JPH0283801A - Magnetic disk device and information recording and reproducing method - Google Patents
Magnetic disk device and information recording and reproducing methodInfo
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Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 81
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 17
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 2
- 101000606504 Drosophila melanogaster Tyrosine-protein kinase-like otk Proteins 0.000 abstract description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 102220500406 Neutral and basic amino acid transport protein rBAT_W20G_mutation Human genes 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ディスク装置および該磁気ディスク装置に
おける情報の記録再生方法に係り、特に、コンピュータ
等の上位装置の外部記憶装置として使用するのに好適な
磁気ディスク装置、該磁気ディスク装置に使用される薄
膜磁気ヘッド及び該磁気ディスク装置における情報の記
録再生方法に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a magnetic disk device and a method for recording and reproducing information in the magnetic disk device, and is particularly suitable for use as an external storage device of a host device such as a computer. The present invention relates to a preferred magnetic disk device, a thin film magnetic head used in the magnetic disk device, and a method for recording and reproducing information in the magnetic disk device.
磁気ディスク装置の記憶容量の増大に伴って、磁気ディ
スクのトラック密度はますます増加する傾向にある。As the storage capacity of magnetic disk devices increases, the track density of magnetic disks tends to increase more and more.
このため磁気ディスク装置に搭載する薄膜磁気ヘッドの
磁気コアのトラック幅寸法も小さくなる方向にある。For this reason, the track width dimension of the magnetic core of a thin film magnetic head mounted on a magnetic disk device is also becoming smaller.
薄膜磁気ヘッドは、磁気ディスクに対向している面に露
出しているＬ部磁気コアと下部磁気コアとが磁気ギャッ
プを構成する非磁性材料からなる絶縁膜を介在して磁気
回路を形成する。In a thin film magnetic head, a magnetic circuit is formed between an L magnetic core and a lower magnetic core exposed on a surface facing a magnetic disk, with an insulating film made of a nonmagnetic material forming a magnetic gap interposed therebetween.
そうして記録媒体、例えば磁気ディスクに対する書き込
み又は読み出しを行う。Writing to or reading from a recording medium, such as a magnetic disk, is then performed.
この磁気ギャップ部分に発生する磁界の大きさが記録密
度を左右する記録媒体の磁化状態に影響を与える。The magnitude of the magnetic field generated in this magnetic gap affects the magnetization state of the recording medium, which influences the recording density.
薄膜磁気ヘッドの磁気ディスクに対向している面に露出
している上部磁気コア及び下部磁気コアの形状が、磁気
ディスク装置の記録密度を決める主要な要因となる。The shapes of the upper and lower magnetic cores exposed on the surface of the thin-film magnetic head facing the magnetic disk are the main factor determining the recording density of the magnetic disk device.
磁気ディスクに対向している面に露出している磁気コア
の形状については、これまで多くの検討がなされている
。Many studies have been made so far regarding the shape of the magnetic core exposed on the surface facing the magnetic disk.
そのうち、上部磁気コアの長さと下部磁気コアの長さと
の差に着目した例は少なく５特開昭５５−８７３２３号
公報や信学技報Ｖ ｏ Ｑ 、 ８５ 、 Ｎｎ １３
７ 。Among them, there are only a few examples that focus on the difference between the length of the upper magnetic core and the length of the lower magnetic core, such as Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-87323 and IEICE Technical Report VoQ, 85, Nn 13.
7.
ＭＲ８５−２２（１９８５）において言及されているの
みである。It is only mentioned in MR85-22 (1985).
特開昭５５−８７３２３号公報には、上部磁気コアの長
さを下部磁気コアの長さよりも小さくすることにより、
製造ばらつきに起因するアップラウンド状態と呼ばれる
好ましくない形状が回避できることが述べられている。JP-A-55-87323 discloses that by making the length of the upper magnetic core smaller than the length of the lower magnetic core,
It is stated that undesirable shapes called up-round conditions due to manufacturing variations can be avoided.
また、信学技報Ｖ ｏ Ｑ 、 ８５ 、 Ｎａ １３
７ 、 Ｍ Ｒ８５−２２（１９８５）には、上部磁気
コアと下部磁気コアとの長さの差と、磁気コア側端部に
にじみ出す磁界の大きさとの関係について計算機シミュ
レーションを用いて検討されている。Also, IEICE Technical Report V o Q, 85, Na 13
7, M R85-22 (1985) uses computer simulation to study the relationship between the difference in length between the upper magnetic core and the lower magnetic core and the magnitude of the magnetic field leaking out to the end of the magnetic core. There is.
そして、前記磁界のにじみ出しは書き込み及び読み出し
特性に悪影響を与えるので、上部磁気コアと下部磁気コ
アとの長さの差はゼロであることが望ましいと述べてい
る。It also states that the difference in length between the upper magnetic core and the lower magnetic core is desirably zero, since the leakage of the magnetic field has a negative effect on write and read characteristics.
前記特開昭５５−８７３２３号公報記載の従来技術は、
高記録密度化に適した磁界分布を得るために上部磁気コ
アの長さと下部磁気コアの長さとの差をいくらに規定す
れば良いかということに関しては言及されていない。The prior art described in JP-A-55-87323 is as follows:
There is no mention of how much the difference between the length of the upper magnetic core and the length of the lower magnetic core should be defined in order to obtain a magnetic field distribution suitable for high recording density.
また、前記信学技報Ｖｏ Ｑ、８５．ＮＱＩ ３７゜Ｍ
Ｒ８５−２２（１９８５）記載の従来技術は、トラック
幅が狭くなった場合には、磁界のにじみ出しが書き込み
及び読み出し特性を改善するという点については言及さ
れていない。Also, the above-mentioned IEICE technical report Vo Q, 85. NQI 37゜M
The prior art described in R85-22 (1985) does not mention that when the track width becomes narrow, the bleeding of the magnetic field improves the writing and reading characteristics.
更に、両従来技術ともに５磁気デイスク装置を高記録密
度化する上で、磁気ディスクのトラック密度と、上部磁
気コアの長さと下部磁気コアの長さとの差との最適関係
に対しては、何ら新しい知見を与えるものではない。Furthermore, both conventional techniques do not provide any information on the optimal relationship between the track density of the magnetic disk and the difference between the length of the upper magnetic core and the length of the lower magnetic core in order to increase the recording density of the magnetic disk device. It does not provide new knowledge.
本発明の目的は、前記従来技術においては考慮されてい
なかった、磁気ディスクのトラック密度と、上部磁気コ
アの長さと下部磁気コアの長さとの差の最適値との関係
を明らかにし、この条件を考慮して、高記録密度化にと
もなうＳ／Ｎ比を高くし、かつオフトラック特性を良好
にした磁気ディスク装置を提供することにある。An object of the present invention is to clarify the relationship between the track density of a magnetic disk and the optimal value of the difference between the length of the upper magnetic core and the length of the lower magnetic core, which was not considered in the prior art, and to In consideration of the above, it is an object of the present invention to provide a magnetic disk device that has a high S/N ratio as the recording density increases and also has good off-track characteristics.
本発明の目的は、特にトラック密度が１インチ当り１８
００トラック以上である磁気ディスク装置に用いられる
薄膜磁気ヘッドの、記録媒体に対向している面に露出し
ている磁気コア形状が具備する条件を明らかにし、かか
る薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置を提供す
ることにある。The object of the invention is particularly to achieve a track density of 18 per inch.
Clarifying the conditions of the magnetic core shape exposed on the surface facing the recording medium of a thin-film magnetic head used in a magnetic disk device with 00 tracks or more, and providing a magnetic disk device equipped with such a thin-film magnetic head. Our goal is to provide the following.
本発明の他の目的は、トラック密度が１インチ当り１８
００トラック以上である磁気ディスク装置に用いられる
薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスクが具備する構成を明ら
かにし、かかる薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスクを提供
することにある。Another object of the invention is that the track density is 18 per inch.
An object of the present invention is to clarify the structure of a thin film magnetic head and a magnetic disk used in a magnetic disk device having 00 tracks or more, and to provide such a thin film magnetic head and magnetic disk.
更に本発明の他の目的は、トラック密度が１インチ当り
１８００）−ラック以上である磁気ディスク装置を用い
た記録システムを提供することにある。Still another object of the present invention is to provide a recording system using a magnetic disk drive having a track density of 1800-racks per inch or more.
更に本発明の他の目的は、かかる磁気ディスク装置にお
ける情報の記録再生方法を提供することにある。Still another object of the present invention is to provide a method for recording and reproducing information in such a magnetic disk device.
本発明の磁気ディスク装置は、情報を記録する磁気ディ
スクと、磁気ディスクに対して情報の書き込み及び読み
出しを行う薄膜磁気ヘッドと、磁気ディスクを回転させ
る手段と、薄膜磁気ヘッドの位置決め手段とを有する。A magnetic disk device of the present invention includes a magnetic disk for recording information, a thin film magnetic head for writing and reading information on the magnetic disk, means for rotating the magnetic disk, and means for positioning the thin film magnetic head. .
第９図に、磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッ
ドの、記録媒体に対向している面に露出している磁気コ
ア及び磁気ギャップ部分の拡大図の一例を示す。FIG. 9 shows an example of an enlarged view of the magnetic core and magnetic gap portion exposed on the surface facing the recording medium of a thin film magnetic head used in a magnetic disk device.
上部磁気コア２１の磁気ギャップ２２を臨む辺の長さを
ＣＷＵ （μｍ）とおき、下部磁気コア２３の磁気ギャ
ップ２２を臨む辺の長さをＣＷＤ（μｍ）とおく。Let the length of the side of the upper magnetic core 21 facing the magnetic gap 22 be CWU (μm), and the length of the side of the lower magnetic core 23 facing the magnetic gap 22 be CWD (μm).
本発明は、磁気ディスクのトラック密度（Ｔｒ）が１８
００（トラック／インチ）以上の条件でＣＷＵとＣＷＤ
との差（ΔＣＷ）が。In the present invention, the track density (Tr) of the magnetic disk is 18
CWU and CWD under conditions of 00 (tracks/inch) or higher
The difference (ΔCW) between
０＜ΔＣＷ≦５０００ ／ Ｔ ｒ （μｍ ）の関係
を満足することにある。The purpose is to satisfy the relationship: 0<ΔCW≦5000/Tr (μm).
更に、ＣＷＵ又はＣＷＤの何れか長い方が磁気ディスク
のトラックピッチより短くトラック幅より長いことにあ
る。Furthermore, the longer CWU or CWD is shorter than the track pitch and longer than the track width of the magnetic disk.
ここで、磁気ディスクのトラックピッチとトラック幅と
の関係を、仮りにＣＷＵを短くした場合について第１０
図に示す。Here, the relationship between the track pitch and track width of the magnetic disk is expressed as follows:
As shown in the figure.
トラック４１５０とは、磁気ディスクに対して情報が記
録されている帽をいい、ＣＷＵ又はＣＷＤのいずれか短
い方の幅で決定される。The track 4150 refers to a cap on which information is recorded on a magnetic disk, and is determined by the width of either CWU or CWD, whichever is shorter.
また、磁気ディスクのトラックピッチ５１とは、トラッ
ク幅５０にガイドバンド５５を加えた幅であり、隣接す
る情報が重ならないように設けられた保護帯である。Further, the track pitch 51 of the magnetic disk is the width of the track width 50 plus the guide band 55, and is a guard band provided to prevent adjacent information from overlapping.
なお、符号５２は」二部磁気コアを、符号５３は下部磁
気コアを、符号５４は磁気ギャップ部分をそれぞれ示す
。The reference numeral 52 indicates a two-part magnetic core, the reference numeral 53 indicates a lower magnetic core, and the reference numeral 54 indicates a magnetic gap portion.
これにより、Ｓ／Ｎ比を高く、がっ、オフトラック特性
を良好にできることを見出した。It has been found that this makes it possible to increase the S/N ratio and improve off-track characteristics.
つまり、本発明はトラック密度の高密度化に対応してＳ
ｌＮ比を高くし、がっ、オフトラック特性を良好にする
ためには、トラック密度に対応して磁気コアの形状を高
精度に制御することが必要であるとの着想に基づいてい
る。In other words, the present invention provides S
This is based on the idea that in order to increase the lN ratio and improve the off-track characteristics, it is necessary to control the shape of the magnetic core with high precision in accordance with the track density.
前記関係式を満足するΔＣＷの最適範囲は、磁気ディス
クのトラック密度が１８ｏｏ（トラック／インチ）未満
の場合でも成立する。The optimum range of ΔCW that satisfies the above relational expression holds true even when the track density of the magnetic disk is less than 18oo (tracks/inch).
トラック密度が低い場合は、磁気ディスク装置のＳ／Ｎ
比はΔＣＷ以外の要因による影響が大きいため、実質的
にΔＣＷの値を規定する必要がなかった。If the track density is low, the S/N of the magnetic disk device
Since the ratio is greatly influenced by factors other than ΔCW, there is no need to substantially specify the value of ΔCW.
しかし、トラック密度が１８ｏｏ（トラック／インチ）
以上の場合は、６０ｗの値が磁気ディスク装置のＳ／Ｎ
比に対して大きな影響を与えることを見出した。However, the track density is 18oo (track/inch)
In the above cases, the value of 60w is the S/N of the magnetic disk device.
It was found that this has a large effect on the ratio.
つまり、トラック密度が１８ｏＯ（トラック／インチ）
以上のような高記録密度の磁気ディスク装置では、磁気
ディスクのトラックピッチは約１４μｍ程度になる。In other words, the track density is 18oO (tracks/inch)
In the above-described high recording density magnetic disk device, the track pitch of the magnetic disk is approximately 14 μm.
これに対応して、情報を記録する＃膜磁気ヘッドの磁気
ディスクに対向している面に露出している磁気コア形状
も小さくなる。Correspondingly, the shape of the magnetic core exposed on the surface facing the magnetic disk of the #film magnetic head for recording information also becomes smaller.
こうしないと隣接する情報を読んでしまい、Ｓ／Ｎ比が
悪くなり、精度よく情報を再生することができなくなる
。If this is not done, adjacent information will be read, resulting in a poor S/N ratio and making it impossible to accurately reproduce information.
更に、情報の書き込みの重要な要因であるＣＶＵ又はＣ
ＷＤの小さい方の幅は、トラック幅となり、ガイドバン
ドを考慮すると磁気ディスクのトラックピツチより更に
小さくならざるをえない。Furthermore, CVU or C, which is an important factor for writing information,
The smaller width of the WD is the track width, which must be even smaller than the track pitch of the magnetic disk when the guide band is taken into consideration.
しかし、磁気コアは、製造工程を考慮するとｉＪｓさく
することができず、また小さすぎると有効な情報を読み
出すことができない。However, considering the manufacturing process, the magnetic core cannot be made as small as iJs, and if it is too small, effective information cannot be read out.
こうした状況ドにおいて、磁気コアの形状１寸法は重要
であり、磁気ディスク装置の位置決め精度を考慮すると
、ＣＷＵとＣＷＤとの差をゼロにするよりはむしろ差を
設けて、そこに発生するにじみ出す磁界を有効に利用す
べきであることを見出した。In such a situation, the shape and dimension of the magnetic core is important, and considering the positioning accuracy of the magnetic disk drive, it is better to create a difference between CWU and CWD than to make the difference zero, and to reduce the oozing that occurs there. It was discovered that the magnetic field should be used effectively.
にしみ出し磁界を制御するには、ＣＷＵ及びＣＷＤを厳
密に規定する必要があり、ＣＷＵとＣＷＤとの差に生じ
たにじみ出す磁界を情報の読み出しに用い、広く情報を
読み出しオフトラック特性を向上させる。In order to control the magnetic field that seeps out, it is necessary to strictly define CWU and CWD.The magnetic field that oozes out due to the difference between CWU and CWD is used to read out information, and the off-track characteristics are improved by reading out a wide range of information. let
また１本発明の効果は、磁気コア部分の左右端部におけ
る磁界のにじみ出しによって得られるものであるから、
上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＵ）
と下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＤ
）との左右端部におけるそれぞれの差（ΔＣＷ′）が磁
気コアの左右端部のいずれにおいても。In addition, the effect of the present invention is obtained by the leakage of the magnetic field at the left and right ends of the magnetic core portion.
Length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core (CWU)
and the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (CWD
) at both the left and right ends of the magnetic core (ΔCW').
０〈Δｃｗ’≦２５００／Ｔｒ（μｍ）の関係を満足す
る。The relationship 0<Δcw'≦2500/Tr (μm) is satisfied.
これにより、前述の場合と同様に、Ｓ／Ｎ比を高くし、
かつ、オフトラック特性を良好にできることを見出した
。This increases the S/N ratio and
In addition, it has been found that off-track characteristics can be improved.
更に、実際の製造工程を考慮すると、ΔＣＷの下限値は
０．２μｍであり、ΔＣＷ′の下限値は０．１μｍであ
ることが望ましい。Furthermore, in consideration of the actual manufacturing process, it is desirable that the lower limit of ΔCW is 0.2 μm and the lower limit of ΔCW' is 0.1 μm.
また、磁気コアの左右端部における磁界のにじみを均一
に保ち、オフトラック特性を良好にするためには、上部
磁気コアが下部磁気コアの書き込み及び読み出し方向に
おける中心対称軸に対して略対称に配置されていること
が望ましいことを見出した。In addition, in order to keep the magnetic field blur at the left and right ends of the magnetic core uniform and to improve off-track characteristics, the upper magnetic core must be approximately symmetrical with respect to the central symmetry axis of the lower magnetic core in the write and read directions. It has been found that it is desirable that the
一方、磁気ディスク装置の記録密度を高くするためには
、トラック密度のみでなく、線記録密度をも高める必要
がある。On the other hand, in order to increase the recording density of a magnetic disk device, it is necessary to increase not only the track density but also the linear recording density.
線記録密度が高くなるとＳ／Ｎ比は低下するため、本発
明により規定したΔＣＷ又はΔＣＷ′の値の制御はより
重要になってくる。Since the S/N ratio decreases as the linear recording density increases, control of the value of ΔCW or ΔCW' defined by the present invention becomes more important.
そこで、検討の結果、線記録密度が１インチ当り３０キ
ロビット以上にすることが望ましい。Therefore, as a result of consideration, it is desirable that the linear recording density be 30 kilobits per inch or more.
更に、面記録密度についても同様に検討の結果、面記録
密度が１平方インチ当り５４メガビツト以北にすること
が望ましい。Furthermore, as a result of similar studies regarding the areal recording density, it is desirable that the areal recording density be 54 megabits per square inch or higher.
以上述べたように、上部磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺の長さと下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ
との差を高精度に制御し、最適範囲内に設定することに
より、磁気ディスク装置の高記録密度が可能となり、Ｓ
／Ｎ比を高くしかつオフトラック特性を良好にすること
ができる。As mentioned above, by precisely controlling the difference between the length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core and the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core and setting it within the optimal range, the magnetic disk High recording density of the device is possible, and S
/N ratio can be increased and off-track characteristics can be improved.
一方、磁気コアの辺の長さのみではなく、磁気コア側端
部の角度のちがいによっても、磁界のにじみ出し方が変
化するので、これについても検討を行った。On the other hand, the way the magnetic field oozes out changes not only depending on the length of the side of the magnetic core, but also depending on the angle of the side end of the magnetic core, so we also investigated this.
その結果、有効な磁界のにじみ出し領域を形成させるた
めには、上部磁気コアが磁気ギャップを臨む辺の長さ（
ＣＷＵ）又は下部磁気コアが磁気ギャップを臨む辺の長
さ（ＣＷＤ）の何れか短い方の磁気コアについて、磁気
コアの側端部と磁気コアの磁気ギャップを臨む辺とのな
す角（０５）を、
４５″≦Ｏ５≦１５０’
の範囲内に制御することが望ましい。As a result, in order to form an effective magnetic field oozing region, the length of the side of the upper magnetic core facing the magnetic gap (
CWU) or the length of the side of the lower magnetic core facing the magnetic gap (CWD), whichever is shorter, the angle between the side end of the magnetic core and the side of the magnetic core facing the magnetic gap (05) It is desirable to control within the range of 45''≦O5≦150'.
Ｏ８く４５°では、磁気コア端部が磁気飽和状態になり
、書き込み又は読み出し時の雑音が増加し有効な磁界が
得られない。At 45° at O8, the end of the magnetic core becomes magnetically saturated, noise increases during writing or reading, and an effective magnetic field cannot be obtained.
また、θＳ＞１５０’では、実質的にトラック幅が大き
くなり、やはり有効な磁界が得られない。Further, when θS>150', the track width becomes substantially large and an effective magnetic field cannot be obtained.
一方、有効な磁界のにじみ出し領域を形成させるために
、ＣＷＵ又はＣＷＤの何れか長い方の磁気コアについて
、磁気コアの側端辺と磁気コアの磁気ギャップを臨む辺
とのなす角（ＯＬ）を、９１６ ≦θＬ≦１５０ｍ
の範囲内に制御することが望ましい。On the other hand, in order to form an effective magnetic field oozing region, for the longer magnetic core of either CWU or CWD, the angle (OL) between the side edge of the magnetic core and the side of the magnetic core facing the magnetic gap is determined. It is desirable to control within the range of 916≦θL≦150m.
更に、前記のＯ８及びＯＬについては、各々の最適範囲
を同時に満足する構造にすれば、−層大きな効果が得ら
れることを見出した。Furthermore, it has been found that with respect to O8 and OL, if a structure is created that simultaneously satisfies the respective optimum ranges, a greater effect can be obtained.
これにより、有効な磁界のにじみ出し領域を形成し、読
み出し時のオフトラック特性やクロストーク特性を良好
に保つことができる。Thereby, it is possible to form an effective magnetic field bleeding region and maintain good off-track characteristics and crosstalk characteristics during reading.
一方、第９図においては、ＣＷＵがＣＷＤより短い場合
の磁気コア形状の例を示し説明したが、ＣＷＵがＣＷＤ
より長い場合も、本発明の効果は何ら損われることはな
い。On the other hand, in FIG. 9, an example of the magnetic core shape when CWU is shorter than CWD is shown and explained.
Even if the length is longer, the effects of the present invention are not impaired in any way.
しかし、実際の磁気ヘッドの製造工程を考慮するとＣＷ
ＵがＣＷＤよりも長い場合は、ラップラウンド状態を避
けるために、下部磁気コアの側部に下部磁気コアと同じ
膜厚の非磁性平坦化材を設ける必要が生ずる。However, considering the actual manufacturing process of magnetic heads, CW
If U is longer than CWD, it becomes necessary to provide a non-magnetic flattening material with the same thickness as the lower magnetic core on the sides of the lower magnetic core in order to avoid a wrap-around state.
この非磁性絶縁材の膜厚を精度よく形成するためめには
、煩雑な工程が必要であることから、ＣＷＵ又はＣＷＤ
よりも短い方が望ましい。In order to accurately form the film thickness of this non-magnetic insulating material, a complicated process is required, so CWU or CWD is used.
It is preferable that it be shorter than .
従来の薄膜磁気ヘッドは、上部磁気コアの磁気ギャップ
を臨む辺の長さ（ＣＷｔ）を加工する場合、導体コアル
や結縁膜によって形成される高さ約１０〜２０μｍの段
差部分の下部において、上部磁気コアのパターンを形成
している。In conventional thin-film magnetic heads, when processing the length (CWt) of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core, the upper magnetic core is It forms a pattern of magnetic cores.
このようなパターン形成法を用いてＣＷ Ｕの値を下部
磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＤ）の値
に対して制御しても、本発明の効果は得られるが、実際
の製造工程を考慮すると。Although the effect of the present invention can be obtained by controlling the value of CW U with respect to the length of the side facing the magnetic gap (CWD) of the lower magnetic core using such a pattern forming method, the actual Considering the manufacturing process.
段差部分の下部において磁気コアの寸法を高精度に加工
することは困難が伴う。It is difficult to process the dimensions of the magnetic core with high precision at the lower part of the stepped portion.
そこで、さらにトラック密度を向上させるために、磁気
コアのトラック幅の高精度化を容易に実現するための一
例として、第３図に示すような形状の磁気コアを見出し
た。Therefore, in order to further improve the track density, a magnetic core having a shape as shown in FIG. 3 was discovered as an example of easily achieving high accuracy in the track width of the magnetic core.
これは、上部磁気コア３１が、下部磁気コア３３の磁気
ギャップ３２を臨む辺（ＣＷＤ）よりもΔＣＷだけ短い
辺（ＣＷＵ）を有している中心部（図中■で示す）と、
その中心部に比べて下部磁気コアから離れる方向に延長
している両端部（図中■で示す）とから成っていること
を特徴としている。This is because the upper magnetic core 31 has a central portion (indicated by ■ in the figure) where the side (CWU) is shorter by ΔCW than the side (CWD) of the lower magnetic core 33 facing the magnetic gap 32;
It is characterized by consisting of both end portions (indicated by ■ in the figure) that extend in a direction away from the lower magnetic core compared to the center portion.
更に第３図に示した形状の薄膜磁気ヘッドの製造方法を
示す。Furthermore, a method of manufacturing a thin film magnetic head having the shape shown in FIG. 3 will be described.
下部磁気コアを作製した後、下部磁気コアの側部及び上
両端部に非磁性絶縁層を堆積し、下部磁気コア上部に溝
を形成する。After producing the lower magnetic core, a nonmagnetic insulating layer is deposited on the sides and both upper ends of the lower magnetic core, and a groove is formed in the upper part of the lower magnetic core.
その後、ａｔ気ギャップ膜を形成し、上部磁気コアを堆
積する。Thereafter, an at-air gap film is formed and an upper magnetic core is deposited.
これにより第３図に示した形状の薄膜磁気ヘッドにおい
ては、前記磁気コアのトラック幅はＣｖＵの値で決まる
ため、段差の小さい状態で高精度ＣＷＵ寸法を加工制御
することができる。As a result, in the thin film magnetic head having the shape shown in FIG. 3, the track width of the magnetic core is determined by the value of CvU, so that the CWU dimension can be controlled with high precision in a state with small steps.
検討の結果、第３図に示した形状の薄膜磁気ヘッドにお
いても、第９図に示した形状の薄膜磁気ヘッドに対して
述べたのと同様に、１８００ （トラック／インチ）以
上のトラック密度を有する磁気ディスク装置に対しては
、
０＜ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ （μｍ）の式を満足する
ようにΔＣＷの値を定める必要があることを見出した。As a result of the study, it was found that the thin film magnetic head with the shape shown in Fig. 3 has a track density of 1800 (tracks/inch) or more, as described for the thin film magnetic head with the shape shown in Fig. 9. It has been found that it is necessary to determine the value of ΔCW so as to satisfy the formula: 0<ΔCW≦5000/Tr (μm) for a magnetic disk device having the following.
また、上部磁気コア３１の中心部■と下部磁気コア３３
との左右端部におけるそれぞれの差（ΔＣＷ’ ）に関
しても、
０＜ΔＣＷ′≦２５００／Ｔｒ （μｍ）の式を満足す
ることが望ましいことを見出した。In addition, the center part ■ of the upper magnetic core 31 and the lower magnetic core 33
It has been found that it is desirable that the difference (ΔCW') at the left and right end portions between the two ends satisfies the following formula: 0<ΔCW'≦2500/Tr (μm).
更に、実際の製造工程を考慮すると、ΔＣＷの下限値は
０．２μｍであり、ΔＣＷ′の下限値は０．１μｍであ
ることが望ましい。Furthermore, in consideration of the actual manufacturing process, it is desirable that the lower limit of ΔCW is 0.2 μm and the lower limit of ΔCW' is 0.1 μm.
また、上部磁気コア３１と下部磁気コア３３とを書き込
み及び読み出し方向における同一の軸に対して略対称に
配置するのが望ましいこと、線記録密度が１インチ当り
３０キロビット以上及び面記録密度が１平方インチ当り
５４メガビット以上にすることが望ましいこと、及び上
部磁気コアの側端部角度（第３図中Ｏ８で示す）と下部
磁気コアの側端部角度（第３図中Ｏ８で示す）とについ
ては、それぞれ
４５°≦θＳ≦１５０”
９１″ ≦θＬ≦１５０’
を満たすことが望ましいことを同様に見出した。Further, it is desirable that the upper magnetic core 31 and the lower magnetic core 33 be arranged approximately symmetrically with respect to the same axis in the writing and reading directions, and that the linear recording density is 30 kilobits per inch or more and the areal recording density is 1. 54 megabits per square inch or more is desirable, and the side edge angle of the upper magnetic core (indicated by O8 in FIG. 3) and the side edge angle of the lower magnetic core (indicated by O8 in FIG. 3). Similarly, it has been found that it is desirable to satisfy 45°≦θS≦150″ 91″≦θL≦150′, respectively.
即に述べたような高記録密度化を達成するためには、磁
気ディスク上の記録媒体となる磁性体の保磁力を大きく
シ、かつ、膜厚を薄くする必要がある。In order to achieve the above-mentioned high recording density, it is necessary to increase the coercive force of the magnetic material serving as the recording medium on the magnetic disk and to reduce the film thickness.
本発明の効果を達成するためには、保磁力６００エルス
テッド以上、かつ、膜厚０．３５μｍ以下の磁性体を用
いることが望ましい。In order to achieve the effects of the present invention, it is desirable to use a magnetic material with a coercive force of 600 Oe or more and a film thickness of 0.35 μm or less.
また、磁気コアから有効な磁界を充分大きく発生させる
ために、飽和磁束密度が１テスラ以上の単層膜又は１層
以上の非磁性膜を介在した多層膜から成る磁気コアを用
いることが望ましく５導体コイルのターン数を１８ター
ン以上とすることが望ましい。In addition, in order to generate a sufficiently large effective magnetic field from the magnetic core, it is desirable to use a magnetic core consisting of a single layer film with a saturation magnetic flux density of 1 Tesla or more or a multilayer film with one or more nonmagnetic films interposed. It is desirable that the number of turns of the conductor coil be 18 turns or more.
また、磁気ディスクに対する読み出し及び書き込み効率
を高めて、高記録密度化を達成するためには、磁気ヘッ
ドの浮上量を小さくする必要があり、本発明においては
０．２５μｍ以下とすることが望ましい。Furthermore, in order to improve read and write efficiency on the magnetic disk and achieve high recording density, it is necessary to reduce the flying height of the magnetic head, and in the present invention, it is desirable to set it to 0.25 μm or less.
本発明で述べた薄膜磁気ヘッドは、上部磁気コアと下部
磁気コアとの幅の差を最適化することにより、書き込み
磁界のにじみ出しと読み出し時におけるノイズの小さい
領域との最適な組合せを達成して、磁気ディスク装置の
Ｓ／Ｎ比を高め、オフトラック特性を良好にするところ
にある。The thin-film magnetic head described in the present invention achieves an optimal combination of writing magnetic field bleeding and a region with low noise during reading by optimizing the difference in width between the upper magnetic core and the lower magnetic core. The objective is to increase the S/N ratio of the magnetic disk device and improve off-track characteristics.
したがって、この薄膜磁気ヘッドが情報の書き込み及び
読み出しを同一のヘッドで行なうインダクテイブタイプ
である場合により本発明の効果が大きい。Therefore, the present invention is more effective when the thin film magnetic head is an inductive type in which information is written and read by the same head.
しかし、例えば、書き込みをインダクテイブタイプで行
ない、読み出しを磁気抵抗効果を用いたＭＲタイプで行
なうような複合タイプの薄膜磁気ヘッドに関する場合で
も、少なくとも書き込み用に用いる薄膜磁気ヘッドに対
して本発明を適用すれば２本発明の効果が達成される。However, even in the case of a composite type thin film magnetic head in which writing is performed by an inductive type and reading is performed by an MR type using a magnetoresistive effect, the present invention is applicable to at least the thin film magnetic head used for writing. By applying this, two effects of the present invention can be achieved.
本発明は、薄膜磁気ヘッドの磁気コア形状とそれを用い
た磁気ディスク装置の記録密度との関係に起因するもの
であるから、薄膜磁気ヘッドの製造方法に関して制限を
加えるものではない。Since the present invention is based on the relationship between the magnetic core shape of a thin film magnetic head and the recording density of a magnetic disk device using the same, it does not place any restrictions on the method of manufacturing the thin film magnetic head.
しかし、高精度に磁気コア端部位置を決定するためのパ
ターン形成方法としては、スパッタリング法で作製した
磁性材料をドライ又はウェットエツチングしてパターン
を形成する方法を用いることが望ましく、又は、ホトレ
ジストをマスク材として選択めっき法を用いてパターン
を形成する方法を用いることが望ましい。However, as a pattern forming method for determining the magnetic core end position with high precision, it is desirable to use a method in which a pattern is formed by dry or wet etching a magnetic material produced by a sputtering method, or a method in which a pattern is formed by dry or wet etching a magnetic material produced by a sputtering method. It is desirable to use a method of forming a pattern using a selective plating method as the mask material.
更に、こうした磁気ディスク装置に使用する薄膜磁気ヘ
ッドについても、ΔＣＷが
０＜ΔＣＷ≦５０００ ／ Ｔ ｒ
（Ｔｒは磁気ディスクのトラック密度を示す。）の関係
を満たすことが必要である。Furthermore, it is also necessary for the thin film magnetic head used in such a magnetic disk device that ΔCW satisfies the relationship: 0<ΔCW≦5000/Tr (Tr indicates the track density of the magnetic disk).
また、こうした磁気ディスク装置を使用する記録システ
ムについては、上位装置としてコンピュータシステム等
と接続し、記憶容量の大きいシステムができる。Furthermore, a recording system using such a magnetic disk device can be connected to a computer system or the like as a host device to create a system with a large storage capacity.
本発明は、トラック密度が１インチ当り１８００トラッ
ク以上である磁気ディスクを有する高記録密度の磁気デ
ィスク装置に対して用いる薄膜磁気ヘッドの、記録媒体
に対向している面に露出している磁気コアの形状が具備
すべき要件を明らかにしたものである。The present invention relates to a magnetic core exposed on a surface facing a recording medium of a thin film magnetic head used for a high recording density magnetic disk device having a magnetic disk with a track density of 1800 tracks per inch or more. This clarifies the requirements that the shape should meet.
すなわち、上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ
（以下ｒＣＷＵＪとする）と下部磁気コアの磁気ギャッ
プを臨む辺の長さ（以下ｒＣＷＤＪとする）との差を磁
気ディスク装置の有する磁気ディスクのトラック密度に
対応して、最適化することにより、高記録密度に対して
、Ｓ／Ｎ比を高めオフトラック特性を良好にしたもので
ある。That is, the difference between the length of the side of the upper magnetic core facing the magnetic gap (hereinafter referred to as rCWUJ) and the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (hereinafter referred to as rCWDJ) is the difference between the length of the side of the upper magnetic core facing the magnetic gap (hereinafter referred to as rCWDJ). By optimizing the disc according to the track density of , the S/N ratio is increased and off-track characteristics are improved for high recording densities.
本発明者らは、記録媒体対向面において第４図に示した
ような形状の磁気コアを有する薄膜磁気ヘッドを用いて
、磁気コアから発生する磁界の大きさを検討した。The present inventors used a thin film magnetic head having a magnetic core having the shape shown in FIG. 4 on the surface facing the recording medium, and investigated the magnitude of the magnetic field generated from the magnetic core.
その結果、第４図（１）に示したように磁気ギャップの
延長線上、つまり図中のＺ方向で、記録媒体対向面に垂
直な方向に薄膜磁気ヘッドの浮上量（第４図（２））だ
け離れた点の、記録媒体長手方向の磁界強さは、磁気ギ
ャップの延長線上Ｚ方向の距離が大きくなるに従って減
少することを見出した。As a result, as shown in Fig. 4 (1), the flying height of the thin film magnetic head (Fig. 4 (2) ) has been found that the magnetic field strength in the longitudinal direction of the recording medium decreases as the distance in the Z direction on the extension line of the magnetic gap increases.
また、ＣＷＵとＣＷＤとの差（以下［ΔＣＷＪとする）
が大きくなると、ある一定の磁界の強さＨａが得られる
Ｚ方向の距離Ｗｏ ｒ Ｗｔ ＋ Ｗ２は増加するが次
第にＷ２０Ｇに近づくことを第４図（３）より見出した
。Also, the difference between CWU and CWD (hereinafter referred to as ΔCWJ)
It has been found from FIG. 4 (3) that as the value increases, the Z-direction distance W r Wt + W2 at which a certain magnetic field strength Ha is obtained increases, but gradually approaches W20G.
コノ添字０，１，２，２００は６０ｗの値を示し、これ
により、ΔＣＷの差が大きくなっても。The subscripts 0, 1, 2, and 200 indicate the value of 60w, so even if the difference in ΔCW becomes large.
にじみ出す磁界には限界があることがわかる。It can be seen that there is a limit to the magnetic field that oozes out.
この距離Ｗｏ 、 Ｗｉ ＋ Ｗ２Ｏ０の値は、それぞ
れ磁気コアから発生する磁界のにじみ出し幅に相当して
いる。The values of the distances Wo and Wi + W2O0 respectively correspond to the leakage width of the magnetic field generated from the magnetic core.
したがって、ΔＣＷの値に対する磁界のにじみ出し幅の
関係が求められ、これに応じて、一定のトラック幅の薄
膜磁気ヘッドを用いた場合の信号強度とΔＣＷとの関係
が求められる。Therefore, the relationship between the spread width of the magnetic field and the value of ΔCW is determined, and accordingly, the relationship between the signal intensity and ΔCW when a thin film magnetic head with a constant track width is used is determined.
この結果を第５図の曲線Ｓに示す。This result is shown by curve S in FIG.
一方、読み出し時の雑音強度について検討した結果、Δ
ＣＷの値が増加するに従って、隣接するトラックからの
クロストーク雑音及びオフトラック雑音が増加し、第５
図の曲線Ｎに示す関係を有する。On the other hand, as a result of considering the noise intensity during readout, Δ
As the value of CW increases, crosstalk noise and off-track noise from adjacent tracks increase, and the fifth
It has the relationship shown by curve N in the figure.
したがって、磁気ディスク装置の性能を表わす信号雑音
比（ＳｌＮ比）とΔＣＷとの関係は第６図に示したよう
になり、
０＜ΔＣＷ＜ΔＣＷ ＊ ｔ −
の範囲では、ΔＣＷ＝Ｏの場合に比べてＳ／Ｎ比を高く
できることを見出した。Therefore, the relationship between the signal-to-noise ratio (SIN ratio), which indicates the performance of the magnetic disk drive, and ΔCW is as shown in FIG. It has been found that the S/N ratio can be made higher.
更に、磁気ディスクのトラック密度を大きくすると、第
６図に併せて示したように、Ｓ／Ｎ比が低下し、かつ、
ΔＣＷ ｔ ｌ−の値もΔＣＷ□１′まで減少すること
を見出した。Furthermore, as the track density of the magnetic disk is increased, the S/N ratio decreases, as also shown in FIG.
It was found that the value of ΔCW t l- also decreased to ΔCW□1'.
そこで磁気ディスクのトラック密度（Ｔｒ）とΔＣＷ
ｘ ｉ−との関係について検討した結果、第７図に示し
たように、トラック密度の逆数（１／Ｔｒ）に対してΔ
ＣＷ ｍ ｒ−の値はほぼ比例関係にあり、比例係数は
ほぼ５０ｏＯとなった。Therefore, the track density (Tr) of the magnetic disk and ΔCW
As a result of examining the relationship with x i-, as shown in Fig. 7, Δ
The values of CW m r- were approximately proportional, and the proportionality coefficient was approximately 50oO.
また、ΔＣＷ ｔ Ｉ−の値を左右端部について考慮し
、ＣＷＵとＣＷＤとの左右端部におけるそれぞれの差（
以下［ΔＣＷ’ Ｊとすると）とトラック密度の逆数（
１／Ｔｒ）との関係を検討すると、比例関数はほぼ２５
００となることを見出した。Also, considering the value of ΔCW t I- for the left and right ends, the difference between CWU and CWD at the left and right ends (
Below [ΔCW' J] and the reciprocal of the track density (
1/Tr), the proportional function is approximately 25
It was found that the value is 00.
したがって、磁気ディスクのトラック密度が、１インチ
当り１８００トラック以上の高記録密度の磁気ディスク
装置においては。Therefore, in a magnetic disk device with a high recording density where the track density of the magnetic disk is 1800 tracks per inch or more.
Ｏ＜ΔＣＷ≦５０００ ／ Ｔ ｒ
又は
０＜ΔＣＷ′≦２５００ ／ Ｔ ｒ
の要件を満たすことにより、ΔＣＷ＝Ｏ又はΔｃｗ’＝
ｏの場合よりもＳ／Ｎ比を高くできると考えられる。By satisfying the requirements of O<ΔCW≦5000/Tr or 0<ΔCW'≦2500/Tr, ΔCW=O or Δcw'=
It is considered that the S/N ratio can be made higher than in the case of o.
第１図は本発明の一実施例を示す磁気ディスク装置の概
略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a magnetic disk device showing an embodiment of the present invention.
磁気ディスク装置は、第１図に示す符号１〜８の構成要
素及びボイスコイルモータ制御回路を有する。The magnetic disk device includes components 1 to 8 shown in FIG. 1 and a voice coil motor control circuit.
符号１はベース、符号２はスピンドルである。Reference numeral 1 is the base, and reference numeral 2 is the spindle.
一つのスピンドルに図のように複数枚の円板状の磁気デ
ィスク４が取り付けられる。A plurality of disk-shaped magnetic disks 4 are attached to one spindle as shown in the figure.
第１図では、１つのスピンドルに五枚の磁気ディスクを
設けた例が示されているが、五枚に限るものではない。Although FIG. 1 shows an example in which one spindle is provided with five magnetic disks, the number is not limited to five.
また、このように一つのスピンドルに複数枚の磁気ディ
スクを設けたものを複数個設置してもよい。Furthermore, a plurality of magnetic disks may be installed on one spindle as described above.
符号３はスピンドル２を駆動し、磁気ディスクを回転す
るためのモータである。Reference numeral 3 is a motor for driving the spindle 2 and rotating the magnetic disk.
符号５はデータ用磁気ヘッドを示し、符号５ａは位置決
め用磁気ヘッドを示している。Reference numeral 5 indicates a data magnetic head, and reference numeral 5a indicates a positioning magnetic head.
符号６はキャリッジ、符号７はボイスコイル、符号８は
マグネットである。6 is a carriage, 7 is a voice coil, and 8 is a magnet.
ボイスコイル７とマグネット８によりボイスコイルモー
タが構成される。The voice coil 7 and magnet 8 constitute a voice coil motor.
そして符号６．符号７．符号８の要素によりヘッドの位
置決めがなされる。And code 6. Code 7. The element 8 positions the head.
ボイスコイル７と磁気ヘッド５及び５ａとは、ボイスコ
イルモータ制御回路を介して接続されている。The voice coil 7 and the magnetic heads 5 and 5a are connected via a voice coil motor control circuit.
第１図において、上位装置とは、たとえばコンピュータ
システムを示す。In FIG. 1, a host device indicates, for example, a computer system.
第２図は、第１図における薄膜磁気ヘッド５の磁気ディ
スク７に対向している面に露出している磁気コアの拡大
図である。FIG. 2 is an enlarged view of the magnetic core exposed on the surface of the thin-film magnetic head 5 in FIG. 1 facing the magnetic disk 7. FIG.
更に、第１」図に薄膜磁気ヘッドの構成図を示す。Further, FIG. 1 shows a configuration diagram of the thin film magnetic head.
符号１は基板を、符号２は平坦面を形成するための下地
膜を示す。Reference numeral 1 indicates a substrate, and reference numeral 2 indicates a base film for forming a flat surface.
下地膜２上に磁性材料より成る下部磁気コア３及び磁気
ギャップＧを構成する絶縁膜６を介して上部磁気コア４
が堆積される。An upper magnetic core 4 is formed on the base film 2 via a lower magnetic core 3 made of a magnetic material and an insulating film 6 forming a magnetic gap G.
is deposited.
絶縁膜６の内部には、導体コイル５が形成され電気的に
磁界を誘起している。A conductor coil 5 is formed inside the insulating film 6 to electrically induce a magnetic field.
符号７は、保護膜を示し、上部磁気コア４上に堆積され
ている。Reference numeral 7 indicates a protective film, which is deposited on the upper magnetic core 4.
第２図に示す磁気コアは第１１図中の斜線部分を示して
いる。The magnetic core shown in FIG. 2 shows the shaded area in FIG. 11.
第２図は５本発明を適用したトラック密度が、１インチ
当り２５００トラツクである磁気ディスク装置に用いた
薄膜磁気ヘッドの記録媒体対向面に露出している部分の
磁気コア形状を表している。FIG. 2 shows the shape of the magnetic core of the portion exposed to the surface facing the recording medium of a thin film magnetic head used in a magnetic disk device to which the present invention is applied and the track density is 2,500 tracks per inch.
第２図（ａ）は、磁気コアとしてマグネトロンスパッタ
リング法で作製した磁性材料を用い、これをイオンビー
ムエツチング法でパターン形成して作製した薄膜磁気ヘ
ッド磁気ディスクに対向している面に露出している部分
の磁気コアの形状を表している。Figure 2(a) shows a thin-film magnetic head manufactured by using a magnetic material produced by magnetron sputtering as a magnetic core and patterned by ion beam etching, which is exposed on the surface facing the magnetic disk. It represents the shape of the magnetic core in the part where it is located.
第２図における上部磁気コア１１の磁気ギャップ１２を
臨む辺の長さ（ＣＷＵ）は６．９μｍであり、下部磁気
コア１３の磁気ギャップ１２を臨む辺の長さ（ＣＷＤ）
は８．７μｍである。In FIG. 2, the length of the side of the upper magnetic core 11 facing the magnetic gap 12 (CWU) is 6.9 μm, and the length of the side of the lower magnetic core 13 facing the magnetic gap 12 (CWD)
is 8.7 μm.
また、上部磁気コア１１と下部磁気コア１３とは、磁気
ディスク対向面について書き込み及び読み出し方向に対
する同一の軸に対称となるように配置した。Further, the upper magnetic core 11 and the lower magnetic core 13 are arranged symmetrically about the same axis in the write and read directions with respect to the surface facing the magnetic disk.
この薄膜磁気ヘッドを用いて、磁気ディスク装置に対す
る書き込み及び読み出し特性を検討したところ、ＣＷＵ
＝６．９ μｍ、ＣＷＤ＝９．１ μｍの磁気ヘッドを
用いた場合に比べてＳ／Ｎ比が４．３％増加した。Using this thin film magnetic head, we investigated the writing and reading characteristics for a magnetic disk device and found that CWU
The S/N ratio increased by 4.3% compared to the case where a magnetic head with CWD = 6.9 μm and CWD = 9.1 μm was used.
一方、第２図（ｂ）は、下部磁気コア１６としてマグネ
トロンスパッタ法で作製した磁性材料を用い、これをイ
オンビームエツチング法でパターン形成し、上部磁気コ
ア１４としてホトレジストをマスク材とした選択めっき
法でパターン形成して作製した薄膜磁気ヘッドの形成を
表している。On the other hand, in FIG. 2(b), a magnetic material produced by magnetron sputtering is used as the lower magnetic core 16, patterned by ion beam etching, and selective plating is performed as the upper magnetic core 14 using photoresist as a mask material. This figure shows the formation of a thin-film magnetic head fabricated by patterning using the method.
上部磁気コア１４の磁気ギャップ１５を臨む辺の長さ（
ＣＷＵ）は７．０μｍであり、下部磁気コア１６の磁気
ギャップ１５を臨む辺の長さ（ＣＷＵ）は８．６μｍ
である。The length of the side of the upper magnetic core 14 facing the magnetic gap 15 (
CWU) is 7.0 μm, and the length (CWU) of the side of the lower magnetic core 16 facing the magnetic gap 15 is 8.6 μm.
It is.
また、磁気コアの左右両端部におけるそれぞれの差は０
．９μｍ及び０．７μｍであった。Also, the difference between the left and right ends of the magnetic core is 0.
．． They were 9 μm and 0.7 μm.
この薄膜磁気ヘッドを用いて、磁気ディスク装置に対す
る書き込み及び読み出し特性を検討したところ、ＣＷＵ
＝７．０μｍ、ＣＷＤ＝９．５μｍの磁気ヘッドを用い
た場合に比べてＳ／Ｎ比が８．６％増加した。Using this thin film magnetic head, we investigated the writing and reading characteristics for a magnetic disk device and found that CWU
The S/N ratio increased by 8.6% compared to the case where a magnetic head with CWD = 7.0 μm and CWD = 9.5 μm was used.
第８図は、本発明を適用したトラック密度が、１インチ
当り３０００トラツクである磁気ディスク装置を用いた
薄膜磁気ヘッドの記録媒体対向面に露出している部分の
磁気コア形状を表している。FIG. 8 shows the shape of the magnetic core of the portion exposed to the surface facing the recording medium of a thin film magnetic head using a magnetic disk device to which the present invention has a track density of 3000 tracks per inch.
磁気コアとしてマグネトロンスパッタ法で作製した磁性
材料を用い、これをイオンビームエツチング法でパター
ン形成して作製した薄膜磁気ヘッドの形状を表している
。This figure shows the shape of a thin-film magnetic head manufactured by using a magnetic material manufactured by magnetron sputtering as a magnetic core and patterning it by ion beam etching.
また、下部磁気コア８３を作製した後、その側部及び上
端部に非磁性絶縁材料８４を堆積し、下部磁気コア８３
上部に溝８５を形成して磁気ギャップ膜８２を形成した
。Further, after producing the lower magnetic core 83, a non-magnetic insulating material 84 is deposited on the side and upper end portions of the lower magnetic core 83.
A groove 85 was formed in the upper part, and a magnetic gap film 82 was formed.
この方法を用いることにより、ＣＷＵ寸法を高精度に制
御することができた。By using this method, the CWU dimensions could be controlled with high precision.
上部磁気コア８１の磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷ
Ｕ）は６．０μｍであり、下部磁気コア８３の磁気ギャ
ップを臨む辺の長さ（ＣＷＤ）は７．２μｍである。The length of the side of the upper magnetic core 81 facing the magnetic gap (CW
U) is 6.0 μm, and the length (CWD) of the side of the lower magnetic core 83 facing the magnetic gap is 7.2 μm.
この薄膜磁気ヘッドを用いて、磁気ディスク装置に対す
る書き込み及び読み出し特性を検討したところ、ＣＷｔ
Ｊ＝６．０μｍ、ＣＷＤ＝８．０μｍの磁気ヘッドを用
いた場合に比べてＳ／Ｎ比が８．６％増加した。Using this thin film magnetic head, we investigated the writing and reading characteristics for a magnetic disk device and found that CWt
The S/N ratio increased by 8.6% compared to the case where a magnetic head with J=6.0 μm and CWD=8.0 μm was used.
本発明によれば、１インチ当り１８００トラツク以上の
トラック密度を有する磁気ディスク装置に対して、高い
Ｓ／Ｎ比を示す薄膜磁気ヘッドが達成できるため、記録
密度の大きい磁気ディスク装置が実現できる。According to the present invention, a thin film magnetic head exhibiting a high S/N ratio can be achieved for a magnetic disk device having a track density of 1800 tracks per inch or more, so a magnetic disk device with a high recording density can be realized.
さらに、かかる高記録密度の磁気ディスク装置に用いら
れる薄膜磁気ヘッドの磁気コア形状など具備すべき要件
を明らかにできた。Furthermore, we were able to clarify the requirements that should be met, such as the shape of the magnetic core of the thin-film magnetic head used in such high-recording-density magnetic disk drives.
また、かかる高記録密度の磁気ディスク装置に使用され
る薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスクが明らかにできた。Furthermore, a thin film magnetic head and a magnetic disk used in such a high recording density magnetic disk device have been revealed.
第１図は、本発明の磁気ディスク装置の一実施例を示す
概略構成図、第２図、第３図及び第８図は５本発明の一
実施例を示す薄膜磁気ヘッドの磁気ディスク対向面にお
ける磁気コア形状を表わす正面図、第４図は、磁気ギャ
ップの延長線方向距離と磁界強さとの関係を表わす特性
図、第５図は、上部磁気コアと下部磁気コアとの差と信
号及び雑音強度との関係を表わす特性図、第６図は、上
部磁気コアと下部磁気コアとの差とＳ／Ｎ比との関係を
表わす特性図、第７図は、トラック密度の逆数と薄膜磁
気ヘッドの上部磁気コアと下部磁気コアとの差の量限界
値との関係を表わす特性図、第９図は、−船釣な薄膜磁
気ヘッドの磁気コア形状を表わす正面図、第１０図は、
磁気ディスクにおけるトラックと薄膜磁気ヘッドとの関
係図、第１１図は薄膜磁気ヘッドの構成図である。
１１．１４・・・上部磁気コア、１２．１５・・・磁気
ギ第
Ｚ
図
茶３
図
△Ｃｗ ＝ｌ Ｃｗｏ −ｃｗｕ ｌ
△の
Δ６ノ
’／ｊｒ （ｘｌＯ−キイ＞’ｔ／’ｔうｙ７）第１
１０
１０のFIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a magnetic disk device of the present invention, and FIGS. FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the length of the magnetic gap in the extension direction and the magnetic field strength, and FIG. Figure 6 is a characteristic diagram showing the relationship between the noise intensity and the difference between the upper and lower magnetic cores and the S/N ratio. Figure 7 is the relationship between the reciprocal of track density and thin film magnetism. FIG. 9 is a characteristic diagram showing the relationship between the quantity limit value of the difference between the upper magnetic core and the lower magnetic core of the head, and FIG.
FIG. 11 is a diagram showing the relationship between tracks on a magnetic disk and a thin film magnetic head. FIG. 11 is a diagram showing the structure of the thin film magnetic head. 11.14... Upper magnetic core, 12.15... Magnetic gear Z Figure 3 Figure △Cw = l Cwo -cwu l △'s Δ6ノ'/jr (xlO-key>'t/'t y7) 1st
10 10
Claims (1)
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記磁気ディスクとの対向面に露出している前記薄膜磁
気ヘッドの磁気ギャップを臨む磁気コアの辺の長さが上
部磁気コアと下部磁気コアとで異なり、両辺の差（ΔＣ
Ｗ、単位μｍ）が磁気ディスクトラック密度（Ｔｒ）１
８００ＴＰＩ以上のもので、 ０＜ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 ２、情報を記録する磁気ディスクと、 該磁気ディスクに対して情報の書き込み及び読み出しを
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記磁気ディスクが１インチ当り１８００トラック以上
のトラック密度（Ｔｒ）を有し、前記薄膜磁気ヘッドの
該磁気ディスクとの対向面に露出している、上記磁気コ
アの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＵ）と下部磁気
コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＤ）との差（
ΔＣＷ、単位μｍ）が ０＜ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 ３、請求項２において、前記上部磁気コアと前記下部磁
気コアとの磁気ギャップを臨む辺の長さの差（ΔＣＷ、
単位μｍ）が ０．２≦ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 ４、情報を記録する磁気ディスクと、 該磁気ディスクに対して情報の書き込み及び読み出しを
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記磁気ディスクは１インチ当り１８００トラック以上
のトラック密度（Ｔｒ）を有し、かつ前記薄膜磁気ヘッ
ドは、前記磁気ディスクに対向している面に露出してい
る、上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷ
Ｕ）と下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ （ＣＷＤ）との左右端部におけるそれぞれの差（ΔＣＷ
′、単位μｍ）が、 ０＜ΔＣＷ′≦２５００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 ５、請求項４において、前記上部磁気コアと前記下部磁
気コアとの磁気ギャップを臨む辺の長さの左右端部にお
けるそれぞれの差（ΔＣＷ′、単位μｍ）が ０．１≦ΔＣＷ′≦２５００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 ６、請求項２又は３において、前記薄膜磁気ヘッドの前
記磁気ディスクとの対向面に露出している上部磁気コア
が、前記下部磁気コアと略平行な中心部と、前記下部磁
気コアから離れる方向に延長している左右端部とを有す
ることを特徴とする磁気ディスク装置。 ７、請求項４又は５において、前記薄膜磁気ヘッドの前
記磁気ディスクとの対向面に露出している前記上部磁気
コアが、前記下部磁気コアと略平行な中心部と、前記下
部磁気コアから離れる方向に延長している左右端部とを
有することを特徴とする磁気ディスク装置。８、請求項
２、３、４、５、６又は７のいずれか１項において、前
記薄膜磁気ヘッドの前記磁気ディスクとの対向面に露出
している上部磁気コアおよび下部コアが、磁気コアの書
き込み及び読み出し方向における中心対称軸に対して略
対称に配置されていることを特徴とする磁気ディスク装
置。 ９、請求項２、３、４、５、６、７又は８のいずれか１
項において、前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気ディスクと
の対向面に露出している上部磁気コアの磁気ギャップを
臨む辺の長さが、前記下部磁気コアの磁気ギャップを臨
む辺の長さより短いことを特徴とする磁気ディスク装置
。 １０、請求項２、３、４、５、６、７、８又は９のいず
れか１項において、前記磁気ディスクが、１インチ当り
３０キロビット以上の線記録密度を有することを特徴と
する磁気ディスク装置。 １１、請求項２、３、４、５、６、７、８又は９のいず
れか１項において、前記磁気ディスクが、１平方インチ
当り５４メガビット以上の面記録密度を有することを特
徴とする磁気ディスク装置。 １２、請求項２、３、４、５、６、７、８又は９のいず
れか１項において、前記磁気ディスクか、該磁気ディス
ク表面に保磁力が６００エルステッド以上でかつ厚さが
０．３５μｍ以下である磁性体を有することを特徴とす
る磁気ディスク装置。 １３、請求項２、３、４、５、６、７、８、９、１０、
１１又は１２のいずれか１項において、前記薄膜磁気ヘ
ッドは、 上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＵ）
又は下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷ
Ｄ）のいずれか短い方の磁気コアについて、 該磁気コアの側端辺と該磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺とのなす角度（θ＿Ｓ）が、 ４５°≦θ＿Ｓ≦１５０° の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 １４、請求項２、３、４、５、６、７、８、９、１０、
１１又は１２のいずれか１項において、前記薄膜磁気ヘ
ッドは、 上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＵ）
又は下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷ
Ｄ）のいずれか長い方の磁気コアについて、 該磁気コアの側端辺と該磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺とのなす角度（θ＿Ｌ）が ４５°≦θ＿Ｓ≦１５０° の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 １５、請求項２、３、４、５、６、７、８、９、１０、
１１又は１２のいずれか１項において、前記薄膜磁気ヘ
ッドは、 上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＵ）
又は下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷ
Ｄ）のいずれか短い方の磁気コアについて、 該磁気コアの側端辺と該磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺とのなす角度（θ＿Ｓ）が ４５°≦θ＿Ｓ≦１５０° の関係を満たし、かつ、 前記短い方の磁気コアに相対する磁気コアについて、 該磁気コアの側端辺と該磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺とのなす角度（θ＿Ｌ）が ９１°≦θ＿Ｌ≦１５０° の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 １６、請求項１０、１１、１２、１３、１４又は１５の
いずれか１項において、前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気
コアは、飽和磁束密度が１テスラ以上の磁性材料から成
り、単層膜構造であることを特徴とする磁気ディスク装
置。 １７、請求項１０、１１、１２、１３、１４又は１５の
いずれか１項において、前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気
コアは、飽和磁束密度が１テスラ以上の磁性材料から成
り、１層以上の非磁性膜を介在した多層膜構造であるこ
とを特徴とする磁気ディスク装置。 １８、請求項１６又は１７において、前記薄膜磁気ヘッ
ドは、導体コイルが１８ターン以上であることを特徴と
する磁気ディスク装置。 １９、請求項１６、１７又は１８のいずれか１項におい
て、前記薄膜磁気ヘッドは、前記磁気ディスクからの浮
上量が０．２５μｍ以下であることを特徴とする磁気デ
ィスク装置。 ２０、請求項２、３、４、５、６、７、８、９、１０、
１１、１２、１３、１４又は１５のいずれか１項におい
て、前記薄膜磁気ヘッドは、磁性材料をスパッタリング
で堆積したのちドライ又はウェットエッチングによりパ
ターン形成した上部磁気コア又は下部磁気コアを備えた
ことを特徴とする磁気ディスク装置。 ２１、請求項２、３、４、５、６、７、８、９、１０、
１１、１２、１３、１４又は１５のいずれか１項におい
て、前記薄膜磁気ヘッドは、ホトレジストをマスク材と
した選択めつき法を用いてパターン形成した上部磁気コ
ア又は下部磁気コアを備えたことを特徴とする磁気ディ
スク装置。 ２２、請求項６、７、８、９、１０、１１、１２、１３
、１４又は１５のいずれか１項において、前記薄膜磁気
ヘッドは、前記下部磁気コアの側部及び上両端部に非磁
性絶縁層を有し、該非磁性絶縁層により形成された前記
下部磁気コアにおける溝の底部で最も磁気ギャップの短
い部分を形成したことを特徴とする磁気ディスク装置。 ２３、下部磁気コアと、下部磁気コア上に形成され、一
端が下部磁気コアの一端に接し、他端が下部磁気コアの
他端と磁気ギャップを介して対向する上部磁気コアと、
前記両磁気コア間に磁気回路と交差するように巻回され
た導体コイルと、上部磁気コアと下部磁気コアとの間に
介在した絶縁層とを具備し、トラック密度（Ｔｒ）が１
８００ＴＰＩ以上の磁気ディスクを有する磁気ディスク
装置に具備される薄膜磁気ヘッドにおいて、前記磁気デ
ィスクとの対向面に露出している前記薄膜磁気ヘッドの
磁気ギャップを臨む磁気コアの辺の長さが上部磁気コア
と下部磁気コアとで異なり、両辺の差（ΔＣＷ、単位μ
ｍ）が ０＜ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする薄膜磁気ヘツド。 ２４、磁気的に書き込み又は読み出しを行うヘッド・デ
ィスク・アッセンブリ（ＨＤＡ）と、 書き込み及び読み出しを切り換えるＷ／Ｒ回路と、 上位装置に前記Ｗ／Ｒ回路を介在して前記ＨＤＡを接合
するインターフェイスと、 を具備する記録システムにおいて、 前記ＨＤＡは、 情報を記録する磁気ディスクと、 該磁気ディスクに対して情報の書き込み又は読み出しを
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備し、 前記磁気ディスクは１インチ当り１８００トラック以上
のトラック密度（Ｔｒ）を有し、かつ、前記薄膜磁気ヘ
ッドは、前記磁気ディスクに対向している面に露出して
いる上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷ
Ｕ）と下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ （ＣＷＵ）との差（ΔＣＷ、単位μｍ）が ０＜ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする記録システム。 ２５、磁気ディスク装置を用いた情報の記録再生方法で
あって、 １インチ当り１８００トラック以上のトラック密度（Ｔ
ｒ）を有する磁気ディスクを回転すること、 前記磁気ディスクに対して情報を書き込み又は読み出し
を行う薄膜磁気ヘッドを、前記磁気ディスクにアクセス
すること、 前記磁気ディスクに、前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気デ
ィスクに対向している面に露出している、上部磁気コア
の磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＵ）又は下部磁気
コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ（ＣＷＤ）のいずれ
か短い方の幅（トラック幅）で、磁気的に情報を書き込
むこと、 再び、前記磁気ディスクに対して情報を書き込み又は読
み出しを行う薄膜磁気ヘッドを、前記ディスクにアクセ
スすること、 前記磁気ディスクに前記トラック幅で書き込まれた情報
を、ＣＷＵとＣＷＤとの差（ΔＣＷ）が ０＜ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ の関係を満たす薄膜磁気ヘッドを用い、ΔＣＷにおける
磁界のにじみ出し分だけ広く読み出すこと、 を特徴とする情報の記録再生方法。 ２６、情報を記録する磁気ディスクと 該磁気ディスクに対して情報を書き込みを行う薄膜磁気
ヘッドと、 書き込まれた情報を読み出す磁気ヘッドと、前記磁気デ
ィスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記磁気ディスクは１インチ当り１８００トラック以上
のトラック密度（Ｔｒ）を有し、かつ、前記書き込みに
用いられた薄膜磁気ヘッドは、前記磁気ディスクに対向
している面に露出している、上部磁気コアの磁気ギャッ
プを臨む辺の長さ（ＣＷＵ）と下部磁気コアの磁気ギャ
ップを臨む辺の長さ（ＣＷＤ）との差（ΔＣＷ、単位μ
ｍ）が、 ０＜ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。 ２７、情報を記録する、トラック密度（Ｔｒ）１８００
ＴＰＩ以上を有する磁気ディスクと、 該磁気ディスクに対して情報の書き込み及び読み出しを
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気ディスクと対向する面に
露出した磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さが上部
磁気コアと下部磁気コアとで異なり、両辺の差（ΔＣＷ
、単位μｍ）が、０＜ΔＣＷ≦５０００／Ｔｒ の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。[Claims] 1. A magnetic disk for recording information, a thin film magnetic head for writing and reading information on the magnetic disk, means for rotating the magnetic disk, and means for positioning the thin film magnetic head. In the magnetic disk drive comprising: the upper magnetic core and the lower magnetic core have different lengths of sides of the magnetic core facing the magnetic gap of the thin film magnetic head exposed on the surface facing the magnetic disk; Difference between both sides (ΔC
W, unit μm) is the magnetic disk track density (Tr)1
A magnetic disk device having a TPI of 800 TPI or more and satisfying the following relationship: 0<ΔCW≦5000/Tr. 2. A magnetic device comprising: a magnetic disk for recording information; a thin film magnetic head for writing and reading information on and from the magnetic disk; means for rotating the magnetic disk; and means for positioning the thin film magnetic head. In the disk device, the magnetic disk has a track density (Tr) of 1800 tracks per inch or more, and faces a magnetic gap of the magnetic core exposed on a surface of the thin-film magnetic head facing the magnetic disk. The difference between the length of the side (CWU) and the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (CWD) (
A magnetic disk device characterized in that ΔCW (unit: μm) satisfies the relationship 0<ΔCW≦5000/Tr. 3. In claim 2, the difference in length of the side facing the magnetic gap (ΔCW,
1. A magnetic disk device characterized in that ΔCW (unit: μm) satisfies the relationship: 0.2≦ΔCW≦5000/Tr. 4. A magnetic device comprising: a magnetic disk for recording information; a thin film magnetic head for writing and reading information on and from the magnetic disk; means for rotating the magnetic disk; and means for positioning the thin film magnetic head. In the disk device, the magnetic disk has a track density (Tr) of 1800 tracks per inch or more, and the thin-film magnetic head has an upper magnetic core exposed on a surface facing the magnetic disk. Length of the side facing the magnetic gap (CW
U) and the length (CWD) of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core at the left and right ends (ΔCW
A magnetic disk device characterized in that 0<ΔCW'≦2500/Tr (unit: μm) satisfies the following relationship. 5. In claim 4, the difference (ΔCW', unit μm) between the lengths of the sides facing the magnetic gap between the upper magnetic core and the lower magnetic core at the left and right ends is 0.1≦ΔCW′≦2500. A magnetic disk device characterized by satisfying the relationship: /Tr. 6. In claim 2 or 3, the upper magnetic core exposed on the surface of the thin film magnetic head facing the magnetic disk has a center portion substantially parallel to the lower magnetic core and a direction away from the lower magnetic core. What is claimed is: 1. A magnetic disk drive having left and right end portions extending from one side to the other. 7. In claim 4 or 5, the upper magnetic core exposed on the surface of the thin-film magnetic head facing the magnetic disk is separated from a central portion substantially parallel to the lower magnetic core and from the lower magnetic core. A magnetic disk device characterized by having left and right end portions extending in the direction. 8. In any one of claims 2, 3, 4, 5, 6, or 7, an upper magnetic core and a lower core exposed on a surface of the thin film magnetic head facing the magnetic disk are A magnetic disk device characterized in that the magnetic disk device is arranged substantially symmetrically with respect to a central symmetry axis in writing and reading directions. 9. Any one of claims 2, 3, 4, 5, 6, 7 or 8
In paragraph 1, the length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core exposed on the surface facing the magnetic disk of the thin film magnetic head is shorter than the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core. Features of magnetic disk device. 10. The magnetic disk according to any one of claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, or 9, wherein the magnetic disk has a linear recording density of 30 kilobits per inch or more. Device. 11. The magnetic disk according to any one of claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, or 9, wherein the magnetic disk has an areal recording density of 54 megabits per square inch or more. disk device. 12. In any one of claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, or 9, the magnetic disk or the surface of the magnetic disk has a coercive force of 600 Oe or more and a thickness of 0.35 μm. A magnetic disk device characterized by having a magnetic material as follows. 13. Claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10,
In any one of Items 11 and 12, the thin film magnetic head has a length (CWU) of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core.
Or the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (CW
Regarding the shorter magnetic core of D), the angle (θ_S) between the side edge of the magnetic core and the side of the magnetic core facing the magnetic gap satisfies the following relationship: 45°≦θ_S≦150° A magnetic disk device featuring: 14, Claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10,
In any one of Items 11 and 12, the thin film magnetic head has a length (CWU) of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core.
Or the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (CW
For either of the longer magnetic cores in D), the angle (θ_L) between the side edge of the magnetic core and the side of the magnetic core facing the magnetic gap satisfies the relationship 45°≦θ_S≦150°. Features of magnetic disk device. 15, Claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10,
In any one of Items 11 and 12, the thin film magnetic head has a length (CWU) of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core.
Or the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (CW
For either of the shorter magnetic cores in D), the angle (θ_S) between the side edge of the magnetic core and the side of the magnetic core facing the magnetic gap satisfies the relationship 45°≦θ_S≦150°, and , Regarding the magnetic core opposite to the shorter magnetic core, the angle (θ_L) formed between the side edge of the magnetic core and the side of the magnetic core facing the magnetic gap satisfies the following relationship: 91°≦θ_L≦150° A magnetic disk device characterized by: 16. In any one of claims 10, 11, 12, 13, 14, and 15, the magnetic core of the thin film magnetic head is made of a magnetic material with a saturation magnetic flux density of 1 Tesla or more, and has a single-layer film structure. A magnetic disk device characterized by the following. 17. In any one of claims 10, 11, 12, 13, 14, or 15, the magnetic core of the thin film magnetic head is made of a magnetic material with a saturation magnetic flux density of 1 Tesla or more, and has one or more non-conductive layers. A magnetic disk device characterized by having a multilayer structure with a magnetic film interposed therebetween. 18. A magnetic disk device according to claim 16 or 17, wherein the thin film magnetic head has a conductor coil having 18 turns or more. 19. The magnetic disk device according to claim 16, 17 or 18, wherein the thin film magnetic head has a flying height above the magnetic disk of 0.25 μm or less. 20, Claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10,
In any one of Items 11, 12, 13, 14, and 15, the thin film magnetic head includes an upper magnetic core or a lower magnetic core in which a magnetic material is deposited by sputtering and then patterned by dry or wet etching. Features of magnetic disk device. 21, Claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10,
In any one of Items 11, 12, 13, 14, and 15, the thin film magnetic head includes an upper magnetic core or a lower magnetic core patterned using a selective plating method using photoresist as a mask material. Features of magnetic disk device. 22, Claims 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13
, 14 or 15, the thin film magnetic head has a non-magnetic insulating layer on the side and upper ends of the lower magnetic core, and the lower magnetic core formed by the non-magnetic insulating layer A magnetic disk device characterized in that the shortest magnetic gap is formed at the bottom of the groove. 23. a lower magnetic core; an upper magnetic core formed on the lower magnetic core, one end of which is in contact with one end of the lower magnetic core, and the other end of which is opposed to the other end of the lower magnetic core via a magnetic gap;
A conductor coil is wound between the two magnetic cores so as to cross the magnetic circuit, and an insulating layer is interposed between the upper magnetic core and the lower magnetic core, and the track density (Tr) is 1.
In a thin film magnetic head included in a magnetic disk device having a magnetic disk of 800 TPI or more, the length of the side of the magnetic core facing the magnetic gap of the thin film magnetic head exposed on the surface facing the magnetic disk is the upper magnetic field. The core and the lower magnetic core are different, and the difference between both sides (ΔCW, unit μ
A thin film magnetic head characterized in that m) satisfies the relationship 0<ΔCW≦5000/Tr. 24. A head disk assembly (HDA) that magnetically writes or reads, a W/R circuit that switches between writing and reading, and an interface that connects the HDA to a host device via the W/R circuit. In the recording system, the HDA includes: a magnetic disk for recording information; a thin film magnetic head for writing information to or reading information from the magnetic disk; means for rotating the magnetic disk; head positioning means; the magnetic disk has a track density (Tr) of 1800 tracks per inch or more, and the thin film magnetic head is exposed on a surface facing the magnetic disk. The length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core (CW
A recording system characterized in that the difference (ΔCW, unit μm) between U) and the length (CWU) of the side of the lower magnetic core facing the magnetic gap satisfies the relationship 0<ΔCW≦5000/Tr. 25. A method for recording and reproducing information using a magnetic disk device, comprising a track density of 1800 tracks per inch or more (T
r) rotating a magnetic disk having a magnetic disk; accessing the magnetic disk with a thin film magnetic head that writes information to or reads information from the magnetic disk; Width of the shorter of the length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core (CWU) or the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (CWD) exposed on the surface facing the (track width); accessing the disk with a thin-film magnetic head that writes or reads information on the magnetic disk; writing information on the magnetic disk with the track width; Using a thin film magnetic head in which the difference between CWU and CWD (ΔCW) satisfies the relationship 0<ΔCW≦5000/Tr, the information is read out as widely as the magnetic field oozes out at ΔCW. Recording and playback method. 26. A magnetic disk for recording information, a thin film magnetic head for writing information on the magnetic disk, a magnetic head for reading the written information, means for rotating the magnetic disk, and positioning of the thin film magnetic head. In the magnetic disk device, the magnetic disk has a track density (Tr) of 1800 tracks per inch or more, and the thin-film magnetic head used for writing faces the magnetic disk. The difference (ΔCW, unit μ
m) satisfies the following relationship: 0<ΔCW≦5000/Tr. 27. Track density (Tr) for recording information: 1800
A magnetic disk device comprising: a magnetic disk having a TPI or higher; a thin film magnetic head that writes information to and reads information from the magnetic disk; means for rotating the magnetic disk; and means for positioning the thin film magnetic head. The length of the side facing the magnetic gap of the magnetic core exposed on the surface facing the magnetic disk of the thin-film magnetic head is different between the upper magnetic core and the lower magnetic core, and the difference between both sides (ΔCW
, unit μm) satisfies the relationship 0<ΔCW≦5000/Tr.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63233430A JP2728455B2 (en) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | Thin-film magnetic head, magnetic disk device using the same, and information recording / reproducing method |
| DE19893931374 DE3931374C2 (en) | 1988-09-20 | 1989-09-20 | Thin film magnetic head for writing and / or reading information on or from a magnetic disk |
| US07/963,039 US5296979A (en) | 1988-09-20 | 1992-10-19 | Magnetic disc apparatus with thin film head suitable for high-density recording |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63233430A JP2728455B2 (en) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | Thin-film magnetic head, magnetic disk device using the same, and information recording / reproducing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0283801A true JPH0283801A (en) | 1990-03-23 |
| JP2728455B2 JP2728455B2 (en) | 1998-03-18 |
Family
ID=16954919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63233430A Expired - Lifetime JP2728455B2 (en) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | Thin-film magnetic head, magnetic disk device using the same, and information recording / reproducing method |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2728455B2 (en) |
| DE (1) | DE3931374C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05342527A (en) * | 1992-06-09 | 1993-12-24 | Hitachi Ltd | Production of thin-film magnetic head |
| US5406434A (en) * | 1990-11-06 | 1995-04-11 | Seagate Technology, Inc. | Thin film head with contoured pole face edges for undershoot reduction |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR930010862A (en) * | 1991-11-12 | 1993-06-23 | 씨릴 제이. 얀순이 | Thin film magnetic head with narrow yoke |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4219855A (en) * | 1978-12-21 | 1980-08-26 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic head |
| JPS62212910A (en) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | Fujitsu Ltd | Thin film magnetic head |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP63233430A patent/JP2728455B2/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-20 DE DE19893931374 patent/DE3931374C2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5406434A (en) * | 1990-11-06 | 1995-04-11 | Seagate Technology, Inc. | Thin film head with contoured pole face edges for undershoot reduction |
| JPH05342527A (en) * | 1992-06-09 | 1993-12-24 | Hitachi Ltd | Production of thin-film magnetic head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3931374C2 (en) | 1996-01-18 |
| DE3931374A1 (en) | 1990-03-22 |
| JP2728455B2 (en) | 1998-03-18 |
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|
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