JPH02281108A - 自動車のエンジン制御用センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は物理量を検出し電気信号を出力するセンサに係
わり、特に自動車のエンジン制御に使用するのに適した
空気流量センサ、圧力センサ等のセンサ及びそのエンジ
ン制御装置に関する。

〔従来の技術〕

物理量を検出し電気信号を出力する従来のセンサは、熱
式流景計として特公昭６２−２３７３２１号に記載のよ
うに、熱線等の検出エレメントで検出された物理量を電
気信号に変換するドライバの出力を直接センサ出力とす
るのが一般的である。

また、例えば特公昭６３−２１９８５９号に記載のよう
に、センサに検出エレメントの方式の種類に応じた所定
の識別信号を発生ずる機能を設け、エンジン制御装置に
おいて検出エレメントの方式の種類に応じて所定の変換
特性が選択されるように構成したものもある。

〔発明か解決しようとする課題〕

しかしながら従来のドライバの出力を直接センサ出力と
するセンサは、熱線の寸法、熱線を構成する素材の物性
値等、構成部品のばらつきによりセンサ出力かばらつき
、これを用いてエンジン制御装置等のシステムを構成し
た場合は、システムの精度が低下するという問題があっ
た。また、センサ出力のばらつきのため、制御システム
では検出エレメントの異なるセンサを含め、別のセンサ
をそのまま使用することができす、互換性に欠けるとい
う問題があった。

また、特公昭６３−２１９８５９号に記載のセンサは、
検出エレメントの方式の違いに対応するだけのものであ
り、構成部品のばらつきによるセンサ出力のばらつきは
吸収できす、基本的には上記従来技術と同様の問題があ
った。

本発明の目的は、構成部品のばらつきによるセンサ出力
のばらつきを低減し、検出精度の優れたセンサを提供す
ることである。

本発明の他の目的は、制御システムにおいて互換性があ
り、市場におけるサービス性を向上できるセンサ及びエ
ンジン制御装置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によれば、上記目的を達成するため、物理量を検
出する熱線、ピエゾ抵抗を形成したダイヤフラム等の第
１の検出手段と、検出された物理量を電気信号に変換す
るドライバ手段と、ドライバ手段の出力とセンサ出力と
の関係を記憶する記憶手段と、外部への電気信号゛を発
生する周波数発生器、電圧発生器等の出力手段と、ドラ
イバ手段の出力と記憶手段に記憶した内容からセンサ出
力の目標値を演算し、外部ｌ＼の□電気信号がこの目標
値む己一致する１よう゛出力手段を制御する制御手段と
から構成されたセンサが提供される。

センサは、好ましくは、空気温度を検出する第２の検出
手段を更に有し、制御手段では、この検出された空気温
度によりセンサ出力の目標値が補正される。

センサは、また好ましくは、第１の検出手段が装着され
る部位の温度を検出する第３の検出手段を更に有し、制
御手段では、この検出された装着部位の温度によりセン
サ出力の目標値が補正される。

記憶手段には、センサの製造時に、基本となる試験設備
で得なドライバ手段の出力とセンサの出力との関係が書
き込まれている。

また、本発明によれば、上記目的を達成するなめ、上述
したセンサを含む複数のセンサと、これらセンサの出力
により工′ンジンに供給する燃料量を決定する手段とを
有するエンジン制御装置か提供される。

〔作用〕

以上のように構成した本発明のセンサにおいては、記憶
手段にドライバ手段の出力とセンサ出力との関係が記憶
さｔＬでいるので、制御手段でこの記憶した関係からド
ライバ手段の出力に対応したセンサ出力の目標値を算出
し、また好ましくは検出された空気温度かつ／又は第１
の検出手段の装着部位の温度により補正を加えることに
より、常にほぼ一定の物理量−センサ出力の特性か得ら
れる。このため、検出精度を大幅に高めることができる
。

また、物理量−センサ出力の特性かほぼ一定となるため
、このセンサを制御システムに用いた場合、異なるセン
サでも使用するシステム側からは同一センサとして扱え
るため互換性が高まり、市場でのサービス性か向上する
。

〔実施例〕

以下、本発明の好適実施例を図面により説明する。

ます、本発明の基本概念を示す実施例を第１図〜第４図
により説明する。

第１図において、本実施例のセンサ１０は、被検出物で
ある物理量Ｑを検出するための検出エレメント１１と、
検出エレメント１１の検出した物理量Ｑを電気信号Ｖに
変換するためのドライバ１２と、ドライバ１２の出力で
ある電気信号■とセンサ１０が出力すべき電気信号であ
るセンサ出力ＦＯとの関係を記憶した記憶部１４と、セ
ンサ１０か外部に出力する電気信号Ｆを発生する出力部
１５と、ドライバ１２の出力■と記憶部１４に記憶した
前記関係とからセンサ出力の目標値Ｆ×とし、この目標
値Ｆｘに基づいて出力部１５を駆動する制御部１３とか
らなっている。

記憶部１４に記憶したドライバ１２の出力Ｖとセンサ出
力の目標値ＦＯとの関係を第２図に示す。

この関係は、センサの製造時に後述するごとくドライバ
出力Ｖとセンサ出力目標値Ｆｏとの関係を定め、書き込
んだものである。

制御部１３の動作を第３図に示すフローチャートにより
説明する。まず、ドライバ１２の出力■を読み込み（ス
テップＳ１）、記憶部１４に記憶した上記関係からドラ
イバ１２の出力Ｖに対応したセンサ出力ＦＯを求め、こ
れをセンサ出力の目標値Ｆ×とする（ステップ３２　）
。この目標値Ｆ×は出力部１５に出力されこれを駆動す
る（ステップＳ・３）６次いで、出力部１５の出力Ｆを
フィードバック値として読み込み（ステップＳ４）、目
標値Ｆｘとフィードバック値Ｆとの偏差か零かどうかを
判断しくステップ８５）、ｌｌｉ差が零になるまで目標
値Ｆ×を出力し続ける（ステップＳ３〜Ｓ５　）。偏差
が零になると、再びドライバー２の出力■を読み込み（
ステップＳ１）、上述した手順を繰り返す。以上の手順
により、出力部１５は制御部１３によりセンサ出力とな
る電気信号Ｆか目標値Ｆ×に一致するよう制御される。

第５図は記憶部１４にデータを書き込むときの構成を示
す。検出エレメント１１か熱線であり、センサー０が空
気流量センサの場合を考えると、熱線１１は寸法、素材
の物性値等ばらつきがあり、またドライバー２は電子部
品のためばらつきかある。そこでセンサー０の製造工程
において、記憶部書き込み装置１６により、空気流量基
準計の出力Ｑとドライバの出力Ｖの関係を必要数（例え
は６４点）測定すると共に、空気流量基準計の出力Ｑと
一定の関係にあるセンサ出力の目標値ＦＯを定め、その
結果により第２図に示すようなＶ〜ＦＯ特性を作成し、
記憶部１４へ書き込む。

本実施例は以上のように構成したので、ドライバ１２の
出力Ｖにセンサ毎のばらつきかあっても、記憶部１４に
記憶した関係からドライバ出力■を媒介として物理量Ｑ
と一定の関係にあるセンサ出力Ｆｏをセンサ出力の目標
値Ｆ×とするため、物理量Ｑとセンサ出力Ｆの特性をほ
ぼ一定の関係にすることかでき、検出精度を大幅に向上
することかできる。

また、物理量Ｑ−センサ出力Ｆの特性がほぼ一定である
ため、このセンサ１０を制御システムに用いた場合、異
なるセンサでも使用するシステム側からは同一センサと
して扱えるため互換性が高くなり、市場でのサービス性
を向上することかできる。

なお、以上の実施例では、制御部１３において出力部１
５の出力Ｆを帰還させて閉ループでフィ−ドパツク制御
したが、制御部１３による出力部１５の制御方式はこれ
だけに限られず、第４図に示すように、第３図のステッ
プＳ４及びＳ５の手順を省略した開ループで出力部１５
を制御してもよい。制御部１３、記憶部１４及び出力部
１５は１シリコンチツプに集積化して構成することか一
般的であり、この場合には出力部１５の精度の向上には
限度があるので、第３図に示すように出力部１５をフィ
ードバック制御することが制御精度確保の観点から好ま
しい。しかしながら、出力部１５の精度か高い場合は、
出力部１５を開ループで制御してもよく、制御部１３の
動作を単純化できる。

次に、本発明を空気流量センサに適用した実施例を第６
図〜第１０図により説明する。

第６図において、２０は自動車のエンジンに至る空気通
路を構成するボディであり、ボディ２０の内側にはメイ
ン通路２ＯＡとバイパス通路２０゛Ｂとが設けてあり、
空気通路全体に流入した流量Ｑの空気は隔壁２１の頂部
で分岐し、流量ｑ１はメイン通路２ＯＡを流れ、流量ｑ
２はバイパス通路２０Ｂへと流れ、バイパス通路２０Ｂ
の出口で流量ｑ１と合流する。

空気流量センサ３０は、バイパス通路２０Ｂに設けられ
た空気流量Ｑを検出する熱線形の検出エレメント３１（
以下、適宜熱線と呼ぶ）と、同じくバイパス通Ｒ２０Ｂ
に設けられた空気温度を検出する空気温度検出器３２（
以下、コールドワイヤと呼ぶ）と、更に検出エレメント
３１の支持部３３のバイパス通路２０Ｂに接近した部位
に設けられた、支持部３３の温度を検出する支持部温度
検出器３４（以下、壁温センサと呼ぶ）とを有し、これ
ら検出エレメント３１、コールドワイヤ３２及び壁温セ
ンサ３４は第１図に示ず要素を電子回路で構成した回路
基板３５に接続され、さらに外部とのターミナル３６へ
と接続されている。

空気流量センサ３０の回路基板３５を含む具体的な回路
構成を第７図に示す。空気流量センサ３０は、第１図に
示す要素に対応して、ドライバ３７、記憶部３８、出力
部３９及び制御部４０からなり、出力部３９は周波数発
生器で構成されている。

ドライバ３７は熱線３１及びコールドワイヤ３２とブリ
ッジ回路を構成する抵抗４１．４２と、ブリッジ回路に
印加する電圧を制御する差動増幅器４３及びトランジス
タ４４とからなり、ブリッジ回路の中点電圧が等しくな
るようにブリッジ回路に印加する電圧を制御することに
より、熱線３１に流れる電流が空気流量Ｑの関数となる
ように制御される。この熱線電流を抵抗４１で検出した
電圧がドライバ３７の出力Ｖとなる。

記憶部３８は第１及び第２のメモリ３８Ａ及び３８Ｂを
有し、第１のメモリ３８Ａには第１図の記憶部１４と同
様、第２図に示すようなドライバ３７の出力Ｖとセンサ
出力Ｆｏとの関係が記憶しである。また、第２のメモリ
３８Ｂには、壁温センサ３４で検出されな壁温ＴＶの影
響を補正するための補正係数Ｋが記憶しである。

ここで補正係数Ｋについて説明する。第８図は壁温セン
サを用いない空気流量センサにおける空気流量Ｑに対す
る検出流量の変化ｄＱを示す図である。支持部３３の壁
温が空気温度と等しいときは直線Ｍｏのように空気流量
Ｑの変化に対してセンサ出力は一定となるか、支持部３
３がエンジンの熱で加熱され、例えば空気温度２０℃に
対して支持部３３が８０℃まで温度が上昇すると、曲線
Ｍ１のように空気流量Ｑか少なくなるに従ってセンサ出
力に変化を生じ、最大１０％程度の誤差を生じる。これ
は、支持部３３と熱線３１に温度差が生じると、支持部
３３の温度が熱線３１に伝えられ、熱線の温度を変えて
しまうために生じるものである。補正係数にはこの壁温
の影響を補正するためのものであり、これは−例として
第９図に示すように設定される。第９図において、縦軸
が補正係数にであり、横軸の一辺か壁温センサ３４の出
力値Ｔｗであり、他の一辺が空気流量Ｑａとして使用す
るドライバ出力Ｖ（＝’＝Ｑａ）であり、ＩくはＴＷ及
びＶをパラメータとした曲面をなす。

制御部４０の動作を第１０図に示すフローチャー　Ｊ＝
により説明する。まず、ドライバ３７の出力■及び壁温
センサ３４の出力Ｔｗを読み込む（ステップ５１０）６
次いで、記憶部３８の第１のメモリ３８Ａに記憶した上
記■とＦＯとの関係からドライバ３７の出力Ｖに対応し
たセンサ出力ＦＯを求める（ステップ５１１）。また、
これと同時に、第２のメモリ３８Ｂに記憶した第９図の
関係から壁温センサ３４の出力Ｔｗとドライバ出力■と
に対応する補正係数Ｊくを求める（ステップ５１２）。

次いで、Ｆｘ　＝ＫｘＦｏを演算し、周波数発生器３９
に出力すべきセンサ出力の目標値Ｆｘを求める（ステッ
プ５１３）。その後、目標値Ｆｘを周波数発生器３つに
出力してこれを駆動しくステップ５１４）、周波数発生
器３つの出力Ｆをフィードバック値として読み込み（ス
テップ５１５）、目標値Ｆｘとフィードバック値Ｆとの
偏差か零かどうかを判断しくステップ５１６）ｉａｌ差
が零になるまで目標値Ｆ×を出力し続ける（ステップ３
１４〜８１６）。以上の手順により、周波数発生器３つ
は制御部４０によりセンサ出力となる電気信号Ｆが目標
値Ｆｘに一致するよう制御される。

従って、本実施例によれば、第１のメモリ３８Ａに記憶
した関係からドライバ出力■を媒介として空気流量Ｑと
一定の関係にあるセンサ出力ＦＯを求め、更に壁温セン
サ３４の出力Ｔ’Ｗを用いて支持部３３の壁温の影響を
補正するので、空気流ｉＱとセンサ出力Ｆの特性をより
高精度に−・定の関係とすることができ、検出精度を大
幅に向」ニすることができると共に、センーリ−として
の互換性を高めることができる。

なお、出力部３つは周波数発生器の代わりに電圧発生器
を用いても同じ効果がある。また、第１図の実施例と同
様、制御部４０は出力部３つをフィードバック制御を行
わない開ループで制御してもよい。

本発明の更に他の実施例を第１１図〜第１５図により説
明する。本実施例は、第７図の前述した実施例に更に空
気温度の補正をより精度良く行う機能を付加したもので
ある。

第１１図において、本実施例の空気流量センサ５０は、
ドライバ５１のブリッジ回路からコールドワイヤ３２を
外し、熱線３１と抵抗４１．４２５２とでブリッジ回路
を形成し、コールドワイヤ３２は単独で制御部５３に接
続される。記憶部５４は第１、第２及び第３のメモリ５
４Ａ、５４Ｂ及び５４Ｃを有し、第１のメモリ５４Ａに
は第１図の記憶部１４と同様、第２図に示すようなドラ
イバ３７の出力■とセンサ出力ＦＯとの関係か記Ｉ臆し
てあり、第２のメモリ５４Ｂには空気温度による熱線３
１の温度特性を補正するための補正係数に１が記ｊ憶し
てあり、第３のメモリ５４Ｃには壁温センサ３４で検出
された壁温Ｔｗの影響を補正するための補正係数に２が
記憶しである。

ここで補正係数に１及びに２について説明する。

第１２図は、第７図の実施例に示した実施例のように、
コールドワイヤ３１をドライバのブリッジ回路に組み込
むことで空気温度による熱線３１の温度特性を補正する
場合の空気流量Ｑに対する検出流量の変化ｄ、　Ｑを示
す図である。空気温度が２０°Ｃのときは直線ＮＯのよ
うに空気流量Ｑの変化に対してセンサ出力は一定となる
が、空気温度が例えば８０°Ｃになると、曲線Ｎ１のよ
うに空気流量Ｑの変化に依存してセンサ出力が変化する
。補正係数に１はこの熱線の温度特性の変化を補正する
だめのものであり、これは−例として第１３図に示すよ
うに設定される。第１３図において、縦軸が補正係数Ｋ
　１であり、横軸の一辺かコールドワイヤ３２の出力値
Ｔａであり、他の一辺が空気流量Ｑａとして使用するド
ライバ出力Ｖ（−Ｑａ）であり、Ｋ１はＴａ及び■をパ
ラメータとした曲面をなす。

補正係数に２は第７図に示す実施例で説明した補正係数
にと実質的に同じ意味を持ち、支持部３３（第６図参照
）の温度か熱線３１に伝達され、熱線の温度を変えてし
まうことにより生じるセンサ出力の誤差を補正するため
のものである。ただし本実施例では、補正をより正確に
行うため壁温Ｔｗを直接用いるのではなく、壁温Ｔｗと
空気温度′ｒａの温度差を用いる。即ち、補正係数Ｋ　
２は一例として第１４図に示すように設定されている。

第１４図において、補正係数１り２の曲面の形状は第９
図のＫの形状と同じであるが、温度のパラメータとして
壁温と空気温度の温度差を用いるので、それに対応して
横軸の一辺がＴｗ−Ｔａとなっている。

制御部５３の動作を第１５図に示すフローチャートによ
り説明する。ます、ドライバ５１の出力Ｖ、コールドワ
イヤ３２の出力Ｔａ及び壁温センサ３４の出力Ｔｗを読
み込む（ステップ５２０）。

次いで、記憶部５４の第１のメモリ５８Ａに記憶した前
述のＶとＦｏとの関係からドライバ５１の出力■に対応
したセンサ出力Ｆｏを求める（ステップ５２１）。また
、これと同時に、壁温センサ３４の出力Ｔｖ１とコール
ドワイヤ３２の出力Ｔａとから壁温と空気温度の温度差
Ｔｗ−Ｔａを求め（ステップ５２２）、第２のメモリ５
４Ｂに記憶した第１３図の関係から空気温度′ｒａとド
ライバ出力Ｖとに対応する補正係数に１を求め（ステッ
プ５２３）、第３のメモリ５４Ｃに記憶した第１４図の
関係から温度差Ｔｗ−Ｔａとドライバ出力■とに対応す
る補正係数１ぐ２を求める（ステップ５２４）゜次いで
、Ｆｘ　＝に１　ｘＫ２　ｘＦｏを演算し、周波数発生
器３９に出力ずべきセンサ出力の目標値Ｆｘを求める（
ステップ５２５）。その後は、第１０図の実施例の動作
手順と同様、周波数発生器３９の出力Ｆが目標値Ｆｘに
一致するよう周波数発生器３９を閉ループでフィードバ
ック制御する（ステップ８２６〜８２８）。

本実施例は以上のように構成したので、熱線の温度特性
変化の流量依存性を低減することかでき、検出精度を更
に向上することかできると共に、センサとしての互換性
を一層高めることかできる。

本発明の更に他の実施例を第１６図及び第１７図により
説明する。以上は本発明を空気流１センサに適用した実
施例であるか、本実施例は圧力センサの実施例を示すも
のである。

第１６図において本実施例の圧力センサは、シリコンダ
イヤフラム６０と、その表面に形成されたピエゾ抵抗６
１とからなる検出エレメント部６２を有している。ピエ
ゾ抵抗６１は、ダイヤフラム６０の歪みに対し圧縮応力
を受けるものと、引張り応力を受けるものを各々２個形
成し、第１７図に示すようにブリッジ回路を形成してい
る。シリコンタイヤフラム６０は台座６３に接合され、
台座６３は圧力導入部６４に接着され、更にピエゾ抵抗
６１は圧力導入部６４に固定されたハウジング６５のリ
ード６６を介して電気信号を外部に取り出すようになっ
ている。６７は保護カバーである。

検出エレメント部２６は第１７図に示すようにドライバ
６８に接続されている。ドライバ６８はピエゾ抵抗６１
で形成したブリッジ回路の差電圧を増幅器６９で増幅し
、出力Ｖを得る。

圧力センサは、図示はしないが更に、第１図に示す基本
実施例と同様、制御部１３、記憶部１４及び出力部１５
を有し、ドライバ出力Ｖは制御部に入力される。

ドライバ６８の出力■は、ダイヤフラム６０の厚さはら
つき、ピエゾ抵抗６１のばらつき等により大きくばらつ
く。また、ピエゾ抵抗６１はシリコンに拡散した抵抗体
であるため温度依存性が大きく、温度により出力Ｖが大
きく変化する６本実施例によれば、第１図に示す基本実
施例と同様の構成を採用することにより、ばらつき、温
度影皆のない高精度圧力センサを実現できる。

本発明の更に他の実施例を第１８図により説明する。本
実施例は、本発明のセンサをエンジン制御装置に応用し
たものである。

第１８図において、エンジン制御装置はエンジンの吸入
空気量を検出する本発明の空気流量センサ７０、エンジ
ンの回転数センサ７１、冷却水の温度センサ等エンジン
の運転状態を補正するのに使用する物理量を検出するセ
ンサ群７２を有している。空気流量センサ７０の出力信
号Ｆ、回転数センサの出力信号Ｎ及び補正センサ群７２
の出力信号Ｔはコントローラ７３に送られ、コントロー
ラ７３はこれら物理量に基づきエンジンへ供給する燃料
量を決定する。コントローラ７３で決定された燃料量の
指令値ＴＩ）は燃料噴射弁７４に送られ、燃料噴射量が
制御される。

この構成によれば、空気流量センサ７０の出力ドは、セ
ンサ個々のばらつきなく空気流量Ｑを指示するため高精
度なシステムを実現することができる。また、検出ニレ
メン１〜の方式が同じセンサの場合はセンサのばらつき
による特性の違い、検出エレメントの方式が異なる場合
はその方式の違いによる特性の違いも吸収できるので、
空気流量センサを本発明に従って構成ずれは、１つのシ
ステムで異なる空気流量センサ又は各種の空気流量セン
サを共用することが可能となり、市場での故障時の交換
等、サービス性に優れたシステムを提供することができ
る。

また、空気流量センサ７０を第７図又は第１１図に示す
実施例のように構成した場合は、センサの制御部には、
空気温度、支持部壁温等の情報が・入っているので、こ
の情報を適宜取り出すことにより、エンジン制御等、他
の用途に用いることができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、検出精度の高いセンサを得ることがで
きる。また、システムでは異なるセンサ又は多方式のセ
ンサを同一特性として扱うことができるので、システム
精度の向上と、市場におけるサービス性を向上できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基本実施例によるセンサの構成を示す
図であり、第２図は記憶部に記憶されるドライバ出力と
センサ出力との関係を示す図であり、第３図は制御部の
動作を説明するためのフローチャートであり、第４図は
制御部の動作の他の例を示すフローチャートであり、第
５図は記憶部にデータを書き込むときの構成を示す図で
あり、第６図は本発明を空気流量センサに適用した実施
例におけるセンサの取付は状態を示す断面図であり、第
７図はその空気流量センサの回路構成を示す図であり、
第８図は支持部壁温が変化した場合の空気流量に対する
センサ出力の変化を示す温度特性図であり、第９図は記
憶部に記憶される補正係数にの設定内容を示す図であり
、第１０図は制御部の動作を説明するためのフローチャ
ートであり、第１１図は本発明を空気流量センサーに適
用した他の実施例の回路構成を示す図であり、第１２図
は空気温度が変化した場合の空気流量に対するセンサ出
力の変化を示す温度特性図であり、第１３図は記憶部に
記憶される補正係数に１の設定内容を示す図であり、第
１４図は記憶部に記憶される補正係数に２の設定内容を
示す図であり、第１５図は制御部の動作を説明するため
のフローチャー１・であり、第１６図は本発明を圧力セ
ンサに適用した場合の検出エレメント部の構成を示す断
面図であり、第１７図はその圧力センサの検出エレメン
ト部及びドライバの回路構成を示す図であり、第１８図
は本発明のセンサを用いて構成したエンジン制御装置を
示す図である。 符号の説明 １０；３０・・・センサ １１　；　６２・・・検出エレメント（第１の検出手段
）１２；３７；５１；６８・・・ドライバ１３：４０；
５３・・・制御部 １４、；３８；５４・・・記憶部 １、５　、３９・・・出力部（周波数発生器又は電圧発
生器） １６・・・記憶部書き込み装置 ３１・・・熱線（検出エレメント） ３２・・・コールドワイヤ（第２の検出手段）３４・・
・壁温センサ（第３の検出手段））ぐ、に１　、に２・
・・補正係数 ７０・・・空気流量センサ ７３・・・コントローラ 出願人　　株式会社　日立製作所 代理人　　弁理士　春　日　　譲 Ｊ 十ｂ Ｃ４ 枢愈財剰柩兄弓時郡田 剰＠儒妃 Ｏ−！！ ℃ξ− 刊厭闇駆足弓峙鄭田 返＠儒ザ ○

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）物理量を検出し電気信号を出力するセンサにおい
   て、 物理量を検出する第１の検出手段と、 検出された前記物理量を電気信号に変換するドライバ手
   段と、 前記ドライバ手段の出力とセンサ出力との関係を記憶す
   る記憶手段と、 外部への電気信号を発生する出力手段と、 前記ドライバ手段の出力と前記記憶手段に記憶した内容
   からセンサ出力の目標値を演算し、前記外部への電気信
   号が前記目標値に一致するよう前記出力手段を制御する
   制御手段と を有することを特徴とするセンサ。
2. （２）請求項１記載のセンサにおいて、空気温度を検出
   する第２の検出手段を更に有し、前記制御手段は、この
   検出された空気温度により前記センサ出力の目標値を補
   正することを特徴とするセンサ。
3. （３）請求項１記載のセンサにおいて、前記第１の検出
   手段が装着される部位の温度を検出する第３の検出手段
   を更に有し、前記制御手段は、この検出された装着部位
   の温度により前記センサ出力の目標値を補正することを
   特徴とするセンサ。
4. （４）請求項１記載のセンサにおいて、前記記憶手段に
   は、センサの製造時に前記ドライバ手段の出力と前記セ
   ンサ出力との関係を書き込んであることを特徴とするセ
   ンサ。
5. （５）請求項１記載のセンサにおいて、前記出力手段は
   周波数発生器であることを特徴とするセンサ。
6. （６）請求項１記載のセンサにおいて、前記出力手段は
   電圧発生器であることを特徴とするセンサ。
7. （７）請求項１記載のセンサにおいて、前記第１の検出
   手段は熱線であることを特徴とするセンサ。
8. （８）請求項１記載のセンサにおいて、前記第１の検出
   手段はピエゾ抵抗を形成したダイヤフラムであることを
   特徴とするセンサ。
9. （９）請求項１記載のセンサを含む複数のセンサと、前
   記複数のセンサの出力によりエンジンに供給する燃料量
   を決定する手段とを有することを特徴とするエンジン制
   御装置。