JPH02274869A - Method and apparatus for producing metallic meshed body and metallic perforated body - Google Patents
Method and apparatus for producing metallic meshed body and metallic perforated bodyInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、金属網目体及び金属多孔体の製造方法及び装
置に関し、詳しくは、ニッケルカドミウム電池、リチウ
ム電池、燃料電池などの各種電池の極板及び電磁波シー
ルド素材など多用途に利用しえる金属網目体および金属
多孔体の製造方法および装置であって、特に、各種素材
からなる網目体および多孔体を備えたシートに対してメ
ッキ処理して金属網目体および金属多孔体とする際に、
メッキ厚さを任意に厚く出来るようにして、網目体の格
子形状および多孔体の穴径の変形を防ぎ、均一に保持出
来るようにするものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a method and apparatus for producing metal mesh bodies and porous metal bodies, and more specifically to electrode plates and devices for various batteries such as nickel cadmium batteries, lithium batteries, and fuel cells. A method and apparatus for producing metal mesh bodies and metal porous bodies that can be used for a variety of purposes such as electromagnetic shielding materials, and in particular, a method and apparatus for manufacturing metal mesh bodies and metal porous bodies that can be used for various purposes such as electromagnetic shielding materials, and in particular, metal mesh bodies are produced by plating sheets with mesh bodies and porous bodies made of various materials. When preparing bodies and porous metal bodies,
The plating thickness can be increased arbitrarily to prevent deformation of the lattice shape of the mesh body and the hole diameter of the porous body, and to maintain uniformity.
従来の技術
従来、金属製のメツシュ網は金属製の線材を織加工して
製作しているため、格子形状を保持することが容易でな
い。従って、上記織加工して連続製造する金属網目体を
コイル状に巻き取る時、該コイル状とした網目体を梱包
および運送する時、加工時にコイルより巻き戻す時、お
よび加工時に負荷をかける時に、格子形状に変形が生じ
やすい。BACKGROUND OF THE INVENTION Conventionally, metal mesh nets have been manufactured by weaving metal wire rods, so it is not easy to maintain the grid shape. Therefore, when winding the metal mesh body that is continuously manufactured by weaving into a coil, when packing and transporting the coiled mesh body, when unwinding from the coil during processing, and when applying a load during processing, , deformation of the lattice shape is likely to occur.
また、織加工した金属網目体は第５図および第６図に示
すように格子の上線Ｌ−１と下線Ｌ−２とに継かりかな
いため、隙間Ｃが生じ、そのため、格子が斜口に開きや
すく、所謂、目ズレが発生しやすく、格子形状を正確に
保持できない。In addition, as shown in FIGS. 5 and 6, the woven metal mesh body does not connect to the upper line L-1 and the lower line L-2 of the grid, so a gap C is created, which causes the grid to have an oblique opening. It is easy to open, so-called mesh misalignment is likely to occur, and the grid shape cannot be maintained accurately.
さらに、上記織加工した金属網目体を電池の極板として
使用するため、円板などにプレス抜き加工した場合、上
記したように、上線と下線とに継かりかないために、端
面よりほぐれてしまい、切断部の線が脱落してしまう欠
点がある。また、該金属網目体をプレスで抑圧加工する
する時は、プレス時の圧力により、変形しやすい格子が
片側に寄ってしまう現象が発生し、プレス加工で目的と
する製品を製造することが出来ない。Furthermore, when the woven metal mesh is pressed into a disk or the like to be used as a battery electrode plate, as mentioned above, the upper and lower lines do not connect, so it unravels from the end surface. However, there is a drawback that the line at the cut section may fall off. In addition, when pressing the metal mesh body with a press, the pressure during the press causes the easily deformed lattice to shift to one side, making it impossible to manufacture the desired product with the press process. do not have.
一方、金属多孔体についても、上記した金属網目体と同
様な問題を有し、金属多孔体の孔の形状を加工使用時に
変形なく均一に保持することは容易でない。即ち、空孔
率が高い（ｒＡｌえば８０％以上）の多孔体のシートに
メッキ処理を施して金属多孔体を製造する場合、多孔体
の表面および孔内面に均一にメッキを施すことが容易で
なく、しから、孔の変形を防止するには、厚膜の金属メ
ッキを施す必要がある。しかしながら、従来は、多孔体
のシートに対して均一な厚膜のメッキ処理が出来ると共
に、該金属多孔体を連続製造してコイル状に巻き取るこ
との出来る技術としては、先に本出願人が提案した技術
（特願昭６３−１２００６９号）以外は、殆ど提供され
ていない。On the other hand, metal porous bodies also have the same problems as the metal mesh bodies described above, and it is not easy to maintain the shape of the pores of the metal porous body uniformly without deformation during processing and use. That is, when manufacturing a porous metal body by plating a sheet of a porous body with a high porosity (80% or more for rAl), it is easy to uniformly plate the surface of the porous body and the inner surfaces of the pores. Therefore, in order to prevent the holes from deforming, it is necessary to apply a thick metal plating. However, in the past, the applicant of the present invention was the first to develop a technology that could perform a uniform thick plating treatment on a sheet of porous material, as well as continuously manufacture the porous metal material and wind it into a coil. Almost no technology other than the one proposed (Japanese Patent Application No. 120069/1983) has been provided.
このように、従来一般に製造されている金属多孔体では
、コイル状に巻き取る時、巻き戻す時および加工使用時
に、上記した金属網目体と同様に、孔に変形が発生しや
すく、そのため、用途が制限される欠点がある。As described above, in conventionally manufactured porous metal bodies, the pores tend to deform when coiled, unwound, and processed, similar to the above-mentioned metal mesh body. It has the disadvantage of being limited.
発明が解決しようとする課題
上記したように、従来提供されている金属網目体および
金属多孔体は、その格子形状あるいは孔の形状が容易に
変形する欠点を有する。このような格子形状および孔に
変形が発生した場合、例えば、これら金属網目体あるい
は金属多孔体を電池の極板に使用した場合、単位面積当
たりの開孔率が相違し、該開孔部に充填される活物質粉
末が均−に分布されないこととなり、電池の性能上に問
題を生じる。Problems to be Solved by the Invention As described above, the metal mesh bodies and metal porous bodies conventionally provided have the disadvantage that the lattice shape or the shape of the pores is easily deformed. If the lattice shape and pores are deformed, for example, when these metal mesh bodies or metal porous bodies are used for battery electrode plates, the porosity per unit area will be different and the pores will be affected. The active material powder to be filled will not be evenly distributed, causing problems in battery performance.
上記問題を解決するためには、金属網目体では正確な格
子形状を備えると共に、格子を形成する上線と下線とが
移動不可に継がる金属網目体が、また、金属多孔体では
空孔率が大きく、しかし多孔体の表面および孔の内面に
均一な厚膜な金属被膜を備えて、孔が容易に変形しない
金属多孔体が、当業者間において要望されている。In order to solve the above problem, a metal mesh body must have an accurate lattice shape, and a metal mesh body in which the upper and lower lines forming the lattice are immovably connected, and a metal porous body must have a porosity. There is a need in the art for a metal porous body that is large but has a uniform thick metal coating on the surface of the porous body and the inner surface of the pores so that the pores do not easily deform.
本発明者は、上記問題に対して、各種の素材より形成し
た網目体シートおよび多孔体シートに対して、１回のメ
ッキ処理工程でメッキ厚さを任意に制御できるメッキ方
法として、真空メッキによる波膜作成法、即ち、蒸着方
法、イオンプレイティング方法、スパッタ方法に着目し
た。In order to solve the above-mentioned problem, the present inventor has developed a method for plating mesh sheets and porous sheets formed from various materials by vacuum plating, which allows the plating thickness to be arbitrarily controlled in a single plating process. We focused on methods for creating wave films, that is, vapor deposition methods, ion plating methods, and sputtering methods.
上記真空メッキ方法は、一般に薄膜法として開発されて
いるもので、現状では０．１〜１．０層以内で蒸着メッ
キされている。特に、樹脂製基材に対して、金属を真空
中で溶解させて蒸着メッキさせる場合、金属の溶解熱の
ふく射熱により樹脂製基材が焼けてしまうために、上記
したＯ１１〜１．０μ程度の薄膜しか被覆することか出
来ない。The vacuum plating method described above has generally been developed as a thin film method, and currently, vapor deposition plating is performed within 0.1 to 1.0 layers. In particular, when metal is melted in vacuum and vapor-deposited on a resin base material, the resin base material is burnt by the radiant heat of melting of the metal, so the above-mentioned O11 to 1.0μ Only a thin film can be applied.
例えば、合成樹脂基板に対して’ｒｔを蒸着メッキを施
す場合、Ｔｉの溶解温度は１６７０℃で、該温度となる
と真空中でふく射熱により上記合成樹脂基板の温度が上
昇して焼き切れが発生ずる。そのため、早いスピードで
短時間に処理する必要が生じ、よって、被覆するＴｉの
膜厚が必然的に薄くなる。For example, when performing evaporation plating with 'rt on a synthetic resin substrate, the melting temperature of Ti is 1670°C, and at this temperature, the temperature of the synthetic resin substrate rises due to radiated heat in a vacuum, causing burnout. . Therefore, it becomes necessary to process at a high speed and in a short time, and the thickness of the Ti coating inevitably becomes thin.
本発明は、上記した蒸着などの真空メッキ方式による問
題点を解消し、基材の種類および蒸着する金属の種類に
拘わらず、蒸着方法により膜厚の厚いメッキを施すこと
が出来るようにするものである。よって、該蒸着方法を
用いて、各種の基材からなる網目体シートおよび多孔体
シートに対して、厚膜のメッキを施すことにより、金属
網目体の格子形状および金属多孔体の孔が容易に変形し
ないようにするものである。The present invention solves the problems caused by vacuum plating methods such as vapor deposition described above, and makes it possible to apply thick plating using the vapor deposition method, regardless of the type of base material and the type of metal to be vapor-deposited. It is. Therefore, by applying thick film plating to mesh sheets and porous sheets made of various base materials using this vapor deposition method, the lattice shape of the metal mesh and the pores of the metal porous material can be easily formed. This is to prevent deformation.
課題を 決するための 段
本発明は、連続的に供給する網目体シートあるいは多孔
体シートを、外周部を冷却槽で囲繞した真空容器内に挿
入し、該真空容器内に設置した冷却ロールにより冷却し
ながら案内して連続的に通過させ、該真空容器内の通過
時に、適宜な膜厚の蒸着メッキを施した後に、連続的に
取り出して、金属網目体及び金属多孔体を製造する方法
を提供するものである。Steps to Solve the Problems The present invention involves inserting a continuously supplied mesh sheet or porous sheet into a vacuum container whose outer periphery is surrounded by a cooling tank, and cooling it by cooling rolls installed inside the vacuum container. Provided is a method for manufacturing a metal mesh body and a porous metal body by continuously guiding the metal body through the vacuum vessel, applying vapor deposition plating to an appropriate thickness while passing through the vacuum vessel, and then continuously taking it out. It is something to do.
具体的には、本発明は、上記真空容器内を通過させる網
目体シートあるいは多孔体シートの温度を、真空容器外
周の冷却槽に約−３０℃の冷却媒体を供給して真空容器
内の雰囲気温度が低下すると共に、冷却ロールにより直
接的に冷却することにより、約５０℃以下に下げて、蒸
着メッキを１度に１００μ程度の厚さまで施すことを可
能とし、かつ、該蒸着工程の後の工程で水素雰囲気中で
脱煤焼結を行い、蒸着メッキされた金属の金属組織を作
り、硬度等の調整を行うことを特徴とする金属網目体及
び金属多孔体の製造方法を提供するものである。Specifically, the present invention lowers the temperature of the mesh sheet or porous sheet that is passed through the vacuum container by supplying a cooling medium of approximately -30°C to a cooling tank around the outer periphery of the vacuum container to reduce the temperature of the atmosphere inside the vacuum container. By directly cooling the temperature with a cooling roll, the temperature can be lowered to about 50°C or less, making it possible to apply vapor deposition plating up to a thickness of about 100 μ at a time, and after the vapor deposition process. The present invention provides a method for producing a metal mesh body and a porous metal body, which comprises performing desooting and sintering in a hydrogen atmosphere during the process, creating a metal structure of the vapor-deposited metal, and adjusting hardness, etc. be.
さらに、本発明は、上記した蒸着方法による網目体シー
トあるいは多孔体シートに対する金属被膜を施して導電
性を付与した後に、電解メッキを施して、メッキ厚さを
大とし或いは異種金属を２層にわけてメッキすることを
特徴とする金属網目体及び金属多孔体の製造方法を提供
するものである。Furthermore, the present invention applies a metal coating to a mesh sheet or a porous sheet by the above-described vapor deposition method to impart conductivity, and then performs electrolytic plating to increase the plating thickness or to form two layers of different metals. The present invention provides a method for manufacturing a metal mesh body and a porous metal body, which is characterized by plating separately.
上記した蒸着メッキの後で行う電解メッキ方法としては
、先に本出願人が提供したメッキ方法（特願昭６３−１
２００６９号）に記載したメッキ方法を好適に用いるこ
とが出来る。即ち、電解メッキ方法として、メッキ槽内
を移動させる時に、はぼ直角方法よりメッキ液をぶつけ
るように強制的に流し、高電流密度でメッキ処理を行っ
て、網目体シートおよび多孔体シートの表面全体に均一
な厚さでメッキを与えるようにしている。As an electrolytic plating method performed after the above-mentioned vapor deposition plating, the plating method previously provided by the applicant (Japanese Patent Application No. 63-1
20069) can be suitably used. That is, in the electrolytic plating method, when moving in the plating tank, the plating solution is forced to flow in a perpendicular manner so as to collide with each other, and the plating process is performed at a high current density to coat the surface of the mesh sheet and porous sheet. The plating is applied to the entire surface with a uniform thickness.
さらに、本発明は、上記した製造方法を実施するために
、
外部を冷却槽で囲繞し、かつ、内部にシート案内用の冷
却ローラを設置すると共に蒸着メッキする金属を入れる
容器を配置し、さらに、該金属を溶解するための電子ビ
ーム等の手段を取り゛付けた蒸着用真空容器と、
上記蒸着用真空容器と真空通路を介して連続させたコイ
ル巻き出し用真空容器およびコイル巻き取り用真空容器
と、
上記巻き出し用真空容器内に設置するコイル状とした網
目体シートあるいは多孔体シートを、上記真空通路を介
して蒸着用真空容器に搬送すると共に、該蒸着用真空容
器より真空通路を介してコイル状に巻き取る巻き取り用
真空容器内へ連続的に搬送するガイドローラ等を備えた
搬送手段とを備えていることを特徴とする金属網目体及
び金属多孔体の製造装置を提供するものである。Furthermore, in order to carry out the above-described manufacturing method, the present invention includes a cooling tank surrounding the outside, a cooling roller for guiding the sheet inside, and a container containing metal to be vapor-deposited and plated. , a vacuum vessel for evaporation equipped with a means such as an electron beam for melting the metal, a vacuum vessel for unwinding a coil, and a vacuum for coil winding, which are connected to the vacuum vessel for evaporation via a vacuum passage. The container and the coiled mesh sheet or porous sheet to be placed in the unwinding vacuum container are transported to the deposition vacuum container via the vacuum passage, and the vacuum passage is transferred from the deposition vacuum container to the deposition vacuum container. Provided is an apparatus for manufacturing a metal mesh body and a porous metal body, characterized in that it is equipped with a conveyance means equipped with a guide roller, etc., which continuously conveys the body through a winding vacuum container into a coil shape. It is something.
上記した製造装置においては、コイル巻き出し用真空容
器は、幅を約１１０００ａ等の広幅とした網目体シート
あるいは多孔体シートを、約１ｍφの外径のコイルに巻
き取ったコイル体の設置に適した形状とすると共に、コ
イル巻き取り用真空容器も同様な形状としていることを
特徴とするものである。In the above manufacturing equipment, the vacuum container for coil unwinding is suitable for installing a coil body in which a wide mesh sheet or porous sheet with a width of approximately 11,000 mm is wound into a coil with an outer diameter of approximately 1 mφ. The present invention is characterized in that the vacuum container for winding the coil has a similar shape.
さらにまた、本発明は、上記蒸着方法あるいは蒸着方法
と電解メッキ方法とを組み合わせたメッキ方法により、
メッキの膜厚を０．１〜１００μの範囲としたものを、
連続的にロール等に巻きとってコイル状としたことを特
徴とするコイル状金属網目体及びコイル状金属多孔体を
提供するものである。Furthermore, the present invention provides a plating method using the above vapor deposition method or a combination of a vapor deposition method and an electrolytic plating method.
The plating film thickness is in the range of 0.1 to 100μ,
The present invention provides a coiled metal mesh body and a coiled metal porous body characterized by being continuously wound around a roll or the like to form a coil shape.
上記本発明において使用しえる網目体シートとしては、
材質が、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリウレタン
等の合成樹脂、天然繊維、セルロース、紙等からなる有
機質材、および、金属、ガラス、セラミック、カーボン
、鉱物質等からなる無機質材からなり、線径が０．０１
ｍｍφ〜ｌ 、 Ｏｍｎ＋φで、網目形状が２〜２００
メツシユ（好適な範囲は２０〜１５０メツシユ）等のも
のが好適である。The mesh sheet that can be used in the present invention is as follows:
The material is synthetic resin such as polyester, polypropylene, polyurethane, organic material such as natural fiber, cellulose, paper, etc., and inorganic material such as metal, glass, ceramic, carbon, mineral material, etc., and the wire diameter is 0. 01
mmφ~l, Omn+φ, mesh shape 2~200
Meshes (the preferred range is 20 to 150 meshes) are suitable.
また、多孔体シートとして使用しえるものとしては、材
質が、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリウレタン等
の合成樹脂、天然繊維、セルロース、紙等からなる有機
質材、および、金属、ガラス、セラミック、カーボン、
鉱物質等からなる無機質材からなり、形状が繊維状、不
織布状、スポンジ状、ラス状、パンチ状、板状、線、布
およびフィルム状の孔を有する形状があれば良く、線径
はＯ，０１ｍ５φ〜ｌ 、 Ｏｓｓφで、厚さが０．０
５ｍｍ〜５０ＩＩＩｆｆｉ等のものが好適である。Materials that can be used as porous sheets include synthetic resins such as polyester, polypropylene, and polyurethane, organic materials such as natural fibers, cellulose, and paper, as well as metals, glass, ceramics, carbon,
It only needs to be made of an inorganic material made of minerals, etc., and have a fibrous, nonwoven fabric, sponge, lath, punch, plate, wire, cloth, or film-like pore shape, and the wire diameter is O. ,01m5φ~l, Ossφ, thickness 0.0
5mm to 50IIIffi is suitable.
一方、上記した網目体シートおよび多孔体シートに対し
て蒸着方法により被膜されるメッキの種類は、Ｃｕ 、
Ｎｉ 、 Ｚｎ 、 Ｓｎ 、 Ｐｄ 、 Ｐｂ 、
Ｃｏ。On the other hand, the types of plating coated on the above-mentioned mesh sheet and porous sheet by the vapor deposition method include Cu,
Ni, Zn, Sn, Pd, Pb,
Co.
ＡＩ 、Ｍｏ 、Ｔｉ 、 Ｆｅ 、 ５ＵＳ３０４．
５ＵＳ４３Ｇ。AI, Mo, Ti, Fe, 5US304.
5US43G.
３０Ｑｒ、Ｂｓ等、はぼいずれの金属でも良い。Any metal such as 30Qr or Bs may be used.
また、蒸着方法によりメッキした後に、電解メッキによ
り複合メッキを施す場合には、Ｃｕ −Ｎｉ 。Moreover, when performing composite plating by electrolytic plating after plating by vapor deposition method, Cu-Ni.
Ｃｕ −９ｎ 、 Ｆｅ −Ｚｎ 、 Ｍｏ−Ｐｂ、
Ｔｉ −Ｐｄなどの組み合わせが好ましい。Cu-9n, Fe-Zn, Mo-Pb,
Combinations such as Ti-Pd are preferred.
作堆
上記した蒸着装置を使用した蒸着方法により、網目体シ
ートおよび多孔体シートに対して金属被膜をメッキする
と、メッキ厚を厚くすることが出来、網目体の格子形状
および多孔体の孔の形状を変形することなく保持できる
。よって、該方法で製造された金属網目体および金属多
孔体をコイル状に巻き取ること、および、負荷をかけて
加工することが出来、製品の用途範囲を拡大すること等
が出来る。By plating a metal film on a mesh sheet and a porous sheet using the vapor deposition method using the vapor deposition apparatus described above, the plating thickness can be increased, and the shape of the lattice of the mesh and the shape of the pores of the porous material can be increased. can be held without deformation. Therefore, the metal mesh body and metal porous body produced by this method can be wound into a coil shape and processed under load, and the range of applications of the product can be expanded.
実施例
以下、本発明を図面に示す実施例により詳細に説明する
。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to examples shown in the drawings.
第１図に本発明に係わる蒸着装置を示すもので、図中、
１は蒸着用真空容器、２はコイル状シート巻き出し用真
空容器、３はコイル状シートの巻き取り用真空容器であ
る。上記蒸着用真空容器１と巻き出し用真空容？ｓ２は
シート案内用の真空通路容器４を介して容器内部を連通
ずる一方、蒸着用真空容器ｌはシート冷却用の真空容器
５と真空通路容器６を介して連通ずると共に、上記冷却
用真空容器５と巻き取り用真空容器３とを真空通路容器
７を介して連通している。FIG. 1 shows a vapor deposition apparatus according to the present invention, and in the figure,
1 is a vacuum vessel for vapor deposition, 2 is a vacuum vessel for unwinding a coiled sheet, and 3 is a vacuum vessel for winding up the coiled sheet. The vacuum container 1 for vapor deposition and the vacuum container for unwinding? s2 communicates with the inside of the container via a vacuum passage container 4 for sheet guidance, while the vapor deposition vacuum container l communicates with a vacuum container 5 for cooling the sheet via a vacuum passage container 6, and also communicates with the vacuum container 5 for cooling the sheet through the vacuum passage container 6. 5 and the winding vacuum container 3 are communicated via a vacuum passage container 7.
上記巻き出し用真空容器２は、ロール８に巻き付けたコ
イル状シート１０を設置するに十分な大きさに形成して
おり、このコイル状シートｌＯを真空通路容器４へ案内
して巻き出すためのガイドローラ９を設置しており、か
つ、コイル状シート！Ｏを矢印方向に回転してシート１
０ａを連続的に送り出す機構（図示せず）を備えている
。The unwinding vacuum container 2 is formed to have a size sufficient to accommodate the coiled sheet 10 wound around the roll 8, and is used to guide the coiled sheet lO to the vacuum passage container 4 and unwind it. Equipped with guide roller 9 and a coiled sheet! Rotate O in the direction of the arrow and select sheet 1
It is equipped with a mechanism (not shown) that continuously sends out Oa.
蒸着用真空容器ｌは、容器本体１１の外周を冷却槽１２
で囲繞し、該冷却槽！２内に冷却媒体を供給している。The vacuum container l for vapor deposition has a cooling tank 12 around the outer periphery of the container body 11.
Surrounded by a cooling tank! A cooling medium is supplied to the inside of the 2.
（本実施例においては、−３０℃とした冷却媒体を供給
している。）また、容器本体ｌｌ内には、上記真空通路
容器４と連通した取入口１１ａの近傍にシート案内用の
ガイドローラ１３を設置すると共に、該ガイドローラ１
３に続いて、シートを取出口１１ｂ側へ屈折して案内す
るガイドローラ兼冷却ローラ１４Ａ、１４ＢＳ １４Ｃ
。(In this embodiment, a cooling medium at -30° C. is supplied.) In addition, a guide roller for guiding the sheet is provided in the container body 11 near the intake port 11a communicating with the vacuum passage container 4. 13, and the guide roller 1
3, guide rollers/cooling rollers 14A, 14BS, 14C that bend and guide the sheet to the outlet 11b side.
.
１４Ｄを順次配置している。これらローラの内、実施例
では２つのローラ１４Ａと１４Ｇを大径ローラとして、
シートがローラと接触する時間を長くしてシートの冷却
率を上げている。尚、上記冷却ローラは公知の構造のも
のが使用出来、例えば、ローラ内部に冷却媒体の通路を
設けた構造としてもよく、該冷却ローラの個数および大
きさは限定されず、蒸着用真空容器ｌの大きさに応じて
適宜に変更される。14D are arranged sequentially. Among these rollers, in the embodiment, two rollers 14A and 14G are large diameter rollers,
The cooling rate of the sheet is increased by increasing the time the sheet is in contact with the rollers. Note that the cooling roller described above can be of a known structure, for example, it may have a structure in which a passage for a cooling medium is provided inside the roller, and the number and size of the cooling roller are not limited. It is changed as appropriate depending on the size of.
さらに、蒸着用真空容器本体１１の内部には蒸着する金
属１５を入れたルツボ等の容器＋６Ａ、１６Ｂを間隔を
あけて適宜位置に設置すると共に、これか容器内の金属
１５を溶解するために、電子ビームを投射する電子ビー
ム発生器１７Ａ、１７Ｂを容器本体１１の外壁面に設置
している。これら電子ビームにより溶解される金属！５
は容器本体１１の真空中に蒸発され、上記ローラ１４Ａ
−１４Ｄに案内されて搬送されるシートｌＯａの全表面
に均一に被膜となって付着され、シー）１０ａの真空容
器ｌ内での通過時間（滞在時間）に応じて被膜の厚さを
任意に制御することが出来る。Furthermore, containers +6A and 16B such as crucibles containing the metal 15 to be evaporated are placed at appropriate positions at intervals inside the vacuum container body 11 for evaporation. , electron beam generators 17A and 17B for projecting electron beams are installed on the outer wall surface of the container body 11. Metals melted by these electron beams! 5
is evaporated in the vacuum of the container body 11, and the roller 14A
A film is uniformly attached to the entire surface of the sheet 10a guided and conveyed by the sheet 14D, and the thickness of the film can be adjusted arbitrarily depending on the transit time (residence time) of the sheet 10a in the vacuum container l. It can be controlled.
上記蒸着用真空容器本体１１の取出口と真空通路容器６
を介して連通した冷却用真空容器５内にも、ガイドロー
ラ兼冷却ローラ１８を設置し、蒸着用真空容器！より取
り出された金属シートをコイル状に巻き取る前に適当な
温度まで下降するようにしている。この冷却用真空容器
５と真空通路容″ａ７を介して連通した巻き取り用真空
容器３は、内部に搬送されてくるシートを巻き付けるた
めのロール８°を設置すると共に、該ロール８°に巻き
付けるためのガイドローラＩ９を設置し、かつ、ローラ
８′を矢印方向へ回転して金属シートをコイル状に巻き
取る回転機構（図示せず）を設置している。The outlet of the vacuum container body 11 for vapor deposition and the vacuum passage container 6
A guide roller/cooling roller 18 is also installed in the cooling vacuum container 5, which communicates with the vacuum container 5 for vapor deposition. The extracted metal sheet is cooled to an appropriate temperature before being wound into a coil. The winding vacuum container 3, which communicates with the cooling vacuum container 5 through the vacuum passage volume "a7," is equipped with a roll 8° for winding the sheet conveyed therein, and the sheet is wound around the roll 8°. A rotating mechanism (not shown) is provided for rotating the roller 8' in the direction of the arrow to wind the metal sheet into a coil.
次に、上記した蒸着装置の作用を説明する。Next, the operation of the above-mentioned vapor deposition apparatus will be explained.
前記した各種の材質からなる網目体シートあるいは多孔
体シートを、例えば、幅１０００Ｉｌ＋ｓで外径を１ｍ
φのコイル状としたコイル状シートｌＯを巻き出し用真
空容器２内に取り付け、真空通路容器４から蒸着用真空
容器１へと連続的に搬送する。蒸着用真空容器ｌ内では
容器＋６Ａ、１６Ｂに入れている金属１５を電子ビーム
により溶解し、該蒸着用真空容器１の取出口１１ｂを出
るまでに１度に！００μ程度の蒸着メッキを施す。その
際、容器本体１１の外周を冷却槽１２で囲み、該冷却槽
１２内に一３０℃の冷却媒体を流通させて、容器本体！
！内の雰囲気温度を低下させているため、電子ビームで
金属１５を溶解するために高温加熱するにも拘わらず、
容器本体ｌｌ内の温度は約５０℃以下に低下している。A mesh sheet or a porous sheet made of the various materials mentioned above, for example, has a width of 1000 Il+s and an outer diameter of 1 m.
A coiled sheet lO having a diameter of φ is attached in a vacuum container 2 for unwinding, and is continuously conveyed from a vacuum passage container 4 to a vacuum container 1 for deposition. In the vapor deposition vacuum container 1, the metal 15 contained in the containers +6A and 16B is melted by an electron beam, and melted at once by the time it exits the outlet 11b of the vapor deposition vacuum container 1! Apply vapor deposition plating of approximately 00 μm. At that time, the outer periphery of the container body 11 is surrounded by a cooling tank 12, and a cooling medium at -30° C. is circulated within the cooling tank 12.
! Because the atmospheric temperature inside is lowered, even though the metal 15 is heated to a high temperature in order to melt it with an electron beam,
The temperature inside the container body 11 has decreased to about 50°C or less.
しかも、シートｌＯａは冷却ローラ１４Ａ−１４Ｄに接
触して直接的に冷却されるために、さらにシートｌＯａ
の温度は低下している。従って、シート１０ａが変形を
生じやすい樹脂製等であっても、金属１５の溶解熱のふ
く射熱によって変形や焼き切れが生じることなく、金属
被膜の蒸着を為すことが出来る。さらに、該シート１０
ａの蒸着用真空容器本体ｉｌ内での滞在時間を熱による
変形を防止するために考慮する必要は殆ど無いため、適
宜な時間に設定し、よって、蒸着時間を制御することに
より、上記した１００μ程度の厚膜とすることが出来る
。即ち、蒸着用真空容器１内でシートｌＯａを遅い速度
でゆっくりと搬送することにより上記した厚い金属メッ
キを施すことが出来る一方、早い速度で搬送することに
より薄い金属メッキを施すことができ、金属膜厚を上記
１００μ〜Ｏ１１μの範囲で任意に制御することが出来
る。Moreover, since the sheet lOa contacts the cooling rollers 14A to 14D and is directly cooled, the sheet lOa is further cooled.
temperature is decreasing. Therefore, even if the sheet 10a is made of a resin or the like that tends to be easily deformed, the metal coating can be deposited without being deformed or burnt out due to the radiated heat of melting of the metal 15. Furthermore, the sheet 10
There is almost no need to consider the residence time of a in the vacuum vessel body il for vapor deposition in order to prevent deformation due to heat, so by setting it to an appropriate time and controlling the vapor deposition time, It is possible to make the film as thick as possible. That is, by transporting the sheet lOa slowly at a slow speed in the vacuum chamber 1 for vapor deposition, the above-mentioned thick metal plating can be applied, while by transporting it at a high speed, a thin metal plating can be applied, and the metal The film thickness can be arbitrarily controlled within the range of 100μ to 011μ.
上記した蒸着用真空容器１の取出口１１ｂより送り出さ
れた金属シート（金属網目体あるいは金属多孔体）ｔ
ａｂは冷却用真空容８３５内で冷却ローラ１８でさらに
冷却した後に、真空通路容器７より巻き取り用真空容器
３内でローラ８゛に巻き取られ、金属網目体あるいは金
属多孔体のコイル１０ｄが製造される。A metal sheet (metal mesh body or metal porous body) t sent out from the outlet 11b of the vacuum vessel 1 for vapor deposition described above
After being further cooled by the cooling roller 18 in the cooling vacuum volume 835, ab is wound up by the roller 8' in the winding vacuum container 3 from the vacuum passage container 7, and the coil 10d of metal mesh body or metal porous body is formed. Manufactured.
上記したシートを例えば１００μの厚さでメッキする場
合には、前記したように温度を５０℃以下に下げている
ため、蒸着メッキされた金属は組織になっておらず、そ
のため、次工程において水素雰囲気中で、脱線焼結処理
を行い、金属組織を作り、また、強度等の調整を行って
いる。この強度調整が出来ることにより、伸展性も良好
とすることが出来る。該焼結温度は３００〜１２００℃
で行っている。When plating the above-mentioned sheet to a thickness of 100μ, for example, the temperature is lowered to 50°C or less as described above, so the vapor-plated metal does not have a structure, so hydrogen is removed in the next step. Derailment sintering is performed in an atmosphere to create the metal structure and adjust the strength etc. By being able to adjust the strength, it is possible to improve extensibility. The sintering temperature is 300-1200℃
I'm doing it.
上記した脱線焼結工程は用途に応じて省略してもよい。The derailment sintering step described above may be omitted depending on the application.
上記脱線焼結工程において、基板となるシートが金属、
ガラス以外の樹脂等の燃えるものである場合に分解、即
ち、焼えてしまう。即ち、中心部は空洞となり、同じ線
径の金属網やガラス製網に比較して、重量が約１／２と
なり、地金式が安価となる。さらに、中心部が空洞とな
るために、ロール等により押しつぶして偏平な形状のメ
ッキ網を作ることが出来る。ただし、引張強度を上げる
ためにはメッキ厚を厚くする必要がある。In the above derailment sintering process, the sheet serving as the substrate is made of metal,
If it is a flammable material such as resin other than glass, it will decompose or burn. That is, the central part is hollow, and the weight is about 1/2 compared to a metal net or glass net of the same wire diameter, making the bare metal type cheaper. Furthermore, since the center is hollow, it is possible to create a flat plating net by crushing it with a roll or the like. However, in order to increase the tensile strength, it is necessary to increase the plating thickness.
一方、基板の材質が金属、ガラスなどの場合は、脱線焼
結時に３００〜！２００℃まで分解しないため、基板が
そのまま残り、特に、強度（引張強度）が大となり、生
産性を上げることが出来る。On the other hand, if the substrate material is metal, glass, etc., 300~! Since it does not decompose up to 200°C, the substrate remains as it is, and the strength (tensile strength) in particular increases, which can increase productivity.
また、引張強度が大きいため、メッキ厚を少なくするこ
とができる。Furthermore, since the tensile strength is high, the plating thickness can be reduced.
網目体シートにメッキを施して金属網目体を製造する場
合、各種の線材よりなるメツシュ網は、織ったままでも
よいが、格子のズレを防止するため、バインダー処理ま
たは熱溶着された網目体シートを用いると、メッキ処理
された金属網目体は更に精度アップされた格子の正確な
メツシュ網状体とすることが出来る。さらに、カサボン
、合成材料などに各金属粉′末を混入して、これを線引
した後、メツシュ網に織り上げた網目体シートを用いる
と、導電性を上げることが出来る。When manufacturing a metal mesh by plating a mesh sheet, the mesh made of various wire rods may be left woven, but in order to prevent the mesh from shifting, the mesh sheet must be treated with a binder or heat-welded. By using this method, the plated metal net can be made into an accurate mesh net with an even more precise lattice. Furthermore, conductivity can be increased by mixing various metal powders into Kasabon, synthetic materials, etc., drawing the mixture, and then using a mesh sheet woven into a mesh net.
上記基板となる網目体シートとしては、前記したように
、材質が、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリウレタ
ン等の合成樹脂、天然繊ｔ１１４セルロース、紙等から
なる有機質材、および、金属、ガラス、セラミック、カ
ーボン、鉱物質等からなる無機質材からなり、線径が０
．０１ｍｍ＋φ〜１．０ｖｅφで、網目形状が２〜２０
０メツシユ（好適な範囲は２０〜１５０メツシユ）等の
ものが好適である。As mentioned above, the mesh sheet serving as the substrate is made of synthetic resins such as polyester, polypropylene, and polyurethane, organic materials such as natural fiber T114 cellulose, and paper, as well as metals, glass, ceramics, carbon, Made of inorganic material such as minerals, wire diameter is 0.
．． 01mm+φ~1.0veφ, mesh shape 2~20
0 mesh (the preferred range is 20 to 150 mesh) is suitable.
また、基板となる多孔体シートとしては、材質が、ポリ
エステル、ポリプロピレン、ポリウレタン等の合成樹脂
、天然繊維、セルロース、紙等からなる有機質材、およ
び、金属、ガラス、セラミック、カーボン、鉱物質等か
らなる無機質材からなり、形状が繊維状、不織布状、ス
ポンジ状、ラス状、パンチ状、板状、線、布およびフィ
ルム状の孔を有する形状があれば良く、線径は０．・０
１ｓａφ〜１．Ｏｍｍφで、厚さが０．０５ｍｍ 〜５
０ｍａ＋等のものが好適である。The porous sheet that serves as the substrate may be made of synthetic resins such as polyester, polypropylene, and polyurethane, organic materials such as natural fibers, cellulose, and paper, as well as metals, glass, ceramics, carbon, mineral materials, etc. The wire may be made of an inorganic material having a fibrous, nonwoven fabric, sponge, lath, punch, plate, wire, cloth, or film-like hole, and the wire diameter is 0.・0
1saφ~1. Ommφ, thickness 0.05mm ~ 5
0ma+ etc. are suitable.
上記した網目体シートおよび多孔体シートに対して蒸着
方法により被膜されるメッキの種類は、Ｃｕ 、Ｎｌ
、Ｚｎ 、Ｓｎ 、Ｐｄ 、Ｐｂ 、Ｃｏ、Ａ１゜Ｍｏ
、Ｔｉ 、Ｆｅ 、５ＵＳ３０４．５ＵＳ４３０．３
０むｒ 、Ｂｓ等はぼいずれの金属でも良い。The types of plating coated on the above-mentioned mesh sheet and porous sheet by vapor deposition include Cu, Nl,
, Zn, Sn, Pd, Pb, Co, A1゜Mo
, Ti, Fe, 5US304.5US430.3
Omr, Bs, etc. may be any metal.
「実験例」
網目体シートを上記蒸着によりＮｉメッキを施した場合
、線径０．０８φｍｎ＋のメツシュ網で、最低４．０μ
のメッキをすると、第２図および第３図に示すように、
メッキＭにより格子の縦Ｌ’−■と横線Ｌ’−２とはく
っついて離れなかった。"Experimental example" When Ni plating is applied to the mesh sheet by the above vapor deposition, the mesh net with a wire diameter of 0.08φmn+ has a minimum of 4.0 μm.
When plated, as shown in Figures 2 and 3,
Due to the plating M, the vertical lines L'-■ and the horizontal lines L'-2 of the grid were stuck together and did not separate.
また、５．０μ以上とすると強固にくっついた。In addition, when the thickness was 5.0μ or more, it stuck firmly.
メッキの厚みを上げるとごとに上記上線と下線との密着
度が大となった。よって、引張強度が大となって、格子
の変形がない金属網目体を製造することが出来た。As the thickness of the plating was increased, the degree of adhesion between the upper line and the underline increased. Therefore, it was possible to manufacture a metal mesh body with high tensile strength and no deformation of the lattice.
本発明においては、更に、上記した蒸着装置による蒸着
メッキを施した後に、電解メッキを施して、メッキ厚を
大とすること、或いは異種金属を２層にわけてメッキす
るようにしてもよい。In the present invention, after performing vapor deposition plating using the above-described vapor deposition apparatus, electrolytic plating may be performed to increase the plating thickness, or dissimilar metals may be plated in two layers.
上記電解メッキ方法としては、前記したように、本出願
人が先に出願（特願昭６３−１２００６９号）したメッ
キ方法が好適に使用される。ただし、このメッキ方法に
限定されるものではない。As the electrolytic plating method, as mentioned above, the plating method previously filed by the present applicant (Japanese Patent Application No. 120069/1983) is preferably used. However, it is not limited to this plating method.
上記した電解メッキと上記蒸着メッキとを組み合わせた
装置は、第４図に示す構成よりなり、図中、１００は未
メッキの網目体シートあるいは多孔体シートを巻回して
いるコイル、１０１は該巻出コイル１００より巻き出し
て、蒸着メッキ装置５０および電解メッキ装置５１の両
方でメッキ処理が施して既メッキとした金属網目体ある
いは金属多孔体を巻回した巻取コイルで、次の電解メッ
キ時の支持体として用いるための巻出コイルとなるもの
である。上記電解メッキ装置５０では蒸着メッキが先に
施されている金属網目体あるいは金属多孔体を、複数の
メッキ槽５２に連続的に移動させ、この移動時に、メッ
キ液５３を直角方向より金属網目体あるいは金属多孔体
にぶつけるように強制的に流している。このメッキ方法
により、金属網目体の格子部の表面全体、および金属多
孔体の孔の表面全体に均一な厚さでメッキを施すことが
出来る。An apparatus that combines the above-mentioned electrolytic plating and the above-mentioned vapor deposition plating has the configuration shown in FIG. This is a take-up coil that is unwound from the output coil 100 and is wrapped around a metal mesh body or metal porous body that has been plated by both the vapor deposition plating device 50 and the electrolytic plating device 51 for the next electrolytic plating. This is an unwound coil for use as a support for. In the electrolytic plating apparatus 50, a metal mesh body or a metal porous body that has been subjected to vapor deposition plating first is continuously moved to a plurality of plating tanks 52, and during this movement, a plating solution 53 is applied to the metal mesh body from a right angle. Alternatively, the water is forced to flow against a porous metal object. By this plating method, the entire surface of the lattice portion of the metal mesh body and the entire surface of the pores of the metal porous body can be plated with a uniform thickness.
上記蒸着メッキと電解メッキとを組み合わせて２層のメ
ッキ層を設ける場合、前記したように、Ｃｕを蒸着メッ
キをした後、Ｎｉを電解メッキする（Ｃｕ−Ｎｌ）、同
様に、Ｃｕ−５ｎ、 Ｆｅ−Ｚｎ。When forming two plating layers by combining the above-described vapor deposition plating and electrolytic plating, as described above, after Cu is vapor-deposited and then Ni is electrolytically plated (Cu-Nl), Cu-5n, Fe-Zn.
Ｍｏ−Ｐｂ、Ｔｌ−Ｐｄの組み合わせが好ましい。Combinations of Mo-Pb and Tl-Pd are preferred.
久肌ｑ処里
以上の説明より明らかなように、本発明に係わる金属網
目体および金属多孔体の製造方法および装置によれば、
蒸着用真空容器内の雰囲気温度を下げると共に被メッキ
体のシートを冷却ローラで案内して直接的にシートを冷
却しているため、蒸着用真空容器内で金属が高温で加熱
されて溶解された場合にも、シートの加熱を防止した状
態で該蒸着用真空容器内を任意の速度で通過さけること
が出来る。よって、蒸着によるメッキ膜厚を任意に制御
でき、用途に応じて、０．１〜１００μの範囲で制御出
来る。従って、膜厚を厚くすることも容易にでき、網目
体シートおよび多孔体シートに対して厚いメッキを施す
ことにより、格子形状および穴形状の変形を防止できる
。As is clear from the above explanation, according to the method and apparatus for producing a metal mesh body and a metal porous body according to the present invention,
Because the atmospheric temperature inside the vacuum chamber for deposition is lowered and the sheet of the object to be plated is guided by a cooling roller to directly cool the sheet, the metal is heated to high temperatures and melted inside the vacuum chamber for deposition. In this case, the sheet can be passed through the vapor deposition vacuum container at any speed while preventing the sheet from being heated. Therefore, the thickness of the plating film formed by vapor deposition can be controlled arbitrarily, and can be controlled within the range of 0.1 to 100 μm depending on the application. Therefore, the film thickness can be easily increased, and deformation of the lattice shape and hole shape can be prevented by applying thick plating to the mesh sheet and the porous sheet.
このように、格子形状および穴形状が容易に変形しない
ことにより、これら金属網目体および金属多孔体をコイ
ルにすることが出来る利点も有するものである。In this way, since the lattice shape and hole shape are not easily deformed, there is an advantage that these metal mesh bodies and metal porous bodies can be made into coils.
第１図は本発明に係わる装置の概略図、第２図は蒸着メ
ッキされた金属網目体を示す平面図、第３図は第２図の
拡大断面図、第４図は蒸着メッキ装置と組み合わせて使
用する電解メッキ装置の全体図、第５図は従来の金属メ
ツシュの平面図、第６図は第５図の欠点を示す図面であ
る。
ｌ・・蒸着用真空容器、
２・・巻き出し用真空容器、
３・・巻き取り用真空容器、
４．６・・真空通路容器、
５・・冷却用真空容器、
ＩＯ・・網目体シートあるいは多孔体シートのコイル、
Ｉ・・蒸着用真空容器本体、
２・・冷却槽、
４Ａ−１４Ｉ３
５・・金属、
７Ａ、１７Ｂ
・・ガイドロール兼冷却ロール、
１６ＡＳ １６Ｂ・・容器、
・・電子ビーム発生器。
特許出願人 片山特殊工業株式会社
代理人 弁理士青白 葆ほか２名Fig. 1 is a schematic diagram of the apparatus according to the present invention, Fig. 2 is a plan view showing a metal mesh body plated by vapor deposition, Fig. 3 is an enlarged sectional view of Fig. 2, and Fig. 4 is a combination with the vapor deposition plating apparatus. 5 is a plan view of a conventional metal mesh, and FIG. 6 is a drawing showing the drawbacks of FIG. 5. 1. Vacuum container for deposition, 2. Vacuum container for unwinding, 3. Vacuum container for winding, 4.6. Vacuum passage container, 5. Vacuum container for cooling, IO.. Mesh sheet or Coil of porous sheet, I...Vacuum vessel body for vapor deposition, 2...Cooling tank, 4A-14I3 5...Metal, 7A, 17B...Guide roll and cooling roll, 16AS 16B...Container,...Electron beam generator. Patent applicant: Katayama Special Industry Co., Ltd. Agent: Patent attorney Seihaku Hao and 2 others
Claims (1)
トを、外周部を冷却槽で囲繞した蒸着用真空容器内に挿
入し、該蒸着用真空容器内に設置した冷却ロールにより
冷却しながら案内して連続的に通過させ、該蒸着用真空
容器内の通過時に、適宜な膜厚の蒸着メッキを施した後
に、連続的に取り出す金属網目体及び金属多孔体の製造
方法。 ２、請求項１記載の方法において、上記真空容器内に設
置したコイル状の網目体シートあるいは多孔体シートか
ら巻き出して蒸着用真空容器内を連続的に通過させ、蒸
着メッキ後に真空容器内でコイル状に巻き取ることを特
徴とする金属網目体及び金属多孔体の製造方法。 ３、請求項１および請求項２記載の方法において、蒸着
時における蒸着用真空容器内の雰囲気温度を５０℃以下
に低下させて、蒸着メッキを１度に１００μ程度の厚さ
まで施すことを可能とし、かつ、該蒸着工程の後の工程
で水素雰囲気中で脱煤焼結を行って蒸着メッキされた金
属の金属組織を作ると共に強度等の調整を行うことを特
徴とする金属網目体及び金属多孔体の製造方法。 ４、請求項１および請求項２記載の方法において、上記
蒸着方法による網目体シートあるいは多孔体シートに対
する金属被膜を施して導電性を付与した後に、電解メッ
キを施して、メッキ厚さを大とし或いは異種金属を２層
にわけてメッキすることを特徴とする金属網目体及び金
属多孔体の製造方法。 ５、外部を冷却槽で囲繞し、かつ、内部にシート案内用
の冷却ローラを設置すると共に蒸着メッキする金属を入
れる容器を配置し、さらに、電子ビーム発生器などの金
属溶解手段を取り付けた蒸着用真空容器と、 上記蒸着用真空容器と真空通路を介して連通させたコイ
ル巻き出し用真空容器およびコイル巻き取り用真空容器
と、 上記巻き出し用真空容器内に設置するコイル状とした網
目体シートあるいは多孔体シートを、上記真空通路を介
して蒸着用真空容器に搬送すると共に、該蒸着用真空容
器より真空通路を介してコイル状に巻き取る巻き取り用
真空容器内へ連続的に搬送するガイドローラ等を備えた
搬送手段とを備えていることを特徴とする金属網目体及
び金属多孔体の製造装置。 ６、真空容器内に設置したコイル状の網目体シートある
いは多孔体シートを巻き出して、外周部を冷却槽で囲繞
した蒸着用真空容器内に挿入し、該蒸着用真空容器内に
設置した冷却ロールにより冷却しながら案内して連続的
に通過させ、該蒸着用真空容器内の通過時に、膜厚を０
．１〜１００μの範囲で蒸着メッキを施した後に、連続
的に取り出して真空容器内で巻き取りコイル状としたこ
とを特徴とするコイル状金属網目体及びコイル状金属多
孔体。[Claims] 1. A mesh sheet or a porous sheet that is continuously supplied is inserted into a vacuum chamber for deposition whose outer periphery is surrounded by a cooling tank, and a cooling roll is installed in the vacuum chamber for deposition. A method for producing a metal mesh body and a porous metal body, in which the metal mesh body and the metal porous body are guided and continuously passed through the vacuum vessel for vapor deposition while being cooled, and after being coated with vapor deposition plating to an appropriate thickness while passing through the vapor deposition vacuum vessel, the metal mesh body and the metal porous body are continuously taken out. 2. In the method according to claim 1, it is unrolled from a coiled mesh sheet or porous sheet placed in the vacuum container and continuously passed through the vacuum container for vapor deposition, and after the vapor deposition plating, A method for producing a metal mesh body and a porous metal body, characterized by winding it into a coil shape. 3. In the method according to claims 1 and 2, the atmospheric temperature in the vacuum vessel for vapor deposition during vapor deposition is lowered to 50°C or less, making it possible to apply vapor deposition plating to a thickness of about 100 μ at a time. , and a metal mesh body and a metal porous body characterized in that, in a step after the vapor deposition step, desooting and sintering is performed in a hydrogen atmosphere to create a metal structure of the vapor-deposited metal and to adjust the strength etc. How the body is manufactured. 4. In the method according to claims 1 and 2, after applying a metal coating to the mesh sheet or porous sheet by the above vapor deposition method to impart conductivity, electrolytic plating is performed to increase the plating thickness. Alternatively, a method for producing a metal mesh body and a metal porous body, which comprises plating different metals in two layers. 5. Vapor deposition with a cooling tank surrounding the outside, a cooling roller for sheet guidance inside, a container to hold the metal to be deposited and plating, and metal melting means such as an electron beam generator installed. a vacuum container for coil unwinding and a vacuum container for coil winding that communicate with the vacuum container for vapor deposition via a vacuum passage, and a coiled mesh body installed in the vacuum container for unwinding. The sheet or porous sheet is conveyed through the vacuum passageway to a vacuum vessel for deposition, and is continuously conveyed from the vacuum vessel for deposition through the vacuum passageway into a vacuum vessel for winding up into a coil shape. 1. An apparatus for manufacturing a metal mesh body and a metal porous body, comprising a conveying means equipped with a guide roller and the like. 6. Unwind the coiled mesh sheet or porous sheet placed in a vacuum container, insert it into a vacuum chamber for deposition whose outer periphery is surrounded by a cooling tank, and cool the sheet placed inside the vacuum chamber for deposition. The film is guided to pass through the vapor deposition vacuum container continuously while being cooled by rolls, and the film thickness is reduced to 0 when passing through the vapor deposition vacuum container.
．． A coiled metal mesh body and a coiled metal porous body characterized in that after being subjected to vapor deposition plating in a range of 1 to 100 μm, the body is continuously taken out and wound up in a vacuum container to form a coil shape.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9608589A JPH02274869A (en) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | Method and apparatus for producing metallic meshed body and metallic perforated body |
| EP19890121243 EP0392082B1 (en) | 1989-04-14 | 1989-11-16 | Method for manufacturing a metallic porous sheet |
| DE1989625580 DE68925580T2 (en) | 1989-04-14 | 1989-11-16 | Process for the production of a porous metallic foil |
| ES89121243T ES2085269T3 (en) | 1989-04-14 | 1989-11-16 | PROCEDURE TO MANUFACTURE A POROUS METAL SHEET. |
| US07/762,251 US5300165A (en) | 1989-04-14 | 1991-09-19 | Method for manufacturing a metallic porous sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9608589A JPH02274869A (en) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | Method and apparatus for producing metallic meshed body and metallic perforated body |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02274869A true JPH02274869A (en) | 1990-11-09 |
Family
ID=14155562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9608589A Pending JPH02274869A (en) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | Method and apparatus for producing metallic meshed body and metallic perforated body |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02274869A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5316837A (en) * | 1993-03-09 | 1994-05-31 | Kimberly-Clark Corporation | Stretchable metallized nonwoven web of non-elastomeric thermoplastic polymer fibers and process to make the same |
| US5599585A (en) * | 1992-03-12 | 1997-02-04 | Kimberly-Clark Corporation | Process to make an elastomeric metallized fabric |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP9608589A patent/JPH02274869A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5599585A (en) * | 1992-03-12 | 1997-02-04 | Kimberly-Clark Corporation | Process to make an elastomeric metallized fabric |
| US5316837A (en) * | 1993-03-09 | 1994-05-31 | Kimberly-Clark Corporation | Stretchable metallized nonwoven web of non-elastomeric thermoplastic polymer fibers and process to make the same |
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