焼結温度の低下
は、焼結体の密度低下と界面の接合をより不完全性なも
のとするので、同様に望ましくない。界面に沿って厚い
BN層が形成されると。
るAΩNMB粉末との反応が抑止されるために、BNの
生成量が極めて少ない。かつ、ZrB2は粗大粒をも含
まないことが望ましい。粗大粒を含む混粒は、ZrB2
の分散と連結を不均一化するために、発熱体の電気抵抗
、従って一定電圧下での発熱体の温度不揃いの原因とな
るので望ましくない。AlNも細粒を含まないことが望
ましいが、焼結温度が1950〜2150℃とAQHの
焼結温度(約1700’c)よりもかなり高いために、
ZrB2の場合はどには有効でなはい。焼結温度の低下
は、焼結体の密度低下と界面の接合をより不完全性なも
のとするので、同様に望ましくない。界面に沿って厚い
BN層が形成されると。
難焼結性のBN層中には微細な気孔が存在するために、
このBN層近傍に酸化物含有層の形成を促進して、界面
に沿って、導電・発熱部と絶縁部間の剥離を引き起こす
。
このBN層近傍に酸化物含有層の形成を促進して、界面
に沿って、導電・発熱部と絶縁部間の剥離を引き起こす
。
絶縁部であるAlNの熱膨張係数を発熱部の5iC−Z
rB2のそれと合わせるために、AlNに小量のBNを
一様に添加しても上記の効果は変わらない。
rB2のそれと合わせるために、AlNに小量のBNを
一様に添加しても上記の効果は変わらない。
実施例1
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第1図に示す発熱体を作成するに際して、第2図に示す
ように粒径分布の異なる4種類のZrB2原料粉を使用
して焼結した。即ち、特に細粒を含んだ平均粒径3.2
μm(■)、8.6μm(■)及び11.7μm(■)
の3種類と5μm以下の細粒を除いて5%以下にした平
均粒径11.8μm(■)の4種類である。この4種類
のZrB2の各々を容積率で30%と平均粒径3μmの
SiCを容積率で70%混合したものを導電部1、平均
粒径20μmのAlNが絶縁部2となるように積層・成
形し、ホットプレス装置に入れ、真空中で2100℃に
加熱して焼結した。焼結に際しては300kg/(dの
圧力をかけた。このようにして作成した焼結体から、第
3図に示すように切り出したストレート状の発熱体を、
大気中650°Cで加熱した。その結果、粒径分布■、
■及び■のZrB。
ように粒径分布の異なる4種類のZrB2原料粉を使用
して焼結した。即ち、特に細粒を含んだ平均粒径3.2
μm(■)、8.6μm(■)及び11.7μm(■)
の3種類と5μm以下の細粒を除いて5%以下にした平
均粒径11.8μm(■)の4種類である。この4種類
のZrB2の各々を容積率で30%と平均粒径3μmの
SiCを容積率で70%混合したものを導電部1、平均
粒径20μmのAlNが絶縁部2となるように積層・成
形し、ホットプレス装置に入れ、真空中で2100℃に
加熱して焼結した。焼結に際しては300kg/(dの
圧力をかけた。このようにして作成した焼結体から、第
3図に示すように切り出したストレート状の発熱体を、
大気中650°Cで加熱した。その結果、粒径分布■、
■及び■のZrB。
を用いた発熱体は第3図に示すように、24時間で5i
C−ZrB、とAlNの界面が剥離するが、粒径分布(
■のZrB2を用いた発熱体は500時間を経ても剥離
の兆候は全く見られなかった。第3図に示す剥離の原因
となった界面の生成物5はX線回折による分布の結果、
BN及びZrO□。
C−ZrB、とAlNの界面が剥離するが、粒径分布(
■のZrB2を用いた発熱体は500時間を経ても剥離
の兆候は全く見られなかった。第3図に示す剥離の原因
となった界面の生成物5はX線回折による分布の結果、
BN及びZrO□。
AQ20.等の構成物(SiC,ZrB2.AlN)以
外の化合物をも含むことが判明した。
外の化合物をも含むことが判明した。
なお、第1図の発熱体は、第3図のストレート状の素材
の先端部4を、通電時高温になるように薄く研削し、そ
れ以外の通電・端子部3と温度分布が異なるようにした
ちのでる。
の先端部4を、通電時高温になるように薄く研削し、そ
れ以外の通電・端子部3と温度分布が異なるようにした
ちのでる。
実施例2
実施例1と同様にして、細粒を除いたZrB2■を用い
、AlNの代わりにAlNに容積率で15%のBNを添
加したものを絶縁体2とした。
、AlNの代わりにAlNに容積率で15%のBNを添
加したものを絶縁体2とした。
この場合も500時間迄は650℃の酸化でも剥離を起
こさなかった。
こさなかった。
実施例3
実施例1と同様にして、細粒を除いたZrB2■を用い
、AlNの平均粒径を10μm、5μm。
、AlNの平均粒径を10μm、5μm。
1μmと変えて焼結した。その結果、10μm。
5μmの場合は650℃で500時間酸化しても界面剥
離を起こさなかったが、1μmの場合は48時間で剥離
が起こった。
離を起こさなかったが、1μmの場合は48時間で剥離
が起こった。
本発明によれば、原料粉中の細粒を除くことにより発熱
体の構造上の弱点であった導電部と絶縁部の界面の接合
性が著しく改善されたので、発熱体の重要な特性である
耐熱性、耐熱衝撃性及び強度を向上する効果がある。
体の構造上の弱点であった導電部と絶縁部の界面の接合
性が著しく改善されたので、発熱体の重要な特性である
耐熱性、耐熱衝撃性及び強度を向上する効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す発熱体の鳥撤図、第2
図は本発明において使用したZrB2原料粉の粒度分布
図、第3図はストレート状発熱体素材の酸化剥離の状況
を示す平面図である。 1・・・導電部、2・・・絶縁部、3・・・通電端子部
、4・・・先端部。 5・・・酸化剥離部。
図は本発明において使用したZrB2原料粉の粒度分布
図、第3図はストレート状発熱体素材の酸化剥離の状況
を示す平面図である。 1・・・導電部、2・・・絶縁部、3・・・通電端子部
、4・・・先端部。 5・・・酸化剥離部。
Claims (3)
- 1.SiCと焼結前に粒径5μm以下の粉体の含有率が
5%以下であるZrB_2との焼結体からなる発熱部と
,焼結前に粒径5μm以下の粉体の含有率が5%以下で
あるAlNの焼結体からなる絶縁部と,からなる積層一
体型形焼結体のセラミック発熱体。 - 2.前記絶縁部がAlNにBNを加えた焼結体である請
求項1に記載のセラミック発熱体。 - 3.前記焼結前のAlNが平均粒径5μm以上の粉体で
ある請求項1又は請求項2に記載のセラミック発熱体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63245191A JPH0294282A (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | セラミック発熱体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63245191A JPH0294282A (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | セラミック発熱体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0294282A true JPH0294282A (ja) | 1990-04-05 |
Family
ID=17129970
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63245191A Pending JPH0294282A (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | セラミック発熱体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0294282A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0570914A2 (en) * | 1992-05-18 | 1993-11-24 | Norton Company | Ceramic igniters and process for making same |
WO2000037856A3 (en) * | 1998-12-21 | 2000-12-14 | Saint Gobain Norton Ind Cerami | Novel ceramic igniter having improved oxidation resistance, and method of using same |
-
1988
- 1988-09-29 JP JP63245191A patent/JPH0294282A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0570914A2 (en) * | 1992-05-18 | 1993-11-24 | Norton Company | Ceramic igniters and process for making same |
JPH0674447A (ja) * | 1992-05-18 | 1994-03-15 | Norton Co | セラミック点火器とその製造方法 |
EP0570914A3 (en) * | 1992-05-18 | 1995-09-13 | Norton Co | Ceramic igniters and process for making same |
EP0818657A2 (en) * | 1992-05-18 | 1998-01-14 | Norton Company | Process for making ceramic igniters |
EP0818657A3 (en) * | 1992-05-18 | 1998-08-26 | Norton Company | Process for making ceramic igniters |
WO2000037856A3 (en) * | 1998-12-21 | 2000-12-14 | Saint Gobain Norton Ind Cerami | Novel ceramic igniter having improved oxidation resistance, and method of using same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106376107B (zh) | 大功率氮化硅陶瓷加热片及其内软外硬的制作方法 | |
CN107226708A (zh) | 接合体及接合体的制造方法 | |
JP2011176328A (ja) | 静電ウェハクランプ装置のための進歩したプラテン | |
CN107046739A (zh) | 大功率氮化硅陶瓷加热片及其内硬外软的制作方法 | |
JP2007258609A (ja) | 加熱装置 | |
JPH04346204A (ja) | 複合材料及びその製造方法 | |
JPS59137366A (ja) | セラミツクスの製造方法 | |
JPH0294282A (ja) | セラミック発熱体 | |
JP3716045B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JPS6033265A (ja) | ヒータ用セラミックス導体 | |
US2848586A (en) | Non-metallic electrical heating elements | |
JP3740544B2 (ja) | 炭化珪素質発熱体 | |
JPS6241768A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
JP2739834B2 (ja) | シリカ焼結体の製造方法 | |
JPH04129189A (ja) | セラミックヒータ | |
JP4522963B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP4374096B2 (ja) | セラミックス部材及びその製造方法 | |
JP3425097B2 (ja) | 抵抗素子 | |
JPH04233187A (ja) | セラミックヒータおよびその製造方法 | |
JPS6388777A (ja) | セラミツクヒ−タ− | |
JPS63201063A (ja) | セラミツクヒ−タ及びその製造方法 | |
JP2784672B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
JP2600082B2 (ja) | 導電性セラミックスの製造法 | |
JPH0460070B2 (ja) | ||
JPH04282590A (ja) | セラミックヒータ |