JPH02283890A - スクリューロータ式真空ポンプの運転方法 - Google Patents
スクリューロータ式真空ポンプの運転方法Info
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- JPH02283890A JPH02283890A JP10352789A JP10352789A JPH02283890A JP H02283890 A JPH02283890 A JP H02283890A JP 10352789 A JP10352789 A JP 10352789A JP 10352789 A JP10352789 A JP 10352789A JP H02283890 A JPH02283890 A JP H02283890A
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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-
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- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野]
本発明は真空ポンプの運転方法に関し、特に主従のスク
リューロータよりなる真空ポンプの運転方法に関するも
のである。
リューロータよりなる真空ポンプの運転方法に関するも
のである。
主従のロータをケーシング内に平行番ご並べ、噛み合わ
せて回転するスクリューロータ式真空ポンプは、単段で
は高真空の用途には適さないが、弁等の複雑な機構がな
く、また摩耗部分も少ないことから、各方面に広く使用
されている。
せて回転するスクリューロータ式真空ポンプは、単段で
は高真空の用途には適さないが、弁等の複雑な機構がな
く、また摩耗部分も少ないことから、各方面に広く使用
されている。
一般に、真空ポンプは構造的には圧縮機と同じで、内部
では気体を圧縮するために、発熱量も多く、吐出ガスの
温度は150〜200 ’Cにも達する。また、吸入側
を真空近くまで下げて使用しても吸入側と吐出側の圧力
差は小さいが(最大I kg/d)、圧力比は大きいの
で、スクリューロータの径方向とケーシングとの隙間を
小さくして、漏れにくくする必要がある。そのため熱膨
張によるロータとケーシングとの接触を防止するため、
ロータシャフトを中空にして冷却水を通したり、冷却さ
れた気体を圧縮途中で吹き込みロータを冷却する等の種
々の工夫をしている。しかし、それにもかかわらず真空
ポンプの温度上昇は大きく、そのため、従来の主従のス
クリューロータは金属で製作され、温度が低くても漏れ
が問題にならないような隙間にすると同時に、上述した
種にの工夫によって、温度が上昇してもケーシングに接
触することのない隙間が維持できるようにされている。
では気体を圧縮するために、発熱量も多く、吐出ガスの
温度は150〜200 ’Cにも達する。また、吸入側
を真空近くまで下げて使用しても吸入側と吐出側の圧力
差は小さいが(最大I kg/d)、圧力比は大きいの
で、スクリューロータの径方向とケーシングとの隙間を
小さくして、漏れにくくする必要がある。そのため熱膨
張によるロータとケーシングとの接触を防止するため、
ロータシャフトを中空にして冷却水を通したり、冷却さ
れた気体を圧縮途中で吹き込みロータを冷却する等の種
々の工夫をしている。しかし、それにもかかわらず真空
ポンプの温度上昇は大きく、そのため、従来の主従のス
クリューロータは金属で製作され、温度が低くても漏れ
が問題にならないような隙間にすると同時に、上述した
種にの工夫によって、温度が上昇してもケーシングに接
触することのない隙間が維持できるようにされている。
したがって、もし樹脂製のスクリューロータを使用する
と、熱膨張係数が金属の10倍程度あるので、低温では
隙間が大きすぎて使用できなくなるか、高温になるとケ
ーシングに接触することになり、何れにしても運転不能
になる。
と、熱膨張係数が金属の10倍程度あるので、低温では
隙間が大きすぎて使用できなくなるか、高温になるとケ
ーシングに接触することになり、何れにしても運転不能
になる。
(発明が解決しようとする課題)
しかし、金属製のスクリューロータは、重量は重(、製
造はNC加工により1個づつ切削加工するために時間が
かかるばかりでなく、特にスクリューロータが非対称の
形状をしているので、動バランスを取るのが非常に難し
いという問題があった。また、耐蝕性や耐摩耗性を考え
た場合、金属はスクリューロータ加工後、Cr鍍金、T
i コーティングまたはSUS製ロータとするための多
くの製作時間を要し、生産性が悪く、コストを上げると
いう欠点があった。
造はNC加工により1個づつ切削加工するために時間が
かかるばかりでなく、特にスクリューロータが非対称の
形状をしているので、動バランスを取るのが非常に難し
いという問題があった。また、耐蝕性や耐摩耗性を考え
た場合、金属はスクリューロータ加工後、Cr鍍金、T
i コーティングまたはSUS製ロータとするための多
くの製作時間を要し、生産性が悪く、コストを上げると
いう欠点があった。
本発明は上記の事実に鑑みてなされたもので、軽量で製
造容易な樹脂製のスクリューロータを使用できる真空ポ
ンプの運転方法を提供することを目的としている。
造容易な樹脂製のスクリューロータを使用できる真空ポ
ンプの運転方法を提供することを目的としている。
上記の目的を達成するために本発明は、ケーシング内に
主従のスクリューロータを有する真空ポンプの運転方法
において、樹脂で成形された主従のスクリューロータを
使用し、前記ケーシング内に冷却用液体を注入しつつ運
転する構成としている。
主従のスクリューロータを有する真空ポンプの運転方法
において、樹脂で成形された主従のスクリューロータを
使用し、前記ケーシング内に冷却用液体を注入しつつ運
転する構成としている。
真空ポンプの運転に伴いポンプの温度が上昇するが、冷
却用液体を適宜注入していくので、温度上昇を抑えるこ
とができ、スクリューロータの膨張を小さ(抑えること
ができる。また冷却用液体が、スクリューロータζケー
シング間をシールし、漏れを抑えるので、真空度が低下
することもない。
却用液体を適宜注入していくので、温度上昇を抑えるこ
とができ、スクリューロータの膨張を小さ(抑えること
ができる。また冷却用液体が、スクリューロータζケー
シング間をシールし、漏れを抑えるので、真空度が低下
することもない。
次に、本発明の一実施例を図面によって説明する。第1
図は、本考案の樹脂ロータ式真空ポンプの断面を示す図
である。この真空ポンプは吸入口Aからガスを吸い込み
、吐出口Bから吐き出すものである。
図は、本考案の樹脂ロータ式真空ポンプの断面を示す図
である。この真空ポンプは吸入口Aからガスを吸い込み
、吐出口Bから吐き出すものである。
先ず、真空ポンプの構成から説明する。主軸1及び従軸
2はそれぞれ二点においてベアリング3゜3で支持され
、図の左端が駆動側となり図示しないモータに接続され
る。主軸1及び従軸2の右側の自由端側には樹脂で製造
された右螺旋のスクリューロータ4と左螺旋のスクリュ
ーロータ5がキー6.7を介してナツト14により締付
は固定されている。また駆動側にはこれらの樹脂製のス
クリューロータ4,5が一定の隙間を保って回転できる
ように、タイミングギヤ8,9が取付けである。そして
これらの外側には、スクリューロータ4.5を収容する
ケーシング10、ベアリング3゜3の部分を収容するヘ
アリングケース11、タイミングギヤ8,9を収容する
ギヤケース12が設けられている。13はオイルシール
で、ケーシング内O内の真空度を保つためのものである
。以上の構成において、ヘアリング3およびタイミング
ギヤ8,9はベアリングケースやギヤケース内の潤滑油
によって潤滑され、円滑に回転する。
2はそれぞれ二点においてベアリング3゜3で支持され
、図の左端が駆動側となり図示しないモータに接続され
る。主軸1及び従軸2の右側の自由端側には樹脂で製造
された右螺旋のスクリューロータ4と左螺旋のスクリュ
ーロータ5がキー6.7を介してナツト14により締付
は固定されている。また駆動側にはこれらの樹脂製のス
クリューロータ4,5が一定の隙間を保って回転できる
ように、タイミングギヤ8,9が取付けである。そして
これらの外側には、スクリューロータ4.5を収容する
ケーシング10、ベアリング3゜3の部分を収容するヘ
アリングケース11、タイミングギヤ8,9を収容する
ギヤケース12が設けられている。13はオイルシール
で、ケーシング内O内の真空度を保つためのものである
。以上の構成において、ヘアリング3およびタイミング
ギヤ8,9はベアリングケースやギヤケース内の潤滑油
によって潤滑され、円滑に回転する。
第2図は、冷却用の液体を注入する一実施例の図である
。ケーシング10に形成された吸入口Aに相手側の配管
15が接続される。この配管15の途中にブラッグ16
が設けられ、液体供給用の細管17が接続される。細管
17は図示しない液体供給ポンプ等に接続され、真空ポ
ンプの温度上昇等に応じて所望の量の液体を吸入口Aに
供給できる構成になっている。
。ケーシング10に形成された吸入口Aに相手側の配管
15が接続される。この配管15の途中にブラッグ16
が設けられ、液体供給用の細管17が接続される。細管
17は図示しない液体供給ポンプ等に接続され、真空ポ
ンプの温度上昇等に応じて所望の量の液体を吸入口Aに
供給できる構成になっている。
次に、樹脂製のスクリューロータ4,5について説明す
る。本発明のスクリューロータに使用される樹脂は、熱
膨張が大きくなく、かつ高温下における強度が劣化しな
いものが適している。この条件を満たすものとして、本
発明の実施例においては、ポリエーテル・エーテル・ケ
トン(PEEK)や、ポリエチレン等を使用する。これ
らの樹脂は、80°C程度では強度の劣化はほとんどな
いことがわかった。またスクリューロータは、射出成形
などによって良好な表面状態に仕上げられ、しかも同一
形状のものを量産できる。そのため、切削加工や前述し
た耐蝕性や耐摩耗性を与えるための鍍金やコーティング
等の仕上げ加工を必要としない。さらに、スクリューロ
ータの形状を設計する時点で大略の動バランスを取って
おけば、軽量であることから、個々について、それ以上
の動バランスの調整をしなくても、運転には影響がない
。
る。本発明のスクリューロータに使用される樹脂は、熱
膨張が大きくなく、かつ高温下における強度が劣化しな
いものが適している。この条件を満たすものとして、本
発明の実施例においては、ポリエーテル・エーテル・ケ
トン(PEEK)や、ポリエチレン等を使用する。これ
らの樹脂は、80°C程度では強度の劣化はほとんどな
いことがわかった。またスクリューロータは、射出成形
などによって良好な表面状態に仕上げられ、しかも同一
形状のものを量産できる。そのため、切削加工や前述し
た耐蝕性や耐摩耗性を与えるための鍍金やコーティング
等の仕上げ加工を必要としない。さらに、スクリューロ
ータの形状を設計する時点で大略の動バランスを取って
おけば、軽量であることから、個々について、それ以上
の動バランスの調整をしなくても、運転には影響がない
。
次に、本発明の実施例の作用を説明する。
吸入口Aから吸引されたガスは、細管17から注入され
た冷却用の液(水またはオイル)とともに吐出口Bに排
出される。ケーシング10内には冷却用の液が混入され
るので、温度を80°C以下に抑えることが可能である
とともに、ケーシングとスクリューロータ間の隙間がシ
ールされ、真空度の保持が容易になる。また、スクリュ
ーロータ4.5は樹脂製であるから鉄製のロータに比べ
て1/6〜1/7程度に軽減され、所要の動力が小さく
て済む。さらに、動バランスは前述したように問題とな
らない。
た冷却用の液(水またはオイル)とともに吐出口Bに排
出される。ケーシング10内には冷却用の液が混入され
るので、温度を80°C以下に抑えることが可能である
とともに、ケーシングとスクリューロータ間の隙間がシ
ールされ、真空度の保持が容易になる。また、スクリュ
ーロータ4.5は樹脂製であるから鉄製のロータに比べ
て1/6〜1/7程度に軽減され、所要の動力が小さく
て済む。さらに、動バランスは前述したように問題とな
らない。
以上説明したように本発明によれば、真空ポンプを冷却
液を注入しつつ運転する構成としているので、真空ポン
プの温度上昇を抑えることができ、熱膨張率の大きい樹
脂製のスクリューロータの使用が可能になる。その結果
以下に挙げる効果を奏する。
液を注入しつつ運転する構成としているので、真空ポン
プの温度上昇を抑えることができ、熱膨張率の大きい樹
脂製のスクリューロータの使用が可能になる。その結果
以下に挙げる効果を奏する。
■ 金属スクリューロータの場合、動バランスが重要で
あるが、非対称形状であるためバランス取りが非常に難
しい。これに対し樹脂製スクリューロータであれば、軽
量になるからその必要がな(なる。
あるが、非対称形状であるためバランス取りが非常に難
しい。これに対し樹脂製スクリューロータであれば、軽
量になるからその必要がな(なる。
■ 金属製のスクリューロータはNC加工となり加工コ
ストが上がるが、樹脂製にすれば射出成形ができ、安価
にできる。
ストが上がるが、樹脂製にすれば射出成形ができ、安価
にできる。
■ 金属スクリューロータに比べ軽量になり、動力が少
なくてよくなる。
なくてよくなる。
■ 耐蝕性、耐摩耗性を考慮した場合、金属スクリュー
ロータは切削加工後にクローム鍍金やTiコーティング
等が必要になるため、製造コストアップとなる。これに
対し樹脂性であれば、コストダウンが可能となる。
ロータは切削加工後にクローム鍍金やTiコーティング
等が必要になるため、製造コストアップとなる。これに
対し樹脂性であれば、コストダウンが可能となる。
第1図は本発明のスクリューロータ式真空ポンプの縦断
面図、 第2図は冷却液注入部の構成を示す縦断面図である。 4・・・主スクリユ−ロータ、5・・・従スクリューロ
ータ、10・・・ケーシング、17・・・冷却液注入用
の細管。
面図、 第2図は冷却液注入部の構成を示す縦断面図である。 4・・・主スクリユ−ロータ、5・・・従スクリューロ
ータ、10・・・ケーシング、17・・・冷却液注入用
の細管。
Claims (1)
- ケーシング内に設けた主従のスクリューロータを回転す
る真空ポンプの運転方法において、樹脂で成形された主
従のスクリューロータを回転し、前記ケーシング内に冷
却用液体を注入しつつ運転することを特徴とするスクリ
ューロータ式真空ポンプの運転方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10352789A JPH02283890A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | スクリューロータ式真空ポンプの運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10352789A JPH02283890A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | スクリューロータ式真空ポンプの運転方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02283890A true JPH02283890A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=14356378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10352789A Pending JPH02283890A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | スクリューロータ式真空ポンプの運転方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02283890A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999049219A1 (fr) * | 1998-03-24 | 1999-09-30 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Pompe d'aspiration de liquides du type rotor a vis |
US6368091B1 (en) | 1998-03-25 | 2002-04-09 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Screw rotor for vacuum pumps |
JP2014125957A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Toyota Industries Corp | スクロール型圧縮機 |
CN105422449A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-03-23 | 西安交通大学 | 一种悬臂式无油双齿转子压缩机 |
-
1989
- 1989-04-25 JP JP10352789A patent/JPH02283890A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999049219A1 (fr) * | 1998-03-24 | 1999-09-30 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Pompe d'aspiration de liquides du type rotor a vis |
US6375443B1 (en) | 1998-03-24 | 2002-04-23 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Screw rotor type wet vacuum pump |
DE19882900B4 (de) * | 1998-03-24 | 2004-04-15 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Schraubenrotor-Nassvakuumpumpe |
US6368091B1 (en) | 1998-03-25 | 2002-04-09 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Screw rotor for vacuum pumps |
JP2014125957A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Toyota Industries Corp | スクロール型圧縮機 |
US10132316B2 (en) | 2012-12-26 | 2018-11-20 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Scroll compressor |
CN105422449A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-03-23 | 西安交通大学 | 一种悬臂式无油双齿转子压缩机 |
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