JPH02287208A - 位置決め方法及び位置決め装置 - Google Patents
位置決め方法及び位置決め装置Info
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- JPH02287208A JPH02287208A JP11084889A JP11084889A JPH02287208A JP H02287208 A JPH02287208 A JP H02287208A JP 11084889 A JP11084889 A JP 11084889A JP 11084889 A JP11084889 A JP 11084889A JP H02287208 A JPH02287208 A JP H02287208A
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- measuring means
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- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 148
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、被測定物が円柱、球体といった回転体でそ
の回転体を回転の中心軸を軸として回転させて回転方向
の表面粗さを測定する際に、被測定回転体の表面粗さ測
定手段との相対位置を位置決めする位置決め方法及び位
置決め装置に関する。
の回転体を回転の中心軸を軸として回転させて回転方向
の表面粗さを測定する際に、被測定回転体の表面粗さ測
定手段との相対位置を位置決めする位置決め方法及び位
置決め装置に関する。
測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決め
することが大切である。
することが大切である。
被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置は、従来
、まず最初に表面粗さ検出の方向と被測定回転体の同心
軸とがほぼ一致していると考えられる状態で被測定回転
体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決めし、次に
表面粗さ測定手段と被測定回転体とを回転の中心軸と直
交する正逆の方向にズラして相対位置を移動させ、その
移動の際に測定して得られる静止状態の被測定回転体の
検出器に対応する部位の面高さに基づいて測定手段の表
面粗さ検出の方向と被測定回転体の向心方向とが一致す
るもしくは一致した状態に極めて近い状態を求めること
によって被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置
を決めていた。
、まず最初に表面粗さ検出の方向と被測定回転体の同心
軸とがほぼ一致していると考えられる状態で被測定回転
体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決めし、次に
表面粗さ測定手段と被測定回転体とを回転の中心軸と直
交する正逆の方向にズラして相対位置を移動させ、その
移動の際に測定して得られる静止状態の被測定回転体の
検出器に対応する部位の面高さに基づいて測定手段の表
面粗さ検出の方向と被測定回転体の向心方向とが一致す
るもしくは一致した状態に極めて近い状態を求めること
によって被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置
を決めていた。
[従来の技術]
円柱、円筒体、球体といった回転体の回転方向の表面粗
さを測定する際には、表面粗さ検出の方向が被測定回転
体の向心方向と一致するように被[発明が解決しようと
する課題] 従来の被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置の
位置決めでは、位置決めの試行に多くの時間や手間がか
かり、短時間で簡単に位置決め状態を得るには熟練を要
するという問題がある。又、測定が接触式の場合では試
行が多いと被測定回転体をその多い分だけ傷つけて、真
の表面粗さを得ることがより損われるという問題がある
。
さを測定する際には、表面粗さ検出の方向が被測定回転
体の向心方向と一致するように被[発明が解決しようと
する課題] 従来の被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置の
位置決めでは、位置決めの試行に多くの時間や手間がか
かり、短時間で簡単に位置決め状態を得るには熟練を要
するという問題がある。又、測定が接触式の場合では試
行が多いと被測定回転体をその多い分だけ傷つけて、真
の表面粗さを得ることがより損われるという問題がある
。
この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、被
測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置の位置決め
を熟練を必要とせずに簡便に短時間でおこない得る方法
及び装置を提供するものである。
測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置の位置決め
を熟練を必要とせずに簡便に短時間でおこない得る方法
及び装置を提供するものである。
[課題を解決するための手段]
この発明は、まず最初に表面粗さ測定手段の表面粗さ検
出の方向を被測定回転体の向心方向にほぼ一致させ、そ
の状態における表面粗さ測定手段の検出部に対応する被
測定回転体の部位の面高さを求め、次に被測定回転体と
表面粗さ測定手段との相対位置をある特定距離だけ移動
させ、その移動後における表面粗さ測定手段の検出部に
対応する被測定回転体の部位の面高さを求め、それら二
つの高さのうち高いもしくは等しいほうの相対位置を、
表面粗さ測定手段の検出方向が被測定回転体の同心方向
により近い状態の相対位置として被測定回転体と表面粗
さ測定手段との相対位置を決めるものである。
出の方向を被測定回転体の向心方向にほぼ一致させ、そ
の状態における表面粗さ測定手段の検出部に対応する被
測定回転体の部位の面高さを求め、次に被測定回転体と
表面粗さ測定手段との相対位置をある特定距離だけ移動
させ、その移動後における表面粗さ測定手段の検出部に
対応する被測定回転体の部位の面高さを求め、それら二
つの高さのうち高いもしくは等しいほうの相対位置を、
表面粗さ測定手段の検出方向が被測定回転体の同心方向
により近い状態の相対位置として被測定回転体と表面粗
さ測定手段との相対位置を決めるものである。
その詳細な方法の構成は、被測定物が円柱、球体といっ
た回転体であって、その回転体の中心軸を回転の軸とし
て回転体を回転させ、且つ表面粗さ測定手段を固定させ
て回転体の回転する方向の表面粗さを測定する際に、被
測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を決める位
置決め方法であって、表面粗さ測定手段の検出方向が被
測定回転体の同心軸にほぼ一致する位置になるように表
面粗さ測定手段と被測定回転体との相対位置を位置決め
し、その相対位置を位置決めした状態の表面粗さ測定手
段の検出部に対応する被測定回転体の部位における面高
さを測定し、被測定回転体の平均的な半径とその被測定
回転体の表面粗さのレンジとの積を二倍し、更にその値
を二分の一乗して得られる値より実質的に僅かに大きい
値の特定距離だけずつ、被測定回転体の中心軸に対して
直交する正方向もしくは逆方向に上記表面粗さ測定手段
と被測定回転体との相対位置の移動をおこない、その移
動で得られる相対位置において、表面粗さ測定手段に対
応する被測定回転体の部位における面高さを測定し、連
続する二つの相対位置に対応するそれぞれの面高さを比
較し続けることによって、面高さが最高となる被測定回
転体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決めしてな
る位置決め方法である。
た回転体であって、その回転体の中心軸を回転の軸とし
て回転体を回転させ、且つ表面粗さ測定手段を固定させ
て回転体の回転する方向の表面粗さを測定する際に、被
測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を決める位
置決め方法であって、表面粗さ測定手段の検出方向が被
測定回転体の同心軸にほぼ一致する位置になるように表
面粗さ測定手段と被測定回転体との相対位置を位置決め
し、その相対位置を位置決めした状態の表面粗さ測定手
段の検出部に対応する被測定回転体の部位における面高
さを測定し、被測定回転体の平均的な半径とその被測定
回転体の表面粗さのレンジとの積を二倍し、更にその値
を二分の一乗して得られる値より実質的に僅かに大きい
値の特定距離だけずつ、被測定回転体の中心軸に対して
直交する正方向もしくは逆方向に上記表面粗さ測定手段
と被測定回転体との相対位置の移動をおこない、その移
動で得られる相対位置において、表面粗さ測定手段に対
応する被測定回転体の部位における面高さを測定し、連
続する二つの相対位置に対応するそれぞれの面高さを比
較し続けることによって、面高さが最高となる被測定回
転体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決めしてな
る位置決め方法である。
又、その詳細な装置の構成は、被測定物が円柱、球体と
いった回転体であって、その被測定回転体を回転させ且
つ表面粗さ測定手段を固定側として被測定回転体の回転
する方向の表面粗さを測定する際に、被測定回転体と表
面粗さ測定手段との相対位置を位置決めする位置決め装
置であって、被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対
位置を被測定回転体の回転の中心軸に対して直交する方
向に移動させ得る移動手段と、被測定回転体の平均的な
半径とその被測定回転体の表面粗さのレンジとの積を二
倍し、その値を二分の一乗して得られる値より実質的に
僅かに大きな値である特定距離、及び相対位置が位置決
めされた表面粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回
転体の部位における面高さを記憶する記憶部と、その記
憶部に記憶されている面高さと表面粗さ測定手段が測定
する被測定回転体の面高さの比較をおこなう演算部と、
被測定回転体と表面粗さ測定手段とが第一の相対位置に
位置決めされ、その際の面高さが測定されると、前記第
一の相対位置から被測定回転体と表面粗さ測定手段との
相対位置を前記特定距離だけ移動させるための制御信号
を移動手段に出力し、且つ連続する二つの相対位置にお
けるそれぞれの面高さを比較させるための制御信号を演
算部に、その比較結果に基づき面高さがより高い相対位
置をとり得るように移動させるための制御信号を移動手
段にそれぞれ出力するi制御部を備えてなる位置決め装
置である。
いった回転体であって、その被測定回転体を回転させ且
つ表面粗さ測定手段を固定側として被測定回転体の回転
する方向の表面粗さを測定する際に、被測定回転体と表
面粗さ測定手段との相対位置を位置決めする位置決め装
置であって、被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対
位置を被測定回転体の回転の中心軸に対して直交する方
向に移動させ得る移動手段と、被測定回転体の平均的な
半径とその被測定回転体の表面粗さのレンジとの積を二
倍し、その値を二分の一乗して得られる値より実質的に
僅かに大きな値である特定距離、及び相対位置が位置決
めされた表面粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回
転体の部位における面高さを記憶する記憶部と、その記
憶部に記憶されている面高さと表面粗さ測定手段が測定
する被測定回転体の面高さの比較をおこなう演算部と、
被測定回転体と表面粗さ測定手段とが第一の相対位置に
位置決めされ、その際の面高さが測定されると、前記第
一の相対位置から被測定回転体と表面粗さ測定手段との
相対位置を前記特定距離だけ移動させるための制御信号
を移動手段に出力し、且つ連続する二つの相対位置にお
けるそれぞれの面高さを比較させるための制御信号を演
算部に、その比較結果に基づき面高さがより高い相対位
置をとり得るように移動させるための制御信号を移動手
段にそれぞれ出力するi制御部を備えてなる位置決め装
置である。
尚、被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を移
動させる際の特定距離は、被測定回転体の平均的な半径
と表面粗さのレンジとの積を二倍し、その値を二分の一
乗して得られる値より実質的に僅かに大きい値とあるが
、実質的に僅かに大きいとは被測定回転体の平均的な半
径と表面粗さのレンジとの積を二倍した値を二分の一乗
して得られる値が不等号のみが成立つ臨界的な値である
ことを意味する。
動させる際の特定距離は、被測定回転体の平均的な半径
と表面粗さのレンジとの積を二倍し、その値を二分の一
乗して得られる値より実質的に僅かに大きい値とあるが
、実質的に僅かに大きいとは被測定回転体の平均的な半
径と表面粗さのレンジとの積を二倍した値を二分の一乗
して得られる値が不等号のみが成立つ臨界的な値である
ことを意味する。
又、以下において、特定距離の持つ意味を説明する。つ
まり、まず、被測定回転体の同心軸に表面粗さ測定装置
の検出方向がより近い位置となるように相対位置の移動
をおこなう際に、移動の距離が大き過ぎて表面粗さ測定
手段の検出方向が被測定回転体の同心軸の位置を越えて
移動前に比べて向心軸からより遠い位置となっては移動
そのものが意味を持たないことになるから、移動の距離
はより小さいのが望ましい。
まり、まず、被測定回転体の同心軸に表面粗さ測定装置
の検出方向がより近い位置となるように相対位置の移動
をおこなう際に、移動の距離が大き過ぎて表面粗さ測定
手段の検出方向が被測定回転体の同心軸の位置を越えて
移動前に比べて向心軸からより遠い位置となっては移動
そのものが意味を持たないことになるから、移動の距離
はより小さいのが望ましい。
次に、第5図に示すように被測定回転体7aの平均半径
がRであって、且つ表面粗さのレンジがdであり、加え
て表面粗さの検出方向が上下方向である際に、被測定回
転体7aの回転の中心から最も内側に位置する点P(χ
、、r可「正々T【11”−R)から、被測定回転体7
aの回転の中心から最も外側に位置し、しかも被測定回
転体7aの上下方向に伸びる向心軸yに対して点Pより
遠い位置にある点Q(χ+χ。、 十 −χ+χ。
がRであって、且つ表面粗さのレンジがdであり、加え
て表面粗さの検出方向が上下方向である際に、被測定回
転体7aの回転の中心から最も内側に位置する点P(χ
、、r可「正々T【11”−R)から、被測定回転体7
aの回転の中心から最も外側に位置し、しかも被測定回
転体7aの上下方向に伸びる向心軸yに対して点Pより
遠い位置にある点Q(χ+χ。、 十 −χ+χ。
−R)に最短となる特定距離χ(〉O)だけ水平方向に
移動した時においても、点Pの高さが点Qの高さより高
くなり得る場合を考えてみる。この関係を不等式であら
れすと、次式が得られる。
移動した時においても、点Pの高さが点Qの高さより高
くなり得る場合を考えてみる。この関係を不等式であら
れすと、次式が得られる。
1丁7πT”T”−R> 、/CU+ −χ+χ。
−Rこの不等式を特定距離χ。について解くと、χ。〉
−χ÷f丁−■可(z o > 0 )が得られる。
−χ÷f丁−■可(z o > 0 )が得られる。
ここで、f(χ)=1■可巧7−1 と定義すると、
次式を得る。
次式を得る。
χ。>f(χ)
又、f(χ)の増減を調べるために両辺を微分して、次
式を得る。
式を得る。
f’(χ)=χ/、/”Tゴ諏7−1
ところで、χくf謂可弓1であることよりづいて特定距
離を与えることができる。
離を与えることができる。
χ/、暑1ηTTF”< 1であり、全てのχに対して
f’(χ)は常に負であることよりf (χ)は減少関
数である。よって、点Pが少なくとも向心軸y上にある
場合までを高低差判定の要請範囲とするならば、f(χ
)はχ。=Oの場合に臨界的に最大値をとることになる
。従って、求めるχ。の最小値については、次の関係を
得る。
f’(χ)は常に負であることよりf (χ)は減少関
数である。よって、点Pが少なくとも向心軸y上にある
場合までを高低差判定の要請範囲とするならば、f(χ
)はχ。=Oの場合に臨界的に最大値をとることになる
。従って、求めるχ。の最小値については、次の関係を
得る。
χ。>f(0)=Jτ[■
つまり、求める特定距離χ。は、臨界的にaをとること
が妥当となる。
が妥当となる。
加えて、特定距離は、予め被測定回転体の半径及び表面
粗さのレンジが例えば経験等によって知られている場合
では、その知られている二つの値から適当と考えられる
値を想定して与えることができる。又、被測定回転体の
表面粗さのレンジの凡その値を上記表面粗さ測定手段に
よって、被測定回転体の半径をノギスやマイクロメータ
といった測長機器によってそれぞれ求め、求めた値に基
[作用] 表面粗さ測定手段の検出方向が被測定回転体の同心方向
により一致するように、被測定回転体と表面粗さ測定手
段との相対位置は特定の距離ずつ移動する。
粗さのレンジが例えば経験等によって知られている場合
では、その知られている二つの値から適当と考えられる
値を想定して与えることができる。又、被測定回転体の
表面粗さのレンジの凡その値を上記表面粗さ測定手段に
よって、被測定回転体の半径をノギスやマイクロメータ
といった測長機器によってそれぞれ求め、求めた値に基
[作用] 表面粗さ測定手段の検出方向が被測定回転体の同心方向
により一致するように、被測定回転体と表面粗さ測定手
段との相対位置は特定の距離ずつ移動する。
[実施例]
この発明を第1〜4図に示す実施例に基づき詳述する。
しかし、この実施例によって、この発明が限定されるも
のではない。
のではない。
位置決め装置1は第1図に示すように、表面粗さ測定装
置2に組込まれている。
置2に組込まれている。
表面粗さ測定装置2は、接触タイプの表面粗さ測定手段
3と、表面粗さ測定手段3を水平前後方向である矢印六
方向に移動させ得る移動手段4と、移動手段4を上下方
向である矢印B方向にスライドさせ得るスライド手段5
と、表面粗さ測定手段3が検出する値を所定の形に演算
表示する演算表示手段6と、表面粗さ測定手段3に対し
て被測定回転体7の被測定部位が連続的に移動するよう
に被測定回転体である球体7を回転駆動するための回転
駆動手段8と、基台9とを備えて構成されている。
3と、表面粗さ測定手段3を水平前後方向である矢印六
方向に移動させ得る移動手段4と、移動手段4を上下方
向である矢印B方向にスライドさせ得るスライド手段5
と、表面粗さ測定手段3が検出する値を所定の形に演算
表示する演算表示手段6と、表面粗さ測定手段3に対し
て被測定回転体7の被測定部位が連続的に移動するよう
に被測定回転体である球体7を回転駆動するための回転
駆動手段8と、基台9とを備えて構成されている。
表面粗さ測定手段3は、回転駆動手段8によって回転駆
動させている被測定回転体7がその回転の中心軸にそっ
て揺動する際に、球体7に当接する二つのスキッド(図
示省略)がその揺動に追従するように、表面粗さ測定手
段本体10に対して揺動可能で前記二つのスキッドを保
持するノーズピース11が備えられている。
動させている被測定回転体7がその回転の中心軸にそっ
て揺動する際に、球体7に当接する二つのスキッド(図
示省略)がその揺動に追従するように、表面粗さ測定手
段本体10に対して揺動可能で前記二つのスキッドを保
持するノーズピース11が備えられている。
移動手段4は、出力モータ12と、出力モータ12で作
動するボールネジ13と、ガイド部材14と、ボールネ
ジ13のナツト側に連結され、且つガイド部材14に案
内されて矢印A方向に移動するスライダ15と、スライ
ダ15に一体化し表面粗さ測定手段3を保持するホルダ
16とが備えられている。
動するボールネジ13と、ガイド部材14と、ボールネ
ジ13のナツト側に連結され、且つガイド部材14に案
内されて矢印A方向に移動するスライダ15と、スライ
ダ15に一体化し表面粗さ測定手段3を保持するホルダ
16とが備えられている。
スライド手段5は、基台9に垂直上方に立設された支柱
17と、支柱17の上下方向(矢印B方向)にスライド
するリフト18と、リフト18をスライドさせるための
出力モータ19及びボールネジ20とを備えて構成され
ている。
17と、支柱17の上下方向(矢印B方向)にスライド
するリフト18と、リフト18をスライドさせるための
出力モータ19及びボールネジ20とを備えて構成され
ている。
演算表示手段6には、演算部21と、制御部22と、記
憶部23と、液晶表示部24及びプリンタ25が備えら
れている。演算表示手段6の上面には、操作パネル26
が配設されている。
憶部23と、液晶表示部24及びプリンタ25が備えら
れている。演算表示手段6の上面には、操作パネル26
が配設されている。
回転駆動手段8は、出力モータ27と、被測定回転体を
載置支持して回転するローラ28,29と、出力モータ
27の回転駆動力をローラ28゜29に摩擦伝動によっ
て伝える摩擦伝動手段(図示省略)を備えて構成されて
いる。3oは、被測定回転体が球体である際にその球体
を所定位置で回転させるためのクビレ部である。
載置支持して回転するローラ28,29と、出力モータ
27の回転駆動力をローラ28゜29に摩擦伝動によっ
て伝える摩擦伝動手段(図示省略)を備えて構成されて
いる。3oは、被測定回転体が球体である際にその球体
を所定位置で回転させるためのクビレ部である。
以下において、位置決め装置1を用いて、球体7に対す
る表面粗さ測定手段3の位置を決める位置決め方法を説
明する。
る表面粗さ測定手段3の位置を決める位置決め方法を説
明する。
まず、球体7を、回転駆動手段8のローラ28とローラ
29のクビレ部30に載置する。この状態で球体7を載
置した回転駆動手段8を、ローラ28,29の軸方向と
表面粗さ測定手段3の伸長方向とが直交し、且つ表面粗
さ測定手段3の検出部(図示省略)が球体7のほぼ頂点
の上方に位置するように位置決めする。
29のクビレ部30に載置する。この状態で球体7を載
置した回転駆動手段8を、ローラ28,29の軸方向と
表面粗さ測定手段3の伸長方向とが直交し、且つ表面粗
さ測定手段3の検出部(図示省略)が球体7のほぼ頂点
の上方に位置するように位置決めする。
次に、操作パネル26を操作して、表面粗さ測定装置2
の作動をスタートさせる。このスタートによって、制御
部22が出力モータ19に出力開始のための制御信号を
、移動手段4に移動方向が矢印A方向後方(第2図にお
いて、矢印A右方向)になるための制御信号をそれぞれ
送る。出力モータ19の出力によってスライド手段5が
作動し、移動手段4に保持されている表面粗さ測定手段
3は矢印B方向下方にスライドする。スライドして下降
してきた表面粗さ測定手段3の検出部(図示省略)が球
体7に接触すると、表面粗さ測定手段3はこの接触した
ことを検出信号で演算部21を介して制御部22に送り
、その検出信号を受けた制御部22は出力モータ19に
出力停止の制御信号を送る。制御信号を受けてスライド
手段5が停止すると、測定者は表面粗さ測定手段3の検
出方向が鉛直下方となるように表面粗さ測定手段3の高
さ位置を調節する。ここで、表面粗さ測定手段3の矢印
B方向の位置は決められた状態となる。
の作動をスタートさせる。このスタートによって、制御
部22が出力モータ19に出力開始のための制御信号を
、移動手段4に移動方向が矢印A方向後方(第2図にお
いて、矢印A右方向)になるための制御信号をそれぞれ
送る。出力モータ19の出力によってスライド手段5が
作動し、移動手段4に保持されている表面粗さ測定手段
3は矢印B方向下方にスライドする。スライドして下降
してきた表面粗さ測定手段3の検出部(図示省略)が球
体7に接触すると、表面粗さ測定手段3はこの接触した
ことを検出信号で演算部21を介して制御部22に送り
、その検出信号を受けた制御部22は出力モータ19に
出力停止の制御信号を送る。制御信号を受けてスライド
手段5が停止すると、測定者は表面粗さ測定手段3の検
出方向が鉛直下方となるように表面粗さ測定手段3の高
さ位置を調節する。ここで、表面粗さ測定手段3の矢印
B方向の位置は決められた状態となる。
又この時に、表面粗さ測定手段3の検出部が接触してい
る球体7の部位の第一の面高さを記憶部23が記憶する
ための制御信号を、制御部22は演算部21及び記憶部
23に出力する。尚、この表面粗さ測定手段3が矢印B
方向に位置決めされた際に検出結果が表面粗さ測定手段
3の検出可能なレンジ外にある場合には、制御部22は
液晶表示部24にオーバーレンジの表示をするための制
御信号を送る。液晶表示部24にオーバーレンジの表示
がでると、制御部22は演算部21、記憶部23及び移
動手段4にストップの制御信号を送り、一方測定者はス
ライド手段5を作動させて表面粗さ測定手段3を矢印B
方向上方にスライドさせ、その後回転駆動手段8を矢印
A方向にズラして表面粗さ測定手段3がオーバーレンジ
とならない位置に位置決めし、表面粗さ測定装置2を再
スタートさせる。
る球体7の部位の第一の面高さを記憶部23が記憶する
ための制御信号を、制御部22は演算部21及び記憶部
23に出力する。尚、この表面粗さ測定手段3が矢印B
方向に位置決めされた際に検出結果が表面粗さ測定手段
3の検出可能なレンジ外にある場合には、制御部22は
液晶表示部24にオーバーレンジの表示をするための制
御信号を送る。液晶表示部24にオーバーレンジの表示
がでると、制御部22は演算部21、記憶部23及び移
動手段4にストップの制御信号を送り、一方測定者はス
ライド手段5を作動させて表面粗さ測定手段3を矢印B
方向上方にスライドさせ、その後回転駆動手段8を矢印
A方向にズラして表面粗さ測定手段3がオーバーレンジ
とならない位置に位置決めし、表面粗さ測定装置2を再
スタートさせる。
制御部22は、出力モータ12に表面粗さ測定手段3を
矢印A方向後方(第2図において、矢印A右方向)に特
定距離だけ移動させるための制御信号を送る。ここで、
特定距離とは、球体7の平均的な半径と球体7の表面粗
さのレンジとの積を二倍し、その値を二分の一乗して得
られる値より僅かに大きな値である。
矢印A方向後方(第2図において、矢印A右方向)に特
定距離だけ移動させるための制御信号を送る。ここで、
特定距離とは、球体7の平均的な半径と球体7の表面粗
さのレンジとの積を二倍し、その値を二分の一乗して得
られる値より僅かに大きな値である。
制御信号に基づく移動手段4の作動により矢印A方向後
方に特定距離だけ移動した表面粗さ測定手段3の検出部
に接触する球体7の部位の第二の面高さを、表面粗さ測
定手段3が検出して演算部21に送る。ここで、演算部
21は第一の面高さと第二の面高さを比較し、その比較
結果を信号で制御部22に送る。
方に特定距離だけ移動した表面粗さ測定手段3の検出部
に接触する球体7の部位の第二の面高さを、表面粗さ測
定手段3が検出して演算部21に送る。ここで、演算部
21は第一の面高さと第二の面高さを比較し、その比較
結果を信号で制御部22に送る。
制御部22は、演算部21からの比較結果に基づき、第
一の面高さが第二の面高さより高いもしくは等しい場合
には移動手段4に移動方向が矢印A方向前方(第2図に
おいて、矢印A左方向)となるための制御信号を出力す
る。ここで、制御部22は更に、第二の面高さが検出部
の測定レンジの範囲内にあるか否かを判断させるための
制御信号を演算部21に送る。
一の面高さが第二の面高さより高いもしくは等しい場合
には移動手段4に移動方向が矢印A方向前方(第2図に
おいて、矢印A左方向)となるための制御信号を出力す
る。ここで、制御部22は更に、第二の面高さが検出部
の測定レンジの範囲内にあるか否かを判断させるための
制御信号を演算部21に送る。
演算部21は、制御部22からの制御信号に基づき第二
の面高さが検出部の測定範囲内にあるか否かを判断し、
その判断結果を制御部22に送る。
の面高さが検出部の測定範囲内にあるか否かを判断し、
その判断結果を制御部22に送る。
制御部22は、演算部21からの判断結果に基づき、第
二の面高さが検出部の測定レンジ外である場合には液晶
表示部24にオーバーレンジの表示のための制御信号を
、測定レンジ内である場合には記憶部23に第二の面高
さを記憶させるための制御信号をそれぞれ送る。更に続
いて、移動手段4に表面粗さ測定手段3を特定距離だけ
移動させるための第二の移動用の制御信号を送る。
二の面高さが検出部の測定レンジ外である場合には液晶
表示部24にオーバーレンジの表示のための制御信号を
、測定レンジ内である場合には記憶部23に第二の面高
さを記憶させるための制御信号をそれぞれ送る。更に続
いて、移動手段4に表面粗さ測定手段3を特定距離だけ
移動させるための第二の移動用の制御信号を送る。
従って、最終的に表面粗さ測定手段3は球体7に対して
、最初に位置させた球体7と表面粗さ測定手段3の検出
部との相対位置から特定距離の倍数だけ移動させた中で
、表面粗さ測定手段3の検出位置が球体7の最も面高さ
の高い部位になり得る相対位置をとる。
、最初に位置させた球体7と表面粗さ測定手段3の検出
部との相対位置から特定距離の倍数だけ移動させた中で
、表面粗さ測定手段3の検出位置が球体7の最も面高さ
の高い部位になり得る相対位置をとる。
尚、第3図に上記の作動を説明するフローチャートを示
す。
す。
ここで最終の相対位置について考えてみると、球体7の
最も面高さが高い点を通って且つ方向が上下方向である
表面粗さ測定手段3の検出方向は、一般的に第5図から
明らかに球体7の向心軸に一致、もしくは一致している
と言ってよいほどに近傍の位置にある。測定者は、球体
7の向心方向に全く同じと言ってよいほどの近傍の位置
の関係にある方向を検出方向として、球体7の表面粗さ
を測定することができる。
最も面高さが高い点を通って且つ方向が上下方向である
表面粗さ測定手段3の検出方向は、一般的に第5図から
明らかに球体7の向心軸に一致、もしくは一致している
と言ってよいほどに近傍の位置にある。測定者は、球体
7の向心方向に全く同じと言ってよいほどの近傍の位置
の関係にある方向を検出方向として、球体7の表面粗さ
を測定することができる。
上述した球体7と表面粗さ測定手段3との相対位置の位
置決めは、特定距離ずつ相対位置を移動させることによ
って得られる構成であることより、相対位置の位置決め
に熟練を必要とせず簡便である。又、相対位置を決める
際に、必要以上に球体7に対して表面粗さ測定手段3を
移動させことはないから、球体7をより一層傷付けるこ
とはなく元の表面性状をより一層保つことができる。
置決めは、特定距離ずつ相対位置を移動させることによ
って得られる構成であることより、相対位置の位置決め
に熟練を必要とせず簡便である。又、相対位置を決める
際に、必要以上に球体7に対して表面粗さ測定手段3を
移動させことはないから、球体7をより一層傷付けるこ
とはなく元の表面性状をより一層保つことができる。
以下において、この発明の第二の実施例を述べる。位置
決め装置1の構成部材は、第1及び第2図に示したもの
と全く同じである。しかし、演算表示部6の演算部21
.制御部22及び記憶部23の機能は、異なる。第4図
に、この発明の第二の実施例の作動を説明するフローチ
ャートを示す。
決め装置1の構成部材は、第1及び第2図に示したもの
と全く同じである。しかし、演算表示部6の演算部21
.制御部22及び記憶部23の機能は、異なる。第4図
に、この発明の第二の実施例の作動を説明するフローチ
ャートを示す。
第一の実施例と同様に、まず表面粗さ測定手段3の検出
部が回転駆動手段8に裁置支持されている球体7のほぼ
頂点の上方に位置するように、球体7と表面粗さ測定手
段3との相対位置を位置決めする。
部が回転駆動手段8に裁置支持されている球体7のほぼ
頂点の上方に位置するように、球体7と表面粗さ測定手
段3との相対位置を位置決めする。
操作パネル26を操作して、表面粗さ測定装置2の作動
をスタートさせる。このスタートによって、制御部22
が出力モータ19に出力開始のための制御信号を、移動
手段4に移動方向が矢印へ方向前方になるための制御信
号をそれぞれ送る。
をスタートさせる。このスタートによって、制御部22
が出力モータ19に出力開始のための制御信号を、移動
手段4に移動方向が矢印へ方向前方になるための制御信
号をそれぞれ送る。
出力モータ19の出力によってスライド手段5が作動し
、移動手段4に保持されている表面粗さ測定手段3は矢
印B方向下方にスライドする。スライドして下降して来
た表面粗さ測定手段3の検出部が球体7に接触すると、
表面粗さ測定手段3はこの接触したことを検出信号で演
算部21を介して制御部22に送り、その検出信号を受
けた制御部22は出力モータ19に出力停止の制御信号
を送る。制御信号を受けてスライド手段5が停止すると
、測定者は表面粗さ測定手段3の検出方向が鉛直下方と
なるように表面粗さ測定手段3の高さ位置を調整する。
、移動手段4に保持されている表面粗さ測定手段3は矢
印B方向下方にスライドする。スライドして下降して来
た表面粗さ測定手段3の検出部が球体7に接触すると、
表面粗さ測定手段3はこの接触したことを検出信号で演
算部21を介して制御部22に送り、その検出信号を受
けた制御部22は出力モータ19に出力停止の制御信号
を送る。制御信号を受けてスライド手段5が停止すると
、測定者は表面粗さ測定手段3の検出方向が鉛直下方と
なるように表面粗さ測定手段3の高さ位置を調整する。
ここで、表面粗さ測定手段3の矢印B方向の位置は決め
られた状態となる。
られた状態となる。
ここで、この表面粗さ測定手段3の矢印B方向の位置決
めがなされた際に、制御部22は、表面粗さ測定手段3
の検出部が接触している球体7の部位の第四の面高さが
表面粗さ測定手段3の検出可能なレンジ内にあるか否か
の判断をさせるための制御信号を演算部21に送る。第
四の面高さか検出可能なレンジの外にある場合には、制
御部22は液晶表示部24にオーバーレンジの表示をさ
せるための制御信号を送る。液晶表示部24にオーバー
レンジの表示が出ると、制御部22は演算部21、記憶
部23及び移動手段4にストップのための制御信号を送
り、一方測定者はスライド手段5を作動させて表面粗さ
測定手段3を矢印B方向上方にスライドさせ、その後回
転駆動手段8を矢印A方向にズラして表面粗さ測定手段
3がオーバーレンジとならない位置に位置決めし、表面
粗さ測定手段2を再スタートさせる。他方、第四の面高
さが検出可能なレンジ内にある場合には、制御部22は
第四の高さを記憶させるための制御信号を記憶部23に
送る。
めがなされた際に、制御部22は、表面粗さ測定手段3
の検出部が接触している球体7の部位の第四の面高さが
表面粗さ測定手段3の検出可能なレンジ内にあるか否か
の判断をさせるための制御信号を演算部21に送る。第
四の面高さか検出可能なレンジの外にある場合には、制
御部22は液晶表示部24にオーバーレンジの表示をさ
せるための制御信号を送る。液晶表示部24にオーバー
レンジの表示が出ると、制御部22は演算部21、記憶
部23及び移動手段4にストップのための制御信号を送
り、一方測定者はスライド手段5を作動させて表面粗さ
測定手段3を矢印B方向上方にスライドさせ、その後回
転駆動手段8を矢印A方向にズラして表面粗さ測定手段
3がオーバーレンジとならない位置に位置決めし、表面
粗さ測定手段2を再スタートさせる。他方、第四の面高
さが検出可能なレンジ内にある場合には、制御部22は
第四の高さを記憶させるための制御信号を記憶部23に
送る。
制御部22は、出力モータ12に表面粗さ測定手段3を
矢印へ方同前方に特定距離だけ移動させるための制御信
号を送る。尚、特定距離は、第一の実施例の中で述べて
いる特定距離と全く同じものである。続いて制御部22
は、移動手段4の作動回数、つまり出ノjモータ12の
出力回数を記憶させるための制御信号を記憶部23に送
る。
矢印へ方同前方に特定距離だけ移動させるための制御信
号を送る。尚、特定距離は、第一の実施例の中で述べて
いる特定距離と全く同じものである。続いて制御部22
は、移動手段4の作動回数、つまり出ノjモータ12の
出力回数を記憶させるための制御信号を記憶部23に送
る。
制御信号に基づく出力モータ12の出力、つまり移動手
段4の作動により矢印へ方同前方に特定距離だけ移動し
た表面粗さ測定手段3の検出部に接触する球体7の部位
の第五の部位の面高さを、表面粗さ測定手段3が検出し
て演算部21に送る。
段4の作動により矢印へ方同前方に特定距離だけ移動し
た表面粗さ測定手段3の検出部に接触する球体7の部位
の第五の部位の面高さを、表面粗さ測定手段3が検出し
て演算部21に送る。
ここで、演算部21は第四の面高さと第五の而高さを比
較し、その検出結果を信号で制御部22に送る。
較し、その検出結果を信号で制御部22に送る。
制御部22は、演算部21からの比較結果に基づき、第
五の面高さが第四の面高さより高い場合には検出値が検
出可能なレンジ内にあるか否かを判断するステップ以降
を繰返させるための制御信号を出力する。第四の面高さ
が第五の面高さより高いもしくは等しい場合には、表面
粗さ測定手段3の移動方向を矢印入方向後方にさせるた
めの制御信号を移動手段4に送り、続いて移動手段4の
作動回数を確認するための制御信号を記憶部23に送る
。ここで、移動手段4の作動回数が1であるならば、制
御部22は検出値が検出可能なレンジ内にあるか否かを
判断するステップ以降を繰返させるための制御信号を、
作動回数が2以上ならば表面粗さ測定手段3を特定距離
だけ移動させるための制御信号を移動手段4に送る。以
上の作動によって、第一の実施例と同様に、表面粗さ測
定手段3の検出方向が球体7の同心軸と一致、もしくは
一致していると言ってよいほど近傍となる表面粗さ測定
手段3と球体7との相対位置を得られる。
五の面高さが第四の面高さより高い場合には検出値が検
出可能なレンジ内にあるか否かを判断するステップ以降
を繰返させるための制御信号を出力する。第四の面高さ
が第五の面高さより高いもしくは等しい場合には、表面
粗さ測定手段3の移動方向を矢印入方向後方にさせるた
めの制御信号を移動手段4に送り、続いて移動手段4の
作動回数を確認するための制御信号を記憶部23に送る
。ここで、移動手段4の作動回数が1であるならば、制
御部22は検出値が検出可能なレンジ内にあるか否かを
判断するステップ以降を繰返させるための制御信号を、
作動回数が2以上ならば表面粗さ測定手段3を特定距離
だけ移動させるための制御信号を移動手段4に送る。以
上の作動によって、第一の実施例と同様に、表面粗さ測
定手段3の検出方向が球体7の同心軸と一致、もしくは
一致していると言ってよいほど近傍となる表面粗さ測定
手段3と球体7との相対位置を得られる。
そうして、この相対位置の位置決めにおいても、熟練を
必要とせず簡便におこなうことができる。
必要とせず簡便におこなうことができる。
又、球体7を必要以上にトレースすることはなく、元の
表面形状をより保つことか可能になってくる。
表面形状をより保つことか可能になってくる。
上記二つの実施例において表面粗さ測定装置は表面粗さ
測定手段が接触タイプのものであるが、この発明は非接
触タイプのものであってもよい。
測定手段が接触タイプのものであるが、この発明は非接
触タイプのものであってもよい。
又、実施例では被測定回転体が球体であるが、他に円筒
、丸棒、円柱といったものでもよい。
、丸棒、円柱といったものでもよい。
[発明の効果]
この発明によれば、検出方向を被i’1l11定回転体
の向心軸に一致させる、もしくは一致していると言って
よいほどに近い位置とさせ得るように被測定回転体と表
面粗さ測定装置との相対位置を移動して位置決めする際
に、その相対位置の移動を特定の距離だけずつおこなわ
せる構成としたことにより、熟練を必要とせずに簡便に
目的とする相対位置を得ることができるという効果が得
られている。
の向心軸に一致させる、もしくは一致していると言って
よいほどに近い位置とさせ得るように被測定回転体と表
面粗さ測定装置との相対位置を移動して位置決めする際
に、その相対位置の移動を特定の距離だけずつおこなわ
せる構成としたことにより、熟練を必要とせずに簡便に
目的とする相対位置を得ることができるという効果が得
られている。
又、表面粗さ測定手段が接触タイプである場合では、被
測定回転体を必要以上にトレースすることがないから、
その被測定回転体を必要以上に傷つけることがなく測定
後においても表面性状をよく保たせるという効果が得ら
れている。
測定回転体を必要以上にトレースすることがないから、
その被測定回転体を必要以上に傷つけることがなく測定
後においても表面性状をよく保たせるという効果が得ら
れている。
6・・・演算表示部、
8・・・回転駆動手段、
22・・・制御部、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、被測定物が円柱、球体といった回転体であって、そ
の回転体の中心軸を回転の軸として回転体を回転させ、
且つ表面粗さ測定手段を固定させて回転体の回転する方
向の表面粗さを測定する際に、被測定回転体と表面粗さ
測定手段との相対位置を決める位置決め方法であって、
表面粗さ測定手段の検出方向が被測定回転体の向心軸に
ほぼ一致する位置になるように表面粗さ測定手段と被測
定回転体との相対位置を位置決めし、 その相対位置を位置決めした状態の表面粗さ測定手段の
検出部に対応する被測定回転体の部位における面高さを
測定し、 被測定回転体の平均的な半径とその被測定回転体の表面
粗さのレンジとの積を二倍し、更にその値を二分の一乗
して得られる値より実質的に僅かに大きい値の特定距離
だけずつ、被測定回転体の中心軸に対して直交する正方
向もしくは逆方向に上記表面粗さ測定手段と被測定回転
体との相対位置の移動をおこない、 その移動で得られる相対位置において、表面粗さ測定手
段に対応する被測定回転体の部位における面高さを測定
し、 連続する二つの相対位置に対応するそれぞれの面高さを
比較し続けることによって、面高さが最高となる被測定
回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決めして
なる位置決め方法。 2、被測定物が円柱、球体といった回転体であって、そ
の被測定回転体を回転させ且つ表面粗さ測定手段を固定
側として被測定回転体の回転する方向の表面粗さを測定
する際に、被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位
置を位置決めする位置決め装置であって、 被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を被測定
回転体の回転の中心軸に対して直交する方向に移動させ
得る移動手段と、被測定回転体の平均的な半径とその被
測定回転体の表面粗さのレンジとの積を二倍し、その値
を二分の一乗して得られる値より実質的に僅かに大きな
値である特定距離、及び相対位置が位置決めされた表面
粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回転体の部位に
おける面高さを記憶する記憶部と、その記憶部に記憶さ
れている面高さと表面粗さ測定手段が測定する被測定回
転体の面高さの比較をおこなう演算部と、被測定回転体
と表面粗さ測定手段とが第一の相対位置に位置決めされ
、その際の面高さが測定されると、前記第一の相対位置
から被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を前
記特定距離だけ移動させるための制御信号を移動手段に
出力し、且つ連続する二つの相対位置におけるそれぞれ
の面高さを比較させるための制御信号を演算部に、その
比較結果に基づき面高さがより高い相対位置をとり得る
ように移動させるための制御信号を移動手段にそれぞれ
出力する制御部を備えてなる位置決め装置。 3、制御部が、被測定回転体と表面粗さ測定手段とが第
一の相対位置に位置決めされ、その際の表面粗さ測定手
段の検出部に対応する被測定回転体の部位における第一
の面高さが表面粗さ測定手段によって測定されると、被
測定回転体と表面粗さ測定手段との第一の相対位置を記
憶部に記憶されている特定距離だけ被測定回転体の回転
の中心軸に対して直交正方向に第一の移動をおこなうた
めの制御信号を移動手段に出力し、次にその制御信号に
基づく移動手段の作動によって得られる第二の相対位置
で表面粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回転体の
部位における第二の面高さが表面粗さ測定手段によって
測定されると、第一の面高さと第二の面高さとの比較を
おこなうための制御信号を演算部に出力し、更に第一の
面高さが第二の面高さより高いもしくは等しい場合には
表面粗さ測定手段と被測定回転体との相対位置が被測定
回転体の回転中心軸に対して直交する逆方向に、第一の
面高さが第二の面高さよりも低い場合には正方向に、そ
れぞれ第二の移動の方向決めをおこなうための制御信号
、及び特定距離だけそれぞれの方向に移動するための制
御信号を移動手段に出力し、加えてその制御信号に基づ
く移動手段の作動によって移動した相対位置において表
面粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回転体の部位
における第三の面高さと第二の面高さとの比較をおこな
うための制御信号を演算部に出力し、続いて面高さが第
三の面高さより高いもしくは等しい場合には被測定回転
体と表面粗さ測定手段との相対位置を第二の移動と逆の
方向に特定距離だけ移動するための制御信号を移動手段
に、第二の面高さが第三の面高さより低い場合には第二
の移動以降のステップを繰返させるための制御信号を移
動手段及び演算部にそれぞれ出力する請求項2に記載の
位置決め装置。 4、制御部が、被測定回転体と表面粗さ測定手段とが第
一の相対位置に位置決めされ、その際の表面粗さ測定手
段の検出部に対応する被測定回転体の部位における第一
の面高さを表面粗さ測定手段が測定すると、被測定回転
体と表面粗さ測定手段との第一の相対位置を記憶部に記
憶されている特定距離だけ被測定回転体の回転の中心軸
に対して直交正方向に第一の移動をおこなうための制御
信号を移動手段に出力し、次にその移動手段の作動する
回数を記憶するための制御信号を記憶部に出力し、前記
制御信号に基づく移動手段の作動によって得られる第二
の相対位置で表面粗さ測定手段の検出部に対応する被測
定回転体の部位における表面粗さの第二の面高さが測定
されると、第一の面高さと第二の面高さの比較をおこな
うための制御信号を演算部に出力し、更に第一の面高さ
が第二の面高さより低い場合には第一の移動以降のステ
ップを繰返させるための制御信号を演算部及び移動手段
に出力し、他方第一の面高さが第二の面高さより高いも
しくは等しい場合であって記憶部に記憶されている移動
手段の作動回数が1の場合には次の移動方向を第一の移
動と逆方向とし、且つ第一の移動以降のステップを繰返
させるための制御信号を演算部及び移動手段に出力し、
作動回数が2以上の場合にはその際の相対位置を第一の
移動と逆方向に特定距離だけ第二の移動をおこなわせる
ための制御信号を移動手段に出力する請求項2に記載の
位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11084889A JPH02287208A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 位置決め方法及び位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11084889A JPH02287208A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 位置決め方法及び位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02287208A true JPH02287208A (ja) | 1990-11-27 |
Family
ID=14546197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11084889A Pending JPH02287208A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 位置決め方法及び位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02287208A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110260768A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-09-20 | 安徽南氟化工设备有限公司 | 一种紧急切断闸阀的端口平面度检测装置 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP11084889A patent/JPH02287208A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110260768A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-09-20 | 安徽南氟化工设备有限公司 | 一种紧急切断闸阀的端口平面度检测装置 |
CN110260768B (zh) * | 2019-06-21 | 2020-12-04 | 安徽南氟化工设备有限公司 | 一种紧急切断闸阀的端口平面度检测装置 |
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