JPH0266163A - 真空蒸着用加熱フイラメント - Google Patents
真空蒸着用加熱フイラメントInfo
- Publication number
- JPH0266163A JPH0266163A JP21595188A JP21595188A JPH0266163A JP H0266163 A JPH0266163 A JP H0266163A JP 21595188 A JP21595188 A JP 21595188A JP 21595188 A JP21595188 A JP 21595188A JP H0266163 A JPH0266163 A JP H0266163A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- grooves
- filaments
- vacuum deposition
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空蒸着装置に使用する蒸着物加熱用のフィ
ラメントに関する。
ラメントに関する。
（従来技術とその課題）
真空蒸着においては、抵抗加熱用フィラメントにアルミ
ニウムなどの蒸着物を直接取り付けて、フィラメントに
通電して蒸着物を加熱、蒸発させている。
ニウムなどの蒸着物を直接取り付けて、フィラメントに
通電して蒸着物を加熱、蒸発させている。
フィラメントとしては、Ｗ、Ｗ−Ｔｈなどの単線あるい
は撚り合わせ線が用いられているが、フィラメント上で
溶融した蒸着物が滴下してロスを生じたり、他の物に当
たって蒸着対象物上にはね落ちるという問題がある。
は撚り合わせ線が用いられているが、フィラメント上で
溶融した蒸着物が滴下してロスを生じたり、他の物に当
たって蒸着対象物上にはね落ちるという問題がある。
これに対して、フィラメントに予め微量の異種金属を蒸
着したり、フィラメント表面を極めて平滑な面に仕上げ
るなどして蒸着物の「濡れ」をよくすることが知られて
いる。しかし前者の方法では、予め蒸着した金属が目的
とする蒸着物と混在するため、高純度の蒸着が必要な用
途には適さず、また後者の方法では、細いフィラメント
を平滑にすることが難しく、小さな凹凸が生じ、余り効
果的でない。
着したり、フィラメント表面を極めて平滑な面に仕上げ
るなどして蒸着物の「濡れ」をよくすることが知られて
いる。しかし前者の方法では、予め蒸着した金属が目的
とする蒸着物と混在するため、高純度の蒸着が必要な用
途には適さず、また後者の方法では、細いフィラメント
を平滑にすることが難しく、小さな凹凸が生じ、余り効
果的でない。
（課紐を解決するための手段）
本発明は、フイ、″；Ａ：。表面に微細な溝をゆ数形成
することにより、蒸着物がフィラメントによく濡れて、
垂れ落ちることがないようにしたものである。
することにより、蒸着物がフィラメントによく濡れて、
垂れ落ちることがないようにしたものである。
以下本発明を図面を参照して詳しく説明する。
第１図は本発明フィラメントの一例の斜視図、第２図は
その一部拡大断面図、第３図は本発明フイラメントの使
用状態を例示する側面図である。
その一部拡大断面図、第３図は本発明フイラメントの使
用状態を例示する側面図である。
本発明フィラメント１は、その表面に長さ方向の多数の
溝２．２・・・を形成しである。
溝２．２・・・を形成しである。
溝２の幅Ｐは１〜５０μｍ程度、その深さＤは５０μｍ
以下、特に１〜１０μｍ程度の微細なものが好適である
。
以下、特に１〜１０μｍ程度の微細なものが好適である
。
この渭２は、フィラメント１の長さ方向に沿って、ある
いは長さ方向に対しやや傾斜した方向に形成することが
できる。
いは長さ方向に対しやや傾斜した方向に形成することが
できる。
この溝２は、フィラメント素線を線虫する工程で同時に
付与することができる。
付与することができる。
フィラメント１は、目的にもよるが通常０．５〜２ｍｍ
程度の直径で、単線でも数本を撚り合わせて使用するこ
ともできる。
程度の直径で、単線でも数本を撚り合わせて使用するこ
ともできる。
第３図は、本発明フィラメントの使用状態の一例を示す
側面図であって、渭２を形成した２本のフィラメント１
．１を撚り合わせ、その上にＵ字状に曲げたアルミニウ
ム線３を引っ掛ける。
側面図であって、渭２を形成した２本のフィラメント１
．１を撚り合わせ、その上にＵ字状に曲げたアルミニウ
ム線３を引っ掛ける。
フィラメントｌに通電するとアルミニウム線３が溶融す
るが、フィラメント１表面の溝の作用によりフィラメン
トとの濡れ性がよくなり、また溶融アルミニウムが流動
して均一に付着するので、フィラメントから滴下するこ
となく、好適に蒸着することができる。
るが、フィラメント１表面の溝の作用によりフィラメン
トとの濡れ性がよくなり、また溶融アルミニウムが流動
して均一に付着するので、フィラメントから滴下するこ
となく、好適に蒸着することができる。
（発明の効果）
本発明によれば、フィラメント表面に多数の溝を形成す
るという簡単な手段により、蒸着物との濡れ性、流動性
をよくして、蒸着物の滴下を有効に防止することができ
る。
るという簡単な手段により、蒸着物との濡れ性、流動性
をよくして、蒸着物の滴下を有効に防止することができ
る。
第１図は本発明フィラメントの一例の斜視図、第２図は
その一部拡大断面図、第３図は本発明フィラメントの使
用状態を例示する側面図。 １・・・フィラメント ２・・・渭
その一部拡大断面図、第３図は本発明フィラメントの使
用状態を例示する側面図。 １・・・フィラメント ２・・・渭
Claims (1)
- フィラメントの表面に、長さ方向に多数の微細な溝を形
成してなる真空蒸着用加熱フィラメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21595188A JPH0266163A (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 真空蒸着用加熱フイラメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21595188A JPH0266163A (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 真空蒸着用加熱フイラメント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0266163A true JPH0266163A (ja) | 1990-03-06 |
Family
ID=16680954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21595188A Pending JPH0266163A (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 真空蒸着用加熱フイラメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0266163A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013200650A1 (de) | 2012-06-15 | 2013-12-19 | Mitsubishi Electric Corp. | Steuervorrichtung und Steuerverfahren für einen Fahrzeugwechselstrommotor |
-
1988
- 1988-08-30 JP JP21595188A patent/JPH0266163A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013200650A1 (de) | 2012-06-15 | 2013-12-19 | Mitsubishi Electric Corp. | Steuervorrichtung und Steuerverfahren für einen Fahrzeugwechselstrommotor |
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