JPH0266405A - 座標測定装置 - Google Patents

座標測定装置

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JPH0266405A
JPH0266405A JP1174298A JP17429889A JPH0266405A JP H0266405 A JPH0266405 A JP H0266405A JP 1174298 A JP1174298 A JP 1174298A JP 17429889 A JP17429889 A JP 17429889A JP H0266405 A JPH0266405 A JP H0266405A
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JP
Japan
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spring
drive
belt
weight
roller
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Pending
Application number
JP1174298A
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English (en)
Inventor
Karl-Hermann Breyer
カール‐ヘルマン・ブライヤー
Franz Starp
フランツ・シユタルプ
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Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • GPHYSICS
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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、座標測定装置であって、垂直に移動可能な測
定スライダ、測定スライダのための駆動装置、及び測定
スライダの重量釣り合いのための装置を有している形式
のものに関する。
従来、座標測定装置のいわゆるZ軸、すなわち垂直に案
内された測定スライダの重量釣り合いは、もっばら対向
重りによって行われているこのような重量釣り合いを備
えた座標測定装置は例えばDE−PS 2613451
号公報、及びDE−PS2943431号公報に記載し
である。この場合欠点として、対向重りは運動可能な構
成部分の質量を倍加する。従って、機械が座標測定装置
の水平な案内に生じるたわみを小さく保つためにより剛
性に構成されねばならない。さらに測定スライダを加速
するために大きな力が必要である。このような形式の重
量補償にとって垂直な組み込み状態しか可能ではない。
さらに、対向重りの代わりに重量釣り合いのための空気
カシリンダを設けることもすでに提案されている。この
ような提案に基づく座標測定装置は、例えばUs−Os
 4207680号公報、並びにDE−GM 8609
423号公報に記載しである。このような構成は質量を
小さくしかつ任意の組み込み状態を可能にするが、著し
い構成費用を必要とする。それというのは圧力媒体装置
、場合によっては比較的大きな空気量のための釣り合い
容器並びに空気力式の調整回路が、シリンダ内の圧力を
コンスタントに維持するために必要であるからである。
さらに、連続的に回転する駆動モータと垂直に案内され
た構成部分との間の伝達される力に関連して調節可能な
連結によって重量釣り合いを行うことが、US−PS 
3818596号公報から公知である。案内された構成
部分の重量を駆動モータ自体によって受容するこのよう
な構成は不都合な熱源を形成する。
さらに、垂直に移動可能な機械構成部分の重量補償のた
めにいわゆるばねモータを設けることも公知である。ば
ねモータは時計仕掛けの形式で巻かれたぜんまいばねか
ら成っている。ばねモータの作業範囲でばね力の比較的
大きな変動を補償するために、案内された構成部分は通
常はアルキメデススパイラルを介してばねモータに連結
されている。このような構成も比較的に高価である。ざ
らにばねモータは高い作動騒音を発生させる。それとい
うのばばねモータの作業範囲でばね力の非直線的な振動
が生じるからである。
本発明の課題は、座標測定装置の垂直に移動可能な測定
スライダの重量釣り合いのt;め装置を改善して、前述
の欠点を取り除くことであるi特に、極めて静かな運転
が保証されるようにすることである。
前記課題を解決するために本発明の構成では、重量釣り
合いのための装置がコイルばねを有しており、このコイ
ルばねの作業範囲が無負荷状態のばね長さに対して小さ
くなっており、コイルばねと測定スライダとの間に減速
機能を備えたベルト伝動装置が接続されており、駆動装
置及びコイルばねがそれぞれベルト伝動装置のローラに
結合されている。
重量釣り合いのためにコイルばねを使用したことに基づ
き、案内された構成部材の運動が極めて静かに行われる
。減速作用を有する伝動装置は、ばねの作業範囲をばね
の負荷されていない状態での長さに対して小さく維持し
、その結果作業範囲のばね力の変動が小さくなる。従っ
て垂直に移動可能な構成部分の移動距離が短い場合には
、発生する剰余力は駆動モ=り自体によってZ軸の位置
調整回路を用いて容易に補償される。この場合剰余力だ
けが補償されるので、熱の発生は問題にならない。
長い移動距離に対して有利には、ばねの作業範囲のばね
力の変動を補償するために偏心的に支承されt;ローラ
が設けられている。
コイルばねは圧縮ばねから成っていてもよいし、また引
張りばねから成っていてもよい。
重量釣り合いのためのコイルばねが圧縮ばねから成って
いると、コイルばねは有利には貫通する引張りロッドを
備えて構成される。圧縮ばねはばねの全ばね力に比較し
てばね力の変動を小さく維持するために、全長に対して
小さい作業範囲に圧縮した状態で運転されるので、ばね
の組み込み所要スペースが引張りばねに比べて著しく小
さくなり、ひいては重量釣り合いのための構造がコンパ
ックドになる。さらに、短く圧縮されたばねは振動特性
が引張りばねよりも著しく有利である。圧縮ばねにおい
てばばね折れに対する安全機構は不必要である。それと
いうのは圧縮ばねは折れた場合にもっばら1つの巻条だ
け短くなるに過ぎないからである。これに対し引張りば
ねは別の利点を有している。例えば座屈を防止する処置
が不必要である。
実施例 第1図に示す片持ち式の座標測定装置は、例えば花崗岩
から成る測定テーブル1を有しており、この測定テーブ
ルは架台2に設置されている。測定テーブルlの後方の
端部の2つの支持部材3a上には横断面方形の案内ビー
ム4が水平に載せられており、案内ビームには測定スラ
イダ5が空気支承部を介して矢印Xの方向に移動可能に
案内されている。測定スライダ5は前記矢印Xの方向に
対して垂直にかつ同じく水平に移動可能なアーム8のた
めの支承ケーシング6を保持している。アーム8は案内
部材7で以て支承ケーシング内に支承されている。
アーム8内にはプローブヘッド保持摺動体9を垂直に矢
印Yの方向に移動可能に支承してあり、プローブヘッド
保持慴動体は座標測定装置のプローブヘッドlOを保持
している。座標測定装置の運動可能な構成部分はそれぞ
れベルトを介してモータによって駆動される。第1図に
は駆動モータl11伝動装置12、矢印Xの方向の案内
のためのベルト13が示されており、矢印Yの方向の案
内のための駆動装置は示してないが、同じ構造を成して
いる。
プローブヘッド保持摺動体9はベルト21に懸架されて
いる。このベルト21は第2図に示しであるように、2
つの転向ローラ19,20を越えて延びるように配設さ
れており、転向ローラはアーム8の上側の支持体18に
よって保持されている。さらにベルト21は滑車装置の
形式でアームの後方の端部に配置された駆動ユニットの
駆動ローラ22、及び運動可能な第2のローラ23に巻
き掛けられており、第2のローラは釣り合い重りとして
用いられたばね31の引張りロッド25に結合されてい
る。ベルト21の端部は支承ブロック24によって保持
されている。
駆動ユニットは電動モータ17、アングル伝動装置15
、及び伝動モータとアングル伝動装置とを結合するベル
ト駆動部材16から成っている。駆動ユニットは支承ブ
ロック24、及び運動可能なローラ23の案内レール2
7と同じように保持プレート34上に組み立てられてお
9、この保持プレートはアーム8に取り付けられていて
アームと一緒に矢印Yの方向に運動可能である。
引張りロッド25はばね31を貫いて案内され、かつ後
方の端部に加圧プレート28を保持しており、加圧プレ
ートは保持プレート34上の案内レール30内に案内さ
れている。
ばね31は、加圧プレート28と保持プレート34上に
組み立てられたばねケーシング32の端面との間に緊定
されている。駆動ローラ22及びローラ23から成る滑
車装置に基づき、加圧プレートはプローブヘッド保持摺
動体9の垂直方向の移動運動に際してプローブヘッド保
持摺動体の運動量の2分の1の値で一緒に運動する。圧
縮ばねから成るばね31のばね定数は、ばねが中間位置
でプローブヘッド保持摺動体9の重りをちょうど補償す
るように選ばれている。運動範囲の両端で生じるばね力
変化は比較的に小さい。それというのはばねは、第4b
図から明らかなように緊定状態において緊定長さSに比
べて小さい作業範囲で作動せしめられるからである。
さらに第4a図と第4b図との比較によって、圧縮ばね
が引張りばねと比べて使用に際しどのような利点を有し
ているか明らかである。第4a図に示した引張りばねは
出発状態では極めて短く、作業範囲に向かって長い寸法
に引っ張られる。従って比較的に長い組み込み長さを必
要とし、このような組み込み長さはしばしば与えられな
い。これに対して圧縮ばねは弛緩状態では極めて長いが
、作業範囲に向かって比較的に短い寸法に圧縮される。
これによって、組み込み長さが短くなり、重量釣り合い
が著しくコンパックドに保たれ、第1図に示す座標測定
装置のアームの上に配置できる。
ばね31の作業範囲の力変化量ΔFがベルト駆動装置及
びベルト駆動装置内のベルト伝動装置の伝達可能な駆動
力よりも小さくなっている限り、力変化量ΔFを補償す
るための付加的な手段を講する必要はない。これは通常
はプローブヘッド保持摺動体9の移動距離の短い場合で
ある。力変化は駆動モータ自体によって受容される。こ
のために座標測定装置の2軸の位置調整回路が自動的に
使用される。
位置調整回路は簡単な形式で第6図に示しである。電動
モータ17とプローブヘッド保持摺動体9との間の駆動
可能な結合は符号41で表しである。X軸に、グローブ
ヘッド保持摺動体の尺度36及びアーム8内の電気光学
的な発信ヘッド37から成る長さ測定機構が配属されて
いる。長さ測定機構の位置信号は一方では座標測定装置
の制御コンピュータ38にかつ他方では電動モータ17
の調整電子装置35に供給される。これによって閉じら
れた位置調整回路は、剰余力、すなわちプローブヘッド
保持摺動体9の重力とばね31の圧縮力との間の差を補
償するために必要な電流で電動モータ17を常に負荷し
ている。
プローブヘッド保持摺動体のための大きな移動距離を必
要とする場合には、変化量(剰余力)ΔFは機械的に第
3図に示す構成によって補償される。第3図の構成は第
2図の構成にほぼ相応しており、この場合同じ構成部分
は100を加えた符号で表してあり、さらに繰り返し説
明することは省略する。
第3図の実施例では、圧縮ばね131の引張りロッド1
25を取り付けである滑車装置のローラ123は軸il
lの回りを偏心的に回転する。これによって軸illと
ローラの外周との間の距離によって規定されたてこがロ
ーラI23の回転位置若しくはばね131の長さに関連
して変化する。ローラ123の直径は滑車伝動装置にお
いて減速比に関与しないので、直径及び偏心量の適当な
選択によって、ばね131のベルト121に作用する引
張り力は作業範囲ではコンスタントに維持される。
第5図には別の実施例が示しである。ここでは駆動モー
タ217はベルト伝動装置216及びアングル伝動装置
を介して比較的直径の大きな円板222を駆動するよう
になっており、この円板にプローブヘッド保持摺動体の
ための駆動ベルト221が巻き掛けられている。ばね2
31は引張りロッド225を介して直径の小さい第2の
ローラ223に結合されている。円板とローラとはアン
グル伝動装置の同じ軸に取り付けられている。
この実施例においても円板222の偏心的な配置若しく
は円板の外周の螺旋形状によって、重量釣り合いのベル
1−221に作用する力はばね距離に無関係に維持され
る。
第7図及び第8図の実施例においては重量釣り合いのた
めの1つの圧縮ばねの代わりに並べて配置された引張り
ばね331a、331bが設けられている。この重量釣
り合い装置は別の実施例と同じように保持体314によ
って座標測定装置のアームの上側に保持されている。
第7図には支承ブロックが符号324で表してあり、こ
の支承ブロックに引張りロープ321の端部が取り付け
られている。この引張りロープ321は滑車装置の形式
で、プローブヘッド保持摺動体の駆動装置に結合された
第1の定置のローラ(図示せず)及び運動可能な第2の
ローラ332に巻き掛けられている。ローラ332はス
ライダ328に回転可能に支承されており、このスライ
ダは4つの案内ローラ326a−dを用いて案内レール
327に沿って移動可能に支承されている。スライダ3
28は軸333を中心として旋回可能な構成部材325
を保持しており、この構成部材内には並んで位置する2
つのばね331a、331bが懸架されている。両方の
ばねは他方の端部で保持体314上に組み立てられた支
承ブロック335に懸架されていて、座標測定装置のプ
ローブヘッド保持慴動体の重量によって緊定されている
この重量釣り合い装置は、ばね破損に際しプローブヘッ
ド保持摺動体が制動されずに座標測定装置のテーブル上
に若しくは測定しようとする工作物上に落ちることを防
止するような安全機構を有している。この安全機構は2
つのブレーキロッド329a、329bを有しており、
このブレーキロッドは旋回可能な構成部分325の下側
でスライダ328を通して案内され、保持体314上の
第1の支承ブロック324及び第2の支承ブロック31
2内に取り付けられている。安全機構はさらに、両方の
ばね331a、331bよりも小さなばね定数の別のば
ね332を有しており、このばねは構成部分325を軸
333を中心としてスライダ328の構成部分330の
方向へ引っ張っている。
重量釣り合い装置の一方のばね331a若しくは331
bが折れると、安全機構のばね332のばね力が重量釣
り合い装置の残りのばねのばね力を上回り、構成部分3
25が旋回させられ、この場合旋回させられる構成部分
の下面が著しく大きなてこ力で両方のブレーキロッド3
29a、329bを押し付ける。これによってスライダ
328が静止する。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すものであって、第1図は座
標測定装置の斜視図、第2図は重量釣り合い装置の拡大
側面図、第3図は別の実施例の重量釣り合い装置の拡大
側面図、第4a図及び第4b図は重量釣り合い装置の原
理図、第5図は別の実施例の重量釣り合い装置の側面図
、第6図は第2図の重量釣り合い装置の電動モータの位
置調整回路の原理図、第7図はさらに別の実施例の重量
釣り合い装置の側面図、及び第8図は第7図の線■−■
に沿った拡大断面図である。 l・・・測定テーブル、2・・・架台、3a・・・支持
部材、4・・・案内ビーム、5・・・測定スライダ、6
・・・支承ケーシング、7・・・案内部材、8・・・ア
ーム、9・・・グローブヘッド保持摺動体、10・・・
プローブヘッド、11・・・駆動モータ、12・・・伝
動装置13・・・ベルト、15・・・アングル伝動装置
、16・・・ベルト駆動部、17・・・電動モータ、1
8・・・支持体、19及び20・・・転向ローラ、21
・・・ベルト、2−2・・・駆動ローラ、23・・・ロ
ーラ、24・・・支承ブロック、25・・・引張りロッ
ド、27・・・案内レール、28・・・加圧プレート、
30・・・案内レール、31・・・ばね、34・・・保
持プレートFig、 4B Fig、 4b Fig、5 Fig、6

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、座標測定装置であって、垂直に移動可能な測定スラ
    イダ、測定スライダのための駆動装置、及び測定スライ
    ダの重量釣り合いのための装置を有している形式のもの
    において、重量釣り合いのための装置がコイルばね(3
    1)を有しており、このコイルばねの作業範囲が無負荷
    状態のばね長さに対して小さくなっており、コイルばね
    (31)と測定スライダ(9)との間に減速機能を備え
    たベルト伝動装置(21、22、23)が接続されてお
    り、駆動装置(15、16、17)及びコイルばね(3
    1)がそれぞれベルト伝動装置のローラ(22、23)
    に結合されていることを特徴とする座標測定装置。 2、コイルばね(31)のばね力の作業範囲内で生じる
    変動を補償する手段が設けられている請求項1記載の座
    標測定装置。 3、ばね力の変動が駆動装置(17)によって自動的に
    補償されるようになっている請求項2記載の座標測定装
    置。
JP1174298A 1988-07-07 1989-07-07 座標測定装置 Pending JPH0266405A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3823042A DE3823042A1 (de) 1988-07-07 1988-07-07 Koordinatenmessgeraet
DE3823042.9 1988-07-07

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JPH0266405A true JPH0266405A (ja) 1990-03-06

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US (1) US4964221A (ja)
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