JPH02307838A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents

光ファイバ母材の製造方法

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JPH02307838A
JPH02307838A JP12665789A JP12665789A JPH02307838A JP H02307838 A JPH02307838 A JP H02307838A JP 12665789 A JP12665789 A JP 12665789A JP 12665789 A JP12665789 A JP 12665789A JP H02307838 A JPH02307838 A JP H02307838A
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渡辺 幸一郎
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Ryoji Yamauchi
良三 山内
Nobuyasu Sato
信安 佐藤
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、コア用ロッドの回りにガラス微粒子を複数
本のバーナを用いて堆積させ、その透明ガラス化時にフ
ッ素をドープしてクラッドとする光ファイバ母材の製造
方法に関するもので、フッ素が均一にドープされるよう
にしてクラッドの屈折率を一定に保ち、得られるファイ
バの伝送特性の向上を図ったものである。
(従来の技術) 従来のこの種の方法では、第3図に示すようにコア用の
SiO□、もしくはドープ)Siftロッド1上に、複
数本例えば2本のバーナ3,4を用いてバーナ3,4を
ロッド1の軸方向にトラバースさせつつSingガラス
微粒子層2を形成させる。なお、図において21は先行
するバーナ3によるガラス微粒子層、22は後行するバ
ーナ4によるガラス微粒子層である。次いでこのガラス
微粒子層2を必要に応じて脱水処理した後、フッ素ガス
雰囲気で高温に加熱して透明ガラス化してフッ素によっ
て屈折率が低下されたフッ素ドープSiO□ガラスとな
し、コアー°クラッド型の光ファイバ母材とする。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、先行するバーナ炎の熱がコア用ロッード
1や、先に堆積されたガラス微粒子層21に奪われるた
め、後行するバーナ炎に比較してその堆積面の温度が低
下するという現象が生じる。そのため、先行するバーナ
によって得られるガラス微粒子層21のカサ密度と、後
行するバーナによって得られるガラス微粒子層22のカ
サ密度とが異なることとなり、結果として透明ガラス化
時にドープさせるべきフッ素量に影響を及ぼし、第4図
に示すようにクラッド内において屈折率の微少変動が生
じ、コアとクラッド間の比屈折率差が不安定となる。な
お、バーナ温度ひいてはガラス微粒子堆積面の温度と、
得られるガラス微粒子のカサ密度との関係は、温度が低
いほどカサ密度の小さい柔らかな層となり、フッ素はド
ープしやすくなる。
(課題を解決するための手段) この発明は、以上の観点からコア用ガラスロンドの回り
に、複数本のバーナを用いて外付は法によりガラス微粒
子層を堆積させ、このガラス微粒子層をフッ素ガス雰囲
気下で透明ガラス化してフッ素ドープクラッドプリフォ
ームとする際に、各バーナによるガラス微粒子の堆積面
の温度が一定になるようにバーナ内へのガスの供給量を
調整してカサ密度が等しくなるようにしたものである。
なお、ガラス微粒子の堆積成長面の温度の測定は例えば
放射温度計等を用いて測る。
(作 用) 各バーナによって生成されるガラス微粒子の堆積面の表
面温度を常に監視して、それらが等しくなるように各バ
ーナ内へのガスの供給量を調整しているので、得られる
各ガラス微粒子層のカサ密度は等しくなる。その結果、
フッ素のドープ景が一定になるためクラッド内における
屈折率に変動がなく半径方向に一定の値が得られる。
(実施例) この発明を第1図にもとすいて説明する。図において第
3図と同一部には同じ符号を付しである。
コア用として予めVAD法によりGeO□ ドープSi
0g透明ガラスロッド1を用意した。このロッド1の外
径は14m5全長は1800mm、そのうち有効長はお
よそ750mmである。このロッド1を2Orpmで回
転させた。一方バーナ3.4として第2図に示す2連ノ
ズル型バーナを用いた。図において、10は中央に並列
して配置された2連ノズルで、各々は同心2重管構造に
なされており、内部パイプ12には5iC24、外部パ
イプ14にはシールガスとしてのArが供給される。1
6はこの2連ノズル10を囲むようにして位置される環
状パイプ群で、各々には酸素ガスが供給される。18は
外管で、内部には水素ガスが供給される。これら2本の
バーナ3.4をロッド1の軸方向に40mm/分の速度
でトラバースさせるとともに、いずれにも第1表に示す
流量のガスを供給した。
第1表 内部バイブ12   5iCfa   2.5 SLM
Ar  1.5SLM 外部パイプ14    Ar    3.5SLM環状
パイプ群16   o、    11.5 SLM外管
18       Hz    23.OSLMところ
が先行バーナ3によるガラス微粒子表面層21の放射温
度計31の温度が1100°Cを示し、後行バーナ4に
よるガラス微粒子表面層22の放射温度計4Aの温度が
1200℃を示したため、先行バーナ3内へのガスの供
給量を以下の第2表に示すように変更した。
第2表 内部バイブ12   5iC1<   2.5 SLM
Ar  1.5SLM 外部パイプ14    Ar    3.5SLM循環
バイブ群16  0!    11.5 SLM外管1
8        H223,OSLMこれにより、先
行バーナ3、後行バーナ4によって得られるガラス微粒
子表面層21.22の温度は等しくなった。
以降、トラバースするごとに先行バーナ3のガス供給量
の調整を行い、全ガラス微粒子層のカサ密度を等しくし
た。ひき続いてこのガラス微粒子層を加熱炉に入れてC
2!にて脱水処理した後、さらに高温に上げるとともに
炉内をフッ素ガス雰囲気にして透明ガラス化を図り、フ
ッ素ドープ5t(h層を得、コアークラッド型のプリフ
ォームとした。
二のプリフォームの屈折率を測定したところ、クラッド
部は半径方向に均一であった。
(発明の効果) この発明は、以上のように複数のバーナを用いてSin
、からなるガラス微粒子層を得る際に、各バーナにより
得られるガラス微粒子の堆積面の温度を監視しつつ行い
、温度差がある場合にはバーナ内へのガス量を変えるこ
とで温度を一定になすようにしたので、得られるフッ素
ドープ5iOzクラツドの屈折率が一定に維持できるた
め、コアークラッド間の比屈折率差が安定した母材が得
られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明によるSiO□ガラス微粒子層の製
造方法を示す概略説明図、第2図は、ガラス微粒子製造
用バーナ、第3図は、従来の光ファイバ母材の製造方法
を示す概略説明図、第4図は、従来法により得られた母
材の屈折率分布を示す概′略図である。 図において、2 :  Sin、ガラス微粒子層、21
:先行バーナ3による5iOzガラス微粒子層、22:
後行バーナ4によるSingガラス微粒子層、31゜4
1:放射温度計。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 石英ガラス系コア用ロッドの回りに、複数本のバーナを
    用いて外付け法により石英ガラス微粒子を堆積させ、得
    られる石英ガラス微粒子層をフッ素含有ガス雰囲気で透
    明ガラス化してフッ素ドープ石英ガラスクラッドとする
    工程を含む光ファイバ母材の製造方法において、前記各
    バーナ内へのガス供給量を調整して各バーナによって得
    られる石英ガラス微粒子層のカサ密度を等しくして堆積
    させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
JP12665789A 1989-05-22 1989-05-22 光ファイバ母材の製造方法 Expired - Lifetime JPH0665614B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04310531A (ja) * 1991-04-03 1992-11-02 Yazaki Corp クラッド部材形成用バーナの制御装置
EP0604785A1 (en) * 1992-12-28 1994-07-06 Corning Incorporated Method of making optical waveguide preforms

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04310531A (ja) * 1991-04-03 1992-11-02 Yazaki Corp クラッド部材形成用バーナの制御装置
JP2592359B2 (ja) * 1991-04-03 1997-03-19 矢崎総業株式会社 クラッド部材形成用バーナの制御装置
EP0604785A1 (en) * 1992-12-28 1994-07-06 Corning Incorporated Method of making optical waveguide preforms

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