JPH02288392A - Method of toned pattern on image pickup plane which is electrically isolated - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To perform direct high-resolution electrostatic transfer of a high-density electrostatic latent image, developed with dry powdery electrophotographic toner to an image-receiving substrate from a permanent master by forming a permanent latent image on the permanent master by using a protective overcoating material on a photopolymer master material. CONSTITUTION: A semiconductor substrate is coated with a photopolymer material having a reistivity that increases when the material is exposed to a chemical ray source, and a permanent latent image is formed on the photopolymer material by exposing the material to the chemical ray source. Then the photopolymer material is coated with a low-friction protective overcoating material, and the overcoating material is electrostatically charged. After the overcoating material is charged, electrostatically charged dry powdery electrophotographic toner particles are applied to the protective overcoating material, and an electric field is established between the photopolymer material and an image-receiving surface. Then the image-receiving surface is placed adjacently to the photopolymer material, and a developed image is transferred to the surface and welded to the surface. Therefore, the high-resolution transfer of dry powdery electrophotographic toner forming a transferred image is obtained on the image-receiving surface without image distortion.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、一般に高濃度像の受像面への高解像静電転写
方法に関する。さらにとりわけ、本発明は、乾式粉末電
子写真トーナーを、ホトポリマー材料から製造された永
久マスターと共に用いて、現像された像を反転写真プロ
セスによりマスターから受像基体に転写することに関す
る。永久マスターは、繰り返し使用して、印刷回路板の
ような受像面上に乾式粉末トーナーを用いて、高解像お
よび高濃度像を生成できる。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention generally relates to a method of high resolution electrostatic transfer of high density images to an image receiving surface. More particularly, the present invention relates to the use of a dry powder electrophotographic toner with a permanent master made from a photopolymer material to transfer the developed image from the master to an image receiving substrate by a reversal photographic process. Permanent masters can be used repeatedly to produce high resolution and high density images using dry powder toners on image receiving surfaces such as printed circuit boards.

印刷回路板を生成する光像形成および他の技術の使用に
より、乾式フィルムレジストを用いる絶縁基体上の導電
性配線パターンの生成は、代表的には５工程プロセスを
用いる。テンティング（ｊｃｎ口１１り方法または孔閉
塞の方法を用いるかに拘らず、絶縁性基体の少なくとも
１つの導電面上にホトポリマー乾式フィルムレジストを
積層または被覆し、アートワークまたはホトツールを用
いて乾式フィルムレジスト上に配線°パターンを形成し
、次いで乾式フィルムレジストをホトツールの透明部分
を通して化学線に露光し、ネガ加工乾式フィルムレジス
トの未露光部分を除くことによって回路板を現像し、な
お乾式フィルムレジストで被覆された望まれる導電性配
線パターン下にないすべての像未形成部分の回路板から
導電性基体をエツチングし、次いで最後に望まれる配線
パターンを被覆している乾式フィルムレジストを、導電
性基体の非エツチング部分から剥離または除去する異な
った５工程が含まれる。この５工程プロセスは、生成さ
れた各回路板について繰り返されなければならない。Through the use of photoimaging and other techniques to produce printed circuit boards, the production of conductive wiring patterns on insulating substrates using dry film resists typically uses a five-step process. Tenting (whether using the method of opening or closing the holes) involves laminating or coating a photopolymer dry film resist onto at least one conductive surface of an insulating substrate, and then using artwork or phototools to remove the dry film. The wiring pattern is formed on the resist, and the circuit board is then developed by exposing the dry film resist to actinic radiation through the transparent part of a phototool and removing the unexposed areas of the negative processing dry film resist, still in the dry film resist. Etch the conductive substrate from the circuit board in all unimaged areas not under the coated desired conductive trace pattern, and then finally remove the dry film resist covering the desired trace trace of the conductive substrate. Five different steps of stripping or removing from the unetched portions are involved. This five step process must be repeated for each circuit board produced.

標準乾式フィルムプロセスにおける露光工程中に、乾燥
フィルムにおける重合体の架橋のパターンの結果である
乾式フィルムレジストの直線側壁を生成するのに十分な
放射線露光レベルおよび露光時間が望まれる。これらの
直線側壁は、導電体面に対して垂直でなければならない
。しかしながら、実際には、例えば標準ネガ加工乾式フ
ィルムホトレジストプリントおよびエツチングプロセス
において、望まれるレジストパターンをアンダーカット
する側壁縁を生じる露出不足が起こるか、またはレジス
トの基底および導体の表面に乾式フィルムホトレジスト
の幅を増大して足を生じる乾式フィルムホトレジストの
側壁縁を生じる露出過度が起こる。これらの両条件によ
り、極限導電パターンは、望まれるものから、導体面の
線幅の計画および工作された許容量または過剰量を越え
て変化する。During the exposure step in a standard dry film process, sufficient radiation exposure levels and exposure times are desired to produce straight sidewalls of the dry film resist that are the result of a pattern of polymer crosslinking in the dry film. These straight sidewalls must be perpendicular to the conductor plane. However, in practice, for example, in standard negative processing dry film photoresist printing and etching processes, underexposure occurs resulting in sidewall edges that undercut the desired resist pattern, or the base of the resist and the surface of the conductor are exposed to dry film photoresist. Overexposure occurs causing the sidewall edges of the dry film photoresist to increase in width and create legs. Both of these conditions cause the ultimate conductive pattern to vary from what is desired beyond the planned and engineered tolerances or excesses of the conductor surface linewidths.

このプロセス中の現像工程は、理想的には、ネガ加工乾
式フィルムレジストの未露光、従って未架橋部分を溶解
して除き、幅がホトツール上のパターンと等しくしかも
導体面に垂直の導体面上の乾式フィルムレジストの縁を
生じなければならない。しかしながら、実際には、乾式
フィルムホトレジストの現像不足または現像過度が起こ
る。現像不足により、隣接側壁に向かって傾斜する側壁
帯域または現像された溝にレジスト残留物の堆積が生じ
、望まれるものよりも小さい隣接線間の間隔となる。現
像過度が起こると、未露光フィルムレジスト縁がアンダ
ーカットされ、望まれるものよりも大きい隣接線間の間
隔が生じる。さらに、レジスト表面側壁縁の頂部に若干
丸みをつける可能性がある。The development step during this process ideally dissolves and removes the unexposed, and therefore uncrosslinked, portions of the negative processing dry film resist, and removes the unexposed and therefore uncrosslinked portions of the negative processing dry film resist onto the conductor plane, which is equal in width to the pattern on the phototool and perpendicular to the conductor plane. Dry film resist edges must be created. However, in practice, underdevelopment or overdevelopment of dry film photoresists occurs. Underdevelopment results in resist residue build-up in sidewall bands or developed grooves that slope toward adjacent sidewalls, resulting in smaller spacing between adjacent lines than desired. When overdevelopment occurs, the unexposed film resist edges are undercut, resulting in larger spacing between adjacent lines than desired. Additionally, the tops of the sidewall edges of the resist surface may be slightly rounded.

乾式フィルムレジストの厚さにわたってホトツールの正
確な再生不能によって、再生された回路パターンの細線
解像および再生特性は影響される。Due to the inability of the phototool to accurately reproduce across the thickness of the dry film resist, the fine line resolution and reproduction characteristics of the reproduced circuit patterns are affected.

回路板が一層複雑になり、しかも多重板の積み重ねが優
先すると、−層高密度、−層細かい解像回路パターンの
必要が生じる。解像は、前記の５工程処理中に確実に実
施できる隣接線間に最小の線および間隔を確実に生じる
能力として見られている。現像を存続し得る線の太さま
たは細かさおよび回路パターンの隣接線間の間隙または
間隔の狭さは、回路板の所望の密度を規定するのに用い
られる印刷回路板工業の細線解像および再生基準に至る
。望まれる密度は、線引および空間寸法または毎ｍ１１
当たりの線対の特別の数によって表わされる。回路板が
銅のような金属またはマイラー（Ｍ　Ｙ　Ｌ　Ａ　Ｒ）
の商品名の下に販売されているポリエステルフィルムの
ようなプラスチックなどの非孔質または非吸収性基体か
らなることによって、ゼログラフィーの原理を適用して
、高解像および高濃度像を現像された静電潜像から回路
板のような受像面への転写を行うことが困難になる。こ
の非孔質よび非吸収性受像面により、特に液体トーナー
で試みた場合には、像が転写されて、変形または「押し
つぶされる」ようになる。As circuit boards become more complex and the stacking of multiple boards becomes a priority, the need arises for - layer density and - layer fine resolution circuit patterns. Resolution is viewed as the ability to reliably produce the smallest lines and spacing between adjacent lines that can be reliably performed during the five-step process described above. The thickness or fineness of lines that can survive development and the narrowness of the gaps or spacing between adjacent lines in a circuit pattern are the fine line resolution and fineness of the printed circuit board industry used to define the desired density of circuit boards. Reaching the reproduction standard. The desired density is the drawing and spatial dimensions or per m11
It is represented by a particular number of winning line pairs. The circuit board is made of metal such as copper or mylar (M Y L A R)
The principle of xerography is applied to develop high-resolution and high-density images by consisting of a non-porous or non-absorbing substrate such as plastic, such as polyester film sold under the trade name This makes it difficult to transfer the electrostatic latent image to an image receiving surface such as a circuit board. This non-porous and non-absorbent receiving surface causes the image to be transferred and deformed or "squashed", especially when attempted with liquid toner.

また、非孔質受像基体について、高解像の転写像を得る
ためには、光導電体または静電像形成可能面および受像
導電面はトーナー像の転写の点で静止しなければならな
いことも分かった。Also, for non-porous image-receiving substrates, the photoconductor or electrostatic imageable surface and image-receiving conductive surface must be stationary at the point of transfer of the toner image in order to obtain a high resolution transferred image. Do you get it.

現像された潜像を銅のような非吸収性基体へ転写するに
は、これ以上の問題が生じる。静電像形成可能面および
導電受像面の間の間隔が、光導電体と導電性受像面の凹
凸面の間の接触を避けるに十分でなければならないよう
に導電性受像面を形成する金属または銅表面および静電
像形成面は凹凸である。Further problems arise in transferring the developed latent image to a non-absorbing substrate such as copper. The metal or metal forming the conductive image receiving surface must be such that the spacing between the electrostatic imageable surface and the conductive image receiving surface must be sufficient to avoid contact between the photoconductor and the uneven surface of the conductive image receiving surface. The copper surface and electrostatic imaging surface are rough.

乾式粉末電子写真トーナーを永久マスターと併用すると
、特に未露光部分に永久マスターとして用いられるホト
ポリマー材料の通常は軟質面の故にこれ以上の問題が生
じる。乾式粉末トーナーはこれらの一層軟かい部分に付
着する。しかも、これらの部分は露光されない背景部分
である故に、通常軟質かつ粘着性ホトポリマーをやや硬
化させる架橋現象さえも存在しない。繰り返し使用する
と、乾式粉末トーナーは背景部分に堆積する。なぜなら
ば、後の転写に先立ち、マスターの軟質面の付着物を除
くのが困難だからである。あるいは、軟質面は、清浄化
の試みの間に迅速に摩滅される。The use of dry powder electrophotographic toners in conjunction with permanent masters presents additional problems due to the typically soft surface of the photopolymer materials used as permanent masters, particularly in unexposed areas. The dry powder toner adheres to these softer areas. Furthermore, since these areas are background areas that are not exposed to light, there is no crosslinking phenomenon that would normally cause soft and sticky photopolymers to become slightly hardened. With repeated use, the dry powder toner builds up in the background area. This is because it is difficult to remove deposits from the soft surface of the master prior to subsequent transfer. Alternatively, the soft surface is rapidly worn away during cleaning attempts.

潜像または潜像が形成される基体の有効寿命を延長させ
る試みには、かつて光導電体材料上に材料の保護絶縁層
を用いている。このアプローチを用いる代表的なプロセ
スには、キャノン（ｃａｎｏｎ）ＮＰプロセスおよび桂
用（Ｋ！ｌｓａｒｚｇｘｖ１）プロセスがある。これら
のプロセスには、透明保護絶縁層を用いているが、露光
して永久マスターを形成できるホトポリマーと共には用
いない。これらのプロセスには、硫化カドミウムドラム
上の耐溶媒層としてポリエチレンテレフタレート、また
はエラストマー状樹脂状結合剤中の硫化カドミウムの微
粒子が利用された。Attempts to extend the useful life of latent images or the substrates on which they are formed have previously involved the use of protective insulating layers of material over the photoconductor material. Representative processes using this approach include the Canon NP process and the K!lsarzgxv1 process. These processes use a transparent protective insulating layer, but not with a photopolymer that can be exposed to light to form a permanent master. These processes utilized polyethylene terephthalate as a solvent-resistant layer on a cadmium sulfide drum, or fine particles of cadmium sulfide in an elastomeric resinous binder.

これらの問題は、本発明の方法において、液体または乾
式フィルムレジストのようなホトポリマーマスター材料
上の保護オーバーコート材料を用いることによって、永
久マスター上に永久潜像を作製する方法を提供すること
によって解決される。These problems are addressed in the method of the present invention by providing a method of creating a permanent latent image on a permanent master by using a protective overcoat material on a photopolymer master material, such as a liquid or dry film resist. resolved.

ホトポリマー材料上の永久潜像を用いて、乾式粉末電子
写真的に現像された静電潜像を永久マスターの静電的に
像形成された表面から受像面に転写する。受像面は、好
ましくは、独占的ではないが望まれる導電性パターンを
有する多重印刷回路板を生成するために用いられる型の
導電、非吸収性かつ非孔質受像面である。またこの方法
を用いて紙にも転写できる。The permanent latent image on the photopolymer material is used to transfer the dry powder electrophotographically developed electrostatic latent image from the electrostatically imaged surface of the permanent master to the image receiving surface. The image receiving surface is preferably, but not exclusively, a conductive, non-absorbent, non-porous image receiving surface of the type used to produce multiplex printed circuit boards having the desired conductive pattern. This method can also be used to transfer images to paper.

発明の要約 本発明の目的は、乾式粉末電子写真トーナー現像高濃度
静電潜像の永久マスターから直接受像基体への高解像静
電転写の実施方法を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for performing high resolution electrostatic transfer of a dry powder electrophotographic toner developed high density electrostatic latent image from a permanent master directly to a receiving substrate.

本発明の他の目的は、乾式粉末電子写真トーナーを、永
久および再使用可能マスターとして働く乾式フィルムレ
ジストと共に用いることによって、静電的に像形成可能
表面上に高濃度静電潜像を得ることである。Another object of the present invention is to obtain a high density electrostatic latent image on an electrostatically imageable surface by using a dry powder electrophotographic toner with a dry film resist that acts as a permanent and reusable master. It is.

本発明の他の目的は、静電転写の方法が、静電的に像形
成可能面として働く永久マスター上に乾式粉末電子写真
トーナーを用いて利用できることである。Another object of the present invention is that the method of electrostatic transfer can be utilized using a dry powder electrophotographic toner onto a permanent master that serves as an electrostatically imageable surface.

本発明のさらに他の目的は、永久マスターおよび印刷回
路板上に導電性回路配線パターンを生成するためにエツ
チングの準備に導電性基体上に望まれるレジストパター
ンの多数の複写を生成する乾式粉末電子写真トーナーと
共に使用できる永久マスターの製造方法を提供すること
である。Yet another object of the present invention is to provide a permanent master and dry powder electronic device for producing multiple copies of a desired resist pattern on a conductive substrate in preparation for etching to produce a conductive circuit trace pattern on a printed circuit board. It is an object of the present invention to provide a method for producing a permanent master that can be used with photographic toners.

本発明の特徴は、耐摩耗性かつ低摩擦表面である保護オ
ーバーコートされた材料を、永久マスターのホトポリマ
ー材料に適用することである。A feature of the invention is the application of a protective overcoated material that is an abrasion resistant and low friction surface to the photopolymer material of the permanent master.

本発明の他の特徴は、化学線に露光することによって潜
像が形成された後に永久マスターの保護オーバーコート
されたホトポリマー材料を帯電し、次いでこの電荷を未
露光部分上の保護オーバーコートされた材料上に保持す
ることである。Another feature of the invention is to charge the protective overcoated photopolymer material of the permanent master after a latent image is formed by exposure to actinic radiation, and then transfer this charge to the protective overcoated photopolymer material on the unexposed areas. It is to hold onto the material.

本発明のさらに他の特徴は、永久マスターを支持する導
電性裏打ち材料または基体が電気的に接地され、しかも
静電転写の間に導電性受像面が電気的に接地されること
である。Yet another feature of the invention is that the conductive backing material or substrate supporting the permanent master is electrically grounded, and that the conductive image receiving surface is electrically grounded during electrostatic transfer.

本発明のさらに他の特徴は、マスター上の像形成および
像未形成部分の間の、乾式フィルムホトレジストのよう
なホトポリマーの導電率の差を用いて、露光されたまた
は像形成された部分が一層抵抗性であり、かつ未露光ま
たは像未形成の部分が余り抵抗性でない永久静電潜像を
形成することである。Yet another feature of the invention is to use the difference in conductivity of a photopolymer, such as a dry film photoresist, between the imaged and unimaged areas on a master to make the exposed or imaged areas more The formation of a permanent electrostatic latent image that is resistive and in which the unexposed or unimaged areas are less resistive.

本発明の他の特徴は、永久潜像および保護オーバーコー
トされた材料が静電的に帯電し、保護オーバーコートさ
れた材料に適用された乾式粉末電子写真トーナーをもっ
て現像され、乾式粉末トーナーが、ホトレジストの未露
光部分上に保たれ、次いで受像面に転写されることであ
る。Another feature of the invention is that the permanent latent image and the protective overcoated material are electrostatically charged and developed with a dry powder electrophotographic toner applied to the protective overcoated material, the dry powder toner being It is held on the unexposed portions of the photoresist and then transferred to the image receiving surface.

本発明の他の特徴は、乾式粉末電子写真トーナーの転写
が、保護オーバーコートされた材料から、導電性または
非導性であり得る受像基体への接触転写であることであ
る。Another feature of the invention is that the transfer of the dry powder electrophotographic toner is a contact transfer from a protective overcoated material to an image-receiving substrate that may be conductive or non-conductive.

本発明のさらに他の特徴は、静電像形成可能面として、
永久マスターを用いて、静電的に像形成可能面上の静電
潜像が永久であり、しかもホトポリマーの再露光の必要
なしにマスターとして再使用可能であり大量の印刷回路
板を生産することである。Still other features of the invention include as an electrostatic imageable surface:
Using a permanent master to produce large quantities of printed circuit boards in which the electrostatic latent image on the electrostatically imageable surface is permanent and yet can be reused as a master without the need for re-exposure of the photopolymer. It is.

本発明のこれ以上の特徴は、乾式粉末電子写真トーナー
を、ホトレジスト材料の未露光部分上の電荷を保つ保護
オーバーコートされた材料の表面上に保たれることであ
る。A further feature of the invention is that the dry powder electrophotographic toner is retained on the surface of the material with a protective overcoat that preserves the charge on the unexposed portions of the photoresist material.

本発明の方法の利点は、転写された像を形成する乾式粉
末電子写真トーナー粒子の高解像転写が、像ひずみなし
に受像面上に得られることである。An advantage of the method of the present invention is that high resolution transfer of dry powder electrophotographic toner particles forming the transferred image is obtained on the image receiving surface without image distortion.

本発明の他の利点は、表面が絶えず再使用されるように
、乾式粉末電子写真トーナーを用いる転写プロセス中に
静電的に像形成された表面である永久マスターに損傷ま
たは摩耗がないことである。Another advantage of the present invention is that there is no damage or wear to the permanent master, which is an electrostatically imaged surface during the transfer process using a dry powder electrophotographic toner, so that the surface is continually reused. be.

本発明のさらに他の利点は、永久マスター上に適用され
た保護オーバーコートされた材料上の乾式粉末電子写真
トーナー粒子の使用によって繰り返し高解像転写が行わ
れることである。Yet another advantage of the present invention is that repeated high resolution transfers are achieved through the use of dry powder electrophotographic toner particles on a protective overcoated material applied onto a permanent master.

本発明のなお他の利点は、永久マスターの形成に用いる
軟質ホトポリマー材料を、保護オーバーコートされた材
料による物理的損傷から保護することである。Yet another advantage of the present invention is that it protects the soft photopolymer material used to form the permanent master from physical damage by the protective overcoated material.

本発明のさらに他の利点は、印刷回路板の一層迅速かつ
一層低コスト製造方法が、各回路板用の乾燥フィルムま
たは液体ホトレジストに必要な繰り返し露光および現像
工程を除くことにより実施されることである。Yet another advantage of the present invention is that a faster and lower cost method of manufacturing printed circuit boards is achieved by eliminating the repeated exposure and development steps required for dry film or liquid photoresist for each circuit board. be.

これらの目的および他の目的、特徴および利点は永久マ
スターおよびまず永久マスターとして使用されるホトポ
リマー材料または静電的に像形成可能面上に静電潜像を
確立することによって電気的に隔離された受像面上に調
色されたパターンを作製する方法の使用によって得られ
る。静電的に形成可能面は、保護オーバーコートされた
材料で被覆され次いで帯電される。帯電されたトーナー
粒子は、次いでマスターの未露光ホトポリマー材料を覆
う保護オーバーコートされた材料上の部分に現像され、
次いで受像面に転写される。These objects and other objects, features and advantages of permanent masters and electrically isolated by first establishing an electrostatic latent image on a photopolymer material or electrostatically imageable surface used as a permanent master. Obtained by using a method that creates a toned pattern on the image receiving surface. The electrostatically formable surface is coated with a protective overcoat material and then charged. The charged toner particles are then developed onto a protective overcoated material covering the master unexposed photopolymer material;
It is then transferred to an image receiving surface.

図面の簡単な説明 本発明の目的、特徴および利点は下記の本発明の詳細な
開示を添付図面、 第１図は、先行技術プリントおよびエッチ印刷回路板作
製工程の図示であり、 第２図は帯電されたトーナー粒子がどのように位置し、
しかもマスタータから受像面に転写されるかを示す、保
護オーバーコートされない永久マスターを用いる本発明
の方法の図示であり、第３図は、帯電されたトーナー粒
子が未露光ホトポリマ一部分上のオーバーコートされた
材料上にどのように位置し、しかもマスターから導電性
受像面に転写されるかを示す、保護オーバーコートされ
た永久マスターを用いる本発明の方法の図示であり、か
つ 第４図は、永久マスターの作製に用いるホトポリマー材
料を被覆する保護オーバーコートされた材料の露光部分
および未露光部分上の電荷の図示である と共に用いた場合に特に下記の本発明の詳細な開示を考
えて明らかになる。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Objects, features and advantages of the present invention are set forth in the accompanying drawings, in which FIG. 1 is an illustration of a prior art printed and etch printed circuit board fabrication process; How are the charged toner particles located?
FIG. 3 is an illustration of the method of the present invention using a permanent master without a protective overcoat showing how the charged toner particles are transferred from the master to the image receiving surface; FIG. FIG. FIG. 1 is an illustration of the charge on exposed and unexposed portions of a protective overcoated material covering a photopolymer material used in the preparation of a permanent master, particularly when used in conjunction with the detailed disclosure of the present invention below. Become.

好ましい実施態様の詳細な説明 第１図は、印刷回路板の製造に、かつて用いられた標準
５工程プロセスを示す。生成された回路板の各１つには
、熱圧によりガラス繊維エポキシのような非導電性基体
に積層された銅のような導電性基体への乾燥フィルムの
適用が通常必要である。次いで、マスクを乾燥フィルム
上に適用して、光源または他の化学線源からの選択的露
光をして、望まれるパターンを生成できる。現像は、未
架橋乾燥フィルムを除き、望まれるパターンを有する架
橋された乾燥フィルムのみを残すことによって起こる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 depicts a standard five-step process previously used in the manufacture of printed circuit boards. Each one of the circuit boards produced typically requires the application of a dry film to a conductive substrate such as copper that is laminated to a non-conductive substrate such as fiberglass epoxy by hot pressing. A mask can then be applied onto the dry film and selective exposure from a light source or other actinic radiation source can be applied to produce the desired pattern. Development occurs by removing the uncrosslinked dry film, leaving only the crosslinked dry film with the desired pattern.

酸エツチング剤によるエツチングによって、架橋された
乾燥フルイムの部分の間から導電性銅基体が除かれる。Etching with an acid etch removes the conductive copper substrate from between the sections of the crosslinked dry film.

最後に、残留する導電性銅基体から乾燥フィルムを剥離
することによって、望まれる回路パターンが露出する。Finally, the desired circuit pattern is exposed by peeling the dry film from the remaining conductive copper substrate.

これは、通常プリントおよびエツチングプロセスとして
知られる。This is commonly known as a printing and etching process.

しかしながら、本発明の方法により、導電性基体上に乾
燥フィルムまたは液体ホトレジストのようなホトポリマ
ー材料または被覆の使用によって、乾式粉末電子写真ト
ーナーと共に用いる永久マスターを生成する。保護オー
バーコートされた材料をホトポリマー材料上に適用する
。その後、乾燥フルイムまたは液体ホトレジストを用い
ず、製品回路板上に永久マスターから望まれる導電性配
線パターンを生成する。However, the method of the present invention produces a permanent master for use with dry powder electrophotographic toners through the use of a photopolymer material or coating, such as a dry film or liquid photoresist, on a conductive substrate. A protective overcoated material is applied over the photopolymer material. The desired conductive wiring pattern is then created from the permanent master on the product circuit board without using dry film or liquid photoresist.

永久マスターを、第２図および第３図に示すように静電
的に像形成可能面として用いる。導電性裏打ちは、少な
くとも１面に導電性裏打ちに適用された乾燥フィルムま
たは液体ホトレジストのようなホトポリマー材料を有す
る。このホトポリマー材料は、材料中の重合体が架橋す
る故に、化学線に露光すると抵抗率が変化する。永久潜
像は、マスクを通して化学線を放射することによって、
または望まれるパターンをディジタルレーザーペンをも
って「書き込む」によってホトポリマー材料上に形成さ
れる。何れかの方法により、ホトポリマー材料に像形成
されたおよび像未形成部分の間に抵抗率の差が生じる。A permanent master is used as an electrostatically imageable surface as shown in FIGS. 2 and 3. The conductive backing has a photopolymer material, such as a dry film or liquid photoresist, applied to the conductive backing on at least one side. This photopolymer material changes resistivity upon exposure to actinic radiation due to the crosslinking of the polymers in the material. A permanent latent image is created by emitting actinic radiation through a mask.
or by "writing" the desired pattern onto the photopolymer material with a digital laser pen. Either method creates a resistivity difference between the imaged and unimaged portions of the photopolymer material.

第３図に示すように、保護オーバーコートされた材料を
有する静電的に像形成可能面を下地から隔離し、次いで
コロナ放電装置で帯電して、未被覆マスターを帯電した
場合に第２図に示すように未被覆マスターで得られるも
のの反転である電荷保持のパターンを生じる。The electrostatically imageable surface with the protective overcoated material is isolated from the substrate as shown in FIG. 3 and then charged with a corona discharge device to charge the uncoated master as shown in FIG. This results in a pattern of charge retention that is the inverse of that obtained with the uncoated master, as shown in FIG.

電荷は、未露光または余り抵抗性でない部分に第３図の
保護オーバーコートされた材料上に保持される。The charge is retained on the protective overcoated material of FIG. 3 in the unexposed or less resistive areas.

保護オーバーコートされた材料は高誘電率、装着された
表面に適合するに十分な可撓性、溶媒作用に対する抵抗
性、摩耗に抵抗性の硬質表面および低表面エネルギー（
摩擦）の性質を有する材料力や好ましい。好ましい材料
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）であるが、他
の適当な材料としてはポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビ
ニリデン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオキシメ
チレン、適切なポリエーテルイミドおよびポリエーテル
エーテルケトン（ＰＥＥＫ）がある。材料の適切な厚さ
は約０．５ミル〜約１０ミルの範囲であり得る。好まし
い厚さ範囲は、約１ミル〜３ミルである。材料が薄けれ
ば薄い程、永久潜像の解像は一層良好である。既に適所
にある保護オーバーコートされた材料で露光が起こる場
合には、材料は、化学線が、永久マスターを形成する下
にあるホトポリマー材料を通過できるように透明でなけ
ればならない。The protective overcoated material has a high dielectric constant, is flexible enough to conform to the surface it is attached to, is resistant to solvent action, has a hard surface that is resistant to abrasion, and has a low surface energy (
Materials with properties of friction (friction) are preferred. The preferred material is polyethylene terephthalate (PET), but other suitable materials include polyvinyl fluoride, polyvinylidene fluoride, polybutylene terephthalate, polyoxymethylene, suitable polyetherimides and polyetheretherketone (PEEK). . Suitable thicknesses of the material may range from about 0.5 mil to about 10 mil. A preferred thickness range is about 1 mil to 3 mils. The thinner the material, the better the resolution of the permanent latent image. If exposure occurs with a protective overcoated material already in place, the material must be transparent to allow actinic radiation to pass through the underlying photopolymer material forming the permanent master.

あるいは、保護オーバーコートされた材料は、この材料
を露光後にホトポリマー材料に適用して、永久潜像を形
成できる。このアプローチにおいて、保護オーバーコー
トされた材料は透明である必要はない。なぜならば、露
光は積層によるような保護オーバーコートされた材料の
適用前に起こるからである°。この場合の保護オーバー
コートされた材料としては、ホトポリマーを起こり得る
紫外線の作用から保護する紫外線吸収剤があり得る。Alternatively, a protective overcoated material can be applied to a photopolymer material after exposure to form a permanent latent image. In this approach, the protective overcoated material does not need to be transparent. This is because the exposure occurs before the application of protective overcoated materials, such as by lamination. The protective overcoated material in this case can be a UV absorber that protects the photopolymer from possible UV radiation effects.

この性質を有する適当な市販品は、商品名ＴＥＤＬＡＲ
の下に販売されているデュポンのポリフッ化ビニルフィ
ルムである。露光後に保護オーバーコートされた材料の
適用は、直接レーザー像形成を用いる場合′に好ましい
技術である。A suitable commercial product with this property is available under the trade name TEDLAR.
is DuPont's polyvinyl fluoride film sold under Application of a protective overcoated material after exposure is the preferred technique when using direct laser imaging.

用いる保護オーバーコートされた材料の型の決定におけ
る制御因子およびその適用のタイミングはマスターにお
いて得られる静電コントラストである。この静電コント
ラストは、ホトポリマー層に比べて保護オーバーコート
された材料の厚さおよび誘電率によって決まる。最も薄
い保護オーバーコートされた材料と組み合せたマスター
用の最も薄い厚さを有するホトポリマーを用いることに
よって最適の解像品質が得られる。The controlling factor in determining the type of protective overcoated material used and the timing of its application is the electrostatic contrast available in the master. This electrostatic contrast is determined by the thickness and dielectric constant of the protective overcoated material compared to the photopolymer layer. Optimal resolution quality is obtained by using a photopolymer with the thinnest thickness for the master in combination with the thinnest protective overcoated material.

次いで、露光後の静電的に像形成可能面は、この静電的
に像形成可能面を覆う保護オーバーコートされた材料上
の電荷と逆に帯電された乾式粉末電子写真トーナー粒子
の適用によって現像される。The exposed electrostatically imageable surface is then exposed by application of dry powder xerographic toner particles that are charged oppositely to the charge on the protective overcoated material covering this electrostatically imageable surface. Developed.

帯電後に電荷基が、トーナー粒子の適用前にホトポリマ
ー材料の露光された部分の上から消失するのに十分な時
間待つ必要がある。帯電された乾式粉末電子写真トーナ
ー粒子は、静電像形成可能面の未露光部分上に保護オー
バーコートされた材料の帯電された部分に指向されて潜
像を形成または現像する。保護オーバーコートされた材
料は、層軟質のホトポリマー材料を物理的損傷から保護
する。It is necessary to wait a sufficient time after charging for the charged groups to dissipate from the exposed portions of the photopolymer material before application of the toner particles. Charged dry powder electrophotographic toner particles are directed to form or develop a latent image on the charged portions of the protective overcoated material on the unexposed portions of the electrostatic imageable surface. The protective overcoated material protects the layer soft photopolymer material from physical damage.

このように現像されると、像は、永久マスター上の永久
潜像のパターンにより、静電的に像形成可能面を覆う保
護オーバーコートされた材料の表面上に形成される。こ
のように、現像された像は、電気的に融離された導電性
受像面に容易に転写されて、望まれる導電性配線パター
ンを有する回路板を生成する。あるいは、現像された像
は、紙のような非導電性受像面に転写できる。When so developed, an image is formed on the surface of the protective overcoated material electrostatically covering the imageable surface by the pattern of the permanent latent image on the permanent master. In this manner, the developed image is readily transferred to an electrically ablated conductive image receiving surface to produce a circuit board having the desired conductive wiring pattern. Alternatively, the developed image can be transferred to a non-conductive image receiving surface such as paper.

適切な乾式粉末電子写真ト＝ナーは、磁性１成分、摩擦
電気１成分または２成分トーナーから選択できる。磁性
１成分トーナーは、代表的には、スチレンアクリレート
のような熱可塑性重合体結合剤約３０重量％〜約４０重
量％、染料／顔料着色剤約１０重量％未満およびニグロ
シンのような電荷誘導剤約０重量％〜約６重量％および
熱可塑性カプセル化されたコアーとしての酸化鉄または
フェライト約５０重量％〜約６０重量を有する。Suitable dry powder electrophotographic toners can be selected from magnetic one-component, triboelectric one-component or two-component toners. Magnetic one-component toners typically include from about 30% to about 40% by weight of a thermoplastic polymeric binder such as styrene acrylate, less than about 10% by weight of a dye/pigment colorant and a charge director such as nigrosine. from about 0% to about 6% by weight and from about 50% to about 60% by weight of iron oxide or ferrite as the thermoplastic encapsulated core.

摩擦電気１成分乾式トーナーは、代表的には熱可塑性重
合体結合剤約８０重量％〜約９０重量％、染料／顔料着
色剤約１０重量％未満および電荷誘導剤的０．　５重量
％〜約３重量％を有する。摩擦電気１成分乾式トーナー
はまた流動向上のためのシリカのような添加剤、オフセ
ットを防止するポリプロピレン約３重量％〜約１０重量
％および潤滑剤用途のためのステアリン酸亜鉛のような
添加剤も有する。２成分乾式トーナーは、代表的には、
熱可塑性重合体結合剤約８０重量％〜約９０重量％、染
料／顔料着色剤約１０重量％未満、ニグロシンのような
電荷誘導剤約２重量％〜約６重量％および流動増進用の
シリカ約０．　５重量％、オフセラ小を防止するポリプ
ロピレン約３重量％〜約１０重量％および潤滑剤として
のステアリン酸亜鉛約０．３６重母方のような添加剤を
有する。Triboelectric one-component dry toners typically contain from about 80% to about 90% by weight of a thermoplastic polymeric binder, less than about 10% by weight of a dye/pigment colorant, and 0.9% by weight of a charge director. 5% to about 3% by weight. Triboelectric one-component dry toners also contain additives such as silica for flow enhancement, about 3% to about 10% by weight polypropylene to prevent offset, and zinc stearate for lubricant applications. have Two-component dry toners are typically
from about 80% to about 90% by weight of a thermoplastic polymeric binder, less than about 10% by weight of a dye/pigment colorant, from about 2% to about 6% by weight of a charge director such as nigrosine, and about silica for flow enhancement. 0. 5% by weight, about 3% to about 10% by weight of polypropylene to prevent offsetting, and about 0.36% zinc stearate as a lubricant.

現像された像の受像面への転写は、像を電圧約６．５ｋ
Ｖを有する正に帯電されたコロナをもってコロナ帯電す
ることによって行われる。電荷分布パターンを第４図に
示す。次いで受像面を帯電され調色された像と接触させ
る。受像面が導電性の場合、受像面はマスターの導電性
基体に電気的に接続される。正に帯電された乾式トーナ
ー粉末トーナー粒子によって発生した電場は、トーナー
粒子を自己反発して、トーナー粒子が同様の電荷によっ
て受像面に反発される。この転写は、関連部分において
、本明細書に特に参照されたＧｏｎｄｌｚｃｂに特許証
の発行された米国特許第３，００４．８６０号明細書に
一層十分に説明される。The developed image is transferred to the image receiving surface using a voltage of approximately 6.5k.
This is done by corona charging with a positively charged corona having V. The charge distribution pattern is shown in FIG. The image receiving surface is then brought into contact with the charged and toned image. If the image receiving surface is conductive, the image receiving surface is electrically connected to the master's conductive substrate. The electric field generated by the positively charged dry toner powder toner particles self-repels the toner particles such that they are repelled by a similar charge to the receiving surface. This transfer is more fully explained in pertinent part in U.S. Pat. No. 3,004,860 issued to Gondlzcb, which is specifically referenced herein.

コロナ転写またはバイアスローラー転写の伝統的技術に
よって、乾式粉末粒子トーナー像を紙またはプラスチッ
クフィルムのような多孔性およびまたは非導電性受像面
に転写できる。Dry powder particle toner images can be transferred to porous and/or non-conductive image receiving surfaces such as paper or plastic films by traditional techniques of corona transfer or bias roller transfer.

静電的に像形成可能面および受像面は、導電性または非
導電性であれ、転写点においてこれらの間に起こる相対
運動を有してはならないが、転写点は転写の静止点また
はローリング点であり得よう。ドラムまたはウェブある
いは静止平面を静電的に像形成可能面に使用して、現像
された像をマスターから平坦および静止または移動受像
面に転写できるであろう。移動受像面は、ローリングド
ラムまたはウェブあるいは他の適切な手段であり得よう
。静電的に像形成可能かつ受像面は真空によるように、
転写点で適所に保持されなければならないかまたは表面
を磁気的または静電的に保持することによって行うこと
ができるであろう。The electrostatically imageable surface and the image-receiving surface, whether conductive or non-conductive, must have no relative movement occurring between them at the point of transfer, but the point of transfer is the stationary or rolling point of transfer. It could be. A drum or web or stationary plane could be used as an electrostatically imageable surface to transfer the developed image from the master to a flat and stationary or moving receiving surface. The moving receiving surface could be a rolling drum or web or other suitable means. Image can be formed electrostatically and the image receiving surface is vacuum-based.
It must be held in place at the point of transfer or could be done by holding the surface magnetically or electrostatically.

第３図に図示するように、帯電された乾式粉末電子写真
トーナー粒子は、その予め決められた電荷と共に静電的
に像形成可能面上のホトポリマー材料の未架橋部分上の
逆帯電された保護オーバーコートされた材料から個々の
または群分けされた粒子として導電性受像面に移動する
。導電性受像面は、ガラス繊維エポキシのような絶縁誘
電体層上に積層される。As illustrated in FIG. 3, the charged dry powder xerographic toner particles, together with their predetermined charge, are electrostatically charged to an oppositely charged protective layer on the uncrosslinked portions of the photopolymer material on the imageable surface. Transfer from the overcoated material to the conductive image receiving surface as individual or grouped particles. A conductive image receiving surface is laminated onto an insulating dielectric layer such as fiberglass epoxy.

静電的に像形成可能面上の乾燥フィルムまたは液体ホト
レジストのようなホトポリマー材料は、マスター静電像
板として働き、しかも静電的に像形成可能面上の像形成
されたまたは像未形成部分の間の抵抗率差は、多くの場
合、使用するホトレジストによって長時間の間相対的に
一定である故に、静電転写方法によって多数の複写を作
製できる。操作を繰り返すために、静電的に像形成可能
部分上の任意の残留電荷はホトポリマー材料の表面を交
流コロナで帯電することによるように放電されなければ
ならない。A photopolymer material, such as a dry film or liquid photoresist, on the electrostatically imageable surface acts as a master electrostatic image plate and also covers the imaged or unimaged portions on the electrostatically imageable surface. Because the resistivity difference between is relatively constant over time, often depending on the photoresist used, a large number of copies can be made by electrostatic transfer methods. To repeat the operation, any residual charge on the electrostatically imageable portion must be discharged, such as by charging the surface of the photopolymer material with an alternating current corona.

化学線に露光後比較的長期間、抵抗率の差を保つ、ホト
ポリマーの能力を用いることによって、望まれる静電潜
像パターンはホトポリマー材料に留まり、増大した抵抗
率の架橋部分および化学線に未露光の、それ程抵抗性で
ないかまたは背景部分を形成する。乾式フィルムレジス
トのようなホトポリマー材料は、代表的には、架橋され
るようになり、像転写のプロセス速度によって、背景ま
たは未露光部分よりも１桁またはそれ以上大きい誘電性
の一層大きい電気抵抗率の像形成部分を形成する重合体
から形成される。−層迅速なプロセス速度には、−層大
きい抵抗率差が必要である。By utilizing the ability of photopolymers to maintain resistivity differences for relatively long periods of time after exposure to actinic radiation, the desired electrostatic latent image pattern remains in the photopolymer material, leaving the increased resistivity cross-links and actinic radiation unaffected. Forms a less resistive or background portion of the exposure. Photopolymer materials, such as dry film resists, typically become crosslinked and have a dielectric greater electrical resistivity that is an order of magnitude or more greater than the background or unexposed areas, depending on the process speed of image transfer. formed from a polymer that forms the imaging portion of the -Layers Rapid process speeds require -large layer resistivity differences.

適当な乾式フィルムホトレジストとしては、デュポンに
よる商品名リストン（Ｒｉｔｌｏ＊）　１２１５および
リストン３６１５およびＷＮ−００３８の名称の下に供
給されるＢＡＳＦの厚さ３８ミクロンのフィルムがある
。Suitable dry film photoresists include BASF's 38 micron thick films supplied under the trade names Ritlo* 1215 and Ritlo 3615 by DuPont and WN-0038.

また液体ホトポリマーは、溶媒をもって導電性基体に適
用して、乾燥するまで硬化し、次いで保護オーバーコー
トされた材料で積層できるであろう。The liquid photopolymer could also be applied to a conductive substrate with a solvent, cured until dry, and then laminated with a protective overcoated material.

特別のホトポリマーの選択における実際の制限は、電荷
が露光された部分においてホトポリマーの基体からホト
ポリマー−保護オーバーコートされた材料の界面に移動
するに必要な時間である。この時間は、約１．２５秒〜
約１０秒のように比較的短かいのが好ましい。A practical limitation in the selection of a particular photopolymer is the time required for the charge to migrate from the photopolymer substrate to the photopolymer-protective overcoated material interface in the exposed area. This time is approximately 1.25 seconds ~
Preferably it is relatively short, such as about 10 seconds.

線像用の良好な静電コントラストを得るために、ホトポ
リマー材料の抵抗率は　１０１２Ω・σ未満でなければ
ならない。背景または像未形成部分は、代表的には電気
抵抗率１０１３Ω−■を有しなければならない。比較の
ために、若干の伝統的に絶縁材料として考えられるもの
を初め種々の材料の抵抗率が知られている。電子グレー
ドのマイラー（ＭＹＬＡＲ）ポリエステルフィルムは、
抵抗率約１０１７Ω−ω、酸化アルミニウムセラミック
は抵抗率約、０１６Ω−の、種々のグレードの雲母は抵
抗率１０　Ω−ｃｍ〜１０１７Ω−国、未露光グイナケ
ム（Ｄ７ｎｚｃｈｅｍ）　Ａ　Ｘ乾燥フィルムは抵抗率
約１０１３Ω−国および種々のグレードのユニオン・カ
ーバイドのベークライト共重合体プラスチックスは、抵
抗率約１０　Ω−ｃＪ１１〜１０１６Ω−画を有する。To obtain good electrostatic contrast for line images, the resistivity of the photopolymer material must be less than 10 12 Ω·σ. The background or unimaged portion typically must have an electrical resistivity of 10 13 Ω-■. For comparison, the resistivities of various materials are known, including some traditionally thought of as insulating materials. Electronic grade MYLAR polyester film is
Aluminum oxide ceramic has a resistivity of approximately 1017 Ω-ω, aluminum oxide ceramic has a resistivity of approximately 0.016 Ω-, various grades of mica have a resistivity of 10 Ω-cm to 1017 Ω-2, unexposed Guinachem (D7nzchem) A X dry film has a resistivity of approximately 1013 ohm-country and various grades of Union Carbide Bakelite copolymer plastics have resistivities of about 10 ohm-cJ11 to 1016 ohm-scale.

デュポンのリストン３６１５乾燥フイルムは抵抗率約１
０１０Ω−（至）を有する。DuPont's Liston 3615 dry film has a resistivity of approximately 1.
010Ω-(to).

ホトポリマー材料の科学線への露光によって形成された
これらの像形成された部分は、導電性裏打ちが電気的に
接地されたならば、直流電荷コロナによって帯電された
場合に高電圧電荷を保持する増大した抵抗率の部分のみ
である。−層少ない電気抵抗率を有する保護オーバーコ
ートされた材料の下の像未形成または背景部分は導電性
である。These imaged areas, formed by exposure of photopolymer materials to chemical radiation, retain an increased high voltage charge when charged by a direct current charge corona, once the conductive backing is electrically grounded. This is only the resistivity part. - The unimaged or background parts under the protective overcoated material with a lower electrical resistivity are electrically conductive.

得られたコロナの電荷電位は、保護オーバーコートされ
た層および未露光ホトポリマー層の組み合せにわたって
現れる。１秒〜２秒のような短い適当な時間遅れの後に
、保護オーバーコートされた層の下の露光されたホトポ
リマー層にわたる電位は、崩壊または消散し、像未形成
部分に保護オーバーコートされた層にわたって初期の電
荷電圧または電位の１部分のみを残す。The resulting corona charge potential appears across the combination of the protective overcoated layer and the unexposed photopolymer layer. After a short, suitable time delay, such as 1 to 2 seconds, the potential across the exposed photopolymer layer beneath the protective overcoated layer collapses or dissipates, leaving the protective overcoated layer in the unimaged areas. leaving only a portion of the initial charge voltage or potential across.

像形成された部分は、全電荷電圧を有し、しかも像未形
成部分は全電荷電圧または電位の少部分のみを有する故
に、像形成された部分と像未形成部分の間に静電コント
ラストが確立された。このコントラストは、ホトポリマ
ー材料および保護オーバーコートされた材料の相対厚さ
および誘電率を変化させることによって最大にできる。Because the imaged area has the full charge voltage and the unimaged area has only a small fraction of the total charge voltage or potential, there is an electrostatic contrast between the imaged and unimaged areas. It has been established. This contrast can be maximized by varying the relative thicknesses and dielectric constants of the photopolymer material and the protective overcoated material.

帯電された乾式粉末電子写真トーナー粒子は、未露光ホ
トポリマー上の保護オーバーコートされた材料の電荷保
持部分に対して逆に帯電されるので帯電されたトーナー
粒子はこれらの粒子に引きつけられる。次いで、このこ
とによって、これらの帯電されたトーナー粒子は、前記
のように静電的に像形成可能面から受像面に転写できる
。The charged dry powder electrophotographic toner particles are attracted to the charged toner particles because they are oppositely charged to the charge retentive portion of the protective overcoated material on the unexposed photopolymer. This then allows these charged toner particles to be electrostatically transferred from the imageable surface to the image receiving surface as described above.

トーナー像が受像面上の像形成された部分のトーナー粒
子によって形成されると直ちに第２図および第３図に図
示されるように、粒子は加熱によって導電性受像面に融
着される。熱はエアオーブンまたはエアスロットを通る
指向温風の使用によって与えることができるので、熱は
トーナー粒子を形成する結合剤または重合体が転写され
た像中に伴出される液体に溶媒和する温度に達するに十
分な一定の時間供給される。例えば、融着は、約１００
℃より高温〜約１８０℃までの温度において約１５秒〜
約２０秒起こり得る。Once a toner image is formed by the toner particles on the imaged portion of the image receiving surface, the particles are fused to the conductive image receiving surface by heating, as illustrated in FIGS. 2 and 3. Heat can be applied by the use of an air oven or directed hot air through air slots so that the heat reaches a temperature at which the binder or polymer that forms the toner particles solvates into the liquid entrained in the transferred image. supplied for a certain amount of time, enough to reach For example, fusion is approximately 100
About 15 seconds at temperatures higher than ℃ to about 180℃
This can happen in about 20 seconds.

その後、導電性受像面については、像未形成部分をエツ
チングして、トーナー粒子によってオーバーコートされ
た未エツチング導電性受像面に望まれる導電性配線パタ
ーンを生成する。エツチング工程では、トーナー粒子に
よって保護された導電性受像面の部分から導電性材料を
除去できないが、トーナー粒子によって保護されない部
分から導電性材料に作用し、しかも除去する。用いる特
別の型のエツチング剤は、１部分、エツチングされる導
電性材料および使用するレジストの型によって決まるの
で、酸および非常に温和なアルカリエツチング液の両者
を使用できる。例えば、導電性受像面が銅の場合、酸性
塩化第２銅を含むエツチング剤を用いるのが好ましい。Thereafter, for the conductive image receiving surface, the unimaged portions are etched to produce the desired conductive wiring pattern on the unetched conductive image receiving surface overcoated with toner particles. The etching step does not remove conductive material from the portions of the conductive image receiving surface protected by toner particles, but acts on and removes conductive material from portions not protected by toner particles. The particular type of etchant used will depend in part on the conductive material being etched and the type of resist used, so both acids and very mild alkaline etchants can be used. For example, if the conductive image receiving surface is copper, it is preferable to use an etching agent containing acidic cupric chloride.

導電性受像面上に複写を形成する静電転写プロセスにお
ける最終工程は剥離工程である。この工程の間、トーナ
ー粒子は塩化メチレン、アセトン、アルカリ性水溶液ま
たは他の適当な溶液をもってすすぐことによるように、
像形成された部分から適当に除去または剥離される。The final step in the electrostatic transfer process of forming a copy on a conductive image receiving surface is a stripping step. During this step, the toner particles are rinsed with methylene chloride, acetone, aqueous alkaline solution or other suitable solution.
It is suitably removed or peeled from the imaged area.

得られた結果を例示するために、下記の例は、本発明の
範囲を本明細書の論議に限定する意図なしに提供される
。例は、静電的に像形成可能面上に永久潜像を有する永
久マスターを得ることができる様式を具体的に説明する
ことを意図している。To illustrate the results obtained, the following examples are provided without intending to limit the scope of the invention to the discussion herein. The examples are intended to illustrate the manner in which a permanent master having a permanent latent image on an electrostatically imageable surface can be obtained.

また、例は乾式粉末電子写真トーナーと共に永久マスタ
ーとしてネガ加工乾式フィルムホトレジストを使用して
、非導電性受像面および導電性受像面上に多数の複写を
生成することをも説明する。The examples also illustrate the use of a negative processing dry film photoresist as a permanent master with a dry powder electrophotographic toner to produce multiple copies on a non-conductive image receiving surface and a conductive image receiving surface.

静電的に像形成可能面を覆う保護オーバーコートされた
材料から現像された潜像を転写する前に各導電性受像面
に乾燥フィルムまたは液体レジストを適用する必要はな
い。There is no need to apply a dry film or liquid resist to each conductive image-receiving surface prior to transferring the developed latent image from the protective overcoated material that electrostatically covers the imageable surface.

例１ 厚さ約１．５ミルのデュポン　リストン３６１５乾式フ
ィルムホトレジストが、ダイナケム・オブ・タステイン
（Ｄ７ａｘｃｈｅｍ　ｏｆ　Ｔａ５ｔｉｎ）　、カリフ
ォルニア州所在製のウェスターン・マグナム（Ｗｃｓｌ
ｅｒｎ　Ｍｘｇｎａｍ）　Ｘ　ＲＬ　−３５Ｑ型貼合せ
機を用いて、エポキシガラス上の厚さ約１．３５ミルの
銅層からなる金属基体に積層された。積層は、速度毎分
約６フイートにおいてロール温度約２２０°Ｆで行った
。金属基体は電気的に接地された。Example 1 DuPont Liston 3615 dry film photoresist approximately 1.5 mils thick is coated with Western Magnum (Wcsl) manufactured by D7axchem of Ta5tin, California.
The samples were laminated to a metal substrate consisting of an approximately 1.35 mil thick copper layer on epoxy glass using a Model 35Q laminating machine. Lamination was carried out at a speed of about 6 feet per minute and a roll temperature of about 220°F. The metal substrate was electrically grounded.

積層された生成物は、米空軍１９５１解像ターゲットの
ポジホトツールを用いて約２３０ミリジュ−ル／ｃｍ２
の水準に露光される。厚さ約１．０ミルのポリエチレン
テレフタレート（以下ＰＥＴと云う）のフィルムの上部
保護層は、リストン材料から除去されなかった。The deposited product was approximately 230 millijoules/cm2 using a US Air Force 1951 resolution target positive photo tool.
exposed to light levels. The top protective layer of polyethylene terephthalate (PET) film, approximately 1.0 mil thick, was not removed from the Liston material.

次いで、露光されたリストン乾燥フィルムのマスタープ
レートは、電圧的６．５ｋＶのポジコロナ帯電ユニット
を用いることによって帯電された。The exposed Liston dry film master plate was then charged by using a positive corona charging unit with a voltage of 6.5 kV.

約２秒〜３秒の遅れの後、ＰＥＴの保護的にオーバーコ
ートされたリストン３６１５プレートを棒磁石手持磁石
ブラシをもって手作業で現像した。After a delay of approximately 2 to 3 seconds, the PET protectively overcoated Liston 3615 plate was developed manually with a bar magnet handheld magnetic brush.

現像トーナーには、５ｌｅｖｔｒｄ　ＮＱＩ　２４００
　ＬＲフェライト担体ビーズ約１００ｇと混合されたゼ
ロックス３１００２成分トーナー約２ｇを利用した。For the developing toner, 5levtrd NQI 2400
Approximately 2 grams of Xerox 3100 two-component toner mixed with approximately 100 grams of LR ferrite carrier beads was utilized.

次イで、トーナー現像された像を１枚のゼロ複写紙に静
電接触転写した。転写によって、解像約５．６線対／順
で紙上に高品質の像を生成した。The toner developed image was then electrostatically contact transferred to a sheet of xerographic paper. The transfer produced a high quality image on paper with a resolution of approximately 5.6 line pairs/sequence.

転写は、１枚の紙をマスター上に載置し、次いでコロナ
を紙上に通すことにより、紙の裏面を約６．５ｋＶにお
いてポジコロナ帯電することによって行った。この紙を
剥離した。これを、さらに５回繰り返して、複写された
紙各枚葉に同じ高品質像および約５．６線対／ｌｌｌｆ
ｆ＋の高解像を生じた。Transfer was performed by placing a piece of paper on the master and then passing a corona over the paper to positively corona charge the back side of the paper at approximately 6.5 kV. This paper was peeled off. This is repeated five more times to produce the same high quality image and approximately 5.6 line pairs/lllf on each sheet of copied paper.
A high resolution of f+ was produced.

像を、オーブン中で、約１０５℃において約６０秒融着
した。The image was fused in an oven at about 105° C. for about 60 seconds.

例２ 例１と同じ操作を用い、エポキシガラス上の厚さ約１．
３５ミルの銅層を用いて厚さ約１．５ミルのデュポンリ
ストン３６１５乾燥フイルムを金属基体に積層した。こ
の金属基体は電気的に接地された。積層は、同じ温度設
定および速度を用いて同じウェスターン・マグナムＸＲ
Ｌ−３６０型貼合せ機を用いて行った。積層された基体
を米空軍１９５１解像ターゲットポジホトツールをもっ
て約２３０ミリジユール／ｃｌｌ＋２の水準に露光した
。Example 2 Using the same procedure as Example 1, the thickness on the epoxy glass was approx.
DuPont Liston 3615 dry film approximately 1.5 mils thick was laminated to the metal substrate using a 35 mil copper layer. This metal substrate was electrically grounded. Laminations were made using the same Western Magnum XR using the same temperature settings and speeds.
This was carried out using an L-360 type laminating machine. The laminated substrate was exposed to a level of approximately 230 millijoules/cll+2 using a US Air Force 1951 Resolution Target Posiphoto tool.

再び、上面保護ＰＥＴ層は、リストン乾燥フィルム材料
から除去されなかった。Again, the top protective PET layer was not removed from the Liston dry film material.

次いで、このように形成されたマスター積層板を、電圧
水準的５．５ｋＶにおいてポジコロナユニットによって
帯電した。約２秒〜３秒の遅れの後に、棒磁石手持磁気
ブラシをもって手作業によりＰＥＴ／リストンプレート
を現像した。使用したトーナーは、例１において用いた
と同じ２成分トーナーであった。トーナー現像された像
を、機械的支持体用の厚さ約０．００５インチのポリエ
ステルフィルムに接着された厚さ約０．０００３５イン
チのアルミニウム箔に接触転写した。転写方法の基本原
理は、一般にＪｏｈｎＨ，ＤｅｓｕａｅｒおよびＨＩｒ
ｏｌｄ　Ｅ、Ｃ１ｘｔｋによる［ゼログラフィー・アン
ド・リレーテッド・プロセシズ（Ｘｅｔｏ（＋５ｐｂｙ
　ｘｎｄ　Ｒｅ１ｘｌｅｄ　Ｐｒ＋ｃｅｓｓｅｓ）　］
と題する本文における「ト・ランスファーズ・トウ・メ
タル・シーツ（Ｔ＋！ｎ５ｌｅ＋ｓ　Ｔｏ　Ｍｅｔｚｌ
　５ｈｅｃｌｓ　）　Ｊと題する１４．４．２節に一般
に記載されている。The master laminate thus formed was then charged by a positive corona unit at a voltage level of 5.5 kV. After a delay of approximately 2-3 seconds, the PET/Liston plate was developed manually with a bar magnet hand-held magnetic brush. The toner used was the same two-component toner used in Example 1. The toner developed image was contact transferred to approximately 0.00035 inch thick aluminum foil adhered to approximately 0.005 inch thick polyester film for mechanical support. The basic principles of transcription methods are generally described by John H., Desuaer and H.I.R.
[Xerography and Related Processes (Xeto (+5 pby
xnd Re1xled Pr+cesses) ]
In the text entitled ``To Transfers to Metal Sheets (T+!n5le+s To Metzl
5hecls) J.

とりわけ、リストン乾燥フィルム上の保護オーバーコー
トされたＰＥＴ材料を、約６．５ｋＶコロナ帯電ユニツ
トをもって正に再帯電した。これによって、ＰＥＴの表
面上および像未形成部分の露光されたマスター上のトー
ナーに正電荷が与えられる。可撓性アルミニウム面をマ
スターの裏打ちに電気的に接続し、次いでアルミニウム
面をトーナー現像された像と事実上接触して載置した。Specifically, the protective overcoated PET material on the Liston dry film was positively recharged with an approximately 6.5 kV corona charging unit. This imparts a positive charge to the toner on the surface of the PET and on the exposed master in the unimaged areas. The flexible aluminum surface was electrically connected to the backing of the master, and the aluminum surface was then placed in substantial contact with the toner-developed image.

次いで、金属シートとマスタープレートの間に誘導され
た電場がトーナー粒子を金属シートに転写するのに十分
になった後に、アルミニウム面を剥離した。全トーナー
がアルミニウム面に転写されて、高品質の像を与え、若
干の線は解像約４．０線対／Ｗを有した。この像をオー
ブン中で約１０５℃において約６０秒融着した。The aluminum surface was then peeled off after the electric field induced between the metal sheet and the master plate was sufficient to transfer the toner particles to the metal sheet. All toner was transferred to the aluminum surface giving a high quality image with some lines having a resolution of about 4.0 line pairs/W. The image was fused in an oven at about 105°C for about 60 seconds.

本発明の原理がとり入れられている好ましい方法が前記
に示されかつ記載されているが、本発明は、このように
示された特別の詳細および方法に限定されず、事実本発
明の一層広い面の実施において、大いに異なった手段お
よび方法を使用できることを理解されたい。While preferred methods embodying the principles of the invention have been shown and described above, the invention is not limited to the particular details and methods so shown, and in fact may be useful in further understanding the broader aspects of the invention. It should be understood that very different means and methods can be used in implementing the .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は先行技術プリントおよびエッチ印刷回路板作製
工程の図示である。 第２図は帯電されたトーナー粒子がどのように位置し、
しかもマスターから受像面に転写されるかを示す。保護
オーバーコートされない永久マスターを用いる本発明の
図示であり、 第３図は、帯電されたトーナー粒子が未露光ホトポリマ
一部分上のオーバーコートされた材料上にどのように位
置し、しかもマスターから導電性受像面に転写されるか
を示す、保護オーバーコートされた永久マスターを用い
る本発明の方法の図示であり、かつ 第４図は永久マスターの製作に用いるホトポリマー材料
を覆う保護オーバーコートされた材料の露光部分および
未露光部分上の電荷の図示である。FIG. 1 is an illustration of a prior art print and etch printed circuit board fabrication process. Figure 2 shows how the charged toner particles are located,
Moreover, it indicates whether the image is transferred from the master to the image receiving surface. FIG. 3 is an illustration of the present invention using a permanent master without a protective overcoat; FIG. FIG. 4 is an illustration of the method of the present invention using a protective overcoated permanent master showing transfer to an image receiving surface, and FIG. 2 is a diagram of charge on exposed and unexposed areas; FIG.

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）（ａ）導電性基体を、化学線源に露光すると抵抗
率を増大するホトポリマー材料をもつて被覆し、（ｂ）
化学線源に露光することによつてホトポリマー材料上に
永久潜像を形成して、静電的にコントラストをつけた像
未形成部分および露光された潜像を形成し、 （ｃ）ホトポリマー材料を低摩擦保護オーバーコートさ
れた材料で被覆し、 （ｄ）保護オーバーコートされた材料を帯電して、電荷
をホトポリマー材料の未露光部分上に保持し、 （ｅ）帯電された乾式粉末電子写真トーナー粒子を保護
オーバーコートされた材料に適用し、帯電された乾式粉
末電子写真トーナー粒子はホトポリマー材料の未露光部
分上の保護透明オーバーコートされた材料に指向されて
現像された像を形成し、 （ｆ）ホトポリマー材料と受像面の間に電場を確立し、 （ｇ）ホトポリマー材料に隣接して受像面を載置し、 （ｈ）現像された像を、接触転写点において、保護オー
バーコートされた材料から受像面に転写して、像未形成
部分および像形成された部分に転写されたトーナー粒子
像を形成し、次いで （ｉ）転写されたトーナー粒子像を受像面に融着するこ
とを特徴とする、電気的に隔離された受像面上の調色さ
れたパターンの作製方法。(1) (a) coating a conductive substrate with a photopolymer material that increases its resistivity upon exposure to a source of actinic radiation; (b)
(c) forming a permanent latent image on the photopolymer material by exposure to a source of actinic radiation to form an electrostatically contrasted unimaged area and an exposed latent image; (d) charging the protective overcoated material to retain the charge on the unexposed portions of the photopolymer material; (e) a charged dry powder electrophotographic toner; particles are applied to the protective overcoated material, charged dry powder xerographic toner particles are directed to the protective transparent overcoated material on the unexposed portions of the photopolymer material to form a developed image ( f) establishing an electric field between the photopolymer material and the image receiving surface; (g) placing the image receiving surface adjacent to the photopolymer material; and (h) depositing the developed image at the contact transfer point with a protective overcoat. transferring from the material to an image-receiving surface to form a transferred toner particle image in unimaged areas and imaged areas, and then (i) fusing the transferred toner particle image to the image-receiving surface; A method for producing a toned pattern on an electrically isolated image-receiving surface. （２）（ａ）導電面の像未形成部分をエッチングして、
受像面の像未形成部分を除き、次いで （ｂ）トーナ粒子を受像面の像形成された部分から除く
ことをさらに特徴とする、特許請求の範囲第６項に記載
の方法。(2) (a) Etching the non-imaged portion of the conductive surface,
7. The method of claim 6, further comprising removing the unimaged portion of the receiving surface and then (b) removing toner particles from the imaged portion of the receiving surface. （３）化学線源に露光する前に、ホトポリマー材料を透
明保護オーバーコートされた材料をもって被覆すること
をさらに特徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の方
法。3. The method of claim 1 further comprising: (3) coating the photopolymer material with a transparent protective overcoated material prior to exposure to the source of actinic radiation. （４）保護オーバーコートされた材料中に紫外線吸収剤
を含んで、下にあるホトポリマー材料を紫外線作用から
保護することをさらに特徴とする、特許請求の範囲第１
項に記載の方法。(4) The protective overcoated material further comprises a UV absorber to protect the underlying photopolymer material from UV action.
The method described in section. （５）受像面を装着している非導電性積層品を用いるこ
とをさらに特徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の
方法。(5) A method according to claim 1, further characterized in that a non-conductive laminate is used which is fitted with an image receiving surface. （６）導電性受像面を受像面として用いることをさらに
特徴とする、特許請求の範囲第５項に記載の方法。(6) The method according to claim 5, further characterized in that a conductive image receiving surface is used as the image receiving surface. （７）非導電性受像面を受像面として用いることをさら
に特徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の方法。(7) The method according to claim 1, further characterized in that a non-conductive image receiving surface is used as the image receiving surface. （８）液体ホトポリマーをホトポリマー材料として用い
、しかも導電性基体の被覆前にこの液体ホトポリマーを
乾燥することをさらに特徴とする、特許請求の範囲第１
項に記載の方法。(8) A liquid photopolymer is used as the photopolymer material, and the liquid photopolymer is further characterized in that the liquid photopolymer is dried before coating the conductive substrate.
The method described in section. （９）乾式フィルムホトレジストをホトポリマー材料と
して用いることをさらに特徴とする、特許請求の範囲第
１項に記載の方法。(9) The method of claim 1 further characterized in that a dry film photoresist is used as the photopolymer material. （１０）ポリエチレンテレフタレートを保護透明オーバ
ーコートされた材料として用いることをさらに特徴とす
る、特許請求の範囲第１項に記載の方法。10. The method of claim 1 further characterized in that polyethylene terephthalate is used as the protective transparent overcoated material. （１１）（ａ）導電性基体を、化学線源に露光すると抵
抗率を増大するホトポリマー材料をもつて被覆し、（ｂ
）化学線源に露光することによつてホトポリマー材料上
に永久潜像を形成して、静電的にコントラストをつけた
未露光の像未形成部分および露光された潜像部分を形成
し、 （ｃ）ホトポリマー材料を低摩擦保護透明オーバーコー
トされた材料で被覆し、 （ｄ）保護透明オーバーコートされた材料を帯電して、
電荷をホトポリマー材料の未露光部分上に保持し、 （ｅ）帯電された乾式粉末電子写真トーナー粒子を保護
透明オーバーコートされた材料に適用し、帯電された乾
式粉末電子写真トーナー粒子はホトポリマー材料の未露
光部分上に保護透明オーバーコート材料に指向されて、
現像された像を形成し、（ｆ）ホトポリマー材料と受像
面の間に電場を確立し、 （ｇ）オーバーコートされたホトポリマーに隣接および
接触して、受像面を載置し、 （ｈ）（ｈ）現像された像を、接触転写点において、保
護透明オーバーコートされた材料から受像面に転写して
、像未形成部分および像形成された部分に転写されたト
ーナー粒子像を形成し、 （ｉ）転写工程の間に転写点において、オーバーコート
されたホトポリマー材料と受像面の間に相対運動を維持
せず、次いで （ｊ）転写されたトーナー粒子像を受像面に融着するこ
とを特徴とする、電気的に隔離された受像面上の調色さ
れたパターンの作製方法。(11) (a) coating a conductive substrate with a photopolymer material that increases its resistivity upon exposure to a source of actinic radiation; (b)
) forming a permanent latent image on the photopolymer material by exposure to a source of actinic radiation to form electrostatically contrasting unexposed unimaged areas and exposed latent image areas; c) coating the photopolymer material with a low friction protective transparent overcoated material; (d) charging the protective transparent overcoated material;
(e) applying the charged dry powder xerographic toner particles to the protective transparent overcoated material; and applying the charged dry powder xerographic toner particles to the photopolymer material. oriented to a protective transparent overcoat material over the unexposed areas,
forming a developed image; (f) establishing an electric field between the photopolymer material and the image receiving surface; (g) placing the image receiving surface adjacent and in contact with the overcoated photopolymer; (h) ( h) transferring the developed image from the protective transparent overcoated material to the image receiving surface at a contact transfer point to form a toner particle image transferred to the unimaged and imaged areas; i) maintaining no relative motion between the overcoated photopolymer material and the image receiving surface at the transfer point during the transfer step; and (j) fusing the transferred toner particle image to the image receiving surface. A method for producing a toned pattern on an electrically isolated image-receiving surface. （１２）導電性受像面を受像面として用いることをさら
に特徴とする、特許請求の範囲第１１項に記載の方法。(12) The method according to claim 11, further characterized in that a conductive image receiving surface is used as the image receiving surface. （１３）（ａ）導電面の像未形成部分をエッチングして
、受像面の像未形成部分を除き、次いで （ｂ）トーナー粒子を受像面の像形成された部分から除
くことをさらに特徴とする、特許請求の範囲第１１項に
記載の方法。(13) further characterized by: (a) etching the unimaged portions of the conductive surface to remove the unimaged portions of the image receiving surface, and then (b) removing toner particles from the imaged portions of the image receiving surface. 12. The method according to claim 11, wherein: （１４）化学線源に露光する前に、ホトポリマー材料を
透明保護オーバーコートされた材料をもって被覆するこ
とをさらに特徴とする、特許請求の範囲第１３項に記載
の方法。14. The method of claim 13 further comprising coating the photopolymer material with a transparent protective overcoated material prior to exposure to the actinic radiation source. （１５）導電性受像面上に装着された非導電性積層品を
用いることをさらに特徴とする、特許請求の範囲第１２
項に記載の方法。(15) Claim 12 further characterized by using a non-conductive laminate mounted on a conductive image receiving surface.
The method described in section. （１６）ポリエチレンテレフタレートを保護オーバーコ
ートされた材料として用いることをさらに特徴とする、
特許請求の範囲第１１項に記載の方法。(16) further characterized by using polyethylene terephthalate as the protective overcoated material;
A method according to claim 11. （１７）保護オーバーコートされた材料に紫外線吸収剤
を含んで、下にあるホトポリマー材料を紫外線作用から
保護することを、さらに特徴とする、特許請求の範囲第
１１項に記載の方法。17. The method of claim 11, further characterized in that the protective overcoated material includes a UV absorber to protect the underlying photopolymer material from UV radiation. （１８）非導電性受像面を受像面として用いることをさ
らに特徴とする、特許請求の範囲第１１項に記載の方法
。(18) The method according to claim 11, further characterized in that a non-conductive image receiving surface is used as the image receiving surface.