JPH028801A - デユアル型回折格子の作成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、回折格子を両面に有するデュアル型回折格子
の作成方法に関する。

従来の技術 従来、回折格子を作成する方法の一つとしてよく知られ
ているものに２Ｐ法がある。そこで、この２Ｐ法を第５
図（ａ）〜（ｈ）に基づいて簡略化して説明する。基板
としてのガラス基板１にフォトレジスト２を塗布し、そ
の表面をマスク３で覆った後、２光束干渉露光を行い現
像することによって回折格子４を作成する。その後１作
成された回折格子４の表面からスパッタリングとしての
Ｎｉスパッタ５を行いＮｉスパッタ膜を５００人位作成
する。さらに、電鋳６を行い、スタンパ部材としてのＮ
ｉスタンパ７を作成し、その裏面にＡＱ等からなる台８
を裏打ちする。一方、基板としてのアクリル板９に紫外
線硬化樹脂１０を塗布し、その表面から紫外ＩＩ　（Ｕ
Ｖ）露光して硬化させる。

その後、Ｎｉスタンパ７の表面に光重合部材としての２
Ｐ樹脂（七ツマ−）１１を滴下し、この上部から紫外線
硬化樹脂１０の塗布されたアクリル板９を圧着させ、こ
の状態で紫外線露光を行いその２Ｐ樹脂１１を重合させ
た後、Ｎｉスタンパ７を剥離することにより目的とする
回折格子４を作成することができる。

発明が解決しようとする問題点 このようにして２Ｐ法により基板１の片面に回折格子４
を容易に作成することができるわけであるが、近年、こ
のような回折格子４は片面のみならず両面に形成された
、いわゆる、デュアル型回折格子なるものが増えてきて
いる。例えば１図示しない光磁気ディスクを用いた光ピ
ツクアップ装置において、回折格子が基板の両面に形成
されたデュアル型回折格子を用いることよって、光磁気
信号、フォーカスエラー信号、トラックエラー信号のす
べてを検出することができる。

このようなデュアル型回折格子を用いることによって部
品点数を大幅に削減することはできるが、しかし、その
ようなデュアル型回折格子を２Ｐ法で作成する場合、次
のような問題を生じる。すなわち、基板の両面に回折格
子を作成する段階で。

表面の回折格子と裏面の回折格子との間に格子ズレが生
じてしまうと検出精度が大幅に劣ってしまう。そこで、
現在ではこのような格子ズレをなくすために人間の目に
よる作業でその補正を行っているわけであるが、しかし
、そのような補正の仕方には限度があり、作業効率が悪
い。また、このような問題があるにもかかわらず、生産
性に優れ。

コストが低く、信頼性の高いデュアル型回折格子の要請
は今後益々増える傾向にあり、このような面からも格子
ズレの生じないデュアル型回折格子の作成方法の確立が
−早く望まれる。

問題点を解決するための手段 そこで、このような問題点を解決するために、本発明は
、一面に第一回折格子の形成された基板の裏面に、光重
合部材を介して、第二回折格子の複製されたスタンパ部
材を密着させ、この状態で第一回折格子及び第二回折格
子に光を入射して透過、回折された光に分離し、これら
分離された光を予め光線追跡法により受光板上に位置設
定された受光素子により検出してそれらの先輩の最大値
が得られるように基板及び受光板を調整手段により移動
調整し、その調整後に紫外線露光を行い光重合部材を重
合させることにより基板の裏面に第二回折格子を形成し
、その後スタンパ部材を剥離してデュアル型回折格子を
作成するようにした。

作用 従って、第一回折格子及び第二回折格子の影響を共に受
けなかった光、第一回折格子のみの影響を受けた光、第
二回折格子のみの影響を受けた光のそれぞれの光の通過
位置を予め光線追跡法により調べ、その通過位置にそれ
ぞれ受光素子を配設し、これらの受光素子に検出される
光量が最大値になるように、第一回折格子の形成された
基板及び受光素子の配設された受光板をそれぞれ調整手
段により移動調整することにより、第一回折格子と第二
回折格子との間における格子ズレを簡単になくすことが
可能となり、これにより、人間の目による格子ズレの補
正を行う必要がなくなるため、作業効率を上げ生産性を
一段と向上させることができ、しかも、安価で、信頼性
の高いデュアル型回折格子を作成することができる。

実施例 本発明の一実施例を第１図ないし第４図に基づいて説明
する。なお、従来技術と同一部分については同一符号を
用いる。まず、基板としてのアクリル板１２の表面には
、光重合部材としての２Ｐ樹脂（ポリマー）１３よりな
る第一回折格子１４が形成されており、また、スタンパ
部材としてのＮｉスタンパ１５の表面には、第二回折格
子１６が複製されている。これら第一回折格子１４、第
二回折格子１６の形成方法は、従来技術で説明したよう
な２Ｐ法により作成することができる。

次に５Ｎｉスタンパ１５に複製された第二回折格子１６
の表面に光重合部材としての２Ｐ樹脂（モノマー）１７
を滴下し、さらに、この上部にアクリル板１２の裏面を
密着させる。このようにして、第一回折格子１４の形成
されたアクリル板１２と、第二回折格子１６の複製され
たＮｉスタンパ１５とを一体化し、この状態で前記アク
リル板１２を調整台１８を介して、調整手段としての図
示しない微調整駆動装置に接続する。これにより、アク
リル板１２を、Ｘ、Ｙ方向への移動や、その平面内で回
転させることができる。

次に、このようにセットされたアクリル板１２の上部に
は、第一回折格子１４及び第二回折格子１６により反射
された光を検知する受光素子Ａ。

Ｂ、Ｃが、前記微調整駆動装置に接続された受光板１９
上に設けられており、その受光量はパワーメータ２０に
より知ることができる。この場合、受光素子Ａ、Ｂ、Ｃ
を受光板１９上に配設する位置は、予め、第１表のよう
な受光する光を選択しくここでは、ａ、ｂ、Ｑの３種の
光を選択）、レーザ２１より出射された光の波長、その
入射角、第一回折格子１４及び第二回折格子１６のピッ
チ、アクリル板１２の厚さや屈折率、２Ｐ樹脂（ポリマ
ー、モノマー）１３．１７の屈折率等を考慮して、光線
追跡法により光線追跡を行ってその配設位置を決めてお
く。

二こで、第１表の見方を第２図を参考にして説明してお
く。Ａは、光ａが第一回折格子１４の表面を透過して、
第二回折格子１６の表面により反射され、再び、第一回
折格子１４の表面を透過して受光素子Ａに導かれる様子
を示す。同様にして。

Ｂは、光すが透過、回折反射、透過して受光素子Ｂに導
かれる様子を示し、また、Ｃは、光Ｃが回折、反射、透
過して受光素子Ｃに導かれる様子を示したものである。

次に、上述したようにして光ａ、ｂ、ｃが第一回折格子
１４、第二回折格子１６を介して通過する位置を予め光
線追跡法により求め、その通過位置に受光素子Ａ、Ｂ、
Ｃを配置した状態で、今、第一回折格子１４と第二回折
格子１６との間で格子ズレ、すなわち、格子面に対して
横ズレ、縦ズレ、回転ズレが発生しているものとする。

このような状態で、以下、このような格子ズレをなくす
方法について順次説明していく。

まず、第二回折格子１６の微調整を行う。すなわち、受
光素子Ａ、Ｂに到達する光は、第一回折格子１４の影響
は受けず、第二回折格子１６の影響のみを受ける（第１
表中での反射回折）ので、これにより微調整を行うこと
ができる。具体的には、受光素子Ａに入射する光ａの光
量と、受光素子Ｂに入射する光すの光量とが、パワーメ
ータ２０で共に最大値が得られるように、受光板１９を
微調整駆動装置により移動（ｘ、ｙ方向への移動、回転
）させ微調整を行う。これにより、まず、第二回折格子
１６と受光板１９との位置合わせが完了する。

次に、第一回折格子１４の微調整を行う。すなわち、受
光素子Ａ、Ｃに到達する光は、第一回折格子１４のみの
影響を受ける（第１表中での回折）ので、これにより微
調整を行うことができる。具体的には、受光素子Ａに入
射する光ａの光量と、受光素子Ｃに入射する光Ｃの光量
とが、パワーメータ２０で共に最大値が得られるように
、アクリル板１２を微調整駆動装置により移動させ微調
整を行う。これにより、第一回折格子１４と受光板１９
との位置合わせが完了するため、第一回折格子１４と第
二回折格子１６との位置合わせが達成されたことになる
。

最後に、このようにして第一回折格子１４と第二回折格
子１６との格子ズレがなくなった状態で、紫外線露光を
行い２Ｐ樹脂１７を重合させ、その後Ｎｉスタンパ１５
を剥離することにより、アクリル板１２の裏面に第二回
折格子１６を形成させることができる。

以上説明してきたように、アクリル板１２と３個の受光
素子Ａ、Ｂ、Ｃを備えた受光板１９とを、それぞれ微、
ｇ整駆動装置によりパワーメータ２０を見ながら移動さ
せることにより、第一回折格子１４と第二回折格子１６
との格子ズレの補正を容易に行うことができ、これによ
り、従来のように直接目で補正を行う必要がなくなった
ので、作業時間を短縮して生産効率を一段と上げること
ができる。

発明の効果 本発明は、一面に第一回折格子の形成された基板の裏面
に、光重合部材を介して、第二回折格子の複製されたス
タンパ部材を密着させ、この状態で第一回折格子及び第
二回折格子に光を入射して透過１回折された光に分離し
、これら分離された光を予め光線追跡法により受光板上
に位置設定された受光素子により検出してそれらの光景
の最大値が得られるように基板及び受光板を調整手段に
より移動調整し、その調整後に紫外線露光を行い光工Ｒ
合部材を重合させることにより基板の裏面に第二回折格
子を形成し、その後スタンパ部材を剥離してデュアル型
回折格子を作成するようにしたので、第一回折格子及び
第二回折格子の影響を共に受けなかった光、第一回折格
子のみの影響を受けた光、第二回折格子のみの影響を受
けた光のそれぞれの光の通過位置を予め光線追跡法によ
り調べ、その通過位置にそれぞれ受光素子を配設し、こ
れらの受光素子に検出される光量が最大値になるように
、第一回折格子の形成された基板及び受光素子の配設さ
れた受光板をそれぞれ調整手段により移動調整すること
により、第一回折格子と第二回折格子との間における格
子ズレを簡単になくすことが可能となり、これにより、
人間の目による格子ズレの補正を行う必要がなくなるた
め、作業時間を短縮して生産効率を一段と向上させるこ
とができ、しかも、安価で、信頼性の高いデュアル型回
折格子を作成することができるものである。

Ｕ）　　図

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す基板の両面に回折格子
を形成した様子を示す機側面図、第２図は回折格子に入
射した光の進行経路を示す説明図、第３図は表面に回折
格子の形成されたアクリル板を調整手段により駆動させ
る状態を示す平面図、第４図は受光板を調整手段により
駆動させる状態を示す平面図、第５図（ａ）〜（ｈ）は
従来の回折格子の作成方法である２Ｐ法の作成図である
。 １・・・基板、２・・・フォトレジスト、４・・・回折
格子、５・・・スパッタリング、６・・・ｉｔ！ｕ、１
１・・・光重合部材、１２・・・基板、１３・・・光重
合部材、１４・・・第一回折格子、１５・・・スタンパ
部材、１６・・・第二回折格子、１７・・・光重合部材
、１９・・・受光板、Ａ、Ｂ。 Ｃ・・・受光素子、ａ、ｂ、Ｃ・パ光 」ｂ 〜篤Ｚ図 ｌ３ 図 Ｘも ４図 、ｌδ ５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一面に第一回折格子の形成された基板の裏面に、光
   重合部材を介して、第二回折格子の複製されたスタンパ
   部材を密着させ、この状態で前記第一回折格子及び前記
   第二回折格子に光を入射して透過、回折された光に分離
   し、これら分離された光を予め光線追跡法により受光板
   上に位置設定された受光素子により検出してそれらの光
   量の最大値が得られるように前記基板及び前記受光板を
   調整手段により移動調整し、その調整後に紫外線露光を
   行い前記光重合部材を重合させることにより前記基板の
   裏面に前記第二回折格子を形成し、その後前記スタンパ
   部材を剥離してデュアル型回折格子を作成するようにし
   たことを特徴とするデュアル型回折格子の作成方法。 ２、第一回折格子は、基板上にフォトレジストを塗布し
   、その表面より露光することによつて回折格子を形成し
   、この回折格子の形成されたフォトレジストを現像し、
   スパッタリングを行い、その後電鋳することによりスタ
   ンパ部材を作成し、基板上に紫外線硬化樹脂を塗布し紫
   外線露光を行い硬化させ、前記スタンパ部材の表面に光
   重合部材を塗布し、この光重合部材の上部から前記紫外
   線硬化樹脂の塗布された前記基板を圧着させた状態で紫
   外線露光を行い重合させた後、前記スタンパ部材を剥離
   して形成するようにしたことを特徴とする請求項１記載
   のデュアル型回折格子の作成方法。