JPH02275322A - 回転体のねじり振動検出装置 - Google Patents
回転体のねじり振動検出装置Info
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- JPH02275322A JPH02275322A JP9513789A JP9513789A JPH02275322A JP H02275322 A JPH02275322 A JP H02275322A JP 9513789 A JP9513789 A JP 9513789A JP 9513789 A JP9513789 A JP 9513789A JP H02275322 A JPH02275322 A JP H02275322A
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Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は1回転体のねじり振動検出装置に係り、特に、
例えば蒸気タービン、発電機系の高次ねじり振動を高精
度に測定するのに好適な回転体のねじり振動検出装置に
関するものである。
例えば蒸気タービン、発電機系の高次ねじり振動を高精
度に測定するのに好適な回転体のねじり振動検出装置に
関するものである。
回転体のねじり振動を検出する従来の手段を第10図お
よび第11図を参照して説明する。
よび第11図を参照して説明する。
第10図および第11図は、従来の回転体のねじり振動
検出手段を説明する説明図である。
検出手段を説明する説明図である。
第10図において、1は回転体、2は回転軸、4は軸受
、11は歯車、13A、13Bは電磁ピックアップであ
る。
、11は歯車、13A、13Bは電磁ピックアップであ
る。
第10図に示す手段は、回転軸2の両端に2個の歯車1
1を取付け、それぞれ、その歯先を検出するための電磁
ピックアップ13A、13Bを設ける。それぞれのピッ
クアップ13A、13Bの出力の位相差ΔTからねじり
振動を検出するものであった。
1を取付け、それぞれ、その歯先を検出するための電磁
ピックアップ13A、13Bを設ける。それぞれのピッ
クアップ13A、13Bの出力の位相差ΔTからねじり
振動を検出するものであった。
第11図に示す手段は、回転軸2に歪ゲージ14を取り
付け、スリップリング15を介して出力を取り出し、こ
の出力を周波数分析することにより、ねじり振動を検出
するものであった。
付け、スリップリング15を介して出力を取り出し、こ
の出力を周波数分析することにより、ねじり振動を検出
するものであった。
また、前述した歯車11と電磁ピックアップ13とを利
用し、歯車11の1山1山間の速度変動からねじり振動
を検出する方法がある。
用し、歯車11の1山1山間の速度変動からねじり振動
を検出する方法がある。
ねじり振動を、凹凸を持つ被検出媒体と、光学的検出装
置とにより検出する類似の実施例としては、特願昭62
−139776号がある。
置とにより検出する類似の実施例としては、特願昭62
−139776号がある。
上記従来の技術は、低次(20土以下)のねじり振動に
ついては、十分な測定精度を有するものであった。しか
し、高次(Zoo〜2ooh以上)の振動を計測するに
は、そのねじれ角が小さい(10″″B〜l O−’r
ad)ため、歯車のピッチ誤差。
ついては、十分な測定精度を有するものであった。しか
し、高次(Zoo〜2ooh以上)の振動を計測するに
は、そのねじれ角が小さい(10″″B〜l O−’r
ad)ため、歯車のピッチ誤差。
変形等の影響がねじり振動のオーダーと同じかそれ以上
になり、真のねじり振動の解析ができなくなるというこ
とについて配慮されていなかった。
になり、真のねじり振動の解析ができなくなるというこ
とについて配慮されていなかった。
また、歪ゲージを接着する方法では、軸の剛性が大きい
ため、歪が非常に小さく、m定が困難であるという問題
があった。
ため、歪が非常に小さく、m定が困難であるという問題
があった。
一方、蒸気タービンにより発電を行う際には。
電力需要の変動により1発電機に逆相電流が流れ、回転
子の2倍の周波数トルクが発生する。この周波数トルク
(100Hzあるいは160Hz)と、軸の高次ねじり
振動、およびタージン翼との速成振動とが共振を起すと
き翼の損傷を招く危険性があり、これを避けるには、軸
の高次ねじり振動を測定することが必要となっていた。
子の2倍の周波数トルクが発生する。この周波数トルク
(100Hzあるいは160Hz)と、軸の高次ねじり
振動、およびタージン翼との速成振動とが共振を起すと
き翼の損傷を招く危険性があり、これを避けるには、軸
の高次ねじり振動を測定することが必要となっていた。
本発明は、上記従来沢術における課題を解決するために
なされたもので、回転体の高次のねじり振動を高精度に
検出することの可能な回転体のねじり振動検出装置を提
供することを、その目的とするものである。
なされたもので、回転体の高次のねじり振動を高精度に
検出することの可能な回転体のねじり振動検出装置を提
供することを、その目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明に係る回転体のねじ
り振動検出装置の構成は、回転体の端面に取付けられ、
その回転中心から放射状に多数の凸部が形成された被検
出媒体円盤と、この被検出媒体円盤にレーザ光を照射し
、その反射光量の変化により前記凸部を検出する光学的
検出器と、この光学的検出器からの信号を増幅・および
波形整形するアンプ部と、その信号成分から振動成分を
取り出す復調器と、からなるものである。
り振動検出装置の構成は、回転体の端面に取付けられ、
その回転中心から放射状に多数の凸部が形成された被検
出媒体円盤と、この被検出媒体円盤にレーザ光を照射し
、その反射光量の変化により前記凸部を検出する光学的
検出器と、この光学的検出器からの信号を増幅・および
波形整形するアンプ部と、その信号成分から振動成分を
取り出す復調器と、からなるものである。
より詳しく、上記目的を達成するための技術的手段につ
いて説明する。
いて説明する。
第2図に示すような、微小で、かつ均一なピッチの凸部
を表面に形成した円盤を、同転体の端部に装着する。こ
こで凸部の高さはレーザ光の波長の約174とする。
を表面に形成した円盤を、同転体の端部に装着する。こ
こで凸部の高さはレーザ光の波長の約174とする。
次に、外部から、この円盤の凸部に焦点を結ぶようなレ
ーザ発振器および集光レンズを配置し、さらにこのレー
ザ光の反射光を測定する受光素子を設ける。この受光素
子の出力は、アンプで増幅され、コンパレータ等により
1とOとの波形整形処理を受け、デジタル信号となる。
ーザ発振器および集光レンズを配置し、さらにこのレー
ザ光の反射光を測定する受光素子を設ける。この受光素
子の出力は、アンプで増幅され、コンパレータ等により
1とOとの波形整形処理を受け、デジタル信号となる。
このデジタル信号を周波数変調(以下FMという)の復
調器、すなわちFM復調器を通し、速いフーリエ変換(
以下FFTという)で分析することにより、ねじり振動
成分を検出する。
調器、すなわちFM復調器を通し、速いフーリエ変換(
以下FFTという)で分析することにより、ねじり振動
成分を検出する。
回転体の熱変形あるいは軸方向振動により5円盤位置が
軸方向に移動し、かつ、この移動量が、レーザおよび集
光レンズで構成される光学系(光学的検出器)の焦点深
度より大きい場合、この光学系を軸方向へ移動させるた
めのサーボ系が上記構成に付は加えられる。
軸方向に移動し、かつ、この移動量が、レーザおよび集
光レンズで構成される光学系(光学的検出器)の焦点深
度より大きい場合、この光学系を軸方向へ移動させるた
めのサーボ系が上記構成に付は加えられる。
回転体のねじり振動と、曲げ振動の振動数が近く、周波
数の分離が難しい場合は、上記光学系(光学的検出器)
をもつ1組、回転軸中心をはさんで反対側に設け1両方
の出力を加算することにより、影響を小さくできる。
数の分離が難しい場合は、上記光学系(光学的検出器)
をもつ1組、回転軸中心をはさんで反対側に設け1両方
の出力を加算することにより、影響を小さくできる。
上記技術的手段による働きを第4図ないし第6図を参照
して説明する。
して説明する。
第4図は、光学測定の原理説明図、第5図は、凸の有無
に対応する出力信号の線図、第6図は、ねじり振動の有
無に対応する出力信号の線図である。
に対応する出力信号の線図、第6図は、ねじり振動の有
無に対応する出力信号の線図である。
前記光学系(光学的検出器)を通り被検出媒体円盤(以
下単に円盤という)に入射した光は1円盤面で反射し、
その売尽が計測される。この光電は、その反射面の凸部
の有無により変化する。第4図(a)に示すように、円
盤の平坦な面で反射された光は、はぼ入射光の100%
が反射されると考えられる。一方、凸部を含む面で反射
される第4図(b)の場合、凸部の高さは前記したよう
にほぼ入射光の波長の1/4になるよう作られているた
め、凸部頂上で反射される光は、まbりの平坦面で反射
された光に比べて往復で1/2波長、位相で見ると18
0’ずれた光となる。この180’位相のずれた光と平
坦面で反射されたノーマルな光とが干渉し合うと、互い
の位相が逆であるので打ち消し合う結果となり、反射光
の光電は平坦面にくらべて小さくなる。すなわち第5図
に示すように凸部6の有無に対応してフォトダイオード
の出力値が変化する。
下単に円盤という)に入射した光は1円盤面で反射し、
その売尽が計測される。この光電は、その反射面の凸部
の有無により変化する。第4図(a)に示すように、円
盤の平坦な面で反射された光は、はぼ入射光の100%
が反射されると考えられる。一方、凸部を含む面で反射
される第4図(b)の場合、凸部の高さは前記したよう
にほぼ入射光の波長の1/4になるよう作られているた
め、凸部頂上で反射される光は、まbりの平坦面で反射
された光に比べて往復で1/2波長、位相で見ると18
0’ずれた光となる。この180’位相のずれた光と平
坦面で反射されたノーマルな光とが干渉し合うと、互い
の位相が逆であるので打ち消し合う結果となり、反射光
の光電は平坦面にくらべて小さくなる。すなわち第5図
に示すように凸部6の有無に対応してフォトダイオード
の出力値が変化する。
第6図(a)に、ねじり振動が発生していない通常時、
第6図(b)に、ねじり振動が発生したときのパルス出
力信号を示す。
第6図(b)に、ねじり振動が発生したときのパルス出
力信号を示す。
ねじり振動が発生じていない場合のパルス振動数fは、
回転数をW、凸部の個数をNとすると、f=W−N(H
z) となる。
回転数をW、凸部の個数をNとすると、f=W−N(H
z) となる。
ねじり振動が発生すると、第6図Ca)に示した波形は
、第6図(b)に示すように周波数変調(FM)を受け
た状態になる。ねじり振動の振幅の大きさは、パルスの
疎密に、その周波数は疎密のくり返し周期に対応する。
、第6図(b)に示すように周波数変調(FM)を受け
た状態になる。ねじり振動の振幅の大きさは、パルスの
疎密に、その周波数は疎密のくり返し周期に対応する。
したがって、この信号をFM復調することにより、ねじ
り振動成分を検出することができる。
り振動成分を検出することができる。
前記円盤上に非常に多数の凸部を形成する技術は、コン
パクトディスク(CD)において、すでに実用化されて
いる。CDにおいては、直径12Gのポリカーボネイト
製円盤に、高さ0.11μmの凸部が1トラック当り平
均3X1oa個形成されている。
パクトディスク(CD)において、すでに実用化されて
いる。CDにおいては、直径12Gのポリカーボネイト
製円盤に、高さ0.11μmの凸部が1トラック当り平
均3X1oa個形成されている。
以上のように、ロータの回転にともない、非常に多数(
10” 10 ’) /rev、のパルスを出力するこ
とにより、各パルス間隔に対するねじり振動の影響も相
対的に大きなものになり、高次のねじり振動も十分計測
可能なものとなる。
10” 10 ’) /rev、のパルスを出力するこ
とにより、各パルス間隔に対するねじり振動の影響も相
対的に大きなものになり、高次のねじり振動も十分計測
可能なものとなる。
一般のFMui調器の性能は、測定周波数範囲1〇七〜
300に七、分解能Xは0.001%である。
300に七、分解能Xは0.001%である。
いま、高次ねじり振動のねじれ角θを最大10−”(度
)、回転数Wを1500rpmとすると、測定能として
最大ねじれ角の100分の1必要として十分なパルス個
数Nは、 360/N パルスの周波数fは 、、、90K(七) となる、これは、FM復調器の測定範囲にある。
)、回転数Wを1500rpmとすると、測定能として
最大ねじれ角の100分の1必要として十分なパルス個
数Nは、 360/N パルスの周波数fは 、、、90K(七) となる、これは、FM復調器の測定範囲にある。
従来の技術によれば、1μmピッチで凸部を形成できる
から、36000個の凸部を1μmピッチで刻んだ円盤
の直径りは、 となる。
から、36000個の凸部を1μmピッチで刻んだ円盤
の直径りは、 となる。
実用上を考えると、凸部ピッチを大きくし、Dを大きく
する必要があると考える。
する必要があると考える。
以下、本発明の各実施例を、第1図ないし第3図、なら
びに第7図ないし第9図を参照して説明する。
びに第7図ないし第9図を参照して説明する。
第1図は5本発明の一実施例に係る回転体のねじり振動
検出装置の構成図、第2図は、第1図の被検出媒体円盤
の正面図、第3図は、第2図の2部の拡大図である。
検出装置の構成図、第2図は、第1図の被検出媒体円盤
の正面図、第3図は、第2図の2部の拡大図である。
第1図において、1は第1の回転体、2は回転軸、3は
第2の回転体、4は軸受、5は、第1の回転体1の端面
に取付けた被検出媒体円盤(以下単に円盤という)、6
は1円盤5の面に、その回転中心から放射状に多数形成
された凸部に係るピットである。
第2の回転体、4は軸受、5は、第1の回転体1の端面
に取付けた被検出媒体円盤(以下単に円盤という)、6
は1円盤5の面に、その回転中心から放射状に多数形成
された凸部に係るピットである。
7はレーザ発振器、8は対物レンズ、9はフォトダイオ
ード、10はハーフミラ−プリズムで、これらで光学的
検出器に係る光学式ピックアップ装置が構成されている
。
ード、10はハーフミラ−プリズムで、これらで光学的
検出器に係る光学式ピックアップ装置が構成されている
。
また、11は、光学式ピックアップ装置からの信号を増
幅および波形整形するアンプ、12は。
幅および波形整形するアンプ、12は。
アンプ11の信号成分から振動成分を取り出す復調器に
係るフラッタアナライザである。
係るフラッタアナライザである。
より詳しく説明すると次のとおりである。
回転体lの端面に円盤5が取り付けられている。
この円盤1は、プラスチックあるいはアルミ材等により
作られており1回転体に影響を与えないよう軽く、かつ
、回転時飛散しないよう十分な剛性を持つ必要がある。
作られており1回転体に影響を与えないよう軽く、かつ
、回転時飛散しないよう十分な剛性を持つ必要がある。
円盤5面には、第2図に示すように、ピット6が多数形
成されている6円盤5の平坦面およびピット6は、レー
ザ光を正確に反射できるよう滑らかに仕上げられ、その
表面は、アルミ蒸着等の表面処理により均一な反射率を
持つ。
成されている6円盤5の平坦面およびピット6は、レー
ザ光を正確に反射できるよう滑らかに仕上げられ、その
表面は、アルミ蒸着等の表面処理により均一な反射率を
持つ。
第3図に示すように、ピット6の高さhは、レーザの波
長をλとする、1/4λである必要がある。ピット6の
幅Bは、レーザのスポット半径より小さくなければなら
ない、ピット6の長さ悲は、スポット半径より長く、熱
変形等の変形が生じても、レーザのスポットがピット6
を捉えられるよう、十分な長さを持つ必要がある。
長をλとする、1/4λである必要がある。ピット6の
幅Bは、レーザのスポット半径より小さくなければなら
ない、ピット6の長さ悲は、スポット半径より長く、熱
変形等の変形が生じても、レーザのスポットがピット6
を捉えられるよう、十分な長さを持つ必要がある。
ピット6の個数Nは1回転体1の回転数をW(&)、ね
じり振動数をω(七)、最大ねじれ角をθ (度)、ピ
ットまでの半径をR(m+a)、フラッタアナライザ1
2の分解能をX(%)とすると。
じり振動数をω(七)、最大ねじれ角をθ (度)、ピ
ットまでの半径をR(m+a)、フラッタアナライザ1
2の分解能をX(%)とすると。
分解能Xは最大ねじれ角θの1/Zooまで必要である
と考え、 個以上必要となる。
と考え、 個以上必要となる。
このとき、ピット6の切削精度Y(度)はxrq定に影
響を与えないため、 となる。
響を与えないため、 となる。
円盤5上のピット6を読み取るため、光学式ピックアッ
プ装置が設けられている。レーザ発振器7から出力され
たレーザは、ハーフミラ−プリズム10を通り、対物レ
ンズ8により焦点を絞られ、円盤上でスポットを結ぶ0
円盤5面からの反射光は、対物レンズ8により絞られ、
ハーフミラ−プリズム10で光路を変えられ、フォトダ
イオード9に達する。前述したように、この反射光の光
量は、ピット6の存在の有無により変動する。ピット6
が存在する場合、光量はピット6が存在しない平坦部で
反射した場合に比べて小さくなり、フォトダイオード9
からの出力電圧も小さい、フオトダイオード9からの出
力は、アンプ部11において、増幅、波形整形処理が行
われ、ピット6に対応したデジタル信号になる。
プ装置が設けられている。レーザ発振器7から出力され
たレーザは、ハーフミラ−プリズム10を通り、対物レ
ンズ8により焦点を絞られ、円盤上でスポットを結ぶ0
円盤5面からの反射光は、対物レンズ8により絞られ、
ハーフミラ−プリズム10で光路を変えられ、フォトダ
イオード9に達する。前述したように、この反射光の光
量は、ピット6の存在の有無により変動する。ピット6
が存在する場合、光量はピット6が存在しない平坦部で
反射した場合に比べて小さくなり、フォトダイオード9
からの出力電圧も小さい、フオトダイオード9からの出
力は、アンプ部11において、増幅、波形整形処理が行
われ、ピット6に対応したデジタル信号になる。
アンプ部11から出力されるデジタル信号は、f=W−
NC上)の基本波がねじり振動によりドM変調を受けた
ものと考えられる。したがって、これをフラッタアナラ
イザ12により復調してやれば、ねじり振動成分が現わ
れ、これをF F ’I’により分析し、ねじりの振動
周波数を知る。
NC上)の基本波がねじり振動によりドM変調を受けた
ものと考えられる。したがって、これをフラッタアナラ
イザ12により復調してやれば、ねじり振動成分が現わ
れ、これをF F ’I’により分析し、ねじりの振動
周波数を知る。
本実施例によれば、回転体の高次ねじり成分を高精度に
検出することができる。
検出することができる。
本装置は、例えば蒸気タービン・発電機系に取り付け、
軸振動をモニタすることにより、翼・軸連成振動が発生
した場合、これを検知することが容易にでき、翼の破損
等に到る前に、これに対応することが可能となり、信頼
性の向上に役立つ。
軸振動をモニタすることにより、翼・軸連成振動が発生
した場合、これを検知することが容易にでき、翼の破損
等に到る前に、これに対応することが可能となり、信頼
性の向上に役立つ。
次に、第7図は、本発明の他の実施例に係る回転体のね
じり振動検出装置の要部を示す斜視図である。
じり振動検出装置の要部を示す斜視図である。
第7図の実施例では、先の実施例のような円盤5を用い
ず、回転体1Aの側面すなわち外周面に。
ず、回転体1Aの側面すなわち外周面に。
その回転中心から放射状に多数のピット6Aを形成して
被検出媒体面を構成している。
被検出媒体面を構成している。
ピット6Aは、ロータIA外周に直接凸部を刻み込むか
、あるいは、ピットを形成したシート状のものをロータ
外周に巻き付ける構成となる。
、あるいは、ピットを形成したシート状のものをロータ
外周に巻き付ける構成となる。
16は、ピット6Aを有する被検出媒体面のレーザ光を
照射し、その反射光量の変化により凸部を検出する光学
的検出器に係るピックアップである。
照射し、その反射光量の変化により凸部を検出する光学
的検出器に係るピックアップである。
第7図の実施例によれば、先の第1図の実施例と同様の
効果が期待される。
効果が期待される。
なお、第7図の実施例では、回転体IAの外周にピット
6Aを形成した例を示したが、回転42の外周にピット
を形成する構成も可能である。
6Aを形成した例を示したが、回転42の外周にピット
を形成する構成も可能である。
次に、第8図は、本発明のさらに他の実施例に係る回転
体のねじり振動検出装置の構成図である。
体のねじり振動検出装置の構成図である。
図中、第1図、第7図と同一符号のものは同等部分であ
るから、その説明を省略する。
るから、その説明を省略する。
第8図の実施例が、第1図の実施例と相違するところは
、ピックアップ16系に、円盤5の軸方向変位(矢印参
照)に対応した追従機構17を付加したことである。
、ピックアップ16系に、円盤5の軸方向変位(矢印参
照)に対応した追従機構17を付加したことである。
一般に、熱変形あるいは軸方向振動により、軸方向への
変位が起ると、光量が変化し、正確な測定が行えなくな
る。また5円盤5とピックアップ16とが接触し、破損
することも考えられる。しかし、第8図の実施例によれ
ば円盤5の軸方向の変位に対しピックアップ16が円滑
に追従し、適正な測定が可能である。
変位が起ると、光量が変化し、正確な測定が行えなくな
る。また5円盤5とピックアップ16とが接触し、破損
することも考えられる。しかし、第8図の実施例によれ
ば円盤5の軸方向の変位に対しピックアップ16が円滑
に追従し、適正な測定が可能である。
次に、第9図は、本発明のさらに他の実施例に係る回転
体のねじり振動検出装置の説明図で。
体のねじり振動検出装置の説明図で。
(a)図は要部斜視図、(b)図は出力信号の線図であ
る。
る。
第9図の実施例では、回転体IBの端面に直接ピット6
Bを形成して被検出媒体面を構成している。ピット6B
は、回転中心から放射状に多数形成されている。
Bを形成して被検出媒体面を構成している。ピット6B
は、回転中心から放射状に多数形成されている。
また、ピックアップ16A、16Bを、第9図/ a
)に示すように、回転中心に対して相対した位置に取り
付けたものである。このように2個のピックアップ16
A、16Bを対置すると、曲げ振動が発生した場合、第
9図(b)に示すように、ピックアップ16Aと16B
とでは、その出力(Ft号の位相が逆になる。したがっ
て、両者を加算することにより、曲げ振動の影響を打消
すことができる。
)に示すように、回転中心に対して相対した位置に取り
付けたものである。このように2個のピックアップ16
A、16Bを対置すると、曲げ振動が発生した場合、第
9図(b)に示すように、ピックアップ16Aと16B
とでは、その出力(Ft号の位相が逆になる。したがっ
て、両者を加算することにより、曲げ振動の影響を打消
すことができる。
第9図の実施例によれば、先の各実施例と同様の効果が
期待されるほか、曲げ振動の影響を小さくして、回転の
ねじり振動をより高精度に検出できるという効果がある
。
期待されるほか、曲げ振動の影響を小さくして、回転の
ねじり振動をより高精度に検出できるという効果がある
。
なお、図示して説明しないが、上記各実施例の回転体の
ねじり振動検出装置において、アンプ出力信号をスピー
カ等の音響発生装置に入力し、ねじり振動による変調を
音の変化に置き換え、観111fff者の聴覚により簡
易的にモニタリングを行うことも可能である。
ねじり振動検出装置において、アンプ出力信号をスピー
カ等の音響発生装置に入力し、ねじり振動による変調を
音の変化に置き換え、観111fff者の聴覚により簡
易的にモニタリングを行うことも可能である。
以上詳細に説明したように、本発明によれば、回転体の
高次のねじり振動を高精度に検出するととの可能な回転
体のねじり振動検出装置を提供することができる。
高次のねじり振動を高精度に検出するととの可能な回転
体のねじり振動検出装置を提供することができる。
また5本発明の回転体のねじり振動検出装置を、例えば
蒸気タービン・発電機系に取り付け、軸振動をモニタす
ることにより、翼・軸連成振動が発生した場合、これを
検知することが容易にでき、翼の破損等に到る前に、こ
れに対応することが可能となり、信頼性の向上に役立つ
。
蒸気タービン・発電機系に取り付け、軸振動をモニタす
ることにより、翼・軸連成振動が発生した場合、これを
検知することが容易にでき、翼の破損等に到る前に、こ
れに対応することが可能となり、信頼性の向上に役立つ
。
第1図は1本発明の一実施例に係る回転体のねじり振動
検出装置の構成図、第2図は、第1図の被検出媒体円盤
の正面図、第3図は、第2図のP部の拡大図、第4図は
、光学測定の原理説明図。 第5図は、凸の有無に対応する出力信号の線図。 第6wIは、ねじり振動の有無に対応する出力信号の線
図、第7図は、本発明の他の実施例に係る回転体のねじ
り振動検出装置の要部を示す斜視図。 第8図は、本発明のさらに他の実施例に係る回転体のね
じり振動検出装置の構成図、第9図は、本発明のさらに
他の実施例に係る回転体のねじり振動検出装置の説明図
、第10図および第11図は、従来の回転体のねじり振
動検出手段を説明する説明図である。 1、LA、IB・・・回転体、5・・・円盤、6,6A
。 6B・・・ピット、7・・・レーザ発振器、8・・・対
物レンズ、9・・・フォトダイオード、10・・・ハー
フミラ−プリズム、11・・・アンプ、12・・・フラ
ッタアナライザ、16,16A、16B・・・ピックア
ップ、η j 図 巣 4 の (す 第 第 回 時間(1) 時間(1) 第 ((L) (b) m + (8)ニガ 猶 ′7−追従機構 半 /θ ロ カ 図 /7−−−律多中カベ構
検出装置の構成図、第2図は、第1図の被検出媒体円盤
の正面図、第3図は、第2図のP部の拡大図、第4図は
、光学測定の原理説明図。 第5図は、凸の有無に対応する出力信号の線図。 第6wIは、ねじり振動の有無に対応する出力信号の線
図、第7図は、本発明の他の実施例に係る回転体のねじ
り振動検出装置の要部を示す斜視図。 第8図は、本発明のさらに他の実施例に係る回転体のね
じり振動検出装置の構成図、第9図は、本発明のさらに
他の実施例に係る回転体のねじり振動検出装置の説明図
、第10図および第11図は、従来の回転体のねじり振
動検出手段を説明する説明図である。 1、LA、IB・・・回転体、5・・・円盤、6,6A
。 6B・・・ピット、7・・・レーザ発振器、8・・・対
物レンズ、9・・・フォトダイオード、10・・・ハー
フミラ−プリズム、11・・・アンプ、12・・・フラ
ッタアナライザ、16,16A、16B・・・ピックア
ップ、η j 図 巣 4 の (す 第 第 回 時間(1) 時間(1) 第 ((L) (b) m + (8)ニガ 猶 ′7−追従機構 半 /θ ロ カ 図 /7−−−律多中カベ構
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、回転体の端面に取付けられ、その回転中心から放射
状に多数の凸部が形成された被検出媒体円盤と、 この被検出媒体円盤にレーザ光を照射し、その反射光量
の変化により前記凸部を検出する光学的検出器と、 この光学的検出器からの信号を増幅および波形整形する
アンプ部と、 その信号成分から振動成分を取り出す復調器と、 からなることを特徴とする回転体のねじり振動検出装置
。 2、回転体の端面に、その回転中心から放射状に多数の
凸部が形成された被検出媒体面と、 この被検出媒体面にレーザ光を照射し、その反射光量の
変化により前記凸部を検出する光学的検出器と、 この光学的検出器からの信号を増幅および波形整形する
アンプ部と、 その信号成分から振動成分を取り出す復調器と、 からなることを特徴とする回転体のねじり振動検出装置
。 3、回転体の側面に、その回転中心から放射状に多数の
凸部が形成された被検出媒体面と、 この被検出媒体面にレーザ光を照射し、その反射光量の
変化により前記凸部を検出する光学的検出器と、 この光学的検出器からの信号を増幅および波形整形する
アンプ部と、 その信号成分から振動成分を取り出す復調器と、 からなることを特徴とする回転体のねじり振動検出装置
。 4、請求項1または請求項2記載のもののいずれかにお
いて、光学的検出器を、回転中心に対して相対する位置
に配置した複数の光学的検出器としたことを特徴とする
回転体のねじり振動検出装置。 5、請求項1または請求項2記載のもののいずれかにお
いて、光学的検出器は、被検出媒体面の軸方向変位に対
応した追従機構を有することを特徴とする回転体のねじ
り振動検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9513789A JPH02275322A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 回転体のねじり振動検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9513789A JPH02275322A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 回転体のねじり振動検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02275322A true JPH02275322A (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=14129426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9513789A Pending JPH02275322A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 回転体のねじり振動検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02275322A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001215150A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-08-10 | Luk Lamellen & Kupplungsbau Gmbh | 可変的なパラメータの振動を識別するための方法 |
JP2010156564A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Ihi Corp | ねじり振動測定装置及び方法 |
-
1989
- 1989-04-17 JP JP9513789A patent/JPH02275322A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001215150A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-08-10 | Luk Lamellen & Kupplungsbau Gmbh | 可変的なパラメータの振動を識別するための方法 |
JP4518449B2 (ja) * | 1999-12-02 | 2010-08-04 | ルーク ラメレン ウント クツプルングスバウ ベタイリグングス コマンディートゲゼルシャフト | 可変的なパラメータの振動を識別するための方法 |
JP2010156564A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Ihi Corp | ねじり振動測定装置及び方法 |
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