JPH02311202A - 被覆切削工具 - Google Patents
被覆切削工具Info
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- JPH02311202A JPH02311202A JP12747389A JP12747389A JPH02311202A JP H02311202 A JPH02311202 A JP H02311202A JP 12747389 A JP12747389 A JP 12747389A JP 12747389 A JP12747389 A JP 12747389A JP H02311202 A JPH02311202 A JP H02311202A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 47
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 14
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- -1 carbonitrides Chemical class 0.000 claims description 8
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims description 7
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000010953 base metal Substances 0.000 abstract 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910009043 WC-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009772 tissue formation Effects 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は表面に硬質膜が形成された切削工具の改良に関
する。
する。
（従来技術）
従来、切削工具としては、サーメット、超硬合金あるい
はセラミック等が主として使用されているが、近年に至
り、これらを母材としてその表面に化学気相成長（ＣＶ
Ｄ ）等によって耐摩耗性に優れた硬質膜を形成したい
わゆる被覆切削工具が知られている。通常、この硬質膜
には、周期律表第４ａ族、第５ａ族あるいは第６８族の
炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、炭酸
窒化物あるいは＾ｌの酸化物、酸窒化物から選ばれる１
種又は２種以上の単層あるいは複層が用いられている。
はセラミック等が主として使用されているが、近年に至
り、これらを母材としてその表面に化学気相成長（ＣＶ
Ｄ ）等によって耐摩耗性に優れた硬質膜を形成したい
わゆる被覆切削工具が知られている。通常、この硬質膜
には、周期律表第４ａ族、第５ａ族あるいは第６８族の
炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、炭酸
窒化物あるいは＾ｌの酸化物、酸窒化物から選ばれる１
種又は２種以上の単層あるいは複層が用いられている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、これら硬質膜は、硬度が高く、耐摩耗性には優
れるものの著しく靭性が低いために硬質膜自体にクラ・
）り、割れ等が生じやすかった。よって被覆切削工具で
は、これら被膜に生じたクラック、割れ等が切り欠きと
なり被覆切削工具全体としても、未被覆切削工具と比べ
、著しく靭性、耐欠損性が劣化するという欠点を有して
いた。
れるものの著しく靭性が低いために硬質膜自体にクラ・
）り、割れ等が生じやすかった。よって被覆切削工具で
は、これら被膜に生じたクラック、割れ等が切り欠きと
なり被覆切削工具全体としても、未被覆切削工具と比べ
、著しく靭性、耐欠損性が劣化するという欠点を有して
いた。
（発明の目的）
本発明においては、上述の問題点を解決することを主た
る目的とするもので、耐摩耗性を劣化させることなく、
耐欠損性にも優れた長寿命の被覆切削工具を提供するこ
とを目的とする。
る目的とするもので、耐摩耗性を劣化させることなく、
耐欠損性にも優れた長寿命の被覆切削工具を提供するこ
とを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
発明者は、上記問題点について、研究を重ねた結果、被
覆層の結晶構造として、粒状晶組織と、柱状晶組織とを
混在させることにより硬質被膜中でのクラック伝播を防
くとともに被膜自体の靭性を向上させ、被覆切削工具全
体としても、耐摩耗性を損なうことなく耐欠損性の向上
が得られるという知見が得られた。
覆層の結晶構造として、粒状晶組織と、柱状晶組織とを
混在させることにより硬質被膜中でのクラック伝播を防
くとともに被膜自体の靭性を向上させ、被覆切削工具全
体としても、耐摩耗性を損なうことなく耐欠損性の向上
が得られるという知見が得られた。
すなわち、本発明は、サーメット、超硬合金、窒化珪素
質材料など高強度材料として知られた材料を母材として
、この母材表面に周期律表第４ａ族、第５ａ族、および
第６８族の炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸
化物、酸炭窒化物あるいは八１の酸化物、酸窒化物から
選ばれる１種又は２種以上の単層あるいは複層を被覆し
た被覆切削工具において、前記被覆層中に柱状晶組織と
粒状晶Ｍｉ織とが混在する組織を有することを特徴とす
るものである。
質材料など高強度材料として知られた材料を母材として
、この母材表面に周期律表第４ａ族、第５ａ族、および
第６８族の炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸
化物、酸炭窒化物あるいは八１の酸化物、酸窒化物から
選ばれる１種又は２種以上の単層あるいは複層を被覆し
た被覆切削工具において、前記被覆層中に柱状晶組織と
粒状晶Ｍｉ織とが混在する組織を有することを特徴とす
るものである。
一般に、化学気相成長法（ＣＶＤ）によって周期律表第
４ａ族、第５８族、および第６８族の炭化物、窒化物、
炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、酸炭窒化物を形成させ
る場合、まず母材表面に核が発生し、これら核からさら
に成長し、最終的に膜が生成されるが、この成長過程に
おける反応条件によっていわゆる結晶配向が伴って成長
してなる柱状晶と、配向することなくランダム状に成長
してなる粒状晶のほぼ２種類の結晶組織構造に分類され
る。このうち、被覆切削工具における被膜の組織構造は
一般には後者が用いられる。
４ａ族、第５８族、および第６８族の炭化物、窒化物、
炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、酸炭窒化物を形成させ
る場合、まず母材表面に核が発生し、これら核からさら
に成長し、最終的に膜が生成されるが、この成長過程に
おける反応条件によっていわゆる結晶配向が伴って成長
してなる柱状晶と、配向することなくランダム状に成長
してなる粒状晶のほぼ２種類の結晶組織構造に分類され
る。このうち、被覆切削工具における被膜の組織構造は
一般には後者が用いられる。
これら２種類の組織構造を生成するための反応条件は、
基板温度、原料ガス濃度、炉内圧力という基本条件の他
に、原料ガスの種類、プラズマ状態や炉口体の性質など
各種要因により決定されるため、−概に表現することは
難しいが、およそ次のようなことが言える。通常粒状晶
組織が生成される条件に対して、基板温度については上
昇を、炉内圧力、原料ガス過飽和度については低下させ
ることによって柱状晶結晶構造が得られる。これは、前
述した金属炭化物、窒化物、炭窒化物等のいずれの場合
においても同様な傾向にあると言える。
基板温度、原料ガス濃度、炉内圧力という基本条件の他
に、原料ガスの種類、プラズマ状態や炉口体の性質など
各種要因により決定されるため、−概に表現することは
難しいが、およそ次のようなことが言える。通常粒状晶
組織が生成される条件に対して、基板温度については上
昇を、炉内圧力、原料ガス過飽和度については低下させ
ることによって柱状晶結晶構造が得られる。これは、前
述した金属炭化物、窒化物、炭窒化物等のいずれの場合
においても同様な傾向にあると言える。
具体的には、例えばＴｉＮ膜の生成にあたり、基板温度
１０００℃、Ｈ２４５χ、ＴｉＣ１４５χ、Ｎ２５０χ
、炉内圧力１００ｍｂａｒの混合気流中で生成すると第
１図の電子顕微鏡写真に示すような柱状晶結晶が生成さ
れる。これに対し、前記反応条件のうち炉内圧力を８０
０ｍｂａｒに変更して生成すると、第２図の電顕写真に
示すような粒状晶結晶が生成される。
１０００℃、Ｈ２４５χ、ＴｉＣ１４５χ、Ｎ２５０χ
、炉内圧力１００ｍｂａｒの混合気流中で生成すると第
１図の電子顕微鏡写真に示すような柱状晶結晶が生成さ
れる。これに対し、前記反応条件のうち炉内圧力を８０
０ｍｂａｒに変更して生成すると、第２図の電顕写真に
示すような粒状晶結晶が生成される。
本発明の特徴は、このような２種類の組織構造、即ち、
柱状晶結晶と粒状晶結晶とが混在した組織構造の被膜を
生成させる点にある。このような組織構造を得るために
は、まず、基板上に先に第１図に示したような柱状晶結
晶の結晶を生成させて、次いで第２図に示したような粒
状晶結晶の結晶生成させると、第１図からも明らかなよ
うに柱状晶結晶中に存在する空隙中に粒状晶結晶が生成
成長し、最終的に第３図の電顕写真に示すような柱状晶
結晶と粒状晶結晶とが混在した組織の硬質膜が得られる
。このような混在組織は、柱状晶結晶と粒状品結晶が体
積比で１０：９０乃至９０：１０ 、特に３〇ニア０乃
至７０：３０の比率であることが望ましく、柱状晶結晶
が多過ぎると逆に膜の特性が低下する傾向にあり、粒状
晶結晶が多過ぎると、柱状晶の混在効果がほとんどなく
、本発明の目的が達成されない場合がある。
柱状晶結晶と粒状晶結晶とが混在した組織構造の被膜を
生成させる点にある。このような組織構造を得るために
は、まず、基板上に先に第１図に示したような柱状晶結
晶の結晶を生成させて、次いで第２図に示したような粒
状晶結晶の結晶生成させると、第１図からも明らかなよ
うに柱状晶結晶中に存在する空隙中に粒状晶結晶が生成
成長し、最終的に第３図の電顕写真に示すような柱状晶
結晶と粒状晶結晶とが混在した組織の硬質膜が得られる
。このような混在組織は、柱状晶結晶と粒状品結晶が体
積比で１０：９０乃至９０：１０ 、特に３〇ニア０乃
至７０：３０の比率であることが望ましく、柱状晶結晶
が多過ぎると逆に膜の特性が低下する傾向にあり、粒状
晶結晶が多過ぎると、柱状晶の混在効果がほとんどなく
、本発明の目的が達成されない場合がある。
被覆切削工具において上記の結晶の混在した組織は工具
母材上に単層として存在する他、複層構造の硬質膜中の
１つの層として存在しても硬質膜内でのクランクの伝播
を混在組織形成層にて防ぐことができるのである。
母材上に単層として存在する他、複層構造の硬質膜中の
１つの層として存在しても硬質膜内でのクランクの伝播
を混在組織形成層にて防ぐことができるのである。
また、本発明において用いられる工具母材としては、被
覆切削工具用母材として従来から知られているいずれの
ものが採用され、例えばＷＣ−Ｃｏを主成分としたある
いはＴｉＣ、Ｔ１ＣＮ等を主成分とし、硬質相として周
期律表第４８族、第５ａ族、および第６８族の炭化物、
窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、酸炭窒化物を
加えた超硬合金やサーメット焼結体、窒化珪素に周期律
表第１［［ａ族酸化物の他Ａｈ（ｈ 、５ｔ（ｈ、Ｍｇ
Ｏ、Ｚｒ０ｚ等を加えた窒化珪素質焼結体等が採用され
るが、これらの中でも超硬合金が母材として最も有効で
ある。
覆切削工具用母材として従来から知られているいずれの
ものが採用され、例えばＷＣ−Ｃｏを主成分としたある
いはＴｉＣ、Ｔ１ＣＮ等を主成分とし、硬質相として周
期律表第４８族、第５ａ族、および第６８族の炭化物、
窒化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、酸炭窒化物を
加えた超硬合金やサーメット焼結体、窒化珪素に周期律
表第１［［ａ族酸化物の他Ａｈ（ｈ 、５ｔ（ｈ、Ｍｇ
Ｏ、Ｚｒ０ｚ等を加えた窒化珪素質焼結体等が採用され
るが、これらの中でも超硬合金が母材として最も有効で
ある。
一方、硬質膜はＴｉ、Ｚｒ、１１［等周期律第４８族、
Ｔａ、Ｎｂ、 Ｖ等の第５８族、およびＣｒ等の第６８
族の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸炭窒化物、あるいは
旧の酸化物、酸窒化物から選ばれる１種又は２種以上の
単層あるいは複層であり、これらのうち、前述した混在
組織形成層を形成し得るものとしては酪化合物を除く他
の立方晶構造を有する化合物が挙げられ、これらの中で
もＴｉＣ、ＴｉＮ 、 Ｔ１ＣＮ、 ＴｉＣＮ０が最
も望ましく、前述したへ１化合物は最外層として一般に
形成される。
Ｔａ、Ｎｂ、 Ｖ等の第５８族、およびＣｒ等の第６８
族の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸炭窒化物、あるいは
旧の酸化物、酸窒化物から選ばれる１種又は２種以上の
単層あるいは複層であり、これらのうち、前述した混在
組織形成層を形成し得るものとしては酪化合物を除く他
の立方晶構造を有する化合物が挙げられ、これらの中で
もＴｉＣ、ＴｉＮ 、 Ｔ１ＣＮ、 ＴｉＣＮ０が最
も望ましく、前述したへ１化合物は最外層として一般に
形成される。
これら硬質膜は母材上に５〜２０μｍの厚めで形成され
、このうち、混在組織形成層は２μｍ以上の厚みで存在
していることが望ましく、２μｍを下回ると混在組織に
よる効果が十分に発揮されない。
、このうち、混在組織形成層は２μｍ以上の厚みで存在
していることが望ましく、２μｍを下回ると混在組織に
よる効果が十分に発揮されない。
以下、本発明を次の例で説明する。
（実施例１）
母材としてｌ５ＯＰ３０（超硬合金製、型番ＣＮＭＧ１
２０４０８）を用い、公知のＣＶＯ法にて基板温度１０
００℃、Ｈｚ４５Ｘ 、ＴｉＣＩｔ５χ、Ｎ２５０χ、
炉内圧力６０ｍｂａｒの混合気流中に柱状晶ＴｉＮ膜を
６時間生成し、次いで炉内圧力を８０Ｏｎ＋ｂａｒに上
昇させ、柱状晶ＴｉＮの空隙に粒状晶ＴｉＮを析出させ
、膜厚１０μｍの柱状晶組織と粒状晶組織とが混在した
被膜を形成した。
２０４０８）を用い、公知のＣＶＯ法にて基板温度１０
００℃、Ｈｚ４５Ｘ 、ＴｉＣＩｔ５χ、Ｎ２５０χ、
炉内圧力６０ｍｂａｒの混合気流中に柱状晶ＴｉＮ膜を
６時間生成し、次いで炉内圧力を８０Ｏｎ＋ｂａｒに上
昇させ、柱状晶ＴｉＮの空隙に粒状晶ＴｉＮを析出させ
、膜厚１０μｍの柱状晶組織と粒状晶組織とが混在した
被膜を形成した。
比較として同一材種の母材上に前述と同一条件で柱状晶
ＴｉＮのみの被膜を１０μＭ形成したもの、および同様
にして粒状晶ＴｉＮのみの被膜を１０μｍ形成したもの
を作成した。
ＴｉＮのみの被膜を１０μＭ形成したもの、および同様
にして粒状晶ＴｉＮのみの被膜を１０μｍ形成したもの
を作成した。
上記で得られた３つのサンプルに対し、下記の条件で切
削試験を行なった。
削試験を行なった。
摩耗テスト 被削材 ＳＣＭ４３５Ｒ切削速度 １
５０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切込み ２ｍｍ 時間 １５分 上記条件で切削後フランク摩耗量を測定した。
５０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切込み ２ｍｍ 時間 １５分 上記条件で切削後フランク摩耗量を測定した。
耐欠損テスト 被削材 ＳＣＭ４３５ （１０ｍｍの
幅の溝が４本人ったもの） 切削速度 ８０印／ｍ１ｎ −只 − 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切込み ３闘 衝撃回数 約５００回 上記条件で切削後各サンプル（それぞれ３０個）につい
て欠損した割合（欠損率）を求めた。
幅の溝が４本人ったもの） 切削速度 ８０印／ｍ１ｎ −只 − 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切込み ３闘 衝撃回数 約５００回 上記条件で切削後各サンプル（それぞれ３０個）につい
て欠損した割合（欠損率）を求めた。
結果は第１表に示す。
第１表から明らかなように、フランク摩耗に関しては柱
状晶ＴｉＮ膜が劣るが、混在ＴｉＮ膜および粒状晶Ｔｉ
Ｎは同レベルであった。欠損性において、混在ＴｉＮ膜
は他の単一膜に比べ、優れていることがわかり、膜の靭
性が向上したことが理解される。
状晶ＴｉＮ膜が劣るが、混在ＴｉＮ膜および粒状晶Ｔｉ
Ｎは同レベルであった。欠損性において、混在ＴｉＮ膜
は他の単一膜に比べ、優れていることがわかり、膜の靭
性が向上したことが理解される。
（実施例２）
実施例１と同一の工具母材およびＣＶＤ法を用いて、基
板温度１１５０°ＣでＨ２９２χ、ＴｉＣ１４４χ、ｃ
Ｈ４，４χ、炉内圧力６０ｍｂａｒの混合気流中で針状
晶ＴｉＣ膜を４時間形成し、次いで温度を１０２０℃に
低下させて粒状晶ＴｉＣ膜を析出させ、膜厚１０μｍの
柱状晶組織と粒状晶組織とが混在した被覆を作成した。
板温度１１５０°ＣでＨ２９２χ、ＴｉＣ１４４χ、ｃ
Ｈ４，４χ、炉内圧力６０ｍｂａｒの混合気流中で針状
晶ＴｉＣ膜を４時間形成し、次いで温度を１０２０℃に
低下させて粒状晶ＴｉＣ膜を析出させ、膜厚１０μｍの
柱状晶組織と粒状晶組織とが混在した被覆を作成した。
比較例として前述の条件でそれぞれ膜厚１０μｍの柱状
脱晶Ｔｉｃ膜のみおよび粒状晶ＴｉＣ膜のみの被膜を形
成したものを作成した。
脱晶Ｔｉｃ膜のみおよび粒状晶ＴｉＣ膜のみの被膜を形
成したものを作成した。
これらを実施例１と同様に摩耗テスト、耐欠損テストを
行い、結果を第２表に示した。
行い、結果を第２表に示した。
＝ １１−
第２表
第２表の結果によれば、実施例１と同様、混在ＴｉＣ膜
は優れた特性を示した。
は優れた特性を示した。
（実施例３）
実施例１と同一の工具母材およびＣＶＯ法を用いて、基
板温度１１５０°ＣでＨ２９２χ、ＴｉＣ１ａ４χ、Ｃ
Ｉ＋４．４χ、炉内圧力５０ｍｂａｒの混合気流中で柱
状晶ＴｉＣ膜を２時間形成し、次いで温度を１０００°
Ｃに低下させ、粒状晶ＴｉＣ膜を析出させ、膜厚７μｍ
の柱状晶組織と粒状晶組織とが混合した被覆とし、その
上に、温度１０００°ＣでＨ２６０χ、ＣＯ□１４χ、
ｌＩＣｌ３χ、Ａ１０３２０χ、炉内圧力５０ｍｂａｒ
の混合気流中でＡｌｚＯｉ膜を３μｍ析出させ、全膜厚
１０μｍのＴｉＣ＋ΔＩ２Ｏ３複層膜を作成した。
板温度１１５０°ＣでＨ２９２χ、ＴｉＣ１ａ４χ、Ｃ
Ｉ＋４．４χ、炉内圧力５０ｍｂａｒの混合気流中で柱
状晶ＴｉＣ膜を２時間形成し、次いで温度を１０００°
Ｃに低下させ、粒状晶ＴｉＣ膜を析出させ、膜厚７μｍ
の柱状晶組織と粒状晶組織とが混合した被覆とし、その
上に、温度１０００°ＣでＨ２６０χ、ＣＯ□１４χ、
ｌＩＣｌ３χ、Ａ１０３２０χ、炉内圧力５０ｍｂａｒ
の混合気流中でＡｌｚＯｉ膜を３μｍ析出させ、全膜厚
１０μｍのＴｉＣ＋ΔＩ２Ｏ３複層膜を作成した。
また、比較品として柱状晶ＴｉＣのみ７μｍにＡ１□０
３膜を３μｍ設けたもの、粒状晶Ｔｉｃのみ７μｍにＡ
ｌ２Ｏ３膜を３μｍ設けたものを作成し、実施例１と同
様の試験を行なった。結果は第３表に示す。
３膜を３μｍ設けたもの、粒状晶Ｔｉｃのみ７μｍにＡ
ｌ２Ｏ３膜を３μｍ設けたものを作成し、実施例１と同
様の試験を行なった。結果は第３表に示す。
（発明の効果）
以上詳述した通り、本発明によれば、硬質膜中に柱状晶
結晶と粒状晶結晶とが混在した組織を形成することによ
って硬質膜の靭性を著しく向上させることが出来、被覆
切削工具として耐摩耗性を劣化させること無く、耐欠損
性能を改善することが出来る。よって、これら工具を用
いることにより切削の安定性、長寿命化を得ることが出
来る。
結晶と粒状晶結晶とが混在した組織を形成することによ
って硬質膜の靭性を著しく向上させることが出来、被覆
切削工具として耐摩耗性を劣化させること無く、耐欠損
性能を改善することが出来る。よって、これら工具を用
いることにより切削の安定性、長寿命化を得ることが出
来る。
第１図は柱状晶結晶ＴｉＮ膜の組織構造を示す電子顕微
鏡写真、第２図は粒状晶結晶ＴｉＮ膜の組織構造を示す
電子顕微鏡写真、第３図は柱状晶結晶ＴｉＮ膜と粒状晶
結晶ＴｉＮ膜とが混在した膜の組織構造を示す電子顕微
鏡写真である。
鏡写真、第２図は粒状晶結晶ＴｉＮ膜の組織構造を示す
電子顕微鏡写真、第３図は柱状晶結晶ＴｉＮ膜と粒状晶
結晶ＴｉＮ膜とが混在した膜の組織構造を示す電子顕微
鏡写真である。
Claims (1)
- 高強度材料から成る工具母材表面に、周期律表第４ａ族
、第５ａ族及び第６ａ族金属の炭化物、窒化物、炭窒化
物、炭酸化物、酸窒化物、酸炭窒化物あるいはＡｌの酸
化物、酸窒化物から運ばれる１種又は２種以上の単層あ
るいは複層から成る硬質膜を被覆してなる被覆切削工具
において、前記硬質膜中に柱状晶結晶と粒状晶結晶とが
混在した組織を有することを特徴とする被覆切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1127473A JP2876130B2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 被覆切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1127473A JP2876130B2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 被覆切削工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02311202A true JPH02311202A (ja) | 1990-12-26 |
| JP2876130B2 JP2876130B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=14960798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1127473A Expired - Lifetime JP2876130B2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 被覆切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2876130B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0657429A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-01 | Mitsubishi Materials Corp | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭窒化チタン基サーメット製切削工具 |
| WO1999024198A1 (fr) * | 1997-11-06 | 1999-05-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Outil enrobe en carbure fritte |
| EP1985726A1 (de) * | 2007-04-27 | 2008-10-29 | WMF Aktiengesellschaft | Schneidwerkzeug mit einer Hartstoff verstärkten Schneidkante |
| JP2013078837A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-05-02 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2013078836A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-05-02 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2013139065A (ja) * | 2012-01-04 | 2013-07-18 | Mitsubishi Materials Corp | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3462859B2 (ja) | 2001-02-01 | 2003-11-05 | 住友電気工業株式会社 | 被覆切削工具 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148582A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-10 | Agency Of Ind Science & Technol | 微細加工方法 |
-
1989
- 1989-05-19 JP JP1127473A patent/JP2876130B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148582A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-10 | Agency Of Ind Science & Technol | 微細加工方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0657429A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-01 | Mitsubishi Materials Corp | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭窒化チタン基サーメット製切削工具 |
| WO1999024198A1 (fr) * | 1997-11-06 | 1999-05-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Outil enrobe en carbure fritte |
| US6187421B1 (en) | 1997-11-06 | 2001-02-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coated tool of cemented carbide |
| EP1985726A1 (de) * | 2007-04-27 | 2008-10-29 | WMF Aktiengesellschaft | Schneidwerkzeug mit einer Hartstoff verstärkten Schneidkante |
| JP2013078836A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-05-02 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2013078837A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-05-02 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2013139065A (ja) * | 2012-01-04 | 2013-07-18 | Mitsubishi Materials Corp | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2876130B2 (ja) | 1999-03-31 |
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