JPH0283428A - 自動複屈折測定装置 - Google Patents
自動複屈折測定装置Info
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- JPH0283428A JPH0283428A JP23721288A JP23721288A JPH0283428A JP H0283428 A JPH0283428 A JP H0283428A JP 23721288 A JP23721288 A JP 23721288A JP 23721288 A JP23721288 A JP 23721288A JP H0283428 A JPH0283428 A JP H0283428A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/30—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
- G01M11/33—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face
- G01M11/331—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face by using interferometer
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光ディスクメモリ基扱゛、レンズ、液晶用ガ
ラス基板、光学結晶等に残留する光学的歪による複屈折
量とその進相軸方位を精度よく自動的に測定することが
できる自動複屈折測定装置に関する。
ラス基板、光学結晶等に残留する光学的歪による複屈折
量とその進相軸方位を精度よく自動的に測定することが
できる自動複屈折測定装置に関する。
（従来の技術）
２つの周波数からなりその偏光状態が互いに直角に交わ
る直線偏光からなる光（例えばゼーマンレーザ）を用い
て透明物体の光学的歪による複屈折量を、その光の周波
数差ビート信号の位相変化から測定する方法（例えば特
公昭５９−５０９２７号公報）が開発されている。
る直線偏光からなる光（例えばゼーマンレーザ）を用い
て透明物体の光学的歪による複屈折量を、その光の周波
数差ビート信号の位相変化から測定する方法（例えば特
公昭５９−５０９２７号公報）が開発されている。
この方法を、実施するための基本的な構成を示す第３図
を参照して簡単に説明する。
を参照して簡単に説明する。
光源りは、２つの直線偏光方位が紙面に垂直なＸ方向と
紙面内のＸ方向に平行で、かつ、発振光周波数が互いに
数百ＫＨ２だけ異なる光を同時に発振している。
紙面内のＸ方向に平行で、かつ、発振光周波数が互いに
数百ＫＨ２だけ異なる光を同時に発振している。
光源りからの光は、半透鏡ＨＭを介して複屈折量を測り
たい透光性の測定試料Ｓを通過し、方向がＸ方向から４
５°傾いた直線偏光子ＬＰ１に入射させられる。
たい透光性の測定試料Ｓを通過し、方向がＸ方向から４
５°傾いた直線偏光子ＬＰ１に入射させられる。
ただし、複屈折性をもつ測定試料Ｓの主軸方位はＸ方向
、もしくはＸ方向に一致しているものとする。
、もしくはＸ方向に一致しているものとする。
このとき光源りの光が測定試料Ｓを通過する前後で複屈
折性をもつその測定試料の複屈折量によってその光の位
相遅れに違いが生じる。
折性をもつその測定試料の複屈折量によってその光の位
相遅れに違いが生じる。
そこで、直線偏光子ＬＰ１を用いてｘ、 ｙ成分を干
渉させ、２つの成分の差周波ビートを光電検出器ＰＨ，
で検出すると、その交流信号の位相成分は測定試料Ｓの
複屈折量に比例する。
渉させ、２つの成分の差周波ビートを光電検出器ＰＨ，
で検出すると、その交流信号の位相成分は測定試料Ｓの
複屈折量に比例する。
レーザ光束が測定試料Ｓに入射する前にその一部を半透
鏡ＨＭで抜き出し、４５°直線偏光子ＬＰ２で２成分を
干渉させ光電検出器ＰＨ２によって得られたビート信号
を参照信号として、前述の測定信号と電気位相計で位相
差を測定することによって複屈折量が求められる。
鏡ＨＭで抜き出し、４５°直線偏光子ＬＰ２で２成分を
干渉させ光電検出器ＰＨ２によって得られたビート信号
を参照信号として、前述の測定信号と電気位相計で位相
差を測定することによって複屈折量が求められる。
これを数式で示すと以下のようになる。
測定試料Ｓに入射する前のｘ、Ｘ方向の電界成分Ｅｘ、
Ｅ、は、 Ｅｘ ”ａｘｃｏｓωχｔ Ｅｙ ＝ａｙ ｃｏｓωｙ ｔ ・・
・（１）と書ける。
Ｅ、は、 Ｅｘ ”ａｘｃｏｓωχｔ Ｅｙ ＝ａｙ ｃｏｓωｙ ｔ ・・
・（１）と書ける。
ここで、ａｘ、ａｙは振幅、ωえ、ωνは角周波数であ
る。
る。
透光性物体の厚みをｄ、Ｘ方向の屈折率をｎ工。
Ｘ方向の屈折率をｎｙ、波数をｋとすると透光性物体を
通過した光の電界成分Ｅｘ、Ｅｙは次のように変化する
。
通過した光の電界成分Ｅｘ、Ｅｙは次のように変化する
。
Ｅ、 ＝ａｘＣＯ３（（＋７ｘｔ ＋ｋ ｄ ｎｘ）Ｅ
ｙ −ａｙ ｃｏｓ（ωｙ ｔ＋ｋｄｎｙ ）
・・・（２）（２）式の光を４５°方位の直線偏光子を
通して干渉させ、それを光電検出すると得られる光電流
は次式のようになる。
ｙ −ａｙ ｃｏｓ（ωｙ ｔ＋ｋｄｎｙ ）
・・・（２）（２）式の光を４５°方位の直線偏光子を
通して干渉させ、それを光電検出すると得られる光電流
は次式のようになる。
Ｔ＝ （ａｘ ” ＋ａ、 ２ ＋’ｌａｘ ａ
ｙ ｃｏｓ（（ｃ＋ｂ ｔ＋ｋｄ （ｎｘ −ｆｌｙ
） ） ） ／ ２ ・・１３）ここで、ω６＝
ωニーω、となって２つの偏光成分の周波数差である。
ｙ ｃｏｓ（（ｃ＋ｂ ｔ＋ｋｄ （ｎｘ −ｆｌｙ
） ） ） ／ ２ ・・１３）ここで、ω６＝
ωニーω、となって２つの偏光成分の周波数差である。
一方（１）式の光も、同様に４５°方位置線偏光子を用
いて干渉させて、光電流を検出する。
いて干渉させて、光電流を検出する。
Ｉｒｅｆ ＝ （ａＸ２＋ａ、 ２＋’ｌａ、 ａｙ
ＣＯ２Ｏ３） ｔ）／２
・・・（４）（３）、（４）式は、２つの成分の差周波
ビートを表しており、ωｂは、数百ＫＨｚであるから通
常の電気位相針を用いて２つの交流信号の位相差δを求
めることができる。
ＣＯ２Ｏ３） ｔ）／２
・・・（４）（３）、（４）式は、２つの成分の差周波
ビートを表しており、ωｂは、数百ＫＨｚであるから通
常の電気位相針を用いて２つの交流信号の位相差δを求
めることができる。
その結果（３）、（４）式よりδは、λを平均波長とし
て次のようになる。
て次のようになる。
δ＝ｄ （ｎｘ−ｎｙ ）２ｙｃ／λ ・・・・・（５
）すなわち位相針の出力は、透光性物体の複屈折量ｎニ
ーｎνに比例することがわかる。
）すなわち位相針の出力は、透光性物体の複屈折量ｎニ
ーｎνに比例することがわかる。
（発明が解決しようとする課題）
以上のように２周波直交偏光光を用いて透光性の測定対
象の複屈折量を交流信号の位相差から精度よく測定でき
ることがわかった。しかしこの従来の測定法には以下に
述べる問題点がある。
象の複屈折量を交流信号の位相差から精度よく測定でき
ることがわかった。しかしこの従来の測定法には以下に
述べる問題点がある。
（４）式を求める過程において、測定対象の複屈折の進
相軸方位は既知であり、２周波直交偏光光源の直線偏光
方位の１つに平行であると仮定した。
相軸方位は既知であり、２周波直交偏光光源の直線偏光
方位の１つに平行であると仮定した。
しかし、実際の透光性の測定対象、たとえばレンズや液
晶ガラス基板の歪により生じる複屈折の主軸方位は不明
である。
晶ガラス基板の歪により生じる複屈折の主軸方位は不明
である。
もし光源の直線偏光方位と測定対象の複屈折主軸方位が
一致しない場合、真の複屈折量より小さな値となって測
定誤差を生じる。
一致しない場合、真の複屈折量より小さな値となって測
定誤差を生じる。
本発明の目的は、測定対象の複屈折の進相軸方位が不明
であっても、その複屈折量と進相軸方位を精度よく自動
的に測定することができる自動複屈折測定装置を提供す
ることにある。
であっても、その複屈折量と進相軸方位を精度よく自動
的に測定することができる自動複屈折測定装置を提供す
ることにある。
（課題を解決するための手段）
前記目的を達成するため、本発明による自動複屈折測定
装置は、周波数差をもつ２つの直交した偏光成分から成
る２周波直交偏光レーザ光源と、前記レーザ光源の光軸
上に対向して配置されている光電検出器と、前記レーザ
光源と光電検出器を結ぶ光路中に光軸の周りに回転可能
に配置されている２分の１波長板と、前記光路中に前記
２分の１波長板に続いて配置され光軸の周りに回転可能
に配置される直線偏光子と、前記２分の１波長板と直線
偏光子との間に設けられている複屈折測定試料配置部と
、前記２分の１波長板の回転に対して前記直線偏光子の
回転が２倍になるように同期させて駆動する駆動手段と
、前記２分の１波長板が１回転した時光電検出器によっ
て得られる検出出力より進相軸方位または複屈折量を測
定する演算装置から構成されている。
装置は、周波数差をもつ２つの直交した偏光成分から成
る２周波直交偏光レーザ光源と、前記レーザ光源の光軸
上に対向して配置されている光電検出器と、前記レーザ
光源と光電検出器を結ぶ光路中に光軸の周りに回転可能
に配置されている２分の１波長板と、前記光路中に前記
２分の１波長板に続いて配置され光軸の周りに回転可能
に配置される直線偏光子と、前記２分の１波長板と直線
偏光子との間に設けられている複屈折測定試料配置部と
、前記２分の１波長板の回転に対して前記直線偏光子の
回転が２倍になるように同期させて駆動する駆動手段と
、前記２分の１波長板が１回転した時光電検出器によっ
て得られる検出出力より進相軸方位または複屈折量を測
定する演算装置から構成されている。
また、本発明によるさらに他の自動複屈折測定装置は、
前記演算装置を前記２分の１波長板の回転周波数の４倍
の交流信号を参照信号とするロックインアンプにより得
られる信号から複屈折測定試料の進相軸方位または複屈
折量を測定するように構成しである。
前記演算装置を前記２分の１波長板の回転周波数の４倍
の交流信号を参照信号とするロックインアンプにより得
られる信号から複屈折測定試料の進相軸方位または複屈
折量を測定するように構成しである。
（実施例）
以下、図面等を参照して、本発明をさらに詳しく説明す
る。
る。
第１図は、本発明による自動複屈折測定装置の実施例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
レーザ光源りは、互いに偏光方位が直交した２つの直線
偏光を同時に発振している。それらの間に数百ＫＨｚの
周波数差がある２つの成分を同時に発↑辰している。
偏光を同時に発振している。それらの間に数百ＫＨｚの
周波数差がある２つの成分を同時に発↑辰している。
前記レーザ光源りからの光はその光軸を中心に、駆動手
段のステッピングモータＳＭ、によって回転させられる
２分の１波長板ＨＷＰを透過して測定試料Ｓに投射され
る。
段のステッピングモータＳＭ、によって回転させられる
２分の１波長板ＨＷＰを透過して測定試料Ｓに投射され
る。
測定試料Ｓからの出射光は、光軸の周りに前記２分の１
波長板ＨＷＰの２倍の速度で駆動手段のステッピングモ
ータＳＭ２によって回転させられる直線偏光子ＬＰ、を
通って、光電検出器ＰＨ，に入射させられる。
波長板ＨＷＰの２倍の速度で駆動手段のステッピングモ
ータＳＭ２によって回転させられる直線偏光子ＬＰ、を
通って、光電検出器ＰＨ，に入射させられる。
駆動手段のステッピングモータＳＭ１．ＳＭ２を駆動す
るステッピングモータ駆動回路ＳＤ、、ＳＤ２には、演
算処理装置のＣＰＵから時計信号が供給されている。
るステッピングモータ駆動回路ＳＤ、、ＳＤ２には、演
算処理装置のＣＰＵから時計信号が供給されている。
光電検出器Ｐ″Ｈ１は、数百ＫＨｚの強度変化に応答し
てレーザ光の２成分の差周波ビート信号を測定信号とし
て出力する。
てレーザ光の２成分の差周波ビート信号を測定信号とし
て出力する。
一方、前記レーザ光源りからのレーザ光が前記２分の１
波長板ＨＷＰに入射する前に一部が半透鏡ＨＭで抜き出
され、４５°直線偏光子ＬＰ２を通して光電検出器ＰＨ
２で検出される。
波長板ＨＷＰに入射する前に一部が半透鏡ＨＭで抜き出
され、４５°直線偏光子ＬＰ２を通して光電検出器ＰＨ
２で検出される。
この検出されたビート信号は演算処理装置で参照信号と
して用いられる。
して用いられる。
演算処理装置の位相針ＰＭには前記測定信号と参照信号
が接続されその位相差が測定され、その出力電圧はアナ
ログ−ディジタル変換器ＡＤＣによってディジタル量に
変換される。
が接続されその位相差が測定され、その出力電圧はアナ
ログ−ディジタル変換器ＡＤＣによってディジタル量に
変換される。
そして、そのデータが中央処理装置ＣＰＵに取り込まれ
処理され出力装置に出力される。
処理され出力装置に出力される。
第１図において、光源りを出射した２周波直交直線偏光
成分からなるレーザ光束は紙面内の成分をＸ成分、垂直
方向をｙ成分とする。
成分からなるレーザ光束は紙面内の成分をＸ成分、垂直
方向をｙ成分とする。
半透鏡ＨＭでその一部が反射され、その反射光は４５゛
直線偏光子ＬＰ２を通して干渉され、２成分の周波数差
が光電検出器ＰＨ２で光ビート信号として検出される。
直線偏光子ＬＰ２を通して干渉され、２成分の周波数差
が光電検出器ＰＨ２で光ビート信号として検出される。
この交流信号を測定系の参照信号とする。
半透鏡ＨＭを透過した光束はステッピングモータＳＭ、
によって回転させられる２分の１波長板ＨＷＰを通る。
によって回転させられる２分の１波長板ＨＷＰを通る。
２分の１波長板）ＩＷＰは、その進相軸を基準としてそ
の相対方位角の２倍だけ入射直線偏光方位を回転させる
機能を持っている。
の相対方位角の２倍だけ入射直線偏光方位を回転させる
機能を持っている。
例えば、水平直線偏光を、進相軸方位が２０”である２
分の１波長板に入射すると、その出射光の直線偏光方位
は４０”となる。
分の１波長板に入射すると、その出射光の直線偏光方位
は４０”となる。
したがって、第１図の２分の１波長板ＨＷ Ｐを出射し
た光の偏光方位は、２分の１波長板ＨＷＰが３６０°回
転すると、７２０°だけ回転することになる。
た光の偏光方位は、２分の１波長板ＨＷＰが３６０°回
転すると、７２０°だけ回転することになる。
そこで、複屈折の進相軸が任意の角度である測定試料Ｓ
に入射すると、入射光の２つの成分のうちより高い周波
数成分の偏光方位と進相軸方位が一致したとき、測定試
料を出射後の２成分の相対リターデーションは正に最大
となり、逆に低い周波数成分の偏光方位と進相軸方位が
一致したとき、負に最大となる。
に入射すると、入射光の２つの成分のうちより高い周波
数成分の偏光方位と進相軸方位が一致したとき、測定試
料を出射後の２成分の相対リターデーションは正に最大
となり、逆に低い周波数成分の偏光方位と進相軸方位が
一致したとき、負に最大となる。
ところで、偏光方位のＯｏと１８０°は同じ方位角を表
しており、また、２分の１波長板ＨＷＰが３６０°回転
するとその出射光の偏光方位は７２０°回転するから、
上記の相対リターデーションは２分の１波長板ＨＷＰ
１回転に対し、４周期の正弦的変化を繰り返すことにな
る。
しており、また、２分の１波長板ＨＷＰが３６０°回転
するとその出射光の偏光方位は７２０°回転するから、
上記の相対リターデーションは２分の１波長板ＨＷＰ
１回転に対し、４周期の正弦的変化を繰り返すことにな
る。
測定試料Ｓの相対リターデーションは、２周波直交偏光
成分間のビートの位相差から検出する。
成分間のビートの位相差から検出する。
このとき、測定試料Ｓの出射光の偏光方位は回転してい
るので、２成分のビートを検出するため、初期方位角が
２分の１波長板ＨＷＰの進相軸方位に対し４５°である
直線偏光子ＬＰ１を２分の１波長板ＨＷＰの倍の角度で
同期しながら回転させる。
るので、２成分のビートを検出するため、初期方位角が
２分の１波長板ＨＷＰの進相軸方位に対し４５°である
直線偏光子ＬＰ１を２分の１波長板ＨＷＰの倍の角度で
同期しながら回転させる。
以上の測定によって２成分位相差の正弦的変化の振幅が
複屈折量、また、２分の１波長板ＨＷＰをＯ°方位から
回転させて最初に位相差が最大になったときの２分の１
波長板ＨＷＰの方位の２倍の角度が複屈折の進相軸方位
である。
複屈折量、また、２分の１波長板ＨＷＰをＯ°方位から
回転させて最初に位相差が最大になったときの２分の１
波長板ＨＷＰの方位の２倍の角度が複屈折の進相軸方位
である。
本発明による装置ではこれを自動式に測定する。
そのために、演算処理装置のＣＰＵからの時計信号によ
り駆動手段を動作させ、２分の１波長板Ｈｗｐと直線偏
光子ｔ、ｐｔの回転を制御する。
り駆動手段を動作させ、２分の１波長板Ｈｗｐと直線偏
光子ｔ、ｐｔの回転を制御する。
２分の１波長板ＨＷＰ １回転に対して位相計ＰＭの出
力電圧をアナログ−ディジタル変換器ＡＤＣを通して演
算処理装置に取り込む。そして、フーリエ変換器ＦＦＴ
によって４周期成分の振幅と初期位相を計算することに
より測定試料Ｓの複屈折量とその進相軸方位が自動的に
求められ、出力装置に出力される。
力電圧をアナログ−ディジタル変換器ＡＤＣを通して演
算処理装置に取り込む。そして、フーリエ変換器ＦＦＴ
によって４周期成分の振幅と初期位相を計算することに
より測定試料Ｓの複屈折量とその進相軸方位が自動的に
求められ、出力装置に出力される。
第２図は本発明による他の自動複屈折測定装置の実施例
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
レーザ光束が２分の１波長板ＨＷＰ、測定試料Ｓ。
直線偏光子ＬＰ１を通過して、光検出器ＰＨ，によって
検出され、演算処理装置の前述と同様に光検出ａＰＨ２
が参照信号として接続されている位相針ＰＭに入力され
る。
検出され、演算処理装置の前述と同様に光検出ａＰＨ２
が参照信号として接続されている位相針ＰＭに入力され
る。
この基本的な光学系は、第１図と変わらないが駆動手段
と演算処理装置の構成が異なっている。
と演算処理装置の構成が異なっている。
検出器ＰＨ，によって検出された２成分の光ビート交流
信号は、演算処理装置のロックインアンプＬＡで同期検
出法によって検出される。
信号は、演算処理装置のロックインアンプＬＡで同期検
出法によって検出される。
駆動手段のステンビングモータ駆動回路ＳＤ、。
ＳＤ２は発振器Ｏ８Ｃにより駆動される。
ステッピングモータＳＭ、により回転させられる２分の
１波長板ＨＷＰに対して直線偏光子ＬＰ。
１波長板ＨＷＰに対して直線偏光子ＬＰ。
がステッピングモータＳＭ２により同期回転させられる
点は前述のとおりである。
点は前述のとおりである。
演算処理装置の位相針ＰＭの出力が接続されているロッ
クインアンプＬＡの参照信号として、２分の１波長板Ｈ
ＷＰに取り付けられ一体に回転する４分割形の光チョッ
パＯＣの出力が用いられる。
クインアンプＬＡの参照信号として、２分の１波長板Ｈ
ＷＰに取り付けられ一体に回転する４分割形の光チョッ
パＯＣの出力が用いられる。
光チョッパ０Ｃ１７）ＬＥＤおよび光検出器によって得
られる２分の１波長板ＨＷＰの回転周波数の４倍の参照
信号がロックインアンプＬＡに接続される。そして、２
分の１波長板ＨＷＰの回転周波数の４倍の周波数成分を
同期検出して、その振幅と基準点からの位相差より測定
試料の複屈折量と進相軸方位が得られる。
られる２分の１波長板ＨＷＰの回転周波数の４倍の参照
信号がロックインアンプＬＡに接続される。そして、２
分の１波長板ＨＷＰの回転周波数の４倍の周波数成分を
同期検出して、その振幅と基準点からの位相差より測定
試料の複屈折量と進相軸方位が得られる。
この方法によってロックインアンプＬＡの出力と位相を
出力装置であるレコーダＣＲに記録する。
出力装置であるレコーダＣＲに記録する。
この装置の特徴は測定時間を前述した装置に比べ短くで
きることである。
きることである。
（発明の効果）
以上詳しく説明したように、本発明による自動複屈折測
定装置では、測定試料の光学的歪による複屈折量を、２
周波直交偏光光波を干渉して得られる光ビート交流信号
の位相ずれとして測定できる。
定装置では、測定試料の光学的歪による複屈折量を、２
周波直交偏光光波を干渉して得られる光ビート交流信号
の位相ずれとして測定できる。
かつ、その進相軸方位も２分の１波長板の回転角度から
容易に得られる。
容易に得られる。
演算処理装置にＣＰＵを用いるとＣＰＵ制御による複屈
折測定が可能となり高精度かつ簡単な測定システムを構
成することが可能である。
折測定が可能となり高精度かつ簡単な測定システムを構
成することが可能である。
また、演算処理装置にロックインアンプを使用する装置
では簡便迅速な測定が可能となる。
では簡便迅速な測定が可能となる。
第１図は、本発明による自動複屈折測定装置の実施例を
示すブロック図である。 第２図は、本発明による他の自動複屈折測定装置の実施
例を示すブロック図である。 第３図は、従来の２周波直交偏光光源による複屈折測定
装置の基本構成を示すブロック図である。 Ｌ・・・２周波直交偏光レーザ光源 ＨＭ・・・半透鏡 ＨＷＰ・・・２分の１波長板 Ｓ、・・・測定試料 ｔ、ｐ、、Ｌｐ２・・・直線偏光子 ＰＨ１＋ ＰＨ２・・・光電検出器 ＳＭ、、ＳＭ２・・・ステンピングモータＳＤ、、ＳＤ
２・・・ステンピングモータ駆動回路ＡＤＣ・・・アナ
ログ−ディジタル変換器ＣＰＵ・・・中央処理装置 ＦＦＴ・・・フーリエ変換器 ＰＩ・・・フォトインタラプタ ＬＡ・・・ロックインアンプ ＯＳＣ・・・発１辰器 ＣＲ・・・記録計 ＰＭ・・・位相針 ＯＣ・・・光チョッパー
示すブロック図である。 第２図は、本発明による他の自動複屈折測定装置の実施
例を示すブロック図である。 第３図は、従来の２周波直交偏光光源による複屈折測定
装置の基本構成を示すブロック図である。 Ｌ・・・２周波直交偏光レーザ光源 ＨＭ・・・半透鏡 ＨＷＰ・・・２分の１波長板 Ｓ、・・・測定試料 ｔ、ｐ、、Ｌｐ２・・・直線偏光子 ＰＨ１＋ ＰＨ２・・・光電検出器 ＳＭ、、ＳＭ２・・・ステンピングモータＳＤ、、ＳＤ
２・・・ステンピングモータ駆動回路ＡＤＣ・・・アナ
ログ−ディジタル変換器ＣＰＵ・・・中央処理装置 ＦＦＴ・・・フーリエ変換器 ＰＩ・・・フォトインタラプタ ＬＡ・・・ロックインアンプ ＯＳＣ・・・発１辰器 ＣＲ・・・記録計 ＰＭ・・・位相針 ＯＣ・・・光チョッパー
Claims (2)
- （１）周波数差をもつ２つの直交した偏光成分から成る
２周波直交偏光レーザ光源と、前記レーザ光源の光軸上
に対向して配置されている光電検出器と、前記レーザ光
源と光電検出器を結ぶ光路中に光軸の周りに回転可能に
配置されている２分の１波長板と、前記光路中に前記２
分の１波長板に続いて配置され光軸の周りに回転可能に
配置される直線偏光子と、前記２分の１波長板と直線偏
光子との間に設けられている複屈折測定試料配置部と、
前記２分の１波長板の回転に対して前記直線偏光子の回
転が２倍になるように同期させて駆動する駆動手段と、
前記２分の１波長板が１回転した時光電検出器によって
得られる検出出力を処理して進相軸方位または複屈折量
を測定する演算処理装置から構成した自動複屈折測定装
置。 - （２）周波数差をもつ２つの直交した偏光成分から成る
２周波直交偏光レーザ光源と、前記レーザ光源の光軸上
に対向して配置されている光電検出器と、前記レーザ光
源と光電検出器を結ぶ光路中に光軸の周りに回転可能に
配置されている２分の１波長板と、前記光路中に前記２
分の１波長板に続いて配置され光軸の周りに回転可能に
配置される直線偏光子と、前記２分の１波長板と直線偏
光子との間に設けられている複屈折測定試料配置部と、
前記２分の１波長板の回転に対して前記直線偏光子の回
転が２倍になるように同期させて駆動する駆動手段と、
前記２分の１波長板の回転周波数の４倍の交流信号を参
照信号とするロックインアンプにより得られる信号から
複屈折測定試料の進相軸方位または複屈折量を測定する
演算処理装置から構成した自動複屈折測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23721288A JPH0612333B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 自動複屈折測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23721288A JPH0612333B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 自動複屈折測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0283428A true JPH0283428A (ja) | 1990-03-23 |
| JPH0612333B2 JPH0612333B2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=17012046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23721288A Expired - Lifetime JPH0612333B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 自動複屈折測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0612333B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH046444A (ja) * | 1990-04-25 | 1992-01-10 | Hoya Corp | 光弾性定数測定方法及び装置 |
| JPH08128946A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Nec Corp | 光学特性測定方法及び測定装置 |
| WO1998025127A3 (fr) * | 1996-12-06 | 1998-09-03 | Armines | Ellipsometre a lame birefringente tournante |
| WO2003028073A1 (fr) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Nikon Corporation | Dispositif et procede de mesure d'aberration, procede de regulation de systeme optique, et systeme d'exposition muni d'un systeme optique regule par ce procede de regulation |
| WO2007099791A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | 計測装置及び計測方法 |
| JP2009179552A (ja) * | 2009-03-06 | 2009-08-13 | Asahi Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板 |
| JP2011256107A (ja) * | 2011-07-11 | 2011-12-22 | Asahi Glass Co Ltd | ディスプレイ用のガラス基板の製造方法およびフラットパネルディスプレイの製造方法 |
| CN106813901A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-06-09 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法 |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP23721288A patent/JPH0612333B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPWO2007099791A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2009-07-16 | 国立大学法人東京農工大学 | 計測装置及び計測方法 |
| JP4677570B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2011-04-27 | 国立大学法人東京農工大学 | 計測装置及び計測方法 |
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| CN106813901A (zh) * | 2017-01-16 | 2017-06-09 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0612333B2 (ja) | 1994-02-16 |
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