JPH02309274A - 磁気インクパターン検出器及び磁気抵抗素子搭載方法 - Google Patents

磁気インクパターン検出器及び磁気抵抗素子搭載方法

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JPH02309274A
JPH02309274A JP1130028A JP13002889A JPH02309274A JP H02309274 A JPH02309274 A JP H02309274A JP 1130028 A JP1130028 A JP 1130028A JP 13002889 A JP13002889 A JP 13002889A JP H02309274 A JPH02309274 A JP H02309274A
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JP
Japan
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magnetoresistive element
magnetic
pattern
magnetoresistance element
ink pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP1130028A
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English (en)
Inventor
Masanori Ueda
政則 上田
Michiko Endou
みち子 遠藤
Shinkichi Shimizu
信吉 清水
Noboru Wakatsuki
昇 若月
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 磁気抵抗素子を用いた磁気インクパターン検出器に関し
、磁気インクパターンに対する感度及び分解能の向上を
目的とし、 磁気抵抗素子と、該磁気抵抗素子に磁界を印加できるよ
うに配置したコイルと、該コイルと磁気抵抗素子を支持
する素子搭載台と、磁気抵抗素子を不要な外部磁界から
シールドできるように配置した高透磁率のシールド部材
とを具備するように構成する。
またSi基板上に磁気抵抗素子パターンが形成された磁
気抵抗素子の、該Si基板に磁気抵抗素子パターンの電
極パッドを通して貫通するスルーホールを設け、該磁気
抵抗素子を搭載用基板に載置し、該搭載基板の導体パタ
ーンと上記磁気抵抗素子パターンの電極パッドとを前記
スルーホールに導電性樹脂を充填することにより導通さ
せるように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は強磁性薄膜磁気抵抗素子を用いた磁気インクパ
ターン検出器に関する。
磁気インクを使用した印刷パターン(磁気パターン)は
種々のものに使われているが、該磁気パターンを正確に
認識することは、模造品の識別等において重要である。
そこで、多くの認識情報を該磁気パターンから得ようと
すれば従来よりも広範囲に渡って磁気パターンの印刷を
行う必要が生じ、複数個の磁気検出器をアレイ状に並べ
該磁気パターンを正確に検知する装置が要求されると共
に、該装置の感度及び分解能の向上が要求される。
〔従来の技術〕
第6図は従来の磁気抵抗素子を用いた磁気インクパター
ン検出器を示す図である。第6図はいわゆるバーバーポ
ール型と称される磁気抵抗素子で、Si基板lの上にN
iFe合金の帯状の薄膜パターン2と、この磁性薄膜パ
ターンの長手方向に対して傾きをもって縞状に形成され
た多数のAuパターン3とよりなり、第6図のように磁
気インクパターン4から出る磁束により電気抵抗が変化
することにより磁気インクパターンを検出することがで
きるようになっている。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来の磁気インクパターン検出器では、数○e〜数
十Oeの微小磁界を検出するため外乱の影響を受は易く
、また第6図に示すように磁気抵抗素子の電極パッド5
と搭載基板6の配線パターン7との接続にワイヤボンデ
ィングを用いるためワイヤ8が浮いたり、ワイヤボンデ
ィング部を固定するための樹脂が盛り上ったりして素子
面より高くなるため、その分だけ磁気抵抗素子を磁気イ
ンクパターン4より離さなければならず感度及び分解能
の向上を妨げる原因となっていた。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、磁気インクパターン
に対する感度及び分解能の向上を可能とした磁気インク
パターン検出器を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、本発明の磁気インクパター
ン検出器では、磁気抵抗素子16と、該磁気抵抗素子1
6に磁界を印加できるように配置したコイル15と、該
コイルと磁気抵抗素子を支持する素子搭載台11と、磁
気抵抗素子16を不要な外部磁界からシールドできるよ
うに配置した高透磁率のシールド部材17とを具備して
成ることを特徴とする。
また本発明の磁気抵抗素子の搭載方法では、Si基板3
0上に磁気抵抗素子パターン32が形成された磁気抵抗
素子の、該Si基板30に磁気抵抗素子パターン32の
電極パッド33を通して貫通するスルーホール31を設
け、該磁気抵抗素子16を搭載用基板14に載置し、該
搭載用基板14の導体パターン34と上記磁気抵抗素子
パターン32の電極パッド33とを、前記スルーホール
31に導電性樹脂35を充填することにより導通させる
ことを特徴とする。
〔作 用〕
素子搭載台11に磁気抵抗素子16及びコイル(第2の
フレキシブルプリント板)15を搭載し、且つ高透磁率
のシールド部材17を配置したこ止により、コイル15
による磁気抵抗素子16の初期磁化ができ、且つ高透磁
率材のシールド部材17により不要な磁界を防ぐことが
できるため安定した特性が得られる。
また磁気抵抗素子の電極パッド33と搭載用基板14 
(第1のフレキシブルプリント板)の配線パターン34
との接続に磁気抵抗素子のSi基板30に設けたスルー
ホール31内に導電性樹脂35を充填して行うことによ
り、素子表面より配線ワイヤ等の突出部がなくなるため
、該磁気抵抗素子を磁気インクパターンに接近させるこ
とができ、検出感度及び分解能の向上が得られる。
〔実施例〕
第1図は本発明の第1の実施例を示す図であり、(a)
はb図のa−a線における断面図、(b)はa図のb−
b線における断面図である。
同図において、10はアルミニウム合金等で形成された
ホルダであり、該ホルダ10には素子搭載台11と、検
出すべき磁気インクパターン12に面してタングステン
等の非磁性金属で形成された素子保護板13とが設けら
れ、該素子搭載台11には、磁気抵抗素子の入出力用導
体である第1のフレキシブルプリント板14と磁気抵抗
素子に磁界を印加するためのコイルとなる第2のフレキ
シブルプリント板15とを介して磁気抵抗素子16が搭
載され、さらに該磁気抵抗素子の反対側には高透磁率材
で形成されたシールド部材17が設けられている。また
磁気抵抗素子の入出力用導体である第1のフレキシブル
プリント板14の一方の端部は磁気抵抗素子16の電極
に接続され、他端は磁気検出回路用プリント板18に接
続され、コイルとなる第2のフレキシブルプリント板1
5はその両端を、コイル駆動回路用プリント板19に接
続されている。
第2図は第1図の要部斜視図である。
同図において、11は素子搭載台であり、該素子搭載台
11の一方の面には磁気抵抗素子の入出力用導体である
第1のフレキシブルプリント板14と、磁気抵抗素子に
磁界を印加するためのコイルとなる第2のフレキシブル
プリント板15とを介して磁気抵抗素子16が搭載され
、他方の面には高透磁率材で形成されたシールド部材1
7が取着されている。なお磁気抵抗素子16は、その複
数個がアレイ状に配置され、それぞれその電極が第1の
フレキシブルプリント板14の入力線18、出力線19
、グランド線20の各導体に接続される。
このように構成された本実施例は、磁気インクパターン
12を検出する直前に第2のフレキシブルプリント板1
5に電流を流して磁気抵抗素子を初期磁化し、且つ磁気
インクパターン12の検出中は初期磁化と反対方向に微
小電流を流してバイアス磁界を印加することにより検出
感度を向上することができる。また高透磁率材を用いた
シールド部材17は、磁気インクパターン12の磁界以
外の外部磁界をシールドすることができる。さらに本シ
ールド部材17は第2のフレキシブルプリント板15よ
りなるコイルの磁芯の役目を果しており、磁気抵抗素子
の初期磁化を効率良く行なうことができる。第4図は、
シールド部材の材質と初期磁化用の磁界強さとの関係を
示したもので、横軸にはフレキシブルプリント板15の
電流パターン配置を、縦軸には磁界強さをとり、曲線A
〜Eで各材質の場合の特性を示した。図に示すように■
のパーマロイ く透磁率150000) 、■のFe 
−3%Si  (透磁率30000)、■の純鉄(透磁
率8000)等の高透磁率材はシールド材が無い場合に
比し3倍以上の磁界強さが得られている。
第4図は本実施例及び従来例の磁気抵抗素子の出力特性
を示す図である。
同図において、波形21は外乱により内部磁化方向が乱
された従来例の出力特性、波形22は初期磁化した本発
明の実施例の出力特性、波形23は本発明の実施例から
シールド部材17を取外した場合の出力特性である。図
より本実施例が初期磁化及びシールド部材の効果により
良好な出力特性が得られることを示している。
第5図は本発明の第2の実施例を示す図であり、(a)
は断面図、(b)は要部斜視図、(C)はb図のC−C
線における断面図である。
本実施例は、ホルダ10、素子搭載台11、素子保護板
13、第1、第2のフレキシブルプリント板14.15
、磁気抵抗素子16、プリント板18゜19を具備して
構成されていることは第1の実施例とほぼ同様であり、
本実施例の要点は磁気抵抗素子16と第1のフレキシブ
ルプリント板14との接続構造にある。この接続構造は
、b及び0図に示すように磁気抵抗素子16の31基板
30に、異方性エツチングによりスルーホール31を設
け、該スルーホール31に磁気抵抗素子パターン32の
電極バッド33を形成し、該電極パッド33と第1のフ
レキシブルプリント板14の導体パターン34との接続
を、前記スルーホール31に導電性樹脂35を流し込ん
で行なったことである。
本実施例によれば、磁気抵抗素子16とフレキシブルプ
リント板14との接続が容易となり、しかも接続部が素
子表面より高くなることがないので磁気抵抗素子16を
素子保護板13に近すげること、即ち磁気インクパター
ンに近ずけることができる。また導電性樹脂を流し込む
部分が各々独立して逆四角錐台の形状に凹んでいるため
樹脂の流し込みも容易でディスペンサ等を使っての自動
化も可能である。
〔発明の効果〕
以上説明した様に、本発明の磁気インクパターン検出器
によれば、コイル芯を兼ねた高透磁率のシールド部材を
設けること−により磁気抵抗素子の初期磁化が効率良く
行われ、且つ不要な外部磁界をシールドすることができ
るため高感度な特性が得られる。また本発明の磁気抵抗
素子の搭載方法によれば、磁気抵抗素子の電極パッド部
と搭載用基板の導体パターンとの接続を、Si基板に設
けたスルーホールに導電性樹脂を注入して行うことによ
り磁気抵抗素子面を被測定磁気インクパターンに近づけ
ることができ、高感度・高分解能な磁気インクパターン
検出器を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例を示す図、第2図は本発
明の第1の実施例の要部斜視図、第3図は本発明の第1
の実施例におけるシールド部材の効果を示す図、 第4図は磁気抵抗素子の出力特性を示す図、第5図は本
発明の第2の実施例を示す図、第6図は従来の磁気抵抗
素子を示す図、第7図は従来の磁気インク印刷パターン
を検出する装置を示す図である。 図にふいて、 10はホルダ、 11は素子搭載台、 12は磁気インクパターン、 13は素子保護板、 14は第1のフレキシブルプリント板(素子搭載用基板
)、 15は第2のフレキシブルプリント板(コイル)、16
は磁気抵抗素子、 17はシールド部材、 18は磁気抵抗素子の出力信号を処理する回路基板、 19は磁界発生用電流の駆動回路基板、30はSi基板
、 31はスルーホール、 32は磁気抵抗素子パターン、 33は電極パッド、 34は導体パターン、 35は導電性樹脂 を示す。 第1図の要部斜視図 第2図 5図00−○線における断面図 (Q) 本発明の第1 第 14・・・第1のフレキシブルプリン −〇 0図のb−b線jこおける断面図 (b) の実施例を示す図 1図 18.19・・・プリント板 ト板 磁気抵抗素子の出力特性を示す図 第4図 従来の磁気抵抗素子を示す図 第6図 従来の磁気インク印刷パターンを検出する装置を示す図
第7図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、磁気抵抗素子(16)と、該磁気抵抗素子(16)
    に磁界を印加できるように配置したコイル(15)と、
    該コイル(15)と磁気抵抗素子(16)を支持する素
    子搭載台(11)と、磁気抵抗素子(16)を不要な外
    部磁界からシールドできるように配置した高透磁率のシ
    ールド部材(17)とを具備して成ることを特徴とする
    磁気インクパターン検出器。 2、Si基板(30)上に磁気抵抗素子パターン(32
    )が形成された磁気抵抗素子の、該Si基板(30)に
    磁気抵抗素子パターン(32)の電極パッド(33)を
    通して貫通するスルーホール(31)を設け、該磁気抵
    抗素子(16)を搭載用基板(14)に載置し、該搭載
    用基板(14)の導体パターン(34)と上記磁気抵抗
    素子パターン(32)の電極パッド(32)とを、前記
    スルーホール(31)に導電性樹脂(35)を充填する
    ことにより導通させることを特徴とする磁気抵抗素子の
    搭載方法。
JP1130028A 1989-05-25 1989-05-25 磁気インクパターン検出器及び磁気抵抗素子搭載方法 Pending JPH02309274A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006518850A (ja) * 2003-02-21 2006-08-17 リエゾン、エレクトロニク−メカニク、エルウエム、ソシエテ、アノニム 磁界センサーと電流センサー

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006518850A (ja) * 2003-02-21 2006-08-17 リエゾン、エレクトロニク−メカニク、エルウエム、ソシエテ、アノニム 磁界センサーと電流センサー

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