JPH02279728A - 金属含有ポリマーおよびその製法 - Google Patents
金属含有ポリマーおよびその製法Info
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- JPH02279728A JPH02279728A JP1098695A JP9869589A JPH02279728A JP H02279728 A JPH02279728 A JP H02279728A JP 1098695 A JP1098695 A JP 1098695A JP 9869589 A JP9869589 A JP 9869589A JP H02279728 A JPH02279728 A JP H02279728A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G65/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
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- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
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- C07F7/02—Silicon compounds
- C07F7/08—Compounds having one or more C—Si linkages
- C07F7/10—Compounds having one or more C—Si linkages containing nitrogen having a Si-N linkage
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- C07F7/22—Tin compounds
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- C08G77/60—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レジス) (UV、電子線等)材料、エレク
トロニクス材料(半導体等)、接着剤や傾斜材料等とし
て用いうる新規ポリマーおよびこれを製造するに有用な
方法に関する。
トロニクス材料(半導体等)、接着剤や傾斜材料等とし
て用いうる新規ポリマーおよびこれを製造するに有用な
方法に関する。
これまでに、主鎖中に第4族の金属原子を有するポリマ
ーを合成する試みが行われてきた。例えば、Sn (C
)l(S!Ne3)z) tと置換p−ベンゾキノンと
を用いて酸化還元反応を行わせる方法(日本化学会第5
7回秋季年会、講演予稿集! 、L988. p。
ーを合成する試みが行われてきた。例えば、Sn (C
)l(S!Ne3)z) tと置換p−ベンゾキノンと
を用いて酸化還元反応を行わせる方法(日本化学会第5
7回秋季年会、講演予稿集! 、L988. p。
108 、 Po1ysier Preprint
s、 Japan 皿)、338(1988))
や、5nC11と置換ベンゾキノンとを反応させる方法
が知られている。しかし、これらの方法で得られるボリ
ャーはいずれも溶媒に不溶であり、ポリマー材料として
用いることができないばかりでなく、生成物の詳細な構
造についても不明であった。
s、 Japan 皿)、338(1988))
や、5nC11と置換ベンゾキノンとを反応させる方法
が知られている。しかし、これらの方法で得られるボリ
ャーはいずれも溶媒に不溶であり、ポリマー材料として
用いることができないばかりでなく、生成物の詳細な構
造についても不明であった。
従来、第4族金属原子を主鎖中に含む可溶性の構造の明
確なポリマーが合成されていなかったのは、生成ポリマ
ー自体が不溶性であるかまたは生成ポリマーの反応性が
高くて副反応によるゲル化を起して不溶化するためでは
ないか、と考えられていた。
確なポリマーが合成されていなかったのは、生成ポリマ
ー自体が不溶性であるかまたは生成ポリマーの反応性が
高くて副反応によるゲル化を起して不溶化するためでは
ないか、と考えられていた。
そこで本発明は、第4族金属原子を主鎖中に含むポリマ
ーが、レジスト材料、エレクトロニクス材料、接着剤そ
の他の種々の用途への利用の可能性を有することに着目
し、溶剤可溶性のポリマーを提供することを目的とした
。
ーが、レジスト材料、エレクトロニクス材料、接着剤そ
の他の種々の用途への利用の可能性を有することに着目
し、溶剤可溶性のポリマーを提供することを目的とした
。
本発明者は、前述の目的のために、従来提案されていた
第4族金属原子を主鎖中に含むポリマーが不溶性となる
原因について種々検討を行った結果、第4族金属原子に
結合する配位子に工夫を加えることにより高分子量でか
つ溶媒可溶性のポリマーが得られることを見出した。
第4族金属原子を主鎖中に含むポリマーが不溶性となる
原因について種々検討を行った結果、第4族金属原子に
結合する配位子に工夫を加えることにより高分子量でか
つ溶媒可溶性のポリマーが得られることを見出した。
すなわち、本発明の第4族金属原子を主鎖中に含む金属
含有ポリマーは、−最大: (但し、Mは第4族金属原子、XはN(SiR’R2R
’)zまたはN(R’)SiR’R”R3、R’、 R
”、 R3およびR4はアルキル基またはアリール基、
Arは(置換)フェニレン、(置換)ナフチレンまたは
(置換)アントリレン基、nは2〜5000の整数を表
す。)で示されるものであり、また、かかる金属含有ポ
リマーは、−最大: (但し、Mは第4族金属原子、XはN(SiR’R”R
3) !またはNCR’)SiR’R”R″、R’、
R”、 R’オヨびR4ハアルキル基またはアリール基
を表す。)で示される化合物を還元剤モノマーとし、(
W換)ベンゾキノン類、(置換)ナフトキノン類、(置
換)アントラキノン類を酸化剤モノマーとして酸化還元
交互共重合を行うことによって製造できる。
含有ポリマーは、−最大: (但し、Mは第4族金属原子、XはN(SiR’R2R
’)zまたはN(R’)SiR’R”R3、R’、 R
”、 R3およびR4はアルキル基またはアリール基、
Arは(置換)フェニレン、(置換)ナフチレンまたは
(置換)アントリレン基、nは2〜5000の整数を表
す。)で示されるものであり、また、かかる金属含有ポ
リマーは、−最大: (但し、Mは第4族金属原子、XはN(SiR’R”R
3) !またはNCR’)SiR’R”R″、R’、
R”、 R’オヨびR4ハアルキル基またはアリール基
を表す。)で示される化合物を還元剤モノマーとし、(
W換)ベンゾキノン類、(置換)ナフトキノン類、(置
換)アントラキノン類を酸化剤モノマーとして酸化還元
交互共重合を行うことによって製造できる。
本発明において、第4族金属原子とはシリコン、ゲルマ
ニウム、錫および鉛であり、またシリコン原子に結合す
るR1. R1,Q3や、窒素原子に結合するR4とし
ては、鈷〜C2゜のアルキル基またはアリール基を挙げ
ることができる。
ニウム、錫および鉛であり、またシリコン原子に結合す
るR1. R1,Q3や、窒素原子に結合するR4とし
ては、鈷〜C2゜のアルキル基またはアリール基を挙げ
ることができる。
また、酸化剤モノマーとして用いられる(置換)ベンゾ
キノン類、(置換)ナフトキノン類、(置換)アントラ
キノン類としては、それぞれベンゾキノン、ナフトキノ
ン、アントラキノン、ならびにこれらのアルキル、アリ
ール、ハロゲン、ニトリル置換体などを挙げることがで
きる。
キノン類、(置換)ナフトキノン類、(置換)アントラ
キノン類としては、それぞれベンゾキノン、ナフトキノ
ン、アントラキノン、ならびにこれらのアルキル、アリ
ール、ハロゲン、ニトリル置換体などを挙げることがで
きる。
本発明において、前記の還元剤モノマーと酸化剤モノマ
ーとの反応は、開始剤や触媒を用い、または用いないで
、酸化剤モノマーと還元剤モノマーを混合することによ
って行うことができ、この時溶剤としてトルエン、ベン
ゼンのような芳香族溶媒やテトラヒドロフランのような
エーテル系の溶媒などを用いることができる。反応温度
は通常−100℃〜100℃、好ましくは一78℃〜5
0℃である。
ーとの反応は、開始剤や触媒を用い、または用いないで
、酸化剤モノマーと還元剤モノマーを混合することによ
って行うことができ、この時溶剤としてトルエン、ベン
ゼンのような芳香族溶媒やテトラヒドロフランのような
エーテル系の溶媒などを用いることができる。反応温度
は通常−100℃〜100℃、好ましくは一78℃〜5
0℃である。
本発明の新規な金属含有ポリマーは、本質的に金属原子
と芳香族環とが酸素原子を介して交互に連結したポリマ
ーであり、重合度が300以上にも及ぶ高分子でありな
がら溶剤可溶であって、フィルムキャスト法により透明
なシートを得ることができ、紫外線や電子線等に対し感
度を有するレジスト材料、半導体等のエレクトロニクス
材料、接着剤、傾斜材料等への利用などが期待できるも
のである。
と芳香族環とが酸素原子を介して交互に連結したポリマ
ーであり、重合度が300以上にも及ぶ高分子でありな
がら溶剤可溶であって、フィルムキャスト法により透明
なシートを得ることができ、紫外線や電子線等に対し感
度を有するレジスト材料、半導体等のエレクトロニクス
材料、接着剤、傾斜材料等への利用などが期待できるも
のである。
〔実施例1〕
ビス〔ビス(トリメチルシリル)アミド〕スズ(■)(
以下、モノマーAという)1.160g(2、64++
usol)を含む2−のトルエン溶液を一42℃に冷却
し、p−ベンゾキノン0.271 g (2,51m5
+ol)を含む5−のトルエン溶液を滴下し、42℃で
30分撹拌し、さらに室温で18時間撹拌したのち濃縮
し、真空乾燥した。収量は定量的であったり ’H−NMR(CDCli ): 60.25(s、SiMes、36H)、6.83(b
r、Ar、4)1)”C−NMR(CDCIll ): 65.31 (SiMe=)、120.45 (=C)
l−)、152.11 (0−C)I R(KB r)
cm−’ : 2945.1501.1251.1089.973.8
99.856.834,751.672.518 生成ポリマーの分子量をGPC(日立655A)で測定
したところ、重量平均分子量は4900以上であり、M
w/Mn=2.1であった。
以下、モノマーAという)1.160g(2、64++
usol)を含む2−のトルエン溶液を一42℃に冷却
し、p−ベンゾキノン0.271 g (2,51m5
+ol)を含む5−のトルエン溶液を滴下し、42℃で
30分撹拌し、さらに室温で18時間撹拌したのち濃縮
し、真空乾燥した。収量は定量的であったり ’H−NMR(CDCli ): 60.25(s、SiMes、36H)、6.83(b
r、Ar、4)1)”C−NMR(CDCIll ): 65.31 (SiMe=)、120.45 (=C)
l−)、152.11 (0−C)I R(KB r)
cm−’ : 2945.1501.1251.1089.973.8
99.856.834,751.672.518 生成ポリマーの分子量をGPC(日立655A)で測定
したところ、重量平均分子量は4900以上であり、M
w/Mn=2.1であった。
生成ポリマーはヘキサン、ベンゼン、トルエン、クロロ
ホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセトン、ア
セトニトリルに不?容であった。
ホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセトン、ア
セトニトリルに不?容であった。
〔実施例2〕
七ツマ−A 0.898 g (2,04nnol)を
含む2dのトルエン溶液を一42゛Cに冷却し、2.5
−ジ−t−ブチル−p−ベンゾキノン0.449g(2
、04mmol)を含む6−のトルエン溶液を滴下し、
−42℃で1時間撹拌し、さらに室温で3時間撹拌した
のち濃縮し、真空乾燥した。収量は定量的であった。
含む2dのトルエン溶液を一42゛Cに冷却し、2.5
−ジ−t−ブチル−p−ベンゾキノン0.449g(2
、04mmol)を含む6−のトルエン溶液を滴下し、
−42℃で1時間撹拌し、さらに室温で3時間撹拌した
のち濃縮し、真空乾燥した。収量は定量的であった。
’)!−NMR(CDCl2 ):
60.28(s、StMe*、36H)、1.26(b
r、MezC,1810,6,56(br、=Cl1−
.211)”C−NMR(CDC13): 66.33(SiMe+) 、30.93(MezC)
、34.578(1’1e3G) 。
r、MezC,1810,6,56(br、=Cl1−
.211)”C−NMR(CDC13): 66.33(SiMe+) 、30.93(MezC)
、34.578(1’1e3G) 。
121.30(=CF!−)、136.10(=C−B
u)、150.05(0−C)I R(KB r) c
s−” : 2945.1479.1354.1251.1192.
850元素分析: C46,98(47,33)、H8,73(8,56)
、N 4.IR4,25)なお、()内の値は交互重合
体であるとして計算した値である。
u)、150.05(0−C)I R(KB r) c
s−” : 2945.1479.1354.1251.1192.
850元素分析: C46,98(47,33)、H8,73(8,56)
、N 4.IR4,25)なお、()内の値は交互重合
体であるとして計算した値である。
GPCによる重量平均分子量は62.000であった。
生成ポリマーはヘキサン、ベンゼン、1−ルエン、クロ
ロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセトン、
アセトニトリル 〔実施例3〕 七ツマ−A 1. 2 0 4 g (2. 7 4n
nol)を含む5艷のトルエン溶液を一42℃に冷却し
、2,5ジーt−アミル−p−ベンゾキノン0.630
g(2、 7 4 mmol)を含む6−のトルエン溶
液を滴下し、42°Cで15分撹拌し、さらに室温で1
時間撹拌したのち濃縮し、真空乾燥した。収量は定量的
であった。
ロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセトン、
アセトニトリル 〔実施例3〕 七ツマ−A 1. 2 0 4 g (2. 7 4n
nol)を含む5艷のトルエン溶液を一42℃に冷却し
、2,5ジーt−アミル−p−ベンゾキノン0.630
g(2、 7 4 mmol)を含む6−のトルエン溶
液を滴下し、42°Cで15分撹拌し、さらに室温で1
時間撹拌したのち濃縮し、真空乾燥した。収量は定量的
であった。
’H NMR (CDC I3 ):60、28(s
,SiMex,36H)、0.70(m,MeCIb,
611)、1、21(br,MezC,12H)、1.
77(m,MeCL,4日)、6、44(br,=CH
−、2H) 13C−NMR (CDC l:+ ’):6 6、3
3(SiMea)、9.75(MeCHz) 、27.
97(MetC)、33、84 (MeCIIz) 、
38. 11 (MezC) 、 121. 65 (
=CH−)、135、25(=夏Amyl) 、 15
0.06 (0−C)IR(KBr)1柑: 2950、1475.1380.1351.1249、
1193、1116.855、GPCによる重量平均分
子量は110.000であり、M w / M nは2
.8であった。
,SiMex,36H)、0.70(m,MeCIb,
611)、1、21(br,MezC,12H)、1.
77(m,MeCL,4日)、6、44(br,=CH
−、2H) 13C−NMR (CDC l:+ ’):6 6、3
3(SiMea)、9.75(MeCHz) 、27.
97(MetC)、33、84 (MeCIIz) 、
38. 11 (MezC) 、 121. 65 (
=CH−)、135、25(=夏Amyl) 、 15
0.06 (0−C)IR(KBr)1柑: 2950、1475.1380.1351.1249、
1193、1116.855、GPCによる重量平均分
子量は110.000であり、M w / M nは2
.8であった。
生成ポリマーはヘキサン、ベンゼン、トルエン、クロロ
ホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセトン、ア
セトニトリルに不)容であった。
ホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセトン、ア
セトニトリルに不)容であった。
〔実施例4〕
モノマーA0.7 1 0 g (1.6 2nnol
)を含む2dのトルエン溶液を一42℃に冷却し、1,
4ナフトキノン0.2 5 5 g (1.6 1nn
ol)を含む2−のトルエン溶液を滴下し、−42℃で
30分撹拌し、さらに室温で12時間撹拌したのち濃縮
し、真空乾燥した。収量は定量的であった。
)を含む2dのトルエン溶液を一42℃に冷却し、1,
4ナフトキノン0.2 5 5 g (1.6 1nn
ol)を含む2−のトルエン溶液を滴下し、−42℃で
30分撹拌し、さらに室温で12時間撹拌したのち濃縮
し、真空乾燥した。収量は定量的であった。
’H−NMR (CDCI,):
60、30(s+SiMe+136H)、7−20、8
.20(br,Ar,611)lコH−NMR (C
DC1.) :65、48(SiMez)、111.
97(=CH−)、123.24、124、83、12
9. 16(Ar)、147.95(0−C)f R
(KB r) cta−’ :1582、1374.
1264. 1224、1071,1008.834.
769、722、663 生成ポリマーは、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、クロ
ロホルム、ジエチルエーテル リ、アセトン、アセトニトリルに不溶であった。
.20(br,Ar,611)lコH−NMR (C
DC1.) :65、48(SiMez)、111.
97(=CH−)、123.24、124、83、12
9. 16(Ar)、147.95(0−C)f R
(KB r) cta−’ :1582、1374.
1264. 1224、1071,1008.834.
769、722、663 生成ポリマーは、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、クロ
ロホルム、ジエチルエーテル リ、アセトン、アセトニトリルに不溶であった。
〔実施例5〕
ビス〔ビス(トリメチルシリル)アミド〕ゲルマニウム
(■) (以下、七ツマ−Bという)0.891 g
(2,26ms+ol)を含む2−のトルエン溶液を一
78℃に冷却し、p−ベンゾキノン0.250g (2
,31m5ol)を含む5mのトルエン溶液を滴下し、
−78℃で4時間撹拌し、さらに室温で20時間撹拌し
た。生成物を100−のアセトン中で沈殿させ、遠心分
離により上澄み液を除去し、真空乾燥した。収量は0.
974g(収率84%)であった。
(■) (以下、七ツマ−Bという)0.891 g
(2,26ms+ol)を含む2−のトルエン溶液を一
78℃に冷却し、p−ベンゾキノン0.250g (2
,31m5ol)を含む5mのトルエン溶液を滴下し、
−78℃で4時間撹拌し、さらに室温で20時間撹拌し
た。生成物を100−のアセトン中で沈殿させ、遠心分
離により上澄み液を除去し、真空乾燥した。収量は0.
974g(収率84%)であった。
’HNMR(CDC13):
60.25(s、siMes、36H)、6.92(b
r、Ar、4H)”C−NMR(CDC13’): δ5.54(SiMes)、120.85(=CH−)
、150.12(0−C)I R(KB r) ell
−’ : 2090.1493.1254.1201,873.8
41生成ポリマーのGPCによる重量平均分子量は97
.000であり、M w / M nは2.4であった
。
r、Ar、4H)”C−NMR(CDC13’): δ5.54(SiMes)、120.85(=CH−)
、150.12(0−C)I R(KB r) ell
−’ : 2090.1493.1254.1201,873.8
41生成ポリマーのGPCによる重量平均分子量は97
.000であり、M w / M nは2.4であった
。
生成ポリマーはヘキサン、ベンゼン、トルエン、クロロ
ホルム、ジエチルエーテル アセトン、アセトニトリルに不?容であった。
ホルム、ジエチルエーテル アセトン、アセトニトリルに不?容であった。
〔実施例6〕
モノマー80.9 0 7 g (2.3 1mmol
)を含む2艷のトルエン溶液を一78℃に冷却し、2.
5−ジーt−ブチル−p−ベンゾキノン0.511g(
2、 3 2 mmol)を含む5−のトルエン溶液を
滴下し、−78℃で4時間撹拌し、さらに室温で20時
間撹拌した。生成物を100−のアセトン中で沈殿させ
、遠心分離により上澄み液を除去し、真空乾燥した。収
量は1.007g(収率71%)であった。
)を含む2艷のトルエン溶液を一78℃に冷却し、2.
5−ジーt−ブチル−p−ベンゾキノン0.511g(
2、 3 2 mmol)を含む5−のトルエン溶液を
滴下し、−78℃で4時間撹拌し、さらに室温で20時
間撹拌した。生成物を100−のアセトン中で沈殿させ
、遠心分離により上澄み液を除去し、真空乾燥した。収
量は1.007g(収率71%)であった。
’H NMR (CDC 13 ) :6 0
、29(s.siMez.36H)、0.94,L52
(br,Me:+C18H)、6.78(br.=CH
−、211)”C−NMR (CDCI,) :δ
6.85(SiMez) 、31.56(Me:+C)
、34.81 (MezC)、121、69(=CH
−)、136.22(=C4!u)、150.75(0
−C)IR (KBr)elm−’: 2950、1480、1357、1255、1101、
1115.849,757,671生成ポリマーのGP
Cによる重量平均分子量は31、000であり、M w
/ M nは1.6であった。
、29(s.siMez.36H)、0.94,L52
(br,Me:+C18H)、6.78(br.=CH
−、211)”C−NMR (CDCI,) :δ
6.85(SiMez) 、31.56(Me:+C)
、34.81 (MezC)、121、69(=CH
−)、136.22(=C4!u)、150.75(0
−C)IR (KBr)elm−’: 2950、1480、1357、1255、1101、
1115.849,757,671生成ポリマーのGP
Cによる重量平均分子量は31、000であり、M w
/ M nは1.6であった。
また生成ポリマーは、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、
クロロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセト
ン、アセトニトリルに不溶であった。
クロロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセト
ン、アセトニトリルに不溶であった。
〔実施例7〕
モノマー80.6 0 5 g (1.5 4mmol
)を含む3−のトルエン溶液を一78℃に冷却し、2.
5−ジクロロ−p−ベンゾキノン0.4 1 2 g
(2.3 3mmo l )を含む12−のトルエン溶
液を滴下し、78℃で5時間撹拌し、さらに室温で21
時間撹拌した。生成物を100−のアセトン中で沈殿さ
せ、遠心分離により上澄み液を除去し、真空乾燥した。
)を含む3−のトルエン溶液を一78℃に冷却し、2.
5−ジクロロ−p−ベンゾキノン0.4 1 2 g
(2.3 3mmo l )を含む12−のトルエン溶
液を滴下し、78℃で5時間撹拌し、さらに室温で21
時間撹拌した。生成物を100−のアセトン中で沈殿さ
せ、遠心分離により上澄み液を除去し、真空乾燥した。
収量は0.578g(収率65,8%)であった。
’H NMR (CDC ls ) :60
、29(s,SiMez,36H)、7.59(br,
=CH−、211)13C NMR (CDC
Iz ) :6 5、37(SiMez)、122
. 21 (=C11−)、145.90(0−C)I
R (KB r) ca−’ :1464、13
56、1249、1194,1077、849.759
生成ポリマーのGPCによる重量平均分子量は65、0
00であり、M w / M nは2.3であった。
、29(s,SiMez,36H)、7.59(br,
=CH−、211)13C NMR (CDC
Iz ) :6 5、37(SiMez)、122
. 21 (=C11−)、145.90(0−C)I
R (KB r) ca−’ :1464、13
56、1249、1194,1077、849.759
生成ポリマーのGPCによる重量平均分子量は65、0
00であり、M w / M nは2.3であった。
また生成ポリマーは、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、
クロロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセト
ン、アセトニトリルに不溶であった。
クロロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセト
ン、アセトニトリルに不溶であった。
〔実施例8〕
モノマー80.6 3 0 g (1.6 0mmol
)と2.5−ジフェニル−p−ベンゾキノン0.399
g(1。
)と2.5−ジフェニル−p−ベンゾキノン0.399
g(1。
53mmol)を混合し、−78℃に冷却し、5 ml
のトルエンを加えて一78℃で2時間撹拌し、さらに室
温で20時間撹拌した。不溶物を濾過して除却したのち
100−のアセトン中で生成物を沈殿させ、遠心分離に
より上澄み液を除去し、真空乾燥した。収量は0.52
2g(収率53%)であった。
のトルエンを加えて一78℃で2時間撹拌し、さらに室
温で20時間撹拌した。不溶物を濾過して除却したのち
100−のアセトン中で生成物を沈殿させ、遠心分離に
より上澄み液を除去し、真空乾燥した。収量は0.52
2g(収率53%)であった。
’H−NMR (CDCI3 ) :60.02(
s、SiMea、368)、6.97(sh、=cH−
,2)1)、7.12(1)r、Ph、LOH) ’CNMR(CDC13) : 65.37(SiMez)、123.85 (=C11
−)、127.84.130.47.131.50.1
38.96(Ar)、146.59(、C−Ph) IR(KBr)’cm −1= 1502.1469.1371.1248.1179.
849.753生成ポリマーの’、r P Cによる重
量平均分子量は、64.000であり、MW/Mnは2
.3であった。
s、SiMea、368)、6.97(sh、=cH−
,2)1)、7.12(1)r、Ph、LOH) ’CNMR(CDC13) : 65.37(SiMez)、123.85 (=C11
−)、127.84.130.47.131.50.1
38.96(Ar)、146.59(、C−Ph) IR(KBr)’cm −1= 1502.1469.1371.1248.1179.
849.753生成ポリマーの’、r P Cによる重
量平均分子量は、64.000であり、MW/Mnは2
.3であった。
また、生成ポリマーは、ヘキサン、ベンゼン、トルエン
、クロロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセ
トン、アセトニトリルに不溶であった。
、クロロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセ
トン、アセトニトリルに不溶であった。
〔実施例9〕
モノマー80.789 g (2,01+mol)を含
む3−のトルエン溶液を一78℃に冷却し、1,4ナフ
(・キノン0.254 g (1,61mmol)を含
む6艷のトルエン溶液を滴下し、−78℃で3時間撹拌
し、さらに室温で9時間撹拌した。生成物を100rn
1のアセトン中で沈殿させ、遠心分離により上澄み液を
除去し、真空乾燥した。収量は0.815g(収率91
.8%)であった。
む3−のトルエン溶液を一78℃に冷却し、1,4ナフ
(・キノン0.254 g (1,61mmol)を含
む6艷のトルエン溶液を滴下し、−78℃で3時間撹拌
し、さらに室温で9時間撹拌した。生成物を100rn
1のアセトン中で沈殿させ、遠心分離により上澄み液を
除去し、真空乾燥した。収量は0.815g(収率91
.8%)であった。
’H−NMR(CDClz ):
δ 0.31(s、siMez、36旧、7.06.7
.40.8.LO(br。
.40.8.LO(br。
Ar、6H)
”CNMR(CDCI3 ):
65.71(SiMe:i)、112.59.123.
18.124.89.128.71 (Ar)、146
.19 (0−C)IR(KB r) cm−’ : 1504、1448.1373.1256.1223.
1063.907.869生成ポリマーのGPCによる
重量平均分子量は360.000であり、M w /
M n = 2.2であった。
18.124.89.128.71 (Ar)、146
.19 (0−C)IR(KB r) cm−’ : 1504、1448.1373.1256.1223.
1063.907.869生成ポリマーのGPCによる
重量平均分子量は360.000であり、M w /
M n = 2.2であった。
また生成ポリマーはヘキサン、ベンゼン、トルエン、ク
ロロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセトン
、アセトニトリルに不溶であった。
ロロホルム、ジエチルエーテルに可溶であり、アセトン
、アセトニトリルに不溶であった。
〔実施例10〕
反応温度を0℃とした以外は実施例5と同様の方法で重
合を行なった。
合を行なった。
収率は90%であり、生成ポリマーのGPCによる重量
平均分子量はao、oooであり、M w / M n
は2.2であった。
平均分子量はao、oooであり、M w / M n
は2.2であった。
また、生成ポリマーの溶解性は実施例5と同様であった
。
。
本発明の金属含有ポリマーは、高重合度の交互共重合体
であって溶剤可溶であり、レジスト材料、電子材料、接
着剤、傾斜材料等の機能性材料への利用の途を開くもの
である。
であって溶剤可溶であり、レジスト材料、電子材料、接
着剤、傾斜材料等の機能性材料への利用の途を開くもの
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)一般式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (但し、Mは第4族金属原子、XはN(SiR^1R^
2R^3)_2またはN(R^4)SiR^1R^2R
^3、R^1、R^2、R^3およびR^4はアルキル
基またはアリール基、Arは(置換)フェニレン、(置
換)ナフチレンまたは(置換)アンドリレン基、nは2
〜5000の整数を表す。) で示される金属含有ポリマー。 (2)一般式: MX_2 (但し、Mは第4族金属原子、XはH(SiR^1R^
2R^3)_2またはN(R^4)SiR^1R^2R
^3、R^1、R^2、R^3およびR^4はアルキル
基またはアリール基を表す。)で示される化合物を還元
剤モノマーとし、(置換)ベンゾキノン類、(置換)ナ
フトキノン類、(置換)アントラキノン類を酸化剤モノ
マーとして酸化還元交互共重合を行うことを特徴とする
、請求項(1)記載の金属含有ポリマーの製法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1098695A JPH02279728A (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 金属含有ポリマーおよびその製法 |
US07/498,501 US5026887A (en) | 1989-04-20 | 1990-03-26 | Metal-containing polymer and production process thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1098695A JPH02279728A (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 金属含有ポリマーおよびその製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02279728A true JPH02279728A (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=14226641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1098695A Pending JPH02279728A (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 金属含有ポリマーおよびその製法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5026887A (ja) |
JP (1) | JPH02279728A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5157136A (en) * | 1991-04-09 | 1992-10-20 | Regents Of The University Of California | Single-source metalloorganic precursors to produce ii/vi materials |
US5359105A (en) * | 1993-11-01 | 1994-10-25 | Albemarle Corporation | Deprotonation of cyclopentadienyl derivatives |
CN103641852B (zh) * | 2013-12-04 | 2017-04-12 | 西安近代化学研究所 | 1,4,5,8‑四羟基蒽醌铅化合物及其制备方法和应用 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4058400A (en) * | 1974-05-02 | 1977-11-15 | General Electric Company | Cationically polymerizable compositions containing group VIa onium salts |
US4260552A (en) * | 1974-12-26 | 1981-04-07 | Uniroyal, Inc. | Tetrasubstituted organotin compounds |
US4119614A (en) * | 1977-12-22 | 1978-10-10 | Monsanto Company | Process for making polyester polymer |
JPS6156190A (ja) * | 1984-07-19 | 1986-03-20 | Sumitomo Chem Co Ltd | トリ有機錫シラトラン誘導体、その製造法およびそれを有効成分として含有する殺虫、殺ダニ、殺菌剤 |
-
1989
- 1989-04-20 JP JP1098695A patent/JPH02279728A/ja active Pending
-
1990
- 1990-03-26 US US07/498,501 patent/US5026887A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5026887A (en) | 1991-06-25 |
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