JPH0227488Y2 - - Google Patents
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- JPH0227488Y2 JPH0227488Y2 JP1982163995U JP16399582U JPH0227488Y2 JP H0227488 Y2 JPH0227488 Y2 JP H0227488Y2 JP 1982163995 U JP1982163995 U JP 1982163995U JP 16399582 U JP16399582 U JP 16399582U JP H0227488 Y2 JPH0227488 Y2 JP H0227488Y2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、電子顕微鏡等によつて観察されるべ
き試料を所望位置へ微小移動させるための装置に
関する。
き試料を所望位置へ微小移動させるための装置に
関する。
第1〜3図に示すごとく、従来の試料移動装置
は、電子顕微鏡の鏡筒1の下方における試料室2
内に設けられており、試料台3上の試料4をX,
Y,Z,R,Tの各方向に移動できるようになつ
ている。
は、電子顕微鏡の鏡筒1の下方における試料室2
内に設けられており、試料台3上の試料4をX,
Y,Z,R,Tの各方向に移動できるようになつ
ている。
ここで、X方向とは対物レンズ5の中心を通り
試料4に照射される電子線方向に沿う軸(光軸;
以下便宜上この軸をO軸と呼ぶ。)と直角に交叉
する方向をいい、Y方向とはO軸と直角に交叉す
る平面内においてX方向と直交する方向をいい、
Z方向とはO軸と平行な方向をいい、R方向とは
試料4をX−Y平面内で回転させる方向をいい、
T方向とはO軸と直角をなす軸を中心に試料4を
回転させる方向をいう。
試料4に照射される電子線方向に沿う軸(光軸;
以下便宜上この軸をO軸と呼ぶ。)と直角に交叉
する方向をいい、Y方向とはO軸と直角に交叉す
る平面内においてX方向と直交する方向をいい、
Z方向とはO軸と平行な方向をいい、R方向とは
試料4をX−Y平面内で回転させる方向をいい、
T方向とはO軸と直角をなす軸を中心に試料4を
回転させる方向をいう。
しかしながら、従来のこの種の試料移動装置で
は、試料4をT方向に回転させても、ワーキング
デイスタンスWDや照射位置が変化しないよう
に、T方向回転中心はO軸と交わり且つ電子線照
射位置Aを通るように設定されているが、次のよ
うな問題点がある。
は、試料4をT方向に回転させても、ワーキング
デイスタンスWDや照射位置が変化しないよう
に、T方向回転中心はO軸と交わり且つ電子線照
射位置Aを通るように設定されているが、次のよ
うな問題点がある。
すなわち走査型電子顕微鏡等において、最高性
能を引き出すためには、ワーキングデイスタンス
WDをできるかぎり小さくする必要があるが、大
きな試料4を観察すると、第4図に示すように、
試料4が対物レンズ5と干渉するおそれがあるた
め、このような場合に、T方向の回転角θが著し
く制限される。
能を引き出すためには、ワーキングデイスタンス
WDをできるかぎり小さくする必要があるが、大
きな試料4を観察すると、第4図に示すように、
試料4が対物レンズ5と干渉するおそれがあるた
め、このような場合に、T方向の回転角θが著し
く制限される。
したがつて、この角θを大きくしたい場合は、
試料4を矢印B又はC方向へずらすことが行なわ
れるが、このような操作は手間がかかり、作業者
に大きな負担をかける。特に試料4がICウエフ
ア等の場合、試料4の損傷が致命的なものとなる
ので、試料移動にも細心の注意を要する。
試料4を矢印B又はC方向へずらすことが行なわ
れるが、このような操作は手間がかかり、作業者
に大きな負担をかける。特に試料4がICウエフ
ア等の場合、試料4の損傷が致命的なものとなる
ので、試料移動にも細心の注意を要する。
本考案は、これらの問題点を解決しようとする
もので、T方向の回転角θを十分大きくとれるよ
うにしながら、しかも試料の移動を損傷なく確実
に行なえるようにした、試料移動装置を提供する
ことを目的とする。
もので、T方向の回転角θを十分大きくとれるよ
うにしながら、しかも試料の移動を損傷なく確実
に行なえるようにした、試料移動装置を提供する
ことを目的とする。
このため、本考案の試料移動装置は、鏡筒の下
方において、試料を載置し光軸と交叉する方向に
上記試料を2次元的に移動させうる試料台をそな
え、上記光軸と直角をなし且つ同光軸から偏倚し
た回転軸を中心に上記試料台を回転させうる回転
駆動機構が設けられたことを特徴としている。
方において、試料を載置し光軸と交叉する方向に
上記試料を2次元的に移動させうる試料台をそな
え、上記光軸と直角をなし且つ同光軸から偏倚し
た回転軸を中心に上記試料台を回転させうる回転
駆動機構が設けられたことを特徴としている。
以下、図面により本考案の一実施例としての走
査型電子顕微鏡用試料移動装置について説明する
と、第5図はその要部斜視図、第6図は第8図の
矢視方向から見た側面図、第7図はその試料台
を傾けた状態にして第5図の矢視方向から見た
模式図、第8図はその作用を説明するための模式
図であり、第5〜8図中、第1〜4図と同じ符号
はほぼ同様の部分を示している。
査型電子顕微鏡用試料移動装置について説明する
と、第5図はその要部斜視図、第6図は第8図の
矢視方向から見た側面図、第7図はその試料台
を傾けた状態にして第5図の矢視方向から見た
模式図、第8図はその作用を説明するための模式
図であり、第5〜8図中、第1〜4図と同じ符号
はほぼ同様の部分を示している。
第5〜7図に示すごとく、本装置は、走査型電
子顕微鏡の鏡筒1の下方における試料室2内に設
けられており、試料台3上の試料4をX,Y,
R,Tの各方向へ移動できるようになつている。
子顕微鏡の鏡筒1の下方における試料室2内に設
けられており、試料台3上の試料4をX,Y,
R,Tの各方向へ移動できるようになつている。
以下各方向への試料移動機構について説明す
る。
る。
まず、試料4を載置しうる試料台3が設けられ
ており、この試料台3はこれを図示しないR方向
駆動装置によつてR方向に回転しうる移動台6に
支持されている。
ており、この試料台3はこれを図示しないR方向
駆動装置によつてR方向に回転しうる移動台6に
支持されている。
また、この移動台6はこれを図示しないY方向
駆動装置によつてレール7aに沿いY方向へ移動
しうる移動台7に支持されており、この移動台7
はこれを図示しないX方向駆動装置によつてレー
ル8aに沿いX方向へ移動しうる枠体8に支持さ
れている。
駆動装置によつてレール7aに沿いY方向へ移動
しうる移動台7に支持されており、この移動台7
はこれを図示しないX方向駆動装置によつてレー
ル8aに沿いX方向へ移動しうる枠体8に支持さ
れている。
さらに、この枠体8は、その両端が支持される
ようになつており、しかもその回転軸8bを中心
にT方向駆動装置9によつて回転駆動せしめられ
るようになつている。
ようになつており、しかもその回転軸8bを中心
にT方向駆動装置9によつて回転駆動せしめられ
るようになつている。
ところで、枠体8の回転軸8bは光軸(O軸)
と直角をなし且つこのO軸から偏倚した位置、す
なわち第5図および第8図に示す偏倚量aだけ側
方へ離隔した位置に設けられている。したがつ
て、これらの枠体8やT方向駆動装置9で、O軸
と直角をなし且つO軸から偏倚した回転軸8bを
中心に試料台3を回転させうる回転駆動機構Mが
構成される。
と直角をなし且つこのO軸から偏倚した位置、す
なわち第5図および第8図に示す偏倚量aだけ側
方へ離隔した位置に設けられている。したがつ
て、これらの枠体8やT方向駆動装置9で、O軸
と直角をなし且つO軸から偏倚した回転軸8bを
中心に試料台3を回転させうる回転駆動機構Mが
構成される。
このようにして、各移動台6,7を移動させた
り、試料台3を回転させたりすることにより、試
料4を、O軸と交叉する面内において、X,Y,
Rの各方向に沿い2次元的に移動させることがで
き、さらに枠体8をその回転軸8bを中心に回転
させることにより、試料4をO軸から偏倚した位
置でT方向に回転させることができるのである。
り、試料台3を回転させたりすることにより、試
料4を、O軸と交叉する面内において、X,Y,
Rの各方向に沿い2次元的に移動させることがで
き、さらに枠体8をその回転軸8bを中心に回転
させることにより、試料4をO軸から偏倚した位
置でT方向に回転させることができるのである。
なお、T方向回転中心の設定は次のようにして
行なわれる。すなわち、第8図に示すように、試
料4を対物レンズ下面5aと平行にした状態でワ
ーキングデイスタンスWDが十分小さく且つ対物
レンズ5と干渉のおそれのないcとなる位置での
試料4の表面と同一平面上で、且つ、O軸から距
離aだけ偏倚した位置に、T方向回転中心がくる
ように設定されるのである。
行なわれる。すなわち、第8図に示すように、試
料4を対物レンズ下面5aと平行にした状態でワ
ーキングデイスタンスWDが十分小さく且つ対物
レンズ5と干渉のおそれのないcとなる位置での
試料4の表面と同一平面上で、且つ、O軸から距
離aだけ偏倚した位置に、T方向回転中心がくる
ように設定されるのである。
そしてこの距離aは、試料4をθmaxだけT方
向へ回転させると、試料4と対物レンズ5の傾斜
壁面とがほぼ平行な状態となつて、試料4の表面
と対物レンズ壁面との隙間が対物レンズ5と干渉
のおそれのないbとなるように、決められる。
向へ回転させると、試料4と対物レンズ5の傾斜
壁面とがほぼ平行な状態となつて、試料4の表面
と対物レンズ壁面との隙間が対物レンズ5と干渉
のおそれのないbとなるように、決められる。
ところで、このようにZ方向の移動は行なわな
いで、しかもT方向回転中心をO軸から偏倚した
位置に設定しているので、試料4をT方向に回転
させると、ワーキングデイスタンスWDや試料照
射位置が変化する。そこでこれを補正するための
機構が設けられている。
いで、しかもT方向回転中心をO軸から偏倚した
位置に設定しているので、試料4をT方向に回転
させると、ワーキングデイスタンスWDや試料照
射位置が変化する。そこでこれを補正するための
機構が設けられている。
すなわち、T方向回転軸8bに、角度検出器1
0が設けられており、この角度検出器10からの
信号が補正のための制御装置11へフイードバツ
クされるようになつている。そして、この制御装
置11は、角度検出器10からの信号を受けて、
ワーキングデイスタンスWDや試料照射位置の変
化分を補正するための信号を対物レンズ5の励磁
コイル5bやY方向駆動装置12へ供給する。こ
れにより試料4の傾動に伴うワーキングデイスタ
ンスや試料照射位置の変化分を自動的に補正でき
る。
0が設けられており、この角度検出器10からの
信号が補正のための制御装置11へフイードバツ
クされるようになつている。そして、この制御装
置11は、角度検出器10からの信号を受けて、
ワーキングデイスタンスWDや試料照射位置の変
化分を補正するための信号を対物レンズ5の励磁
コイル5bやY方向駆動装置12へ供給する。こ
れにより試料4の傾動に伴うワーキングデイスタ
ンスや試料照射位置の変化分を自動的に補正でき
る。
なお、試料4がθmax以上回転しないように、
T方向回転軸8bの両回転端に図示しないストツ
パが設けられている。
T方向回転軸8bの両回転端に図示しないストツ
パが設けられている。
本考案の試料移動装置は上述のごとく構成され
ているので、その効果ないし利点を列挙すれば、
次のとおりである。
ているので、その効果ないし利点を列挙すれば、
次のとおりである。
(1) 試料4をT方向にかなり回転させても、対物
レンズ5との干渉を起こすことがなく、これに
より試料4の衝突による損傷を招くこともな
い。
レンズ5との干渉を起こすことがなく、これに
より試料4の衝突による損傷を招くこともな
い。
(2) 制御装置11等の作用により、試料4をT方
向に回転させていつても、各傾斜角度ごとに、
最良の状態で試料4を観察することができる。
向に回転させていつても、各傾斜角度ごとに、
最良の状態で試料4を観察することができる。
(3) 作業者の操作負担が軽減する。
(4) T方向回転用の枠体8が両端支持構造となつ
ているので、剛性が増し、振動に強い。
ているので、剛性が増し、振動に強い。
(5) Z方向の移動は行なわないので、防振の観点
から好都合となり、しかも構造が簡単になつ
て、コストの低廉化にも寄与しうる。
から好都合となり、しかも構造が簡単になつ
て、コストの低廉化にも寄与しうる。
(6) 下極下面径φeや下極角度δの小さい対物レ
ンズ5に適用すれば、試料4を傾斜させたとき
のワーキングデイスタンスWDを小さくできる
ため、この場合に本装置の有用性が増す。
ンズ5に適用すれば、試料4を傾斜させたとき
のワーキングデイスタンスWDを小さくできる
ため、この場合に本装置の有用性が増す。
(7) なお、試料台3をX,Y,R,Tのすべての
方向に移動させる代わりに、X,Y,Tあるい
はY,R,T等の各方向に移動させるようにし
ても、十分に実用性を発揮することができる
が、このようにすれば、可動部がさらに減るた
め、防振面およびコスト面の両面でさらに有利
となる。
方向に移動させる代わりに、X,Y,Tあるい
はY,R,T等の各方向に移動させるようにし
ても、十分に実用性を発揮することができる
が、このようにすれば、可動部がさらに減るた
め、防振面およびコスト面の両面でさらに有利
となる。
第9,10図は本考案の他の実施例としての走
査型電子顕微鏡用試料移動装置を示すもので、第
9図はその要部斜視図、第10図は第9図のX矢
視方向から見た側面図であり、第9,10図中、
第1〜8図と同じ符号はほぼ同様の部分を示して
いる。
査型電子顕微鏡用試料移動装置を示すもので、第
9図はその要部斜視図、第10図は第9図のX矢
視方向から見た側面図であり、第9,10図中、
第1〜8図と同じ符号はほぼ同様の部分を示して
いる。
この実施例では、必要に応じて、試料4をZ方
向に移動させることができるとともに、T方向回
転中心をO軸と直交する方向に移動させることが
できるようにしたもので、この実施例によれば、
前述の実施例とほぼ同様の効果ないし利点が得ら
れるほか、試料4や対物レンズ5の大きさ等に応
じ、最小ワーキングデイスタンス位置やT方向回
転中心の最適位置を自由に調整することができ
る。なお、調整後は、その位置を固定しておく。
向に移動させることができるとともに、T方向回
転中心をO軸と直交する方向に移動させることが
できるようにしたもので、この実施例によれば、
前述の実施例とほぼ同様の効果ないし利点が得ら
れるほか、試料4や対物レンズ5の大きさ等に応
じ、最小ワーキングデイスタンス位置やT方向回
転中心の最適位置を自由に調整することができ
る。なお、調整後は、その位置を固定しておく。
また、本実施例の場合も、試料4の傾斜に伴
う、ワーキングデイスタンスWDや照射位置の変
化分を自動的に補正する機構やT方向回転規制用
ストツパが設けられていることは、前述の実施例
と同じである。
う、ワーキングデイスタンスWDや照射位置の変
化分を自動的に補正する機構やT方向回転規制用
ストツパが設けられていることは、前述の実施例
と同じである。
さらに、本装置は、走査型電子顕微鏡のほか、
ICウエフア検査装置等の類似装置にも適用でき
ることはいうまでもない。
ICウエフア検査装置等の類似装置にも適用でき
ることはいうまでもない。
以上詳述したように、本考案の試料移動装置に
よれば、鏡筒の下方において、試料を載置し光軸
と交叉する方向に上記試料を2次元的に移動させ
うる試料台をそなえ、上記光軸と直角をなし且つ
同光軸から偏倚した回転軸を中心に上記試料台を
回転させうる回転駆動機構が設けられるという簡
素な構成で、試料の移動を損傷なく確実に行なえ
る利点がある。
よれば、鏡筒の下方において、試料を載置し光軸
と交叉する方向に上記試料を2次元的に移動させ
うる試料台をそなえ、上記光軸と直角をなし且つ
同光軸から偏倚した回転軸を中心に上記試料台を
回転させうる回転駆動機構が設けられるという簡
素な構成で、試料の移動を損傷なく確実に行なえ
る利点がある。
第1〜4図は従来の試料移動装置を示すもの
で、第1図はその要部斜視図、第2図は第1図の
矢視方向から見た側面図、第3図はその試料台
を傾けた状態にして第1図の矢視方向から見た
模式図、第4図はその作用を説明するための模式
図であり、第5〜8図は本考案の一実施例として
の試料移動装置を示すもので、第5図はその要部
斜視図、第6図は第5図の矢視方向から見た側
面図、第7図はその試料台を傾けた状態にして第
5図の矢視方向から見た模式図、第8図はその
作用を説明するための模式図であり、第9,10
図は本考案の他の実施例としての走査型電子顕微
鏡用試料移動装置を示すもので、第9図はその要
部斜視図、第10図は第9図のX矢視方向から見
た側面図である。 1……鏡筒、2……試料室、3……試料台、4
……試料、5……対物レンズ、5a……対物レン
ズ下面、5b……励磁コイル、6,7……移動
台、7a……レール、8……枠体、8a……レー
ル、8b……回転軸、9……T方向駆動装置、1
0……角度検出器、11……補正制御装置、12
……Y方向駆動装置、M……回転駆動機構。
で、第1図はその要部斜視図、第2図は第1図の
矢視方向から見た側面図、第3図はその試料台
を傾けた状態にして第1図の矢視方向から見た
模式図、第4図はその作用を説明するための模式
図であり、第5〜8図は本考案の一実施例として
の試料移動装置を示すもので、第5図はその要部
斜視図、第6図は第5図の矢視方向から見た側
面図、第7図はその試料台を傾けた状態にして第
5図の矢視方向から見た模式図、第8図はその
作用を説明するための模式図であり、第9,10
図は本考案の他の実施例としての走査型電子顕微
鏡用試料移動装置を示すもので、第9図はその要
部斜視図、第10図は第9図のX矢視方向から見
た側面図である。 1……鏡筒、2……試料室、3……試料台、4
……試料、5……対物レンズ、5a……対物レン
ズ下面、5b……励磁コイル、6,7……移動
台、7a……レール、8……枠体、8a……レー
ル、8b……回転軸、9……T方向駆動装置、1
0……角度検出器、11……補正制御装置、12
……Y方向駆動装置、M……回転駆動機構。
Claims (1)
- 鏡筒の下方において、試料を載置し光軸と交叉
する方向に上記試料を2次元的に移動させうる試
料台をそなえ、上記光軸と直角をなし且つ同光軸
から偏倚した回転軸を中心に上記試料台を回転さ
せうる回転駆動機構が設けられたことを特徴とす
る、試料移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16399582U JPS5967850U (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16399582U JPS5967850U (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 試料移動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5967850U JPS5967850U (ja) | 1984-05-08 |
JPH0227488Y2 true JPH0227488Y2 (ja) | 1990-07-25 |
Family
ID=30359663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16399582U Granted JPS5967850U (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 試料移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5967850U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53109471A (en) * | 1977-03-07 | 1978-09-25 | Hitachi Ltd | Test piece fine adjuster |
JPS5413765A (en) * | 1977-07-04 | 1979-02-01 | Jeol Ltd | Sample slanting equipment of scanning electron microscope or the like |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP16399582U patent/JPS5967850U/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53109471A (en) * | 1977-03-07 | 1978-09-25 | Hitachi Ltd | Test piece fine adjuster |
JPS5413765A (en) * | 1977-07-04 | 1979-02-01 | Jeol Ltd | Sample slanting equipment of scanning electron microscope or the like |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5967850U (ja) | 1984-05-08 |
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