JPH02279247A - X-y table device - Google Patents
X-y table deviceInfo
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- JPH02279247A JPH02279247A JP10108189A JP10108189A JPH02279247A JP H02279247 A JPH02279247 A JP H02279247A JP 10108189 A JP10108189 A JP 10108189A JP 10108189 A JP10108189 A JP 10108189A JP H02279247 A JPH02279247 A JP H02279247A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、テーブルを直交するＸ軸及びＹ軸の方向に移
動可能にし、該テーブルに載置した物体を２次元平面内
で所定の位置に移動させるｘ−Ｙテーブル装置に関する
。Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] The present invention enables a table to be moved in orthogonal directions of an X-axis and a Y-axis, and to move an object placed on the table to a predetermined position within a two-dimensional plane. The present invention relates to an x-y table device for moving.
テーブルを直交するＸ軸及びＹ軸の方向に移動可能にし
、該テーブルに載置した物体を２次元平面内で所定の位
置に移動させるＸ−Ｙテーブル装置は良く知られている
。公知のＸ−Ｙテーブル装置は、Ｘ方向に移動するテー
ブルとその上（あるいはその下）の側に配置したＹ方向
に移動するテーブルとから成る。2. Description of the Related Art An X-Y table device is well known in which a table is movable in orthogonal directions of an X-axis and a Y-axis, and an object placed on the table is moved to a predetermined position within a two-dimensional plane. A known X-Y table device consists of a table that moves in the X direction and a table that moves in the Y direction and is placed above (or below) the table.
上記従来のｘ−Ｙテーブル装置は、Ｘ方向に移動するテ
ーブルとＹ方向の移動するテーブルとが２没に重なり、
装置の高さがどうしても高（ならざるを得なかった。In the above-mentioned conventional x-y table device, a table moving in the X direction and a table moving in the Y direction overlap each other,
The height of the equipment was unavoidably high.
また、テーブルの上部または下部から光線を通過させる
際には、二つのテーブルの中央部およびテーブルを支え
るベース部の双方に穴をあけることが必要となるが、計
三つの穴を重複させて光を通過させることは簡単ではな
い。In addition, when transmitting light from the top or bottom of the table, it is necessary to make holes in both the center of the two tables and the base that supports the tables, but it is necessary to make holes in the center of the two tables and the base that supports the tables. It is not easy to pass.
本発明は、この点に鑑みてなされたものであり、高さを
低くして占有空間を最小限に抑えるとともに、テーブル
を通過する投光を容易にするＸ−Ｙテーブル装置を提供
することを目的とする。The present invention has been made in view of this point, and it is an object of the present invention to provide an X-Y table device that has a low height to minimize the occupied space and facilitates the projection of light passing through the table. purpose.
かかる目的を達成するため、本発明によれば、テーブル
を直交する２つの軸Ｘ及びＹの方向に移動可能にし、該
テーブルに載置した物体を２次元平面内で所定の位置に
移動させるＸ−Ｙテーブル装置であって、１台のテーブ
ルと、このテーブルのＹ方向に対向する縁部には該テー
ブルをＸ方向に移動可能に案内する第１のガイドが設け
られ、前記テーブルのＸ方向に対向する縁部にも該テー
ブルをＹ方向に移動可能に案内する第２のガイドが設け
られ、第２のガイドはＸ方向に対向する縁部の一方にお
いてテーブルをＸ方向に移動させる第１駆動機構に連結
されるとともに、他方の縁部において前記第１駆動機構
による駆動の方向とは反対の方向に弾性部材により付勢
され、第１のガイドはＹ方向に対向する縁部の一方にお
いてテーブルをＹ方向に移動させる第２駆動機構に連結
されるとともに、他方の縁部において前記第２駆動機構
による駆動の方向とは反対の方向に弾性部材により付勢
されていることを特徴とするＸ−Ｙテーブル装置が提供
される。In order to achieve such an object, according to the present invention, a table is movable in the directions of two orthogonal axes X and Y, and an object placed on the table is moved to a predetermined position within a two-dimensional plane. - A Y-table device, which includes one table and a first guide provided at an edge of the table facing in the Y direction to guide the table so as to be movable in the X direction; A second guide for movably guiding the table in the Y direction is also provided at the edge opposite to the first guide, and the second guide is provided at one edge opposite to the first guide for moving the table in the X direction. The first guide is connected to a drive mechanism and is urged by an elastic member at the other edge in a direction opposite to the direction of drive by the first drive mechanism, and the first guide is at one edge facing in the Y direction. The table is connected to a second drive mechanism that moves the table in the Y direction, and is biased by an elastic member at the other edge in a direction opposite to the direction of drive by the second drive mechanism. An X-Y table apparatus is provided.
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説
明する。第１図及び第２図を参照すると、本発明のＸ−
Ｙテーブル装置・１では、テーブル２が１台しかない。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Referring to FIGS. 1 and 2, the X-
In the Y table device 1, there is only one table 2.
そして、このテーブル２に対しては、第１図に示すＸ方
向及びＹ方向に移動させる機構が設けられている。すな
わち、テーブル２のＹ方向に対向する縁部３．３には、
テーブル２をＸ方向に移動させる第１のガイド４．４が
設けられている。また、テーブル２のＸ方向に対向する
縁部５．５にも、テーブル２をＹ方向に移動させる第２
のガイド６．６が設けられている。A mechanism for moving the table 2 in the X and Y directions shown in FIG. 1 is provided. That is, on the edge 3.3 of the table 2 facing in the Y direction,
A first guide 4.4 is provided for moving the table 2 in the X direction. Also, on the edge 5.5 of the table 2 facing in the X direction, a second
A guide 6.6 is provided.
これらのガイド４及び６はそれぞれ、第１図及び第２図
に図示のように、枠７とボール８とによって構成するこ
とができる。特に、枠７はテーブル２の縁部との間でボ
ール８を支持するように形成されていてテーブル２の移
動を滑らかにする。These guides 4 and 6 can each be constituted by a frame 7 and a ball 8, as shown in FIGS. 1 and 2, respectively. Particularly, the frame 7 is formed to support the ball 8 between the frame 7 and the edge of the table 2, so that the table 2 can move smoothly.
また、第２のガイド６．６にはテーブル２をＸ方向に移
動させる第１の駆動機構９が連結されている。更に詳し
くは、ガイド６を構成する枠７及び７には、移動方向に
沿って各方向に延びるシャフト１０及び１１が連結され
ている。Further, a first drive mechanism 9 for moving the table 2 in the X direction is connected to the second guide 6.6. More specifically, the frames 7 and 7 constituting the guide 6 are connected to shafts 10 and 11 that extend in each direction along the moving direction.
一方のシャフト１０には直線的な運動を成すリニア・ア
クチエータ１２が連結され、テーブル２を第１図及び第
２図の右側に押し込むように駆動する。また、他方のシ
ャフト１１にばばね１３等の手段が設けられ、押し込ま
れたシャフト１１を左側に戻すように付勢している。ま
た、第２図に明らかなように、テーブル２をＸ方向に駆
動するため、リニア・アクチエータ１２に連結されたシ
ャフト１０を移動自在に支持するとともに、ばね１３に
連結されたシャフト１１を移動可能に支持するベース部
材１４が設けられている。更に詳しくは、ベース部材１
４にはシャフト１０を移動可能に支持するベアリング部
１５とシャフト１１を移動可能に支持するベアリング部
１６とを備えており、テーブル２をリニア・アクチエー
タ１２の駆動によってＸ方向に移動可能に支持している
。A linear actuator 12 that performs linear motion is connected to one shaft 10, and drives the table 2 so as to push it to the right side in FIGS. 1 and 2. Moreover, means such as a spring 13 is provided on the other shaft 11 to bias the pushed shaft 11 back to the left side. As is clear from FIG. 2, in order to drive the table 2 in the X direction, the shaft 10 connected to the linear actuator 12 is movably supported, and the shaft 11 connected to the spring 13 is movable. A base member 14 is provided for support. More specifically, base member 1
4 includes a bearing part 15 that movably supports the shaft 10 and a bearing part 16 that movably supports the shaft 11, and supports the table 2 movably in the X direction by driving the linear actuator 12. ing.
第１のガイド４．４は、上記の第１駆動機構９と同様に
、テーブル２をＹ方向に移動させる第２の駆動機構に連
結されている。すなわち、テーブル２には、各枠７の部
分にシャフト２０及び２１が連結され、一方のシャフト
２０にはリニア・アクチエータ２２が連結され、他方の
シャフト２１にはばね（図示せず）が設けられ、これに
より、リニア・アクチエータ２２によって第１図の上側
に押し込まれたシャフト２１を下側に戻すように付勢す
る。また、テーブル２を移動可能に支持するために、リ
ニア・アクチエータ２２に連結されたシャフト２０を移
動自在に支持するベアリング部２５とシャフト２１を移
動可能に支持するベアリング部２６とが設けられている
。The first guide 4.4 is connected to a second drive mechanism which moves the table 2 in the Y direction, similar to the first drive mechanism 9 described above. That is, shafts 20 and 21 are connected to each frame 7 of the table 2, a linear actuator 22 is connected to one shaft 20, and a spring (not shown) is provided to the other shaft 21. , thereby urging the shaft 21, which has been pushed upward in FIG. 1 by the linear actuator 22, back downward. Further, in order to movably support the table 2, a bearing part 25 which movably supports the shaft 20 connected to the linear actuator 22 and a bearing part 26 which movably supports the shaft 21 are provided. .
かかる構成により、テーブル２は、リニア・アクチエー
タ１２及び２２の付勢によって、Ｘ方向及びＹ方向の所
定の位置に移動でき、リニア・アクチエータ１２及び２
２の付勢を解除すれば、ばね１３等の弾性力を受けて反
対方向に移動できる。With this configuration, the table 2 can be moved to a predetermined position in the X direction and the Y direction by the biasing of the linear actuators 12 and 22.
If the biasing force of 2 is released, it can move in the opposite direction under the elastic force of the spring 13 and the like.
従って、テーブル２の上に載置した物体を所定の位置に
配置できる。Therefore, the object placed on the table 2 can be placed at a predetermined position.
なお、上記の実施例はテーブル２をＸ方向及びＹ方向に
移動させる機構の１例を開示するものであって、かかる
具体的な例に限定するものではない。例えば、ガイドを
レール部材で構成してもよく、あり溝等によって案内す
るものであってもよい。また、テーブルの駆動手段も直
線運動を生じさせるものであれば、ラック機構等であっ
てもよい。Note that the above embodiment discloses one example of a mechanism for moving the table 2 in the X direction and the Y direction, and is not limited to this specific example. For example, the guide may be composed of a rail member, or may be guided by a dovetail groove or the like. Furthermore, the driving means for the table may be a rack mechanism or the like as long as it causes linear movement.
本発明のＸ−Ｙテーブル装置によれば、１台のテーブル
と、このテーブルのＹ方向に対向する縁部には該テーブ
ルをＸ方向に移動させる第１のガイドが設けられ、前記
テーブルのＸ方向に対向する縁部にも該テーブルをＹ方
向に移動させる第２のガイドが設けられ、第２のガイド
はテーブルをＸ方向に移動させる第１駆動機構に連結さ
れ、第１のガイドはテーブルをＹ方向に移動させる第２
駆肋機構に連結されているので、Ｘ−Ｙテーブル装置の
高さが低くなり、占有空間を小さくすることができる。According to the X-Y table device of the present invention, one table is provided, and a first guide for moving the table in the X direction is provided at the edge of the table facing in the Y direction, and the first guide for moving the table in the A second guide for moving the table in the Y direction is also provided at the edge opposite to the direction, the second guide is connected to a first drive mechanism for moving the table in the X direction, and the first guide is connected to the first drive mechanism for moving the table in the X direction. The second one to move in the Y direction
Since it is connected to the driving rib mechanism, the height of the X-Y table device is reduced, and the space it occupies can be reduced.
さらに、Ｘ−Ｙテーブルは一つだけであるので、テーブ
ル下部の構造を簡単にすることができ、ベース部材およ
びテーブル中央に当てをあけ、テーブル下部または上部
から光を通過させることが簡単に実施できる。Furthermore, since there is only one X-Y table, the structure of the lower part of the table can be simplified, and by making a hole in the base member and the center of the table, it is easy to pass light from the lower part or the upper part of the table. can.
第１図は本発明に係るＸ−Ｙテーブル装置の平面図、第
２図は■−■線に沿った断面図である。
〔符号の説明〕
１・・・・・・ｘ−Ｙテーブル装置
２・・・・・・Ｘ−Ｙテーブル
３・・・・・・Ｙ方向に対向する縁部
４・・・・・・第１ガイド
５・・・・・・Ｘ方向に対向する縁部
６・・・・・・第２ガイド
７・・・・・・枠
８・・・・・・ボール
９・・・・・・第一駆動機構
０．１１・・・・・・シャフト
２・・・・・・リニア・アクチエータ
３・・・・・・ばね
４・・・・・・ベース部材
５．１６・・・・・・ベアリング部
０．２１・・・・・・シャフト
２・・・・・・リニア・アクチエータ
５．２６・・・・・・ベアリング部FIG. 1 is a plan view of the X-Y table device according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line -■. [Explanation of symbols] 1...X-Y table device 2...X-Y table 3...Edge 4 facing in the Y direction...No. 1 Guide 5...Edge facing in the X direction 6...Second guide 7...Frame 8...Ball 9...No. - Drive mechanism 0.11...Shaft 2...Linear actuator 3...Spring 4...Base member 5.16...Bearing Part 0.21...Shaft 2...Linear actuator 5.26...Bearing part
Claims (1)
にし、該テーブルに載置した物体を２次元平面内で所定
の位置に移動させるＸ−Ｙテーブル装置において、 １台のテーブルと、このテーブルのＹ方向に対向する縁
部には該テーブルをＸ方向に移動可能に案内する第１の
ガイドが設けられ、前記テーブルのＸ方向に対向する縁
部にも該テーブルをＹ方向に移動可能に案内する第２の
ガイドが設けられ、第２のガイドはＸ方向に対向する縁
部の一方においてテーブルをＸ方向に移動させる第１駆
動機構に連結されるとともに、他方の縁部において前記
第１駆動機構による駆動の方向とは反対の方向に弾性部
材により付勢され、第１のガイドはＹ方向に対向する縁
部の一方においてテーブルをＹ方向に移動させる第２駆
動機構に連結されるとともに、他方の縁部において前記
第２駆動機構による駆動の方向とは反対の方向に弾性部
材により付勢されていることを特徴とするＸ−Ｙテーブ
ル装置。[Scope of Claims] An X-Y table device that enables a table to move in two orthogonal axes X and Y, and moves an object placed on the table to a predetermined position within a two-dimensional plane, comprising: 1 A first guide for movably guiding the table in the X direction is provided at the edge of the table facing the Y direction, and a first guide is provided at the edge of the table facing the X direction. A second guide is provided for movably guiding the table in the Y direction, and the second guide is connected to the first drive mechanism for moving the table in the X direction at one of the edges facing in the X direction, and the second guide is connected to the first drive mechanism for moving the table in the X direction, and The first guide is biased by an elastic member at the edge in a direction opposite to the driving direction by the first drive mechanism, and the first guide moves the table in the Y direction at one of the edges opposite to the Y direction. An X-Y table device, characterized in that it is connected to a drive mechanism and is biased at the other edge by an elastic member in a direction opposite to the direction of drive by the second drive mechanism.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10108189A JP2883628B2 (en) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | XY table device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10108189A JP2883628B2 (en) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | XY table device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02279247A true JPH02279247A (en) | 1990-11-15 |
| JP2883628B2 JP2883628B2 (en) | 1999-04-19 |
Family
ID=14291152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10108189A Expired - Fee Related JP2883628B2 (en) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | XY table device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2883628B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0335950A (en) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Myotoku Kk | Moving table device |
-
1989
- 1989-04-20 JP JP10108189A patent/JP2883628B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0335950A (en) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Myotoku Kk | Moving table device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2883628B2 (en) | 1999-04-19 |
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