JPH0255949A - 超音波顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、超音波顕微鏡に係り、特にＢモード画像、Ｃ
モード画像、３次元画像等任意の画像を得ることのでき
る超音波顕微鏡に関する。

［従来の技術］ 超音波ビームを微小スポットに集束し、これにより試料
を相対的に走査して得られる反射信号を処理して試料の
内部状態を観測する超音波顕微鏡が知られている。

第１２図は、従来の超音波顕微鏡の構成例である。高周
波送信部１０１から発生される超高周波バースト波は、
サーキュレータ１０２を介して圧電トランスジューサ１
０３に印加される。圧電トランスジューサ１０３では高
周波電気信号が超音波に変換され、これが音響レンズ１
０４により集束性球面波に変換されて微小スポットとし
て集束し、その焦点面近傍に置かれた試料１０５に入射
される。音響レンズ１０４と試料１０５の間は、超音波
の減衰を防止するためのカプラー液体１０６で満たされ
る。試料１０５に入射された超音波パルスは１反射、透
過、散乱、吸収等の影響を受ける。試料１０５から反射
された超音波は。

再びカプラー液体１０６を伝搬し、音響レンズ１０４を
通り、圧電トランスジューサ１０３によって電気信号に
変換される。この受信信号はサキュレータ１０２を通っ
て高周波増幅器１０９により増幅される。増幅された信
号は、制御部１０８によりオン、オフ制御されるゲート
１１０により不要信号が除去され１．試料１０５からの
必要な反射信号のみが抽出されて検波部１１１に導かれ
る。検波部１１１では超高周波バースト信号が包結線検
波され１反射信号強度が求められる。こうして求められ
た反射信号はビデオ処理部１１２で信号処理が行われた
後１画像メモリ１１３に書き込まれる。以上の説明は、
試料１０５の一点情報のみについてである。２次元画像
情報を得るために、走査部１０７がある。この走査部１
０７により、試料１０５を超音波パルスに対して相対的
に２次元走査して、各点の情報を同様にして画像メモリ
１１３に記録する。画像メモリ１１３の情報を読み出す
ことにより、モニタ１１４上に試料１０５の内部状態画
像を表示することができる。

この従来例により得られる画像は、いわゆるＣモード（
またはＣスコープ）画像である。即ち。

超音波パルスの投射方向を２軸とし、これに直交する二
軸をｘ、ｙ軸として、走査部１０７によるｘ−ｙ走査に
より得られる画像は、試料１０５のｘ−ｙ面に平行な面
の２次元画像である。このモードでは、試料内部の深さ
の異なる位置の情報を得ることはできない。深さの異な
る位置の情報を得るためには、２方向の走査も加えて、
試料１０５と超音波パルスの集束位置の関係を変えた別
のＣモード画像を得ることが必要になり、走査が複雑に
なる。

投射する超音波パルスに平行な面の断層″画像。

即ちＢモード（またはＢスコープ）画像を得るものとし
ては、従来より、超音波断層撮像装置が知られている。

しかしこの装置では、Ｃモード画像を得ることができず
、また３次元画像を得ることもできない。

［発明が解決しようとする課題］ 以上のように従来の超音波顕微鏡や断層撮像装置は、い
ずれも２次元画像情報を得るものであり。

３次元的構造の音響的性質を反映した画像情報を得るも
のは現在までのところ実現されていない。

例えば試料内部にある欠陥の３次元的分布や異質媒質の
形状等を観測するためには、一つの断層面ではなく、ｉ
ｉｃ料の３次元的投影画像が容易に得られることが望ま
れる。

本発明は上記の点に鑑みなされたもので、−回のｘ−ｙ
走査と電気的信号処理の組合わせにより。

Ｂモード画像、Ｃモード画像はもとより、試料内部の任
意の傾斜面画像や３次元画像を得ることのできる超音波
顕微鏡を提供することをｑ的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明による超音波顕微鏡は＊　　ｘ　−Ｙの２次元走
査による試料からの反射信号から、各（ｘ、ｙ、。

位置での２方向の複数点の情報を得るべく、超音波パル
ス送受手段の出力信号を時間的にサンプリングして抽出
する手段が設けられる。この手段により得られる各音響
情報信号は、それぞれＡ／Ｄ変換器によりディジタル信
号に変換され、Ｘ方向の所定の走査範囲についてＡ／Ｄ
変換器の出力がＢモード画像情報として第１のメモリに
記録される。また第１のメモリに順次記録されるｙ方向
位置の異なる喪数のＢモード画像情報が３次元画像情報
として記録される第２のメモリが設けられる。

そして第２のメモリの情報を読み出して画像処理する手
段、およびこれにより処理された所定の画像を表示する
表示装置を有する。

［作用］ 本発明によれば、超音波パルスと試料間の相対的な走査
はｘ−ｙの２次元走査であるが、出力信号を時間的にサ
ンプリングする信号処理を組合わせることによって、試
料の深さ方向即ち２方向の複数点の音響情報が得られる
。即ち、−回の２次元的走査によって試料の３次元画像
情報を得ることができる。そしてこの３次元画像情報を
記録した第２のメモリの情報を加工することにより、Ｂ
モード画像、Ｃモード画像は勿論、試料内部の所定傾斜
面の画像や投影画像、３次元画像等を容易に表示するこ
とができる。

［実施例］ 以下９本発明の詳細な説明する。

第１図は、一実施例の超音波顕微鏡の構成を示す。超音
波パルス送受手段は、所定の時間間隔で高電圧パルスを
発生する送信パルス部１．この送信パルス部１からの高
電圧パルスが印加されて超音波パルスを生成する圧電ト
ランスジューサ２゜およびこのトランスジューサ２から
の超音波パルスを微小スポットに集束するための音響レ
ンズ３により構成される。音響レンズ３からの超音波パ
ルスの焦点位置またはその近傍に観察すべき試料４が配
置される。試料４と音響レンズ３の間は。

水等のカプラー液体５で満たされる。ｘ−ｙ走査部８は
、試料４を、超音波パルスの投射方向（２方向）と直交
する二軸ＸｒＹがつくる平面（ｘ−ｙ平面）内で２次元
的に走査駆動するものである。同期回路７は、クロック
発生部６の出力クロックを、ｘ−ｙ走査部８からのＸ方
向走査用の同期信号（Ｘ信号）により取出して送信パル
ス部にトリガ信号を送る。これにより送信パルス部１は
、Ｘ方向走査に同期して高電圧パルスを発生するように
なっている。

試料４からの反射波は、再び音響レンズ３を通り、トラ
ンスジューサ２により電気信号に変換されてプリアンプ
９に入力される。プリアンプ９の出力信号は、これをサ
ンプリングして試料４の２方向の複数点の音響情報信号
を抽出する回路に導かれる。この実施例では、プリアン
プ９の出力に並列にｎ個ノアンブ１０　（１０−１，１
０−２，・・・１Ｏ−ｎ）が接続され、これらのアンプ
１ｏの出力がそれぞれ、ゲート１１　（１１−１，１１
−２，・・・１ｌ−ｎ）を通って再度アンプ１２（１２
−１゜１２−２．・・・、ｌ２−ｎ）により増幅され、
ピーク検波部１３　（１３−１，１３−２，・・・、ｌ
３−ｎ）に導がれるようになっている。ｎ個併置された
ゲート１１は、パルス制御部１４により順次オン駆動さ
れる。パルス制御部１４は、同期回路７によりｘ−ｙ走
査に同期して、少しずつタイミングのずれたパルス幅一
定の制御パルスを発生するものであって、この制御パル
スによって、試料４がらの反射波から、試料４の２方向
の複数点の音響情報信号がサンプリングされることにな
る。なお深さ位置設定部１５は、パルス制御部１４がら
の制御パルスの発生開始のタイミング即ち、ゲート１１
をオン駆動し始めるタイミングを外部的に設定するため
のものである。この深さ位置設定部１５により、試料４
内のある深さ範囲の音響情報のみをデータとして取込む
ことを可能としている。ピーク検波部１３は、こうして
サンプリングされた各深さ位置の反射信号を包絡線検波
すると共に、得られた音響情報信号のピーク値を検出し
これをホールドする機能を含む。ピーク検波部１３には
同期回路７からのトリガ信号がピーク検波のリセット信
号として供給されている。即ち、Ｘ方向走査の各座標位
置毎に、受信された反射信号がサンプリングされホール
ドされるようになっている。

各ピーク検波部１３の出力信号は、パルス制御部１４に
より制御されるアナログ・スイッチ１６により順次取出
されて１時系列信号として出力アンプ１７に導かれる。

この出力アンプ１７の出力は、やはりパルス制御部１４
により制御されるＡ／Ｄ変換器１８により順次ディジタ
ル信号に変換されて、第１のメモリ（Ｂモード・メモリ
）１９に順次書き込まれる。このＢモード・メモリ１９
は、ｘ−ｙ走査部８およびパルス制御部１４により制御
されてｒ　　ｘ−Ｙ走査のｙ走査１ステップ毎に、Ｘ方
向ｉポイント、２方向ｎポイントのＢモード画像を記録
する。そしてＢモード・メモリ１９のデータは、Ｘ走査
１ステツプ毎に第２のメモリ（３次元メモリ）２０に転
送されて記録される、ｘ走査がｊポイントであるとする
と、３次元メモリ２０には、試料４の１ｘｉＸｊの３次
元画像データが記録されることになる。

画像処理部２１およびコンピュータ２２は、３次元メモ
リ２０のデータを適宜取込んで処理し。

所望の画像構成を行なう。こうして構成された画像は、
ＣＲＴモニタ２３上に可視化され表示されるようになっ
ている。

第２図は、このように構成された超音波顕微鏡の動作を
説明するためのタイミング図である。このタイミング図
を参照しながら、動作を次に説明する。走査開始時、第
１および第２のメモリ１９゜２０はクリアされ、ｘ−Ｘ
走査が始まる。ｘ−ｙ走査部８からはこのとき、第２図
（ａ）（ｂ）に示すような時間関係でＸ信号、ｙ信号が
出力される。１からｉまでのＸ信号により、試料４は超
音波源に対してＸ方向に走査が行われ、このＸ走査終了
後、ｙ信号により試料４はｙ方向に１ステツプ移動して
再び同様のＸ走査が繰返し行われる。

第２図（ｃ）以下は、Ｘ信号の時間軸を拡大して。

１回のＸ走査での信号処理の動作波形を示している。ま
ず、Ｘ信号とクロック発生部６からのクロック信号（第
２図（ｄ））がＸ同期回路７に入り。

これによりＸ信号に同期した送信トリガ信号（第２図（
ｅ））が送信パルス部１に入力される。これにより送信
パルス部１は高電圧パルスを発生し。

これが圧電トランスジューサ２を励振して超音波パルス
を発生させる。

試料４からの反射波は、トランスジューサ２で電気信号
に変換されて取出される（第２図（ｆ））。第２図（ｆ
）中、送信トリガに同期して得られる負パルスは送信も
れであり１反射波によるものではない。試料４からの反
射による受信信号は１図示のように送信パルスから所定
時間経過後に得られる。そこでパルス＠御部１４は。

送信トリガ信号より深さ位置設定部１５により設定され
た時間ｔ１遅れた時点から、第２図の（ｇ　ｌ）、　　
（ｇ　２）、・・・、（ｇｎ）に示すように順次ゲート
制御信号を出す。これらのゲート制御信号により、ｎ個
併置されたゲート１１は順次オンとなり、受信信号がサ
ンプリングされることになる。

サンプリングされた受信信号はそれぞれ、第２図（ｈ　
１）、　　（ｈ　２）、・・・に示すようにピーク検波
部１３によりピーク強度が抽出されてホールドされる。

ピーク検波部１３は、同期回路７から得られる送信トリ
ガによりリセットされる。ピーク検波部１３の出力信号
は、アナログスイッチ１６により、第２図（ｉ）のよう
な時系列信号として取出されてＡ／Ｄ変換器１８に入力
され、これが第２図（ｊ）に示すタイミングでＡ／Ｄ変
換されてＢモード・メモリ１９に書き込まれる。こうし
て１回の超音波パルス投射により、２方向のｎポイント
、即ち試料４のｎ個の異なる深さ位置の音響情報が得ら
れる。そしてｘ−１〜ｉの走査によるＢモード画像がＢ
モード・メモリ１９に順次書き込まれる。Ｂモード・メ
モリ１９に記録されたＢモード画像情報は、３次元メモ
リ２０に転送されると消去される。同様の走査が、ｙ−
１〜ｊのポイントについて行われ、各ｙ座標でのＢモー
ド画像が順次３次元メモリ２０に転送されて、３次元画
像データとして記録される。

次にこうして記録された３次元データを加工して種々の
画像を得る例を、第３図を参照して説明する。第３図（
ａ）は、３次元メモリ２０に取込まれたデータの仮想空
間配置を示す。このように［ｘ、ｙ、ｚ］空間座標に対
応したアドレス［１゜Ｊ、Ｎ］の３次元データを配置す
ると１画像処理部２１へのデータ転送の制御が容易にな
る。なお３次元メモリ２０がこのようにｘｙｚ座標に対
応していな場合には、アドレステーブルをハードウェア
により作り、またはコンピュータ２２と画像処理部２１
の間のソフトウェア変換を行なえばよい。

まず、Ｂモード画像を得るには、ｘ−Ｘ走査で得られる
第３図（ｂ）のＡ面のデータを画像処理部２１により取
込んでこれをＣＲＴモニタ２３に表示すればよい。この
場合には、アドレス［１゜Ｊ、Ｎｌ　として。

１−１〜１ Ｊ−１〜ｊのいずれか Ｎ−１〜ｎ を指定してデータを読み出す。なお、ＣＲＴモニタ２３
上で濃淡のある平面画像を得るために１画像処理部２１
がバッファ・メモリとして２次元画像メモリをもつこと
が好ましく、この２次元画像メモリにデータが転送され
ればＣＲＴモニタ２３に表示されるようにするとよい。

このＢモード画像は、ｘ−ｙ走査が全て終了した後でな
くても。

可視化できる。即ち、あるｙ点のＸ走査終了後にコンピ
ュータ２２と画像種処理部２１で制御することにより、
直前に取込んだＢモート画像を表示することは容易であ
る。Ｂモード画像としては通常第３図（ｂ）に示すＡ面
のみ考えるか、Ｂ而についてのＢモード画像も同様に表
示することが可能である。このときアドレス［１，Ｊ、
Ｎｌは。

１−１〜ｉのいずれか Ｊ−１〜ｊ Ｎ−１〜　ｎ を指定すればよい。

Ｃモード画像は第３図（ｃ）に示すように、ある深さ（
時間）のデータのみを用いればよいので。

アドレス［１，Ｊ、Ｎｌは。

！−１〜１ Ｊ−１〜ｊ Ｎ−１〜ｎのいずれか を指定してデータ取込みを行なえばよい。

第３図（ｄ）のような、所定の傾斜面画像についても、
その傾斜面に対応するある数式に基づいてアドレス［１
，Ｊ、Ｎｌを指定してデータを取込むことにより、容易
に表示することができる。

第３図（ｅｌ　）　、　　（ｅ２　）に示すＢモード画
像の投影画像は、それぞれＡ面、８面のＢモード画像デ
ータを複数枚分加算処理することにより得られる。第３
図（ｆ）のＣモード画像の投影画像についても、同様で
ある。

第３図（ｇ）に示すような、ｘ、ｙ、ｚいずれの軸にも
平行でない方向の投影画像を得るには。

座標変換を必要とする。例えば、投影面がｚｘ平而面平
行とすると、３次元メモリ座標のＸ軸をα。

Ｚ軸をβそれぞれ回転させて投影面座標に変換する処理
を加え、それ以外は先の例と同様に複数枚分の画像デー
タ値を加算することで１図のような任意角度の投影方向
の３次元的投影画像を表示することができる。

以上のようにしてこの実施例の超音波顕微鏡では、２次
元走査と受信信号のサンプリングによって３次元画像情
報を得、これを記録しておき１画像処理によってＢモー
ド画像、Ｃモード画像はもとより、任意の傾斜面での切
断面画像や３次元的投影画像を表示することができる。

即ち従来にない超音波顕微鏡像を得ることができ１例え
ば試料内部の３次元的欠陥の分布の観測や試料内部の異
質媒質の形状の同定等に、有効に利用することができる
。従来の構成でも例えば、ｘ−ｙ走査を２方向位置を異
ならせて複数回繰返せば、原理的には３次元的画像情報
を集めることが可能である。

しかしこの実施例によれば、ただ−回のｘ−ｙ走査のみ
であるから、走査が複雑になることもなく。

高速に３次元画像情報を得ることができる。

本発明の別の実施例を以下に説明する。

第４図は、第１図の実施例におけるパルス制御部１４を
変形した実施例である。ここでは、パルス制御部を１４
．．１４２の二段に分けて、深さ位置設定部１５により
受信信号の取込み開始までの時間（第２図の１．）を設
定して、この時間経過後にパルス制御部２、から２２ヘ
クロツタの供給を開始するようにしている。同時に、二
段目のパルス制御部２２には、ｎ個のゲート１１に対応
してｎ個のゲート位置・幅設定部４１（４１−１゜４１
−２．・・・、４ｌ−ｎ）が設けられ、これにより各ゲ
ート制御信号の位置と幅を任意に設定できるようにして
いる。

具体的なゲート制御信号の位置および幅の組合わせ、言
替えればサンプリングの時間幅と間隔の組合わせのいく
つかの例を第５図（ａ）〜（ｄ）に示す。第５図（ａ）
では、一つのゲート制御信号の立下りで次のゲート制御
信号が立上がるという関係を保ちながら、ゲート制御信
号幅は必要に応じて異ならせている。第５図（ｂ）では
、第１のゲート制御信号の立下りと第２のゲート制御信
号の立上りの間に微小な時間差があり、第２のゲート制
御信号と第３のゲート制御信号との間は一部重なる。と
いうような配列の場合である。第５図（Ｃ）では、パル
ス幅は全て同じで、各信号間に一定の時間差Δｔを設け
た例を示し、第５図（ｄ）では、パルス幅はやはり全て
同じで各ゲート制御信号がΔｔずつ重なる場合を示して
いる。

第５図（ａ）、（ｂ）のようなゲート位置・幅の制御は
１例えば試料内部に点在する欠陥や異質媒質の位置が等
配置でなく、それらのデータを効果的に寄せ集めて取込
む必要がある場合に特に有用である。また、試料内部の
各部で音速が異なり。

超音波伝搬時間が異なる結果２画像構成した時に実距離
と画像上での距離の不一致が生じるような場合、実配置
に対応した歪みのない画像を得るためにも、有用である
。

なお、ゲート制御信号の位置・幅を変化させた場合、こ
れに対応してアナログ・スイッチやＡ／Ｄ変換器への制
御信号も同様にタイミングや幅を変えることが必要にな
る。

第６図は、第１図の実施例において、ゲート１１とアン
プ１２の間に可変減衰器５１（５１−１゜５１−２．・
・・、５ｌ−ｎ）を設けた実施例である。これにより、
各経路での利得を調整することができる。例えば、試料
内部の深い位置からの反射波は一般に大きい減衰を示す
。この実施例によれば。

各経路の利得に差を付けることによって、深い部分から
の像に浅い部分からρそれと同様高いコントラストを与
える。といったことが可能になる。

なお、可変減衰器５１の位置は第６図に限られず、アン
プ１０からアナログ・スイッチ１６までの間のどこに配
置してもよい。またアンプ自身が利得可変のものである
場合には、特にこの様な可変減衰器を挿入することなく
、同様の利得調整が可能である。

第７図は、第１図の実施例において、アンプ１０とゲー
ト１１の間にバンドパス・フィルタ７１　（７１−１，
７１−２，・・・、７ｌ−ｎ）を設けた実施例である。

フィルタ７１の周波数特性は例えば。

第８図に示すようにｎ個のゲート部について順次中心周
波数が高くなるように設定される。試料内部からの反射
信号を捕える場合、一般に深い位置のもの程高周波成分
の振幅の減衰が大きい。即ち深さ位置により、得られる
受信信号の周波数スペクトルが異なったものとなり、一
般に深いところでの方位分解能は低下する。上記のよう
にバンドパス・フィルタ７１を設ければ、この様な深さ
による周波数スペクトルの変化を補償することができ、
結果として深いところでの方位分解能を浅いところと同
等に保つことができる。

また、バンドパス・フィルタに代わって、第９図或いは
第１０図に示すような周波数特性をもつバイパス・フィ
ルタを組込むことによっても、同様の効果が得られる。

特に第１０図のようにフィルタの減衰域を超音波トラン
スジューサの動作周波数近傍にとると１反射波周波数ス
ペクトルの補正に有効である。

なお以上に述べたフィルタの挿入箇所は、アンプ１０と
ピーク検波部１３の間であれば、どこでもよい。

第１１図は、第１図の実施例のアナログ・スイッチを省
略し、Ａ／Ｄ変換器１８をｎ個用意して。

各ピーク検波部１３の出力をこれらのＡ／Ｄ変換器１８
で同時に並列にディジタル信号に変換するようにしたも
のである。この実施例によれば、各深さ位置の音響情報
信号を検出して記録する動作を極めて短時間に行うこと
ができ、高速性に優れた超音波顕微鏡を得ることが°で
きる。

その池水発明は９種々変形して実施することができる。

例えば第１図の実施例では、ｘ−ｙ走査は試料４を機械
的に駆動するように示しているが。

このｘ−ｙ走査は相対的なものであるから、超音波源側
を駆動するように構成することもできる。

また、それ程分解能が要求されない場合には、圧電トラ
ンスジューサを複数個２次元的に配列したアレイを用い
、電気的にｘ−ｙ走査を行なうことも可能であり、その
場合にも本発明は有効である。

更に実施例では、１隻数個併置したゲートを用いて超音
波送受手段の出力信号から深さの異なる位置の情報を得
ているが、他の回路構成を利用して受信信号を時間的に
サンプリン、グし、ピーク値をホールドして抽出するこ
とが可能である。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、−回の２次元走査の
みで試料の３次元的画像を得ることのできる超音波顕微
鏡が実現でき、従来の超音波顕微鏡では困難であった試
料の各種構造解析を容易に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例の超音波顕微鏡の構成を示
す図、第２図はその動作を説明するためのタイミング図
、第３図は同じくその各種画像表示モードを説明するた
めの図、第４図は、他の実施例のパルス制御部の構成を
示す図、第５図はその実施例によるゲート制御信号の例
を示す図、第６図は、可変減衰器を挿入した実施例を示
す図。 第７図は、バンドパス・フィルタを挿入した実施例を示
す図、第８図はそのバンドパス・フィルタの周波数特性
分布を示す図、第９図および第１０図は、バンドパス・
フィルタに代わって用いられるバイパス・フィルタの周
波数特性分布を示す図。 第１１図は、複数のＡ／Ｄ変換器を用いた実施例を示す
図、第１２図は、従来の超音波顕微鏡の構成を示す図で
ある。 １・・・送信パルス部、２・・・圧電トランスジューサ
。 ３・・・音響レンズ、４・・・試料、５・・・カプラー
液体。 ６・・・クロック発生部、７・・・同期回路、８・・・
ｘ−ｙ走査部、９・・・プリアンプ、１０．１２・・・
アンプ。 １１・・・ゲート、１３・・・ピーク検波部、１４・・
・パルス制御部、１５・・・深さ位置設定部、１６・・
・アナログ・スイッチ、１７・・・出力アンプ、１８・
・・Ａ／Ｄ変換器、１９・・・Ｂモード・メモリ（第１
のメモリ）、２０・・・３次元メモリ（第２のメモリ）
２１・・・画像処理部、２２・・・コンピュータ。 ２３・・・ＣＲＴモニタ。 出願人代理人　弁理士　坪井　　淳 ド （ａ） 第 経内 （Ｃ） 第 敗因 （ｂ） 第１１０ 第１２ 図 第７ 図 第９ 第８ 第 １０口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 微小スポットに集束する超音波パルスを試料に投射し、
   試料からの反射波を受信する超音波パルス送受手段と、 前記試料への超音波パルス投射方向をｚ軸とし、これと
   直交する二軸をｘ、ｙ軸として、前記超音波パルスを試
   料に対して相対的にｘ−ｙ平面内で走査する手段と、 前記超音波パルス送受手段の出力信号を所定の時間幅と
   間隔でサンプリングして、前記試料のｚ方向位置の異な
   る複数点の音響情報信号を抽出する手段と、 前記抽出手段により得られる各音響情報信号をそれぞれ
   ディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、 ｘ方向の所定の走査範囲についての前記Ａ／Ｄ変換器の
   出力をＢモード画像情報として記録する第１のメモリと
   、 前記第１のメモリから順次読み出される、ｙ方向位置の
   異なる複数のＢモード画像情報を３次元画像情報として
   記録する第２のメモリと、 前記第２のメモリの情報を読み出して所定の画像情報と
   して処理する画像処理手段と、 前記画像情報処理手段により処理された所定の画像を可
   視化する表示装置と、 を備えたことを特徴とする超音波顕微鏡。