JPH0258002A - Optical lens - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、メガネ、カメラや光学ディスク駆動装置の光
学ピックアンプ等に使用される光学レンズに関するもの
であり、特に合成樹脂製の光学レンズの反射防止膜の改
良に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to optical lenses used in glasses, cameras, optical pick amplifiers of optical disk drives, etc., and particularly relates to optical lenses made of synthetic resin. This invention relates to improvements in antireflection films.
〔発明の概要］
本発明は、合成樹脂からなるレンズ体表面に反射防止膜
が形成されてなる光学レンズにおいて、前記反射防止膜
を所定の特性を有した無機材料からなる４層構造とする
ことにより、レンズ体との被着性を高め、残留膜応力を
低減させ光学特性を向上させるとともに、耐摩耗性や化
学耐久性の改善を図ろうとするものである。[Summary of the Invention] The present invention provides an optical lens in which an antireflection film is formed on the surface of a lens body made of synthetic resin, in which the antireflection film has a four-layer structure made of an inorganic material having predetermined characteristics. This aims to improve adhesion to the lens body, reduce residual film stress, improve optical properties, and improve abrasion resistance and chemical durability.
従来、光学系レンズを構成するレンズ体の材料としては
、光学特性や表面強度等、各種の観点から無機ガラスが
使用されてきたが、近年加工の容易性や量産性に優れる
等の特性を有する合成樹脂が無機ガラスに代わってレン
ズ体の材料として広く使用されるようになってきている
。Traditionally, inorganic glass has been used as the material for the lens bodies that make up optical system lenses due to its optical properties and surface strength, but in recent years inorganic glass has also become easier to process and easier to mass produce. Synthetic resins are becoming widely used as materials for lens bodies in place of inorganic glass.
しかしながら、合成樹脂よりなるレンズ体は、上述の如
く加工の容易性や量産性等には優れるものの、一方では
加工形成したレンズの表面が非常に軟らかいため傷が付
きやすいこと、またレンズ体表面の光の反射率が無機ガ
ラスと同様に高いこと等の問題を残している。However, although lens bodies made of synthetic resin are easy to process and easy to mass-produce as mentioned above, on the other hand, the surface of the processed lens is very soft and easily scratched, and the surface of the lens body is Problems remain, such as the light reflectance being as high as inorganic glass.
したがって、上記問題点を解決する目的で、合成樹脂よ
りなるレンズ体の表面にも無機ガラスと同様何らかの保
護膜１反射防止膜を形成する必要があるが、この場合無
機ガラスと異なり、様々な困難を伴う。Therefore, in order to solve the above problems, it is necessary to form some kind of protective film 1 on the surface of the lens body made of synthetic resin, similar to inorganic glass, but in this case, unlike inorganic glass, there are various difficulties. accompanied by.
例えば、合成樹脂上に光学薄膜を蒸着する上で問題とな
るのは、成膜後の膜強度であり、膜の特性としてレンズ
体表面との密着性、耐擦傷性、化学耐久性に優れている
ことが重要である。ところが、合成樹脂よりなるレンズ
体では無機ガラスの場合のように蒸着時にレンズ体を２
００〜３５０°Ｃに加熱することができず、強固な膜が
形成されない。また、レンズ体を加熱することができた
としても５０〜１００°Ｃ程度であり、この場合でもレ
ンズ体内部からのガスの放出が多く、問題の解決とはな
らない。For example, when depositing an optical thin film on a synthetic resin, the problem is the strength of the film after it has been formed, and the film has excellent adhesion to the lens surface, scratch resistance, and chemical durability. It is important to be present. However, in the case of lens bodies made of synthetic resin, the lens body is heated twice during vapor deposition, as is the case with inorganic glass.
It cannot be heated to 00-350°C and a strong film cannot be formed. Further, even if the lens body can be heated, the temperature is about 50 to 100°C, and even in this case, a large amount of gas is released from inside the lens body, which does not solve the problem.
［発明が解決しようとする課題］
このような状況から、低温での蒸着でも十分な膜強度を
得ることのできる蒸着物質を探し出し合成樹脂製のレン
ズ体に適した反射防止膜の開発が必要があるが、本来の
反射防止膜としての分光特性を満たさなくてはならない
上に、合成樹脂よりなるレンズ体表面を変形させないこ
とも要求されるため、その開発は困難を極めている。[Problem to be solved by the invention] Under these circumstances, it is necessary to find a vapor deposition material that can obtain sufficient film strength even when vapor-deposited at low temperatures, and to develop an antireflection film suitable for synthetic resin lens bodies. However, its development is extremely difficult because it must satisfy the original spectral characteristics of an anti-reflection film and it is also required not to deform the surface of the lens body made of synthetic resin.
特に、これまで耐擦傷性、化学耐久性１分光特性等につ
いてはある程度改善された設計例が知られているものの
、その多くは合成樹脂という柔らかなレンズ体表面での
膜自体が持つ残留応力までは考慮されていないため、超
高精度レンズでは変形が無視できなくなっている。一般
に、光学ピンクアンプのレンズ等のように、波面精度が
要求されレンズに対する膜応力が問題となる場合には、
反射防止膜がレンズ表面を歪ませる原因となり、使用で
きないものが多い。In particular, although there are known design examples that have improved scratch resistance, chemical durability, and 1-spectral characteristics to some extent, most of them are based on the residual stress of the film itself on the surface of the soft lens body made of synthetic resin. is not taken into account, so deformation cannot be ignored in ultra-high precision lenses. Generally, when wavefront precision is required and film stress on the lens becomes a problem, such as the lens of an optical pink amplifier,
The anti-reflection coating causes distortion of the lens surface, making many lenses unusable.
そこで本発明は、上述の従来の実情に鑑みて提案された
ものであって、膜強度に優れしかも膜応力の少ない反射
防止膜を開発することを目的とし、これによって耐擦傷
性や化学耐久性ばかりでなく光学特性にも優れた光学レ
ンズを提供することを目的とする。The present invention was proposed in view of the above-mentioned conventional situation, and aims to develop an anti-reflection film with excellent film strength and low film stress, thereby improving scratch resistance and chemical durability. The objective is to provide an optical lens that not only has excellent optical characteristics but also has excellent optical properties.
本発明者等は、上述の目的を達成せんものと鋭意研究の
結果、反射防止膜を所定の特性を有する無機材料の４層
構造とすることが有効であるとの知見を得て本発明を完
成するに至ったもので、合成樹脂からなるレンズ体表面
に、上記合成樹脂との被着性に優れた材料よりなる第１
層と、分光特性を満足する材料よりなる第２層と、耐擦
傷性。In order to achieve the above object, the present inventors conducted extensive research and found that it is effective to form an anti-reflection film with a four-layer structure made of inorganic materials having predetermined characteristics, and developed the present invention. This has been completed, and the lens body surface made of synthetic resin is covered with a first lens made of a material that has excellent adhesion to the synthetic resin.
a second layer made of a material satisfying spectral properties, and abrasion resistance.
化学耐久性に優れた材料よりなる第３層と、分光特性を
満足する材料よりなる第４層とが順次積層され反射防止
膜とされたことを特徴とするものである。A third layer made of a material with excellent chemical durability and a fourth layer made of a material satisfying spectral characteristics are sequentially laminated to form an antireflection film.
すなわち、本発明の光学レンズは、第１図に示すように
、合成樹脂よりなるレンズ体（１）の表面に、第１層（
２）、第２層（３）、第３層（４）、第４層（５）から
なる反射防止膜が形成されてなるものである。That is, as shown in FIG. 1, the optical lens of the present invention has a first layer (
2), an antireflection film consisting of a second layer (3), a third layer (4), and a fourth layer (5) is formed.
本発明において、レンズ体（１）を構成する合成樹脂と
しては、例えばジエチレングリコールビスアリルカーポ
不−ト樹脂をはしめ、ポリメチルメタクリレート、ポリ
スチレン、ポリカーポ第一ト、ポリ塩化ビニル等の各種
合成樹脂が使用可能である。In the present invention, various synthetic resins such as diethylene glycol bisallyl carbonate resin, polymethyl methacrylate, polystyrene, polycarbonate, polyvinyl chloride, etc. are used as the synthetic resin constituting the lens body (1). It is possible.
一方、上記合成樹脂よりなるレンズ体（１）の表面に形
成される４層構造の反射防止膜は、各々固をの特性を有
した無機材料が使用されている。On the other hand, the four-layer anti-reflection film formed on the surface of the lens body (1) made of the synthetic resin is made of inorganic materials each having specific properties.
先ず、レンズ体（１）と直接接する第１層（２）には、
合成樹脂よりなるレンズ体との被着性に非常に優れた材
料が用いられており、これによりレンズ体（１）を加熱
することなく密着性の優れた反射防止膜とすることがで
きる。この第１層（２）の材料としては、例えば５１０
Ｘ（ただし１≦Ｘ≦２）等が使用可能である。このＳｉ
ｎ、は合成樹脂に非常に良好に付着する無機材料であり
、したがって合成樹脂の表面上に直接接触して形成され
る第１層（２）の材料として非常に適切なものである。First, in the first layer (2) that is in direct contact with the lens body (1),
A material that has excellent adhesion to the lens body made of synthetic resin is used, so that an antireflection film with excellent adhesion can be obtained without heating the lens body (1). The material of this first layer (2) is, for example, 510
X (however, 1≦X≦2), etc. can be used. This Si
n, is an inorganic material that adheres very well to synthetic resins and is therefore very suitable as a material for the first layer (2) formed in direct contact with the surface of synthetic resins.
ただし、このＳ ｉ Ｏ，よりなる第１層（２）は残留
膜応力が非常に強く、合成樹脂よりなるレンズ体（１）
の表面を歪ませる虞れがある。そこで、当該第１層（２
）のＮ厚は３００Å以下とすることが好ましい。本発明
者等の実験によれば、層厚が３００人より大きい場合に
はレンズ体（１）の表面に歪みが生ずるのに対して、３
００Å以下であればレンズ体（］）表面の歪みは問題と
ならないレベルに＋ｍえられることがわかった。なお、
下限については特に制約されるものではな（、僅かであ
っても密着性改善の効果が得られるが、第１層（２）を
設けたことによる効果を期待する点から５０Å以上の層
厚は必要であろう。However, this first layer (2) made of S i O has very strong residual film stress, and the lens body (1) made of synthetic resin
There is a risk of distorting the surface. Therefore, the first layer (2
) is preferably 300 Å or less. According to experiments conducted by the present inventors, distortion occurs on the surface of the lens body (1) when the layer thickness is greater than 300, whereas
It has been found that if the thickness is 00 Å or less, the distortion on the surface of the lens body ( ) can be reduced to a level where it does not pose a problem. In addition,
There is no particular restriction on the lower limit (although the effect of improving adhesion can be obtained even if it is small, a layer thickness of 50 Å or more is recommended in order to expect the effect of providing the first layer (2). It would be necessary.
次に、上記第１層（２）の上に積層形成される第２層（
３）には、光学レンズの分光特性を満足し且つ残留膜応
力をキャンセルするような特性を存した材料が用いられ
る。この両者の特性を満足し第２層（３）に使用可能な
材料としては、Ｃｅ ＯｚやＺｒＯ２等が挙げられ、特
にＣｅ ＯＺは第２層（３）の材料として良好な特性を
発揮する。Next, a second layer (2) is laminated on top of the first layer (2).
For 3), a material is used that satisfies the spectral characteristics of the optical lens and has characteristics that cancel residual film stress. Materials that satisfy both of these characteristics and can be used for the second layer (3) include CeOz and ZrO2, and CeOZ exhibits particularly good characteristics as a material for the second layer (3).
これらＣｅＯ２やＺｒＯ□は、前述の第１層（２）（Ｓ
’ｉ０．）や後述の第３１（４）、第４層（５）に対し
て逆向きの応力が働くような応力を有するもので、膜応
力に対する緩衝材としての役割を果たす。また、ＣｅＯ
２やＺｒＯ□は非常にポーラスな膜であり、層厚を厚く
形成した場合にもレンズ体に変形を起こさせることがな
いという特性も有している。These CeO2 and ZrO□ are used in the first layer (2) (S
'i0. ), 31st (4), and 4th layer (5), which will be described later, have stress in the opposite direction, and serve as a buffer against membrane stress. Also, CeO
2 and ZrO□ are very porous films, and they also have the property of not causing deformation of the lens body even when formed with a large layer thickness.
この第２層（３）の層厚は任意であるが、光学レンズの
反射防止膜としての分光特性を満足させる目的を有した
層でもあるため、この点を考慮して層厚を設定すること
が好ましい。The thickness of this second layer (3) is arbitrary, but since it is a layer that has the purpose of satisfying the spectral characteristics as an antireflection film of an optical lens, the layer thickness should be set with this point in mind. is preferred.
また、前記第２層（３）上に積層形成される第３層（４
）には、合成樹脂よりなるレンズ体の耐擦傷性及び化学
耐久性を向上させる材料が用いられている。この第３層
（４）の材料としては、Ａ Ｅ ｚ Ｏ。Further, a third layer (4) is laminated on the second layer (3).
) uses a material that improves the scratch resistance and chemical durability of the lens body made of synthetic resin. The material for this third layer (4) is A E z O.
等が好適である。このＡ Ｑ ２０ ｘは、蒸着物質と
して非常に安定した材料であるとともに、耐擦傷性及び
化学耐久性に優れた無機材料である。しかしながら、こ
のＡ２□０．は残留膜応力がＳｉｎ、と同様に非常に高
くこしかも蒸発温度が高いため合成樹脂よりなるレンズ
体に対する温度負荷が高（レンズ体表面を歪ませる傾向
が強い。したがって、この第３層（４）の層厚は５００
Å以下とすることが好ましい。第３層（４）の層厚を５
００λ以下と薄くすることによって、成膜後の残留膜応
力を抑えることができ、またこの程度の層厚であれば蒸
着に際してのレンズ体の温度上昇を６０°Ｃ以下程度に
抑えることができる。なお、第３１ （４）に関しても
特に層厚の下限は制約されず、非常に薄い層厚であって
も耐擦傷性、化学耐久性の改善が見られるが、実用的な
効果を得るためには１００Å以上とすることが好ましい
。etc. are suitable. This A Q 20 x is an extremely stable material as a vapor deposition material, and is an inorganic material with excellent scratch resistance and chemical durability. However, this A2□0. Similar to Sin, the residual film stress is very high, and the evaporation temperature is also high, so the temperature load on the lens body made of synthetic resin is high (there is a strong tendency to distort the lens body surface. Therefore, this third layer (4 ) layer thickness is 500
It is preferable to set it to below Å. The thickness of the third layer (4) is 5
By making it as thin as 00 λ or less, residual film stress after film formation can be suppressed, and with this layer thickness, the temperature rise of the lens body during vapor deposition can be suppressed to about 60° C. or less. Regarding Article 31 (4), there is no particular restriction on the lower limit of the layer thickness, and even with a very thin layer thickness, improvements in scratch resistance and chemical durability can be seen, but in order to obtain practical effects, is preferably 100 Å or more.
最後に、最上層に積層される第４層（５）には、光学レ
ンズの反射防止膜としての分光特性を満足する無機材料
が用いられる。この第４Ｎ（５）は先の第２層（３）と
ともに反射防止膜としてａ能を左右するもので、反射防
止膜の分光特性を維持するために設けられるものである
。当該第４層（５）には、例えば５ｉＣ）、（１≦χ≦
２）が使用されるが、通常は化学的に安定なＳｉＯ２と
される。Finally, for the fourth layer (5) laminated on the top layer, an inorganic material is used that satisfies the spectral characteristics of an antireflection film for an optical lens. This fourth layer (5), together with the second layer (3), acts as an anti-reflection film and influences the a-ability, and is provided to maintain the spectral characteristics of the anti-reflection film. The fourth layer (5) contains, for example, 5iC), (1≦χ≦
2) is used, but it is usually chemically stable SiO2.
また、この第４Ｎ（５）の層厚であるが、所望の光学特
性に応して任意に設定することができ、反射防止の意味
から、例えば単一波長での透過率の向上を図るようにす
る場合には、この光学レンズで使用される光の波長をλ
とし、この第４層（５）を構成する材料の屈折率をｎと
して、その層厚ｄはｎｄ＝λ／４なる式より求められる
値に設定することが好ましい。The thickness of this 4N(5) layer can be set arbitrarily depending on the desired optical properties.For example, from the viewpoint of anti-reflection, it is possible to When the wavelength of light used in this optical lens is λ
Assuming that the refractive index of the material constituting the fourth layer (5) is n, the layer thickness d is preferably set to a value determined from the formula nd=λ/4.
上述の各層は、真空蒸着、イオンブレーティング、スパ
ッタリング等のＰＶＤ技術により容易に作成することが
できる。Each of the above-mentioned layers can be easily created using PVD techniques such as vacuum evaporation, ion blasting, and sputtering.
例えば、５ｉＯＸ膜やＳｉ０ｇ膜は、ＳｉＯを蒸発源と
し、酸化状態を雰囲気等でコントロールすることで作成
される。Ａ ｌ ｚ Ｏ３膜やＣｅ Ｏｚ膜等について
も、これらを蒸発源として前記ＰＶＤ技術によって容易
に作成される。For example, a 5iOX film or a Si0g film is created by using SiO as an evaporation source and controlling the oxidation state with the atmosphere or the like. AlzO3 films, CeOz films, and the like can also be easily produced by the PVD technique using these as evaporation sources.
本発明の光学レンズにおいて、反射防止膜のうちの第１
層は、合成樹脂よりなるレンズ体に対する被着強度を確
保する役割を果たす。In the optical lens of the present invention, the first of the antireflection films
The layer serves to ensure adhesion strength to the lens body made of synthetic resin.
また、第２層は、他の各層で発生する残留膜応力をキャ
ンセルする機能を存し、レンズ体表面の歪防止の役割を
果たすと同時に、分光特性を確保する役割をも果たす。Further, the second layer has a function of canceling residual film stress generated in each of the other layers, and plays the role of preventing distortion on the surface of the lens body, and at the same time plays the role of ensuring spectral characteristics.
同様に、第３層は耐擦傷性、化学耐久性等、レンズ体を
保護する役割を果たし、第４層は反射防止膜としての本
来の特性である光学特性を維持する機能を果たす。Similarly, the third layer serves to protect the lens body, such as scratch resistance and chemical durability, and the fourth layer serves to maintain optical properties, which are the original properties of an antireflection film.
そして、これらを所定の順序で積層することにより、各
層の特性が相乗的に発渾され、合成樹脂性のレンズ体で
要求される緒特性が同時に満足される。By laminating these layers in a predetermined order, the properties of each layer are developed synergistically, and the properties required of a synthetic resin lens body are simultaneously satisfied.
以下、本発明の光学レンズを光学ピックアップ用レンズ
に適用した実施例について説明するが、本発明がこの実
施例に限定されるものではないことはいうまでもない。Examples in which the optical lens of the present invention is applied to lenses for optical pickups will be described below, but it goes without saying that the present invention is not limited to these examples.
１ １〜 ５
アクリル系合成樹脂からなるレンズ体表面上に、反射防
止膜として第１表に示す無機材料を、第１表に示す層厚
で順次蒸着形成することにより反射防止膜を形成しサン
プルレンズを作製した。1 1 to 5 An antireflection film was formed on the surface of a lens body made of acrylic synthetic resin by sequentially vapor-depositing the inorganic materials shown in Table 1 as an antireflection film with the layer thickness shown in Table 1. A lens was created.
なお、本実施例で形成した反射防止膜は、波長７８０ｎ
ｍの光を透過させる■コートである。したがって、第１
表中に記載した材料の屈折率ｎを考慮した層厚ｄを算出
する基礎となる波長メは７８０ｎｍである。Note that the antireflection film formed in this example has a wavelength of 780 nm.
■It is a coat that transmits light of m. Therefore, the first
The wavelength used as the basis for calculating the layer thickness d considering the refractive index n of the materials listed in the table is 780 nm.
（以下余白）
〔実施例］
上述のようにして作製した各サンプルレンズについて、
引っ掻き耐擦傷性、化学耐久性、干渉縞による透過波面
について測定した。なお、化学耐久性は綿棒にイソプロ
ピルアルコールつけ、この綿棒でサンプルレンズの表面
を擦った後の反射防止膜の変化を目視により観察した。(Left below) [Example] For each sample lens produced as described above,
The scratch resistance, chemical durability, and transmitted wavefront due to interference fringes were measured. The chemical durability was measured by applying isopropyl alcohol to a cotton swab and visually observing changes in the antireflection film after rubbing the surface of the sample lens with the cotton swab.
さらに、干渉縞による透過波面は、サンプルレンズの表
面の干渉縞を計器を用いて測定した。これらフ１１定の
結果を第２表に示す。Furthermore, the transmitted wavefront due to the interference fringes was measured by measuring the interference fringes on the surface of the sample lens using an instrument. The results of these tests are shown in Table 2.
第２表
上述の結果より明らかなように、４層構造からなる反射
防止膜を形成したサンプルレンズは、耐擦傷性や化学耐
久性、さらには環境試験後における面変形等が全く生ず
ることなく、非常に良好なレンズであり、高精度が要求
される光学ビックアンプ用レンズとして充分機能するこ
とが確認された。As is clear from the results shown in Table 2 above, the sample lens with the anti-reflection film formed with the four-layer structure has excellent scratch resistance, chemical durability, and no surface deformation after the environmental test. It was confirmed that the lens is very good and functions well as an optical big amplifier lens that requires high precision.
これに対して、比較例レンズはいずれの特性も非常に悪
（、光学ピックアンプ等のように非常に高精度が要求さ
れるレンズとして使用することは不適切である。On the other hand, the comparative lens has very poor characteristics (and is inappropriate for use as a lens that requires very high precision, such as an optical pick amplifier).
また、実施例１で作騙したサンプルレンズの透過率を測
定したところ、第２図実線で示すように波長７８０ｎｍ
の光に対して９９．５％という非常に良好な透過率を示
している。なお、反射防止膜を形成していない合成樹脂
のみからなるレンズ体の透過率についても合わせて破線
で示したが、波長７８０ｎｍの光に対する透過率は約９
３％とあまり良好でなかった。In addition, when we measured the transmittance of the sample lens fabricated in Example 1, we found that the wavelength was 780 nm, as shown by the solid line in Figure 2.
It shows a very good transmittance of 99.5% for the light of The transmittance of a lens body made only of synthetic resin without an anti-reflection film is also shown with a broken line, and the transmittance for light with a wavelength of 780 nm is approximately 9.
It was not very good at 3%.
［発明の効果］
以上の説明より明らかなように、本発明においては、合
成樹脂よりなるレンズ体の反射防止膜を所定の特性を有
する無機材料よりなる４層構造としているので、膜強度
に優れ膜応力の少ないものとすることができる。[Effects of the Invention] As is clear from the above explanation, in the present invention, the anti-reflection coating of the lens body made of synthetic resin has a four-layer structure made of inorganic material having predetermined characteristics, and therefore has excellent film strength. The film can have less stress.
したがって、レンズ体表面が変形することもなく、超高
精度を要求される光学レンズにおいても優れた光学特性
を確保することができる。Therefore, the surface of the lens body is not deformed, and excellent optical characteristics can be ensured even in optical lenses that require ultra-high precision.
また、前記４層構造を有する反射防止膜は、物理的１機
械的にも優れたものであるので、耐＃！！傷性や化学耐
久性にも優れた光学レンズを提供することができる。In addition, the anti-reflection film having the four-layer structure has excellent physical and mechanical properties, so it has #! resistance. ! It is possible to provide an optical lens with excellent scratch resistance and chemical durability.
第１図は本発明を適用した光学レンズの一例を示す概略
断面図である。
第２図は反射防止膜を形成したレンズの透過率の波長依
存性を反射防止膜を形成していないレンズのそれと比較
して示す特性図である。
レンズ体
第１Ｎ
・・第２層
・第３層
・第４層FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of an optical lens to which the present invention is applied. FIG. 2 is a characteristic diagram showing the wavelength dependence of the transmittance of a lens on which an antireflection film is formed in comparison with that of a lens on which no antireflection film is formed. Lens body 1N...2nd layer, 3rd layer, 4th layer
Claims (2)
、 分光特性を満足する材料よりなる第２層と、耐擦傷性、
化学耐久性に優れた材料よりなる第３層と、 分光特性を満足する材料よりなる第４層とが順次積層さ
れ反射防止膜とされたことを特徴とする光学レンズ。(1) On the surface of the lens body made of synthetic resin, a first layer made of a material that has excellent adhesion with the synthetic resin, a second layer made of a material that satisfies the spectral characteristics, and scratch resistance,
An optical lens characterized in that a third layer made of a material with excellent chemical durability and a fourth layer made of a material satisfying spectral characteristics are sequentially laminated to form an antireflection film.
厚が５００Å以下であることを特徴とする請求項１記載
の光学レンズ。(2) The optical lens according to claim 1, wherein the first layer has a thickness of 300 Å or less, and the third layer has a thickness of 500 Å or less.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63208265A JPH0258002A (en) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | Optical lens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63208265A JPH0258002A (en) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | Optical lens |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258002A true JPH0258002A (en) | 1990-02-27 |
Family
ID=16553377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63208265A Pending JPH0258002A (en) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | Optical lens |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0258002A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0458131U (en) * | 1990-09-25 | 1992-05-19 | ||
| WO1998052074A1 (en) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Plastic optical component having a reflection prevention film and mechanism for making reflection prevention film thickness uniform |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP63208265A patent/JPH0258002A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0458131U (en) * | 1990-09-25 | 1992-05-19 | ||
| WO1998052074A1 (en) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Plastic optical component having a reflection prevention film and mechanism for making reflection prevention film thickness uniform |
| US6250758B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-06-26 | Hoya Corporation | Plastic optical devices having antireflection film and mechanism for equalizing thickness of antireflection film |
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