JPH0260463B2 - - Google Patents
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- JPH0260463B2 JPH0260463B2 JP19491181A JP19491181A JPH0260463B2 JP H0260463 B2 JPH0260463 B2 JP H0260463B2 JP 19491181 A JP19491181 A JP 19491181A JP 19491181 A JP19491181 A JP 19491181A JP H0260463 B2 JPH0260463 B2 JP H0260463B2
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Wire Bonding (AREA)
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は、エアシリンダを駆動源とし、３点で
の位置決めが可能なテーブル移動機構ユニツトに
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Technical Field of the Invention The present invention relates to a table moving mechanism unit that uses an air cylinder as a driving source and is capable of positioning at three points.
(2) 従来技術と問題点
従来、エアシリンダを駆動源としたテーブルを
３点において停止位置決めする場合、（）外部
ストツパにより直接テーブルを中間停止させる、
（）シリンダ制御弁により中間停止させる、
（），（）の方法に更にデテント機構を設けて
正確度を向上させる、（）シリンダのラムにブ
レーキ機構を設けて中間停止させる、等の方法が
知られていたが、（）の場合は、テーブルの停
止位置精度は比較的良いが、ストツパ解除のタイ
ミングの制御が複雑になる欠点があり、（），
（）の場合には、停止位置精度とテーブルのス
ピードが逆比例の関係となり、高い位置決め精度
を得ようとするとテーブルスピードがどうしても
遅くなる不都合があり、更に（）の場合には、
テーブルを一定の範囲でフローテイングさせるフ
ローテイング機構が必要となり全体の構造が複雑
になる欠点があつた。しかも、いずれの場合も、
一本のシリンダを使用するために、長いストロー
クが必要な場合には、ケーブルシリンダ等の特殊
なシリンダを用いない限りシリンダの全長が非常
に長くなる不都合も生じる。(2) Conventional technology and problems Conventionally, when stopping and positioning a table using an air cylinder as a drive source at three points, () the table is directly stopped intermediately by an external stopper;
() Intermediate stop by cylinder control valve,
In the case of (), methods such as adding a detent mechanism to improve accuracy by adding a detent mechanism to the method of () and (), and providing a brake mechanism to the ram of the cylinder to stop it in the middle are known, but in the case of (), , the accuracy of the table stop position is relatively good, but the disadvantage is that the control of the stopper release timing is complicated, (),
In the case of (), the stop position accuracy and the table speed are inversely proportional, and if you try to obtain high positioning accuracy, the table speed inevitably becomes slower.Furthermore, in the case of (),
A floating mechanism for floating the table within a certain range is required, which has the disadvantage of complicating the overall structure. Moreover, in both cases,
When a long stroke is required in order to use one cylinder, the total length of the cylinder becomes very long unless a special cylinder such as a cable cylinder is used.
(3) 発明の目的
本発明は、上記した欠点を解消すべく、特殊な
シリンダを用いることなく、小型でかつ、３点の
位置決めを高精度で行なえる。テーブル移動機構
ユニツトを提供することを目的とするものであ
る。(3) Purpose of the Invention In order to eliminate the above-mentioned drawbacks, the present invention is compact and can perform three-point positioning with high accuracy without using a special cylinder. The object of the present invention is to provide a table moving mechanism unit.
(4) 発明の構成
即ち、本発明は、エアシリンダを２本、それ等
のシリンダのラムを互いに対向させ、かつテーブ
ルの移動方向に突出駆動自在に、その移動ストロ
ークが前記ラムの後退位置において連続した形で
設けると共に、テーブルに前記シリンダの選択手
段を、前記シリンダに対して選択的に係合自在に
設けたことによつて構成される。(4) Structure of the Invention That is, the present invention includes two air cylinders, the rams of these cylinders are opposed to each other, and the rams of these cylinders are freely driven to project in the moving direction of the table, and the movement stroke is at the retracted position of the ram. The cylinders are provided in a continuous manner, and the cylinder selection means is provided on the table so as to be selectively engageable with the cylinders.
(5) 発明の実施例
以下、図面に示す実施例に基き、本発明を具体
的に説明する。(5) Embodiments of the Invention The present invention will be specifically described below based on embodiments shown in the drawings.
第１図は本発明によるテーブル移動機構ユニツ
トの一実施例を示す図で、ａ，ｂ，ｃはテーブル
の移動状態を示す平面図、第２図は第１図のテー
ブル移動機構ユニツトの空圧回路図である。 FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the table moving mechanism unit according to the present invention, where a, b, and c are plan views showing the moving states of the table, and FIG. 2 is a diagram showing the pneumatic pressure of the table moving mechanism unit of FIG. It is a circuit diagram.
テーブル移動機構ユニツト１は、第１図に示す
ように、ベース２を有しており、ベース２には２
本のレール３，３が固設されている。レール３，
３にはテーブル５がレール３の敷設方向、即ち矢
印Ａ，Ｂ方向に移動自在に設置されており、更に
ベース２にはエアシリンダ６，７がラム６ａ，７
ａを互いに対向させ、かつテーブル５の移動方向
である矢印Ａ，Ｂ方向に突出駆動自在にその移動
ストロークＳ１，Ｓ２がラム６ａ，７ａの後退位
置において連続した形で設けられている。ラム６
ａ，７ａの先端には係合ブロツク９Ａ，９Ｂが固
着されており、ブロツク９Ａ，９Ｂには係合溝９
ｅが穿設形成されている。また、ベール２にはレ
ール３に平行にガイドレール８，８が設けられて
おり、ガイドレール８には係合ブロツク９Ａ，９
Ｂが矢印Ａ，Ｂ方向に移動自在に係合している。
更に、ベース２には各シリンダ６，７のストロー
クＳ１，Ｓ２に対応した形でストツパ１０Ａ，１
０Ｂ及び１１Ａ，１１Ｂが設けられており、スト
ツパ１０Ｂ，１１Ｂは矢印Ａ，Ｂ方向に移動固定
自在に設けられている。一方、テーブル５の裏面
には、スライドブロツク１２がテーブル５に設け
られたケース５ａに矢印Ｃ，Ｄ方向に移動自在
に、かつ係合ブロツク９Ａ，９Ｂの係合溝９ｅと
ブロツク１２の先端が係合自在に設けられてお
り、ブロツク１２はアーム１３を介して選択シリ
ンダ１５のプランジヤ１５ａと連結されている。
選択シリンダ１５には、第２図に示すように、可
変流量調整弁１６Ａ，１６Ｂ、逆止弁１７Ａ，１
７Ｂを介して切替え弁１９が接続され、更に切替
え弁１９には圧縮空気AIRが供給されている。ま
た、シリンダ６，７には可変流量調整弁２０Ａ，
２０Ｂ，２１Ａ，２１Ｂ及び逆止弁２２Ａ，２２
Ｂ，２３Ａ，２３Ｂを介して切替え弁２５が接続
しており、切替え弁２５には圧縮空気AIRが供給
されている。 The table moving mechanism unit 1 has a base 2, as shown in FIG.
Book rails 3, 3 are fixedly installed. rail 3,
A table 5 is installed on the base 2 so as to be movable in the direction in which the rail 3 is laid, that is, in the directions of arrows A and B. Further, air cylinders 6 and 7 are installed on the base 2 and rams 6a and 7.
The rams 6a and 7a are provided with moving strokes S1 and S2 that are continuous in the retracted position of the rams 6a and 7a, so that the rams 6a and 7a face each other and can be driven freely in the directions of arrows A and B, which are the directions in which the table 5 moves. Ram 6
Engagement blocks 9A, 9B are fixed to the tips of a, 7a, and engagement grooves 9 are formed in the blocks 9A, 9B.
e is formed by drilling. Further, the bail 2 is provided with guide rails 8, 8 parallel to the rail 3, and the guide rail 8 is provided with engagement blocks 9A, 9.
B is engaged so as to be movable in the directions of arrows A and B.
Further, stoppers 10A and 10A are provided on the base 2 in a manner corresponding to the strokes S1 and S2 of each cylinder 6 and 7.
0B, 11A and 11B are provided, and stoppers 10B and 11B are provided so as to be movable and fixed in the directions of arrows A and B. On the other hand, on the back surface of the table 5, a slide block 12 is movable in the directions of arrows C and D on a case 5a provided on the table 5, and the engagement grooves 9e of the engagement blocks 9A and 9B are connected to the tip of the block 12. The block 12 is connected to a plunger 15a of a selection cylinder 15 via an arm 13.
As shown in FIG. 2, the selection cylinder 15 includes variable flow rate adjustment valves 16A, 16B and check valves 17A, 1.
A switching valve 19 is connected via 7B, and compressed air AIR is supplied to the switching valve 19. In addition, the cylinders 6 and 7 are provided with variable flow rate adjustment valves 20A,
20B, 21A, 21B and check valves 22A, 22
A switching valve 25 is connected via B, 23A, and 23B, and compressed air AIR is supplied to the switching valve 25.
本発明は以上のような構成を有するので、テー
ブル５を第１図位置Ｅ，Ｆ，Ｇの３位置で停止さ
せる場合で、まず位置Ｆに停止位置決めする場合
には、切替え弁２５を駆動してシリンダ６，７の
ラム６ａ，７ａを、係合ブロツク９Ａ，９Ｂがス
トツパ１０Ａ，１１Ａに当接するまでシリンダ
６，７内に後退させる。すると、両係合ブロツク
９Ａ，９Ｂの係合溝９ｅが整列対向するので、テ
ーブル５の選択シリンダ１５のプランジヤ１５ａ
を切替え弁１９を駆動して矢印Ｃ又はＤ方向に移
動させてプランジヤ１５ａを介してスライドブロ
ツク１２をＣ，Ｄ方向に移動させ、ブロツク１２
と係合ブロツク９Ａ又は９Ｂの係合溝９ｅを係合
させる。この場合、ブロツク９Ａ，９Ｂは、スト
ツパ１０Ａ，１１Ａによつて正確に対向した形で
位置決めされているので、スライドブロツク１２
はどちらのラム６ａ，７ａのブロツク９Ａ又は９
Ｂと係合してもテーブル５を正確に位置Ｆに位置
決めすることができる。次に、テーブル５を位置
Ｆから位置Ｅに移動位置決めする場合には、位置
Ｆでスライドブロツク１２をＣ方向に移動させ、
ブロツク１２とラム６ａの係合ブロツク９Ａを係
合させる。そこで、切替え弁２５を切替えてラム
６ａをＡ方向に、ラム７ａをＢ方向に第１図ｂに
示すように突出させると、ラム６ａのブロツク９
Ａはガイドレール８に沿つてＡ方向に移動し、従
つてスライドブロツク１２を介してテーブル５も
Ａ方向にレール３上を移動する。テーブル５のＡ
方向への移動は、ブロツク９Ａがストツパ１０Ｂ
に当接係合し、それ以上のＡ方向への移動が阻止
されるまで続くが、ブロツク９Ａがストツパ１０
Ｂに当接すると、テーブル５は位置Ｅに達する。
ブロツク９Ａとストツパ１０Ｂが当接しても、シ
リンダ６はラム６ａを介してブロツク９Ａをなお
もＡ方向へ付勢することから、ブロツク９Ａ、従
つてテーブル５は正確に位置Ｅに位置決め保持さ
れる。一方、位置Ｆから位置Ｇへ移動位置決めす
る場合も同様であり、位置Ｆでスライドブロツク
１２をＤ方向に移動させてラム７ａの係合ブロツ
ク９Ｂと係合させ、ラム６ａ，７ａを突出させる
と、テーブル５はＢ方向に移動し、ストツパ１１
Ｂによつて位置Ｆに正確に位置決めされる。な
お、位置Ｅから位置Ｇに（又はその逆）にテーブ
ル５を移動位置決めする際には、まずスライドブ
ロツク１２をラム６ａの係合ブロツク９Ａと係合
させた状態でラム６ａ，７ａを後退させ、テーブ
ル５を位置Ｆに戻し、次いで、ブロツク１２をラ
ム７ａのブロツク９Ｂと係合させてラム６ａ，７
ａを突出させると、テーブル５は位置Ｆから位置
Ｇへ移動位置決めされる（位置Ｇから位置Ｅへの
移動位置決めは、前順の手順と全く逆に行な
う。）。また、選択シリンダ１５によつてスライド
ブロツク１２を、第１図ｃに示すように、両ブロ
ツク９Ａ，９Ｂと共に係合しない状態にすると、
テーブル５は手動でレール３上を全く自由にＡ，
Ｂ方向に移動することができ、保守、調整を容易
に行なうことができる。なお、テーブル５の第１
図両側の停止位置Ｅ及びＧは、ストツパ１０Ｂ，
１１Ｂの設定位置をＡ，Ｂ方向に変えることによ
り自由に調整することが可能である。 Since the present invention has the above-described configuration, when the table 5 is to be stopped at three positions E, F, and G in FIG. Then, the rams 6a, 7a of the cylinders 6, 7 are retracted into the cylinders 6, 7 until the engaging blocks 9A, 9B abut against the stoppers 10A, 11A. Then, the engagement grooves 9e of both engagement blocks 9A and 9B are aligned and face each other, so that the plunger 15a of the selection cylinder 15 of the table 5
The switching valve 19 is driven to move the slide block 12 in the direction of arrow C or D, and the slide block 12 is moved in the C or D direction via the plunger 15a.
and the engagement groove 9e of the engagement block 9A or 9B. In this case, since the blocks 9A and 9B are positioned exactly opposite each other by the stoppers 10A and 11A, the slide block 12
is block 9A or 9 of which ram 6a, 7a.
Even when engaged with B, the table 5 can be accurately positioned at position F. Next, when moving and positioning the table 5 from position F to position E, move the slide block 12 in the direction C at position F,
The block 12 and the engagement block 9A of the ram 6a are engaged. Therefore, when the switching valve 25 is switched to project the ram 6a in the direction A and the ram 7a in the direction B as shown in FIG. 1b, the block 9 of the ram 6a
A moves in the A direction along the guide rail 8, and therefore the table 5 also moves in the A direction on the rail 3 via the slide block 12. Table 5 A
For movement in the direction, block 9A is stopped by stopper 10B.
This continues until block 9A abuts and engages with stopper 10 and further movement in direction A is prevented.
Upon contact with B, the table 5 reaches position E.
Even when the block 9A and the stopper 10B come into contact, the cylinder 6 still urges the block 9A in the direction A through the ram 6a, so that the block 9A and therefore the table 5 are accurately positioned and held at position E. . On the other hand, the same is true when moving and positioning from position F to position G. At position F, the slide block 12 is moved in the D direction to engage with the engagement block 9B of the ram 7a, and the rams 6a and 7a are projected. , the table 5 moves in the direction B, and the stopper 11
It is precisely positioned at position F by B. When moving and positioning the table 5 from position E to position G (or vice versa), first move the rams 6a and 7a backward with the slide block 12 engaged with the engagement block 9A of the ram 6a. , return the table 5 to position F, then engage the block 12 with the block 9B of the ram 7a so that the rams 6a, 7
When a is protruded, the table 5 is moved and positioned from position F to position G (movement and positioning from position G to position E is performed in the complete reverse of the previous procedure). Further, when the slide block 12 is brought into a state in which it is not engaged with both blocks 9A and 9B as shown in FIG. 1c by the selection cylinder 15,
The table 5 can be manually moved completely freely on the rail 3 A,
It can be moved in direction B, making maintenance and adjustment easy. Note that the first
Stop positions E and G on both sides of the figure are stoppers 10B,
It is possible to freely adjust the setting position of 11B by changing it in the A and B directions.
また、上述の実施例は、２本のエアシリンダ
６，７からなるテーブル移動機構ユニツト１を１
個だけ設け、テーブル５を位置Ｅ，Ｆ，Ｇの３位
置で停止位置決めさせた場合について述べたが、
ユニツトを第１図ｂ想像線に示すように、複数
個、ラム９Ｂ，２６ａが突出した位置で移動スト
ロークＳ２′，Ｓ１′が連続した形で接続し、テー
ブル５を接続されたユニツト１′を構成するシリ
ンダ２６によつて更にＢ方向へ移動させるように
することも当然可能である。 Further, in the above embodiment, the table moving mechanism unit 1 consisting of two air cylinders 6 and 7 is
We have described the case where the table 5 is stopped at three positions E, F, and G.
As shown in the imaginary line in Fig. 1b, a plurality of units are connected in a manner in which the moving strokes S2' and S1' are continuous at the position where the rams 9B and 26a protrude, and the unit 1' to which the table 5 is connected is connected. Of course, it is also possible to further move it in the B direction by using the cylinder 26 that constitutes it.
(6) 発明の効果
以上説明したように、本発明によれば、２本の
エアシリンダ６，７のラム６ａ，７ａを互いに対
向させ、かつ、テーブル５の移動方向に突出駆動
自在に、その移動ストロークＳ１，Ｓ２がラム６
ａ，７ａの後退位置において連続した形で設ける
と共に、テーブル５に選択シリンダ１５及びスラ
イドブロツク１２等からなるシリンダの選択手段
を、前記シリンダに対して選択的に係合自在に設
けたので、各シリンダ６，７はテーブル５をラム
が突出状態にある場合と、後退状態にある場合の
２位置で停止位置決めすればよく、従つてシリン
ダをそのストロークＳ１，Ｓ２の途中で中間停止
させる必要がないので、高い位置決め精度を維持
しつつテーブル５の移動スピードを早めることが
できるばかりか、テーブル５のフローテイング機
構やテーブル５を外部ストツパによつて中間停止
させる場合のように、ストツパの解除タイミング
の制御等も不要となる。また、シリンダ１本分の
Ａ，Ｂ方向のスペースがあれば、従来の単一シリ
ンダによる駆動方式に比して２倍のストロークを
確保することができ、長いストロークが必要な場
合でもケーブルシリンダ等の特殊なシリンダを用
いることなく、装置の小型化が可能となる。(6) Effects of the Invention As explained above, according to the present invention, the rams 6a and 7a of the two air cylinders 6 and 7 are made to face each other and can be freely driven to protrude in the moving direction of the table 5. Movement strokes S1 and S2 are ram 6
a, 7a are provided in a continuous manner in the retracted position, and a cylinder selection means consisting of a selection cylinder 15, a slide block 12, etc. is provided on the table 5 so as to be selectively engageable with the cylinders. The cylinders 6 and 7 only need to be positioned to stop the table 5 in two positions: when the ram is in the protruding state and when it is in the retracted state, so there is no need to stop the cylinders in the middle of their strokes S1 and S2. Therefore, not only can the moving speed of the table 5 be increased while maintaining high positioning accuracy, but also the timing for releasing the stopper can be improved, such as when the floating mechanism of the table 5 or the table 5 is stopped intermediately by an external stopper. Control etc. are also unnecessary. In addition, if there is enough space in the A and B directions for one cylinder, it is possible to secure twice the stroke compared to the conventional single-cylinder drive system, and even when a long stroke is required, cable cylinders etc. It is possible to downsize the device without using a special cylinder.
第１図は本発明によるテーブル移動機構ユニツ
トの一実施例を示す図で、ａ，ｂ，ｃはテーブル
の移動状態を示す平面図、第２図は第１図のテー
ブル移動機構ユニツトの空圧回路図である。
１…テーブル移動機構ユニツト、５…テーブ
ル、６，７…エアシリンダ、６ａ，７ａ…ラム、
１２…選択手段（スライドブロツク）、１５…選
択手段（選択シリンダ）、Ｓ１，Ｓ２…移動スト
ローク。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the table moving mechanism unit according to the present invention, where a, b, and c are plan views showing the moving states of the table, and FIG. 2 is a diagram showing the pneumatic pressure of the table moving mechanism unit of FIG. It is a circuit diagram. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Table moving mechanism unit, 5... Table, 6, 7... Air cylinder, 6a, 7a... Ram,
12... Selection means (slide block), 15... Selection means (selection cylinder), S1, S2... Movement stroke.
Claims (1)
よつて移動駆動されるテーブルを有するテーブル
移動機構ユニツトにおいて、前記エアシリンダを
２本、それ等のシリンダのラムを互いに対向さ
せ、かつテーブルの移動方向に突出駆動自在に、
その移動ストロークが前記ラムの後退位置におい
て連続した形で設けると共に、テーブルに前記シ
リンダの選択手段を、前記シリンダに対して選択
的に係合自在に設けて構成したテーブル移動機構
ユニツト。1. In a table moving mechanism unit having a table that is driven to move by protruding and retracting the rams of air cylinders, there are two air cylinders, the rams of these cylinders are arranged to face each other, and the table is moved in the direction of movement of the table. Protrusion can be driven freely.
A table moving mechanism unit, wherein the moving stroke is continuous in the retracted position of the ram, and the cylinder selection means is provided on the table so as to be selectively engageable with the cylinder.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19491181A JPS5896740A (en) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | Table sliding mechanism unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19491181A JPS5896740A (en) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | Table sliding mechanism unit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5896740A JPS5896740A (en) | 1983-06-08 |
| JPH0260463B2 true JPH0260463B2 (en) | 1990-12-17 |
Family
ID=16332384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19491181A Granted JPS5896740A (en) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | Table sliding mechanism unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5896740A (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10206414A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-10-02 | Siemens Ag | Arrangement for positioning tool in defined working area has bearer structure joined to guide carriages via linkage axes and with coupling elements joined by third parallel linkage axis |
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| CN106239176A (en) * | 2016-08-29 | 2016-12-21 | 天津市华天世纪机械有限公司 | A kind of milled composite ram apparatus |
-
1981
- 1981-12-03 JP JP19491181A patent/JPS5896740A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5896740A (en) | 1983-06-08 |
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