JPH02272368A - 回路基板検査装置における最良測定条件データの生成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は回路基板検査装置における最良測定条件デー
タの生成方法に係り、更に詳しく言えば。

回路基板に実装された電子部品類の特性を回路基板検査
装置により測定して同基板の良否を判定する際の最良測
定条件データの求め方に関するものである。

〔従　来　例〕

電子部品等が実装された回路基板の検査にインサーキッ
トテスタと称される回路基板検査装置が利用されている
。

その−例が第２５図に示されているが、例えば測定用信
号源１には直流及び交流の電流、電圧源を備え、測定項
目に応じて信号設定器１０によりそれらを切り換え送出
するようになっている。この信号源１から発せられた測
定用信号は、例えば切換器２と信号源側のピン３を経て
被検査基板４に装着された図示しない測定対象部品に加
えられるにれにより同部品にはその特性に対応した信号
が発生するから、それを測定部側のピン５と切換器６を
介して測定部１１に取り込み測定する。

この測定値は例えば比較器１２において基準データ設定
器１３から与えられる基準データと比較され、上記部品
の良否が判定されるようになっている。

この基準データは例えば比較基準値とそれに対する上、
下限の許容差からなり、通常は部品規格、カタログなど
を参照して定められている。

上記測定用のピン３，５は、装置にセットされた基板４
の回路パターンと所定箇所で接触するようにされており
、切換器２と６は測定用ピン３と５をそれぞれ信号源１
と測定部１１へ切り換え接続し、上記基板４の図示しな
い部品に対する測定回路を形成するようになっている。

また、測定の際不要信号等が測定部１１へ入り込まない
ようにするため、例えば回路パターンの所定箇所を接地
あるいは信号ｇ’ａｔ位にするガードピンと称されるピ
ン７と、これらのピンを必要により接地もしくは信号源
電位へ切り換え接続する切換器８が設けられており、こ
の切換器８と上記切換器２，６のオン、オフ動作は例え
ば切換制御器９にて制御されるようになっている。

ところで、実装基板においてはいくつかの部品が回路パ
ターンを介して直列的又は並列的、もしくは直、並列的
に接続されていることが多い。そこで実際の測定に当た
っては、当該部品と他の部品間の接続状態によって使用
する測定用ピンやガードピンを設定したり測定用信号の
種類を選定するなど、測定のための諸条件をあらかじめ
定めておくようにしている。

この測定条件の設定は、一般に次のようになされている
。すなわち、まず上記比較基準値に対して所定の許容差
内の値を有する良品部品を例えば単品ＩＡｇ定により確
認し、それらの部品を用いて良品基板を構成する。次に
、この良品基板をサンプルとなし、同基板上の各部品を
回路基板検査装置によりそれぞれ当初設定した測定条件
にて測定する。

この場合、測定値が上記基準データ設定器１３から与え
られる良品範囲データ、すなわち（基準値−下限許容差
）〜（基準値＋上限許容差）の範囲内に入っていれば当
初設定した測定条件は適正であると判断し、それを生産
ロット基板の検査に対する正規の測定条件として採用す
る。測定値が良品範囲データ内に入らなかった場合には
例えば使用するピン類や信号源を変更して再測定を行い
、測定値が良品範囲データ内に入るような測定条件を見
いだすようにしている。

このようにして適正な測定条件が採用されるとそれらの
データは例えばデータ保持器１４に保持され、それに基
づいて生産ロット基板の各部品に対する測定が行われる
。そして、その測定値を当該部品に設定された良品範囲
データと比較することにより同基板の良否が判定される
。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来の測定条件設定方法は比較的簡単でわかりやす
いという利点がある。しかしながら、適正であるとして
採用された測定条件の下で基板検査を行えば常に正しい
良否判定が得られるかというと必ずしもそうではなく、
場合によっては判定を誤るおそれがある。

その−例を挙げると、第２６図（Ａ）に示すように例え
ばサンプルに供された良品基板の構成部品をあらかじめ
単品状態で測定したときその特性値がＰで、基準値Ｍに
対して一αなる誤差があったものとし、これを良品基板
に実装した状態で測定条件Ａにより測定したら図示のよ
うにＰＡなる値が得られたとする。この場合、測定値Ｐ
Ａは許容範囲Ｌ−Ｕ内に入っているので測定条件Ａは適
正であると判断され、生産ロット基板の検査に適用され
る。

したがって、例えば生産ロット基板上における上記と同
一仕様部品の特性値Ｘ１を上記と同一条件Ａで測定する
とその値はＸｉいとなり、本来良品であるものが不良と
誤判定されることになる。また、部品本来の特性値が例
えばＸ２であって許容差の上限値Ｕを超えた不良品であ
っても、もし測定値として図示のようにＸｔＡが得られ
ると良品として判定されることになる。すなわち、許容
差の上限値又は下限値近傍の特性値を測定した場合には
、必ずしも正しい良否判定が得られないことがある。

第２６図（Ｂ）は、例えば上記と異なる仕様の他の部品
を測定条件Ｂにて測定した例である。良品基板における
検査対象部品の特性値Ｑは基準値Ｍに対して例えば＋β
なる誤差を有しており、その測定値ＱＢが図示のように
許容範囲Ｌ−Ｕ内に入ついるものとすると、この場合も
測定条件Ｂは適正であると判断される。したがって、こ
の測定条件Ｂにて生産ロット基板を測定した場合には、
同一仕様の部品の特性値Ｘ　ｉ’、　Ｘ、’等に対して
その測定値は例えばｘｌ、　、　Ｘ、Ｂ’となり、上記
第２５図（Ａ）の例と同様に良否判定を誤るおそれがあ
る。

言え換えると、検査対象部品を単品状態で測定した場合
には、例えば測定器の固有誤差が無視できるものとする
と部品本来の特性値Ｐ、Ｑとほぼ等しい測定値Ｐ’、　
Ｑ’が得られる。しかし、実装基板上では回路パターン
を介して接続された他の部品からの影響等によって上記
の例のように部品特性値と測定値とが必ずしも一致しな
くなり、生産ロット基板の良否判定が不正確となること
がある。

この発明は上記の点を考慮してなされたもので。

その目的は、良品基板上の部品に対して多通りの測定条
件を設定してそれぞれ測定を行い、その測定データの中
から所定の良品要件を満足する最良のデータを抽出し、
この最良データが得られたとき適用した測定条件データ
を最良測定条件データとして保持するようにした最良測
定条件データの求め方を提供することにある。

〔用語の説明〕

以下、この発明の実施例に使用されている用語について
説明する。

「基準値」 設計上から定まる値であって１回路基板に所定の機能を
果たさせるため使用部品に対して設定した良否判定の基
準となる値を言う。

例えば使用部品が抵抗であって、その基準値（Ｍ）が２
０にΩの場合の例を第１図（Ａ）に示す。

「リミット値」 設計上から定まる値であって、使用部品に対して許容し
得る基準値からのずれを言う。士、−の％、あるいはそ
の絶対値で表す。

上記第１図（Ａ）に示すように例えばリミット値を±１
０％とした場合、絶対値表現では下限値（Ｌ）が１８．
０　ｋΩ、上限値（Ｕ）は２２．０　ｋΩとなる。

「実装値」 使用部品の特性値の公称値を言う。

例えば第１図（Ｂ）に示すように、実際に回路基板に組
み込まれた部品が抵抗であって、その公称抵抗値が２０
にΩ、許容差が±１０％の場合、この公称抵抗値２０に
Ωをこの実施例では特に実装値と言うことにする。

第１図（Ａ）、（Ｂ）の例では、基準値と実装値、及び
リミット値と許容差がたまたま一致した値が示されてい
るが、実装値（公称抵抗値）、許容差は部品の製造段階
で部品自体に与えられた値であり、基準値、リミット値
は回路基板の機能遂行の面からその構成部品に対して定
めた値である。なお、実際の基板検査においては基準値
、リミット値等をｉｎすることもあり得る。

「測定値」 回路基板に実装された部品を回路基板検査装置にて測定
した値を言う。

基準値、リミット値の調整について 測定条件データ収集用の良品基板が基準値と実質的に等
しい特性値を有する部品で構成され、かつ、各被測定部
品が他の部品からの直、並列成分による影響を受けなけ
れば好都合であるが、部品の固有誤差や実際の良品基板
上での直、並列成分の影響を無くすることはむずかしい
。そのため、測定値が部品本来の特性値と一致しなくな
ることがある。このような場合には、当初設定した基準
値、リミット値に対して必要により調整を加える。

そこで、再び第１図を参照しながら構成部品が抵抗の場
合における基準値、リミット値調整の一例を説明する。

同図（Ｃ）のように実装値（公称値）が１９．６　ｋΩ
であった場合には、例えばこの実装値を基準値（Ｍ）に
し、リミット値を一６％（Ｌ）と＋１４％（Ｕ）にする
、また、実用上支障が無い場合には同図（Ｄ）に示すよ
うに、リミット値を一１０％（１７，６ｋΩ）（Ｌ）、
及び＋１０％（２１，６にΩ）（Ｕ）とすることもでき
る。

更に、他の例として同図（Ｅ）のように、上記実装値（
１９，６ｋΩ）を基板上でを測定したとき、例えば１８
．８　ｋΩが得られ、この値があらかじめ定められた要
件を満たしているため有効と認定された場合には、この
測定値を基準値とすることもできる。

この場合、実用上問題が無ければリミット値を例えば−
６％（１７，６ｋΩ）と＋１４％（２１，６ｋΩ）とす
る。

あるいは同図（Ｆ）に示すように、リミット値を例えば
＋１０％、絶対値では１６．９にΩ（Ｌ）、及び２０．
７にΩ（Ｕ）とすることもできる。

測定用信号源について この実施例においては測定用信号源として例えば前記従
来装置と同様に直流定電流源、直流定電圧源、及び交流
定電圧源を備え、基板に実装された被検査部品の測定項
目により適宜使い分けるようになっている。

第２図には、被検査部品４のインピーダンス２が抵抗成
分からなる場合の測定例が示されている。

すなわち、同図（Ａ）の例においては例えば直流定電流
源１ａから部品４へ所定の一定電流Ｉを流し、その両端
に発生する電圧■を電圧計２１ａにより測定する。同部
品４のインピーダンスＺは、ｚ＝Ｖ÷１を計算して求め
る。

第２図（Ｂ）は直流定電圧ｇ１ｂを用いた測定例であっ
て、例えば所定の一定電圧Ｖを発し、上記部品４に流れ
る電流Ｉを電流計２１ｂにより測定する。同部品４のイ
ンピーダンスＺは、Ｚ＝■÷１を計算して求める。

第２図（Ｃ）は交流定電圧源ＩＣを用いた測定例であっ
て、例えば所定の一定電圧Ｅ（実効値）を発し、部品４
に流れる電流■（実効値）を電流計２１ｃにより測定す
る。同部品４のインピーダンスＺは、Ｚ＝Ｅ÷１を計算
して求める。

第３図には、例えば被検査部品４が抵抗Ｒとコンデンサ
Ｃからなり、それらが並列的に接続されている場合の測
定例が示されている。この場合には、同図（Ａ）のよう
に例えばまず直流定電圧源１ｂから一定電圧Ｖを発し、
コンデンサＣの充電が完了するまで所定の待ち時間を置
いたのち、流れる電流Ｉを電流計２１ｂにより測定する
。抵抗Ｒの値は、Ｒ＝Ｖ÷Ｉを計算して求める。

次に、同図（Ｂ）に示すように例えば交流定電圧源１ｃ
を用いて一定電圧Ｅ（実効値）を加え、流れる電流Ｉの
うち、電圧と同相成分の電流■ａ（実効値）、及び電圧
と９０°位相のずれた成分の電流■、。

（実効値）を電流計２１ｃにより測定する。抵抗Ｒの値
は、Ｒ＝Ｅ÷工。を計算して求め、コンデンサＣの値は
、Ｃ＝Ｉ、。÷Ｅ÷ωを計算して求める。

ただし、ω＝２πｆで、ｆは測定周波数とする。

「ＣＣモード」 上記第２図（Ａ）に示すように、信号源に直流定電流源
を用いた測定を例えばＣＣモードによる測定、又は単に
ＣＣモードと言う。

「Ｃ■モード」 上記第２図（Ｂ）及び第３図（Ａ）に示すように、信号
源に直流定電圧源を用いた測定を例えばＣＶモードによ
る測定、又は単にＣ■モードと言う。

ｒＡＣＡＣモー ド記第２図（Ｃ）及び第３図（Ｂ）に示すように、信号
源に交流定電圧源を用いた測定を例えばＡＣモードによ
る測定、又は単にＡＣモードと言う。

「論理モード」 被検査部品に対して理論上最良とみなされる信号源を用
いて測定を行うことを論理モードによる測定、又は単に
論理モードと言う。

例えば上記第２図（Ａ）において、被検査部品のイン−
ピーダンスＺが比較的低い値の抵抗である場合には、同
図に示すように直流定電流源を用いた測定が最良であり
、したがって、ＣＣモードを論理モードとする。この場
合、第２図（Ｂ）の直流定電圧源（ＣＶモード）では流
れる電流が過大になることがあり、最良とは言い難い。

しかし、インピーダンスＺが比較的高い値の抵抗になる
と、第２図（Ａ）のＣＣモードの場合、直流定電流源の
電源電圧によっては所定の一定電流を流しきれなくなる
ことがある。このような場合には第２図（Ｂ）のＣｖモ
ードが最良であり、これを論理モードする。

インピーダンスＺが例えば容量性（Ｃ）又は誘導性（Ｌ
）の場合には、上記第２図（Ａ）及び（Ｂ）のような直
流信号源では測定が困難であるから、同図（Ｃ）の交流
定電圧源による測定が最良であり、したがって、ＡＣモ
ードを論理モードとする。

また、第３図（Ａ）、（Ｂ）に示すように抵抗Ｒとコン
デンサＣの並列部品の測定においては１例えばＣｖモー
ドとＡＣモードの２つが論理モードとなる。

「待ち時間」 」二記第３図に示すように、例えば被検査部品が抵抗と
コンデンサの並列接続でなる場合には、信号源からの充
電又は帯電電荷の放電等による過渡状態の影響を避ける
ため、部品に応じて一定の時間が経過したのち測定を行
うようにする。この時間を例えば待ち時間と言う。

「ランダムモード」 上記第２図において、インピーダンスＺが適当な大きさ
の抵抗であって、例えばＣＣモード、ＣＶモード、もし
くはＡＣモードのいずれによっても測定が可能な場合に
は、これらをランダムモード測定、又は単にランダムモ
ードと言う。

このランダムモードの測定においては必要により複数の
モードを指定することができ、例えば直流信号源モード
と交流信号源モードを指定した場合には、それぞれの測
定モードにて測定するようになっている。

ガードピンについて 第４図（Ａ）にはガードピンを併用した測定例が示され
ている。すなわち、抵抗Ｒ□を被測定部品とし、この抵
抗Ｒ１に例えば抵抗Ｒ２とＲ１が並列的に接続されてい
るような場合には、抵抗Ｒ３とＲ３の接続箇所を破線で
示すようにガードピン７を介して接地する。ここで例え
ば直流定電圧源１ｂから所定の電圧Ｖを加え、そのとき
抵抗Ｒ工に流れる電流をＩ□、抵抗Ｒ２に流れる電流を
Ｉ２とするとこの電流工２は上記ガードピン７から接地
側を通って直流定電圧源１ｂへ戻る。

この場合、電流計２１ｂの＋と−の入力端はいわゆるイ
マジナリショートで接地電位になっており、抵抗Ｒ３の
両端間には電位差が無いのでこの抵抗Ｒ３には電流が流
れない。したがって、抵抗Ｒ工に流れた電流工、はその
まま電流計２１ｂに流入して測定される。よって抵抗Ｒ
１の値はＲ１＝ｖ÷■、の計算にて求めることができる
。

第４図（Ｂ）には、ガードピンを利用した他の測定例が
示されている。すなわち、被測定抵抗Ｒ工に例えばＲ２
とＲ８が並列的に接続されており、この抵抗Ｒ３に直流
定電流源１ａから一定電流工を流してその両端間の電圧
降下を電圧計２１ａにより測定し、抵抗Ｒ工の値を求め
るような場合である。

この場合、電流工は通常、抵抗Ｒ工とＲ２，Ｒ３へそれ
ぞれ電流Ｉ０，１．どなって分流するから、抵抗Ｒ□の
両端間電圧を測定する際にはこの分流電流工２をゼロに
する必要がある。そこで同図の破線で示すように、例え
ばバッファ増幅器を介してガードピン７により抵抗Ｒ２
とＲ３の接続箇所へ上記直流定電流源１ａの信号源電圧
■を与えるにのようにすると、抵抗Ｒ２の両端は共に電
圧■となり、電位差が無くなるので電流Ｉ２は流れなく
なる。この場合、バッファ増幅器と電圧計２１８の入力
インピーダンスが実質的に無限大とみなせるものとする
と、直流定電流源１ａから流される電流工はすべて抵抗
Ｒ□を通ることになり、■＝Ｉ、となる。よって抵抗Ｒ
１の値はＲ１＝Ｖ÷■を計算して求めることができる。

第４図（Ｃ）に示す回路においては、被検査部品４に例
えばそれぞれインピーダンスがＺ工、Ｉ２゜・・・・・
・なるいくつかの部品が接続されている。このような場
合には、ガードピン７を必要数だけ併用して測定を行う
。

「ガードモード」 上記第４図（Ａ）〜第４図（Ｃ）に示すように、例えば
ガードピンを併用して測定を行うことをガードモード測
定、又は単にガードモードと言う。

「論理ガードモード」 例えば理論上必要とみなされるガードピンを併用して測
定することを論理ガードモード測定、又は単に論理ガー
ドモードと言う。

「ランダムガードモード」 例えば使用可能とみなされる複数のガードピンがある場
合、それらを併用して測定を行うことをランダムガード
モード測定、又は単にランダムガードモードと言う。

「Ｈピンガード」、「Ｌピンガード」 上記第４図（Ｃ）に示すように、例えば被検査部品４へ
それぞれ測定用ピン３，５を介して信号源１と測定部２
１を接続した場合、信号源側回路のインピーダンスＺ□
、２２等に対するガードピン７をＨピン、測定部側回路
のインピーダンス２．、２４等に対するガードピン７を
Ｌピンと称することにする。

このＨピンを併用して測定を行うことを例えばＨピンガ
ード測定、又は単にＨピンガードと言い、Ｌビンを併用
した測定をＬビンガード測定、又は単にＬピンガードと
言う。これらのＨピンガード、Ｌピンガード測定のうち
、第４図（Ａ）、（Ｂ）に示すように、並列抵抗など電
流の回り込みが予想される素子へのガードピンについて
は優先的に測定を行う。

データ類について 「ランダムモードデータ」 例えば前記ランダムモードによる測定を行ってデータを
収集し、その中から抽出した最良の測定条件データをラ
ンダムモードデータと言う。

ここで、測定条件データとは例えば次の各項のデータを
指すものとする。

イ、測定値 口、測定値の基準値に対する最大絶対誤差ハ、測定値相
互間のばらつき等による最大相対誤差 二、測定ルーチン ホ、使用した信号源の種類（ＣＣモード、ＣＶモード、
ＡＣモード等） へ、直流信号源モードの場合にはその正、負極性 ト、使用したガードピンの種類（Ｈピン、Ｌピン等）と
その個数及びピン番号 チ、測定時における待ち時間 また、最良の測定条件データとは、例えば測定値の最大
絶対誤差及び最大相対誤差が下記に示す判定要件り〜ル
のうち、１つ以上を満足したときの当該測定値（イ）、
最大絶対誤差（ロ）、最大相対誤差（ハ）の各データと
、そのとき適用された測定条件に関するデータ、すなわ
ち上記測定ルーチン（ニ）ないし待ち時間（チ）の中の
該当するデータを指すものとする。なお、この場合上記
イ〜ハのデータを最良データと言うことにする。

最良データ（有効データ）の判定要件 例えば前の測定データ、もしくはあらかじめ装置に入力
した比較用のデータ（以下、「前」と言う、）に対して
、その後測定して得たデータ（以下、「後」と言う、、
）が次に示すり〜ルのうち１つ以上を満足したとき、後
の測定データを有効データと判断し、その後更に測定デ
ータが得られたならばそれと上記有効データとの比較を
行い、最終的に得るられた有効データを最良データと判
定する。

す、最大絶対誤差（前）〉最大絶対誤差（後）で、かつ 最大相対誤差（前）〉最大相対誤差（後）ヌ、最大絶対
誤差（前）〉最大絶対誤差（後）で、かつ 基準値Ｘ　Ｏ，０１≧最大相対誤差（後）ル、最大相対
誤差（前）〉最大相対誤差（後）で、かつ 基準値×０．１≧最大絶対誤差（後） 上記りは、例えば後の測定条件により測定して得たデー
タの最大絶対誤差と最大相対誤差が、前の測定条件によ
り測定して得たデータのそれよりも小さくなった場合で
ある。ヌは、後の測定条件により測定して得たデータの
最大絶対誤差が、前の測定条件にて得たデータのそれよ
りも小さく、かつ、最大相対誤差が所定値以下、例えば
基準値の１％以下となった場合であり、ルは後の測定条
件により測定して得たデータの最大相対誤差が前の測定
条件にて得たデータのそれよりも小さく、かつ、最大絶
対誤差が所定値以下、例えば基準値の１０％以下となっ
た場合を表している。

「論理モードデータＪ 例えば現在フロッピー等の外部メモリに保有している測
定値のデータとその誤差データを装置内のメモリにコピ
ーして参照データとなし、まず前記論理モードによる測
定を行って得たデータと比較する。この測定データが上
記の要件を満足する最良デーであれば、参照データをこ
のデータに更新する。

次に、前記ランダムモード↓こよる測定を行って得たデ
ータと上記更新した参照データとを比較し、この測定デ
ータが最良データであれば同様に上記参照データをこの
データに更新する。以下、ランダムモードの各測定ステ
ップにおいて同様の比較を行い、最終ステップが終了し
たとき参照データとしてメモリに保持されている最良デ
ータとそのときの測定条件データを論理モードデータと
言う。

「論理ガードデータ」 例えば現在外部メモリに保有している測定値のデータと
その誤差データを取り込んで参照データとなし、まず前
記Ｈピンガードによる測定を行って得たデータと比較す
る。この測定データが上記要件を満足する最良データで
あれば、このデータを参照データとする。

次に、前記Ｌピンガードによる測定を行って得たデータ
と上記ステップにおける参照データとを比較し、この測
定データが最良であれば参照データを更新する。

更に、ＨピンとＬピンの組合せによる測定を行って得た
データと前ステップにおける参照データとを比較し、こ
の測定データが最良であれば同様に参照データを更新す
る。以下、組合せ測定の各ステップにおいて、同様の比
較を行い、最終ステップ終了のとき参照データとして保
持されている最良データとそのときの測定条件データを
論理ガードデータと言う。

「論理データ」 例えば上記論理モードデータを生成したのち、このデー
タを参照データとして上記論理ガードデータを生成し、
両データを比較して得た最良の測定データとそのときの
測定条件データを論理データと言う。

［論理モードガードデータ」 例えば現在有している測定値のデータとその誤差データ
を参照データとなし、前記論理モードの状態において上
記論理ガードデータの生成を行い、上記参照データもし
くはその更新データと比較して得た最良のデータとその
ときの測定条件データを論理モードガードデータと言う
。

［ランダムモード論理ガードデータ」 例えば現在有している測定値のデータとその誤差データ
を参照データとなし、前記ランダムモードの状態におい
て上記論理ガードデータの生成を行い、上記参照データ
もしくはその更新データと比較して得た最良のデータと
そのときの測定条件データをランダムモード論理ガード
データと言う。

「論理組合せデータ」 例えば上記論理モードガードデータの生成により最良デ
ータを求めた後、このデータを参照データとして上記ラ
ンダムモード論理ガードデータを生成して最良データを
求める。次に、例えば前記待ち時間を測定ステップごと
に一定の割合で増加させながら順次与えて上記のデータ
生成を所定回実行し、その過程で得られた最良の測定デ
ータとそのときの測定条件データを論理組合せデータと
言う。

「ランダムデータ」 例えば現在有している測定値のデータとその誤差データ
を参照データとなし、前記ランダムモードの状態におい
て前記ランダムガードモードの測定によりデータを生成
し、最良データを求める。

次に、上記論理組合せデータ生成の場合と同様に例えば
一定の割合で増加する待ち時間を測定ステツブごとに順
次与えてデータ生成を所定回実行し。

その過程で得られた最良の測定データとそのときの測定
条件データをランダムデータと言う。

「リミット値、基準値データ」 例えば上記論理データ、論理組合せデータ、及びランダ
ムデータ生成の過程で得られた各部品の最良データとそ
の測定条件データによりそれぞれ当該部品の測定を１ス
テップ行い、測定データが有効であれば当初設定された
リミット値データと基準値データを良と確認する。

また、測定データが有効でなかった場合には例えば前記
論理モードデータ、論理ガードデータ、及び上記論理モ
ードガードデータ、ランダムモード論理ガードデータ、
ランダムデータの生成を実行し、その生成したデータに
基づいてリミット値もしくは基準値などを調整する。こ
の確認又は調整したデータをリミット値、基準値データ
と言う。

「連続測定データ」 例えば上記論理データ、論理組合せデータ、ランダムデ
ータ、及びリミット値、基準値データの生成過程で得ら
れたそれぞれの部品の最良測定データと測定条件データ
に基づいて全部品を連続的に測定し、測定データが有効
であればその測定条件データは最良と確認する。

また、測定データが有効でなかった場合には、例えば測
定回数に応じて一定の割合で増加する充電用待ち時間を
当該部品の測定ステップに与え、もしくは同様に一定の
割合で増加する放電用の待ち時間をその荊の部品の測定
ステップに与えて所定回連続測定し、このようにして待
ち時間の付加、あるいは既に設定された待ち時間の確認
もしくはその調整を行った測定条件データと測定データ
を連続測定データと言う。

〔課題を解決するための手段〕

この発明の実施例が示されている第５図を参照すると、
前記第２５図の従来装置におけるユニットとほぼ同様の
信号ｇ工ないし信号設定器１０と、測定部２１、比較手
段２２、データ保持手段２５等を備えている。

更に、この実施例においては前記した最良の測定条件デ
ータを得るため、例えば次に示す（イ）ないしく二）の
手段を備えている。

（イ）、論理データ生成ルーチン２９ａ、論理組合せデ
ータ生成ルーチン２９ｂ、ランダムデータ生成ルーチン
２９ｃ、リミット値、基準値データ生成ルーチン２９ｄ
、連続測定データ生成ルーチン２９ｅ等、最良測定条件
データ収集のための測定ルーチンを有するデータ生成ル
ーチン保持手段２９゜（ロ）、上記データ生成ルーチン
保持手段２９内の論理データ生成ルーチン２９ａないし
連続測定データ生成ルーチン２９ｅを順次切り換えて測
定を実行させるためのルーチン設定手段２８゜ （ハ）、上記各データ生成ルーチンの実行により得られ
た測定データが所定の要件を満足するか否かにより当該
測定データの有効性の有無を判断するとともに、有効デ
ータから最良のデータを抽出する最良データサーチ手段
２６゜ （ニ）、基準値データ２７ａ、リミット値データ２７ｂ
、ルーチンデータ２７ｃ等を有し、上記最良データサー
チ手段２６が抽出した最良の測定データとそのときの測
定ルーチンデーとを更新可能に保持する最良測定条件デ
ータ保持手段２７゜ 〔作　　　用〕 上記ルーチン設定手段２８及びデータ生成ルーチン保持
手段２９により、良品基板を構成している各部品に対し
て必要と考えられるほとんどすべての測定を実行するこ
とができる。

また、上記最良データサーチ手段２６により、例えば上
記各データ生成ルーチンにおける測定実行の過程で得ら
れた有効データ中からより良いデータを収集することが
できる。

よって、その収集したより良い測定データとそのときの
測定ルーチンデータを上記最良測定条件データ保持手段
２７に逐次更新しながら保持させれば、測定終了時点で
保持しているデータが最良の測定条件データとなること
は明らかである。このデータを生産ロットの基板検査に
適用することにより、その良否判定を高精度で行うこと
ができる。

〔実　施　例〕

再び第５図を参照すると、まず良品基板４′を装置にセ
ットして各部品に対する測定を行い、それぞれ最良の測
定データと測定条件データを収集して最良測定条件デー
タ保持手段２７に保持させる。

しかるのち、生産ロット基板４を装置にセットし。

良品基板から収集した上記最良の測定条件に基づいて測
定を行い、その良否を判定する。

良品基板４′の測定においては、例えばデータ生成ルー
チン保持手段２９が備えている論理データ生成ルーチン
２９ａないし連続測定データ生成ルーチン２９ｅをこの
順にすべて実行するようになっており、第６図にその一
例が示されている。このデータ生成ルーチンの切換え設
定は例えばルーチン設定手段２８にて自動的に行われる
が、外部から所望のルーチンを指定してそのルーチンを
実行させることもできる。

良品基板４′上の１つの部品に対して例えば上記論理デ
ータ生成ルーチン２９ａに基づく測定が行われると、当
該部品からの応答信号は例えば測定部２１に取り込まれ
て測定され、演算手段２４を介して得られたそのデータ
はデータ保持手段２５へ一時的に保持されるようになっ
ている。なお、この場合、フロッピーなど外部メモリに
現在保有している上記部品の基準値とリミット値の各デ
ータは、例えば最良測定条件データ保持手段２７内の基
準値データ２７ａ及びリミット値データ２７ｂへそれぞ
れあらかじめコピーしておくようにする。

上記データ保持手段２５に保持された測定データは、例
えば比較手段２２において、上記コピーされたデータと
比較され、最良データサーチ手段２６においては第１２
図に示すように、前記３つの要件り〜ルに基づいて測定
データが有効であるかどうか判定されるようになってい
る。そして、もし有効であった場合にはこのデータをこ
の測定ステップにおける最良データとなし、基準値デー
タ２７ａ内の上記コピーデータをこの測定データ↓こ更
新するとともに、例えばこの測定ステップ（論理データ
生成ルーチン）のルーチン番号、及びその他の測定条件
をルーチンデータ２７ｃに入れて記憶させるようにする
。

以下、同様にして論理組合せデータ生成ルーチン２９ｂ
（第１３図参照）、ランダムデータ生成ルーチン２９ｃ
（第１６図参照）、リミット値、基準値データ生成ルー
チン２９ｄ（第１９図参照）、連続測定データ生成ルー
チン２９ｅ（第２１図参照）による測定が順次に行われ
る。この場合、例えば先に実行されたデータ生成ルーチ
ンにおいて収集した最良の測定データを参照データとし
て最良測定条件データ保持手段２７に保持させるととも
に、後から実行されたデータ生成ルーチンにおける測定
データを上記参照データと比較し、どちらか良い方の測
定データとそのときの測定条件データを参照データとす
るようにしている。

このようにして参照データをより良いデータに逐次更新
すると、最終のデータ生成ルーチン、すなわち連続測定
データ生成ルーチン２９ｅの実行が終了したときの参照
データが最良の測定条件データとなることは明らかであ
る。

ちなみに、第６図ないし第２４図にはソフトウェアを利
用して最良の測定データと測定条件データを求める場合
の一例が流れ線図で示されている。

なお、図中、待ち時間等の数値は、実際に使用される部
品に応じて適宜室めるものとする。

〔効　　　果〕

以上、詳細に説明したように、この実施例においては例
えばデータ生成ルーチン保持手段２９が有する論理デー
タ生成ルーチン２９ａないし連続測定データ生成ルーチ
ン２９ｅによる測定を良品基板に対して順次実行するよ
うになっている。

この実行過程においては、例えば測定用ピンのみによる
測定、ガードピンを併用した測定、信号源の種類を変え
た測定、直流信号源の場合にはその＋、−の極性を変え
た測定、良否判定用のリミット値及び基準値の確認もし
くは調整のための測定、充電及び放電用の待ち時間によ
る影響を確認するための測定等、考えられるほとんどす
べての測定が自動的に、もしくはマニアルで行われ、そ
れらの全測定データから所定の要件を満足する最良の測
定データとそのデータが得られたときの測定条件データ
がメモリに収集されるようになっている。

したがって、このメモリに収集された最良のデータを生
産ロットの基板検査に適用して測定を行えば、良品範囲
を外れた部品の検出はもちろん、並列部品による影響や
部品抜け、ショート、有極性部品又は整流特性を有する
部品等の逆差しの検出、及び適正待ち時間の設定などが
簡単にでき、極めて高精度で、かつ、信頼性の高い良否
判定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第２４図はこの発明の実施例に係り、第１
図は基準値、リミット値、実装値、及び測定値等の用語
説明図、第２図及び第３図は測定用信号源に関する用語
説明用の回路図、第４図はガードピンに関する用語説明
用の回路図、第５図はこの発明を適用した回路基板検査
装置の構成を示すブロック線図、第６図ないし第２４図
はソフトウェアを利用して最良測定条件データを生成す
る場合の一例を示すフローチャート、第２５図は従来装
置のブロック線図、第２６図（Ａ）及び（Ｂ）はその良
否判定方法の説明図である。 図中、４は被検査基板、４′は良品基板、２１は測定部
、２６は最良データサーチ手段、２７は最良測定条件デ
ータ保持手段、２９はデータ生成ルーチン保持手段、２
９ａは論理データ生成ルーチン、２９ｂは論理組合せデ
ータ生成ルーチン、２９ｃはランダムデータ生成ルーチ
ン、２９ｄはリミット値、基準値データ生成ルーチン、
２９ｅは連続測定データ生成ルーチンである。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）異なった多通りの測定条件によりそれぞれ測定を
   実行してその測定データを収集するための複数のデータ
   生成手段と、該データ生成手段を介して収集した測定デ
   ータの中から所定の要件を満足する最良のデータを抽出
   する最良データサーチ手段とを回路基板検査装置に備え
   、 あらかじめ良品と確認された部品で構成した良品基板上
   の測定対象部品を上記装置により所定順序のデータ生成
   手段にて測定し、それぞれのデータ生成手段及びデータ
   生成手段相互間において上記最良データサーチ手段によ
   り最良データを順次抽出して該データをより良いデータ
   に更新するとともに、最終順序のデータ生成手段が実行
   終了した時点で得られている最良の測定データと、この
   データが生成されたときの測定条件データとを最良測定
   条件データとなして生産ロット基板の検査に適用するこ
   とを特徴とする回路基板検査装置における最良測定条件
   データの生成方法。
2. （２）データ生成手段は、論理データ生成手段と論理組
   合せデータ生成手段と、ランダムデータ生成手段と、リ
   ミット値、基準値データ生成手段、及び連続測定データ
   生成手段とからなる請求項第１項記載の回路基板検査装
   置における最良測定条件データの生成方法。