JPH02272368A - 回路基板検査装置における最良測定条件データの生成方法 - Google Patents
回路基板検査装置における最良測定条件データの生成方法Info
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- JPH02272368A JPH02272368A JP1093058A JP9305889A JPH02272368A JP H02272368 A JPH02272368 A JP H02272368A JP 1093058 A JP1093058 A JP 1093058A JP 9305889 A JP9305889 A JP 9305889A JP H02272368 A JPH02272368 A JP H02272368A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 195
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 240000000736 Amomum maximum Species 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は回路基板検査装置における最良測定条件デー
タの生成方法に係り、更に詳しく言えば。
タの生成方法に係り、更に詳しく言えば。
回路基板に実装された電子部品類の特性を回路基板検査
装置により測定して同基板の良否を判定する際の最良測
定条件データの求め方に関するものである。
装置により測定して同基板の良否を判定する際の最良測
定条件データの求め方に関するものである。
電子部品等が実装された回路基板の検査にインサーキッ
トテスタと称される回路基板検査装置が利用されている
。
トテスタと称される回路基板検査装置が利用されている
。
その−例が第25図に示されているが、例えば測定用信
号源1には直流及び交流の電流、電圧源を備え、測定項
目に応じて信号設定器10によりそれらを切り換え送出
するようになっている。この信号源1から発せられた測
定用信号は、例えば切換器2と信号源側のピン3を経て
被検査基板4に装着された図示しない測定対象部品に加
えられるにれにより同部品にはその特性に対応した信号
が発生するから、それを測定部側のピン5と切換器6を
介して測定部11に取り込み測定する。
号源1には直流及び交流の電流、電圧源を備え、測定項
目に応じて信号設定器10によりそれらを切り換え送出
するようになっている。この信号源1から発せられた測
定用信号は、例えば切換器2と信号源側のピン3を経て
被検査基板4に装着された図示しない測定対象部品に加
えられるにれにより同部品にはその特性に対応した信号
が発生するから、それを測定部側のピン5と切換器6を
介して測定部11に取り込み測定する。
この測定値は例えば比較器12において基準データ設定
器13から与えられる基準データと比較され、上記部品
の良否が判定されるようになっている。
器13から与えられる基準データと比較され、上記部品
の良否が判定されるようになっている。
この基準データは例えば比較基準値とそれに対する上、
下限の許容差からなり、通常は部品規格、カタログなど
を参照して定められている。
下限の許容差からなり、通常は部品規格、カタログなど
を参照して定められている。
上記測定用のピン3,5は、装置にセットされた基板4
の回路パターンと所定箇所で接触するようにされており
、切換器2と6は測定用ピン3と5をそれぞれ信号源1
と測定部11へ切り換え接続し、上記基板4の図示しな
い部品に対する測定回路を形成するようになっている。
の回路パターンと所定箇所で接触するようにされており
、切換器2と6は測定用ピン3と5をそれぞれ信号源1
と測定部11へ切り換え接続し、上記基板4の図示しな
い部品に対する測定回路を形成するようになっている。
また、測定の際不要信号等が測定部11へ入り込まない
ようにするため、例えば回路パターンの所定箇所を接地
あるいは信号g’at位にするガードピンと称されるピ
ン7と、これらのピンを必要により接地もしくは信号源
電位へ切り換え接続する切換器8が設けられており、こ
の切換器8と上記切換器2,6のオン、オフ動作は例え
ば切換制御器9にて制御されるようになっている。
ようにするため、例えば回路パターンの所定箇所を接地
あるいは信号g’at位にするガードピンと称されるピ
ン7と、これらのピンを必要により接地もしくは信号源
電位へ切り換え接続する切換器8が設けられており、こ
の切換器8と上記切換器2,6のオン、オフ動作は例え
ば切換制御器9にて制御されるようになっている。
ところで、実装基板においてはいくつかの部品が回路パ
ターンを介して直列的又は並列的、もしくは直、並列的
に接続されていることが多い。そこで実際の測定に当た
っては、当該部品と他の部品間の接続状態によって使用
する測定用ピンやガードピンを設定したり測定用信号の
種類を選定するなど、測定のための諸条件をあらかじめ
定めておくようにしている。
ターンを介して直列的又は並列的、もしくは直、並列的
に接続されていることが多い。そこで実際の測定に当た
っては、当該部品と他の部品間の接続状態によって使用
する測定用ピンやガードピンを設定したり測定用信号の
種類を選定するなど、測定のための諸条件をあらかじめ
定めておくようにしている。
この測定条件の設定は、一般に次のようになされている
。すなわち、まず上記比較基準値に対して所定の許容差
内の値を有する良品部品を例えば単品IAg定により確
認し、それらの部品を用いて良品基板を構成する。次に
、この良品基板をサンプルとなし、同基板上の各部品を
回路基板検査装置によりそれぞれ当初設定した測定条件
にて測定する。
。すなわち、まず上記比較基準値に対して所定の許容差
内の値を有する良品部品を例えば単品IAg定により確
認し、それらの部品を用いて良品基板を構成する。次に
、この良品基板をサンプルとなし、同基板上の各部品を
回路基板検査装置によりそれぞれ当初設定した測定条件
にて測定する。
この場合、測定値が上記基準データ設定器13から与え
られる良品範囲データ、すなわち(基準値−下限許容差
)〜(基準値+上限許容差)の範囲内に入っていれば当
初設定した測定条件は適正であると判断し、それを生産
ロット基板の検査に対する正規の測定条件として採用す
る。測定値が良品範囲データ内に入らなかった場合には
例えば使用するピン類や信号源を変更して再測定を行い
、測定値が良品範囲データ内に入るような測定条件を見
いだすようにしている。
られる良品範囲データ、すなわち(基準値−下限許容差
)〜(基準値+上限許容差)の範囲内に入っていれば当
初設定した測定条件は適正であると判断し、それを生産
ロット基板の検査に対する正規の測定条件として採用す
る。測定値が良品範囲データ内に入らなかった場合には
例えば使用するピン類や信号源を変更して再測定を行い
、測定値が良品範囲データ内に入るような測定条件を見
いだすようにしている。
このようにして適正な測定条件が採用されるとそれらの
データは例えばデータ保持器14に保持され、それに基
づいて生産ロット基板の各部品に対する測定が行われる
。そして、その測定値を当該部品に設定された良品範囲
データと比較することにより同基板の良否が判定される
。
データは例えばデータ保持器14に保持され、それに基
づいて生産ロット基板の各部品に対する測定が行われる
。そして、その測定値を当該部品に設定された良品範囲
データと比較することにより同基板の良否が判定される
。
上記従来の測定条件設定方法は比較的簡単でわかりやす
いという利点がある。しかしながら、適正であるとして
採用された測定条件の下で基板検査を行えば常に正しい
良否判定が得られるかというと必ずしもそうではなく、
場合によっては判定を誤るおそれがある。
いという利点がある。しかしながら、適正であるとして
採用された測定条件の下で基板検査を行えば常に正しい
良否判定が得られるかというと必ずしもそうではなく、
場合によっては判定を誤るおそれがある。
その−例を挙げると、第26図(A)に示すように例え
ばサンプルに供された良品基板の構成部品をあらかじめ
単品状態で測定したときその特性値がPで、基準値Mに
対して一αなる誤差があったものとし、これを良品基板
に実装した状態で測定条件Aにより測定したら図示のよ
うにPAなる値が得られたとする。この場合、測定値P
Aは許容範囲L−U内に入っているので測定条件Aは適
正であると判断され、生産ロット基板の検査に適用され
る。
ばサンプルに供された良品基板の構成部品をあらかじめ
単品状態で測定したときその特性値がPで、基準値Mに
対して一αなる誤差があったものとし、これを良品基板
に実装した状態で測定条件Aにより測定したら図示のよ
うにPAなる値が得られたとする。この場合、測定値P
Aは許容範囲L−U内に入っているので測定条件Aは適
正であると判断され、生産ロット基板の検査に適用され
る。
したがって、例えば生産ロット基板上における上記と同
一仕様部品の特性値X1を上記と同一条件Aで測定する
とその値はXiいとなり、本来良品であるものが不良と
誤判定されることになる。また、部品本来の特性値が例
えばX2であって許容差の上限値Uを超えた不良品であ
っても、もし測定値として図示のようにXtAが得られ
ると良品として判定されることになる。すなわち、許容
差の上限値又は下限値近傍の特性値を測定した場合には
、必ずしも正しい良否判定が得られないことがある。
一仕様部品の特性値X1を上記と同一条件Aで測定する
とその値はXiいとなり、本来良品であるものが不良と
誤判定されることになる。また、部品本来の特性値が例
えばX2であって許容差の上限値Uを超えた不良品であ
っても、もし測定値として図示のようにXtAが得られ
ると良品として判定されることになる。すなわち、許容
差の上限値又は下限値近傍の特性値を測定した場合には
、必ずしも正しい良否判定が得られないことがある。
第26図(B)は、例えば上記と異なる仕様の他の部品
を測定条件Bにて測定した例である。良品基板における
検査対象部品の特性値Qは基準値Mに対して例えば+β
なる誤差を有しており、その測定値QBが図示のように
許容範囲L−U内に入ついるものとすると、この場合も
測定条件Bは適正であると判断される。したがって、こ
の測定条件Bにて生産ロット基板を測定した場合には、
同一仕様の部品の特性値X i’、 X、’等に対して
その測定値は例えばxl、 、 X、B’となり、上記
第25図(A)の例と同様に良否判定を誤るおそれがあ
る。
を測定条件Bにて測定した例である。良品基板における
検査対象部品の特性値Qは基準値Mに対して例えば+β
なる誤差を有しており、その測定値QBが図示のように
許容範囲L−U内に入ついるものとすると、この場合も
測定条件Bは適正であると判断される。したがって、こ
の測定条件Bにて生産ロット基板を測定した場合には、
同一仕様の部品の特性値X i’、 X、’等に対して
その測定値は例えばxl、 、 X、B’となり、上記
第25図(A)の例と同様に良否判定を誤るおそれがあ
る。
言え換えると、検査対象部品を単品状態で測定した場合
には、例えば測定器の固有誤差が無視できるものとする
と部品本来の特性値P、Qとほぼ等しい測定値P’、
Q’が得られる。しかし、実装基板上では回路パターン
を介して接続された他の部品からの影響等によって上記
の例のように部品特性値と測定値とが必ずしも一致しな
くなり、生産ロット基板の良否判定が不正確となること
がある。
には、例えば測定器の固有誤差が無視できるものとする
と部品本来の特性値P、Qとほぼ等しい測定値P’、
Q’が得られる。しかし、実装基板上では回路パターン
を介して接続された他の部品からの影響等によって上記
の例のように部品特性値と測定値とが必ずしも一致しな
くなり、生産ロット基板の良否判定が不正確となること
がある。
この発明は上記の点を考慮してなされたもので。
その目的は、良品基板上の部品に対して多通りの測定条
件を設定してそれぞれ測定を行い、その測定データの中
から所定の良品要件を満足する最良のデータを抽出し、
この最良データが得られたとき適用した測定条件データ
を最良測定条件データとして保持するようにした最良測
定条件データの求め方を提供することにある。
件を設定してそれぞれ測定を行い、その測定データの中
から所定の良品要件を満足する最良のデータを抽出し、
この最良データが得られたとき適用した測定条件データ
を最良測定条件データとして保持するようにした最良測
定条件データの求め方を提供することにある。
以下、この発明の実施例に使用されている用語について
説明する。
説明する。
「基準値」
設計上から定まる値であって1回路基板に所定の機能を
果たさせるため使用部品に対して設定した良否判定の基
準となる値を言う。
果たさせるため使用部品に対して設定した良否判定の基
準となる値を言う。
例えば使用部品が抵抗であって、その基準値(M)が2
0にΩの場合の例を第1図(A)に示す。
0にΩの場合の例を第1図(A)に示す。
「リミット値」
設計上から定まる値であって、使用部品に対して許容し
得る基準値からのずれを言う。士、−の%、あるいはそ
の絶対値で表す。
得る基準値からのずれを言う。士、−の%、あるいはそ
の絶対値で表す。
上記第1図(A)に示すように例えばリミット値を±1
0%とした場合、絶対値表現では下限値(L)が18.
0 kΩ、上限値(U)は22.0 kΩとなる。
0%とした場合、絶対値表現では下限値(L)が18.
0 kΩ、上限値(U)は22.0 kΩとなる。
「実装値」
使用部品の特性値の公称値を言う。
例えば第1図(B)に示すように、実際に回路基板に組
み込まれた部品が抵抗であって、その公称抵抗値が20
にΩ、許容差が±10%の場合、この公称抵抗値20に
Ωをこの実施例では特に実装値と言うことにする。
み込まれた部品が抵抗であって、その公称抵抗値が20
にΩ、許容差が±10%の場合、この公称抵抗値20に
Ωをこの実施例では特に実装値と言うことにする。
第1図(A)、(B)の例では、基準値と実装値、及び
リミット値と許容差がたまたま一致した値が示されてい
るが、実装値(公称抵抗値)、許容差は部品の製造段階
で部品自体に与えられた値であり、基準値、リミット値
は回路基板の機能遂行の面からその構成部品に対して定
めた値である。なお、実際の基板検査においては基準値
、リミット値等をinすることもあり得る。
リミット値と許容差がたまたま一致した値が示されてい
るが、実装値(公称抵抗値)、許容差は部品の製造段階
で部品自体に与えられた値であり、基準値、リミット値
は回路基板の機能遂行の面からその構成部品に対して定
めた値である。なお、実際の基板検査においては基準値
、リミット値等をinすることもあり得る。
「測定値」
回路基板に実装された部品を回路基板検査装置にて測定
した値を言う。
した値を言う。
基準値、リミット値の調整について
測定条件データ収集用の良品基板が基準値と実質的に等
しい特性値を有する部品で構成され、かつ、各被測定部
品が他の部品からの直、並列成分による影響を受けなけ
れば好都合であるが、部品の固有誤差や実際の良品基板
上での直、並列成分の影響を無くすることはむずかしい
。そのため、測定値が部品本来の特性値と一致しなくな
ることがある。このような場合には、当初設定した基準
値、リミット値に対して必要により調整を加える。
しい特性値を有する部品で構成され、かつ、各被測定部
品が他の部品からの直、並列成分による影響を受けなけ
れば好都合であるが、部品の固有誤差や実際の良品基板
上での直、並列成分の影響を無くすることはむずかしい
。そのため、測定値が部品本来の特性値と一致しなくな
ることがある。このような場合には、当初設定した基準
値、リミット値に対して必要により調整を加える。
そこで、再び第1図を参照しながら構成部品が抵抗の場
合における基準値、リミット値調整の一例を説明する。
合における基準値、リミット値調整の一例を説明する。
同図(C)のように実装値(公称値)が19.6 kΩ
であった場合には、例えばこの実装値を基準値(M)に
し、リミット値を一6%(L)と+14%(U)にする
、また、実用上支障が無い場合には同図(D)に示すよ
うに、リミット値を一10%(17,6kΩ)(L)、
及び+10%(21,6にΩ)(U)とすることもでき
る。
であった場合には、例えばこの実装値を基準値(M)に
し、リミット値を一6%(L)と+14%(U)にする
、また、実用上支障が無い場合には同図(D)に示すよ
うに、リミット値を一10%(17,6kΩ)(L)、
及び+10%(21,6にΩ)(U)とすることもでき
る。
更に、他の例として同図(E)のように、上記実装値(
19,6kΩ)を基板上でを測定したとき、例えば18
.8 kΩが得られ、この値があらかじめ定められた要
件を満たしているため有効と認定された場合には、この
測定値を基準値とすることもできる。
19,6kΩ)を基板上でを測定したとき、例えば18
.8 kΩが得られ、この値があらかじめ定められた要
件を満たしているため有効と認定された場合には、この
測定値を基準値とすることもできる。
この場合、実用上問題が無ければリミット値を例えば−
6%(17,6kΩ)と+14%(21,6kΩ)とす
る。
6%(17,6kΩ)と+14%(21,6kΩ)とす
る。
あるいは同図(F)に示すように、リミット値を例えば
+10%、絶対値では16.9にΩ(L)、及び20.
7にΩ(U)とすることもできる。
+10%、絶対値では16.9にΩ(L)、及び20.
7にΩ(U)とすることもできる。
測定用信号源について
この実施例においては測定用信号源として例えば前記従
来装置と同様に直流定電流源、直流定電圧源、及び交流
定電圧源を備え、基板に実装された被検査部品の測定項
目により適宜使い分けるようになっている。
来装置と同様に直流定電流源、直流定電圧源、及び交流
定電圧源を備え、基板に実装された被検査部品の測定項
目により適宜使い分けるようになっている。
第2図には、被検査部品4のインピーダンス2が抵抗成
分からなる場合の測定例が示されている。
分からなる場合の測定例が示されている。
すなわち、同図(A)の例においては例えば直流定電流
源1aから部品4へ所定の一定電流Iを流し、その両端
に発生する電圧■を電圧計21aにより測定する。同部
品4のインピーダンスZは、z=V÷1を計算して求め
る。
源1aから部品4へ所定の一定電流Iを流し、その両端
に発生する電圧■を電圧計21aにより測定する。同部
品4のインピーダンスZは、z=V÷1を計算して求め
る。
第2図(B)は直流定電圧g1bを用いた測定例であっ
て、例えば所定の一定電圧Vを発し、上記部品4に流れ
る電流Iを電流計21bにより測定する。同部品4のイ
ンピーダンスZは、Z=■÷1を計算して求める。
て、例えば所定の一定電圧Vを発し、上記部品4に流れ
る電流Iを電流計21bにより測定する。同部品4のイ
ンピーダンスZは、Z=■÷1を計算して求める。
第2図(C)は交流定電圧源ICを用いた測定例であっ
て、例えば所定の一定電圧E(実効値)を発し、部品4
に流れる電流■(実効値)を電流計21cにより測定す
る。同部品4のインピーダンスZは、Z=E÷1を計算
して求める。
て、例えば所定の一定電圧E(実効値)を発し、部品4
に流れる電流■(実効値)を電流計21cにより測定す
る。同部品4のインピーダンスZは、Z=E÷1を計算
して求める。
第3図には、例えば被検査部品4が抵抗Rとコンデンサ
Cからなり、それらが並列的に接続されている場合の測
定例が示されている。この場合には、同図(A)のよう
に例えばまず直流定電圧源1bから一定電圧Vを発し、
コンデンサCの充電が完了するまで所定の待ち時間を置
いたのち、流れる電流Iを電流計21bにより測定する
。抵抗Rの値は、R=V÷Iを計算して求める。
Cからなり、それらが並列的に接続されている場合の測
定例が示されている。この場合には、同図(A)のよう
に例えばまず直流定電圧源1bから一定電圧Vを発し、
コンデンサCの充電が完了するまで所定の待ち時間を置
いたのち、流れる電流Iを電流計21bにより測定する
。抵抗Rの値は、R=V÷Iを計算して求める。
次に、同図(B)に示すように例えば交流定電圧源1c
を用いて一定電圧E(実効値)を加え、流れる電流Iの
うち、電圧と同相成分の電流■a(実効値)、及び電圧
と90°位相のずれた成分の電流■、。
を用いて一定電圧E(実効値)を加え、流れる電流Iの
うち、電圧と同相成分の電流■a(実効値)、及び電圧
と90°位相のずれた成分の電流■、。
(実効値)を電流計21cにより測定する。抵抗Rの値
は、R=E÷工。を計算して求め、コンデンサCの値は
、C=I、。÷E÷ωを計算して求める。
は、R=E÷工。を計算して求め、コンデンサCの値は
、C=I、。÷E÷ωを計算して求める。
ただし、ω=2πfで、fは測定周波数とする。
「CCモード」
上記第2図(A)に示すように、信号源に直流定電流源
を用いた測定を例えばCCモードによる測定、又は単に
CCモードと言う。
を用いた測定を例えばCCモードによる測定、又は単に
CCモードと言う。
「C■モード」
上記第2図(B)及び第3図(A)に示すように、信号
源に直流定電圧源を用いた測定を例えばCVモードによ
る測定、又は単にC■モードと言う。
源に直流定電圧源を用いた測定を例えばCVモードによ
る測定、又は単にC■モードと言う。
rACACモー
ド記第2図(C)及び第3図(B)に示すように、信号
源に交流定電圧源を用いた測定を例えばACモードによ
る測定、又は単にACモードと言う。
源に交流定電圧源を用いた測定を例えばACモードによ
る測定、又は単にACモードと言う。
「論理モード」
被検査部品に対して理論上最良とみなされる信号源を用
いて測定を行うことを論理モードによる測定、又は単に
論理モードと言う。
いて測定を行うことを論理モードによる測定、又は単に
論理モードと言う。
例えば上記第2図(A)において、被検査部品のイン−
ピーダンスZが比較的低い値の抵抗である場合には、同
図に示すように直流定電流源を用いた測定が最良であり
、したがって、CCモードを論理モードとする。この場
合、第2図(B)の直流定電圧源(CVモード)では流
れる電流が過大になることがあり、最良とは言い難い。
ピーダンスZが比較的低い値の抵抗である場合には、同
図に示すように直流定電流源を用いた測定が最良であり
、したがって、CCモードを論理モードとする。この場
合、第2図(B)の直流定電圧源(CVモード)では流
れる電流が過大になることがあり、最良とは言い難い。
しかし、インピーダンスZが比較的高い値の抵抗になる
と、第2図(A)のCCモードの場合、直流定電流源の
電源電圧によっては所定の一定電流を流しきれなくなる
ことがある。このような場合には第2図(B)のCvモ
ードが最良であり、これを論理モードする。
と、第2図(A)のCCモードの場合、直流定電流源の
電源電圧によっては所定の一定電流を流しきれなくなる
ことがある。このような場合には第2図(B)のCvモ
ードが最良であり、これを論理モードする。
インピーダンスZが例えば容量性(C)又は誘導性(L
)の場合には、上記第2図(A)及び(B)のような直
流信号源では測定が困難であるから、同図(C)の交流
定電圧源による測定が最良であり、したがって、ACモ
ードを論理モードとする。
)の場合には、上記第2図(A)及び(B)のような直
流信号源では測定が困難であるから、同図(C)の交流
定電圧源による測定が最良であり、したがって、ACモ
ードを論理モードとする。
また、第3図(A)、(B)に示すように抵抗Rとコン
デンサCの並列部品の測定においては1例えばCvモー
ドとACモードの2つが論理モードとなる。
デンサCの並列部品の測定においては1例えばCvモー
ドとACモードの2つが論理モードとなる。
「待ち時間」
」二記第3図に示すように、例えば被検査部品が抵抗と
コンデンサの並列接続でなる場合には、信号源からの充
電又は帯電電荷の放電等による過渡状態の影響を避ける
ため、部品に応じて一定の時間が経過したのち測定を行
うようにする。この時間を例えば待ち時間と言う。
コンデンサの並列接続でなる場合には、信号源からの充
電又は帯電電荷の放電等による過渡状態の影響を避ける
ため、部品に応じて一定の時間が経過したのち測定を行
うようにする。この時間を例えば待ち時間と言う。
「ランダムモード」
上記第2図において、インピーダンスZが適当な大きさ
の抵抗であって、例えばCCモード、CVモード、もし
くはACモードのいずれによっても測定が可能な場合に
は、これらをランダムモード測定、又は単にランダムモ
ードと言う。
の抵抗であって、例えばCCモード、CVモード、もし
くはACモードのいずれによっても測定が可能な場合に
は、これらをランダムモード測定、又は単にランダムモ
ードと言う。
このランダムモードの測定においては必要により複数の
モードを指定することができ、例えば直流信号源モード
と交流信号源モードを指定した場合には、それぞれの測
定モードにて測定するようになっている。
モードを指定することができ、例えば直流信号源モード
と交流信号源モードを指定した場合には、それぞれの測
定モードにて測定するようになっている。
ガードピンについて
第4図(A)にはガードピンを併用した測定例が示され
ている。すなわち、抵抗R□を被測定部品とし、この抵
抗R1に例えば抵抗R2とR1が並列的に接続されてい
るような場合には、抵抗R3とR3の接続箇所を破線で
示すようにガードピン7を介して接地する。ここで例え
ば直流定電圧源1bから所定の電圧Vを加え、そのとき
抵抗R工に流れる電流をI□、抵抗R2に流れる電流を
I2とするとこの電流工2は上記ガードピン7から接地
側を通って直流定電圧源1bへ戻る。
ている。すなわち、抵抗R□を被測定部品とし、この抵
抗R1に例えば抵抗R2とR1が並列的に接続されてい
るような場合には、抵抗R3とR3の接続箇所を破線で
示すようにガードピン7を介して接地する。ここで例え
ば直流定電圧源1bから所定の電圧Vを加え、そのとき
抵抗R工に流れる電流をI□、抵抗R2に流れる電流を
I2とするとこの電流工2は上記ガードピン7から接地
側を通って直流定電圧源1bへ戻る。
この場合、電流計21bの+と−の入力端はいわゆるイ
マジナリショートで接地電位になっており、抵抗R3の
両端間には電位差が無いのでこの抵抗R3には電流が流
れない。したがって、抵抗R工に流れた電流工、はその
まま電流計21bに流入して測定される。よって抵抗R
1の値はR1=v÷■、の計算にて求めることができる
。
マジナリショートで接地電位になっており、抵抗R3の
両端間には電位差が無いのでこの抵抗R3には電流が流
れない。したがって、抵抗R工に流れた電流工、はその
まま電流計21bに流入して測定される。よって抵抗R
1の値はR1=v÷■、の計算にて求めることができる
。
第4図(B)には、ガードピンを利用した他の測定例が
示されている。すなわち、被測定抵抗R工に例えばR2
とR8が並列的に接続されており、この抵抗R3に直流
定電流源1aから一定電流工を流してその両端間の電圧
降下を電圧計21aにより測定し、抵抗R工の値を求め
るような場合である。
示されている。すなわち、被測定抵抗R工に例えばR2
とR8が並列的に接続されており、この抵抗R3に直流
定電流源1aから一定電流工を流してその両端間の電圧
降下を電圧計21aにより測定し、抵抗R工の値を求め
るような場合である。
この場合、電流工は通常、抵抗R工とR2,R3へそれ
ぞれ電流I0,1.どなって分流するから、抵抗R□の
両端間電圧を測定する際にはこの分流電流工2をゼロに
する必要がある。そこで同図の破線で示すように、例え
ばバッファ増幅器を介してガードピン7により抵抗R2
とR3の接続箇所へ上記直流定電流源1aの信号源電圧
■を与えるにのようにすると、抵抗R2の両端は共に電
圧■となり、電位差が無くなるので電流I2は流れなく
なる。この場合、バッファ増幅器と電圧計218の入力
インピーダンスが実質的に無限大とみなせるものとする
と、直流定電流源1aから流される電流工はすべて抵抗
R□を通ることになり、■=I、となる。よって抵抗R
1の値はR1=V÷■を計算して求めることができる。
ぞれ電流I0,1.どなって分流するから、抵抗R□の
両端間電圧を測定する際にはこの分流電流工2をゼロに
する必要がある。そこで同図の破線で示すように、例え
ばバッファ増幅器を介してガードピン7により抵抗R2
とR3の接続箇所へ上記直流定電流源1aの信号源電圧
■を与えるにのようにすると、抵抗R2の両端は共に電
圧■となり、電位差が無くなるので電流I2は流れなく
なる。この場合、バッファ増幅器と電圧計218の入力
インピーダンスが実質的に無限大とみなせるものとする
と、直流定電流源1aから流される電流工はすべて抵抗
R□を通ることになり、■=I、となる。よって抵抗R
1の値はR1=V÷■を計算して求めることができる。
第4図(C)に示す回路においては、被検査部品4に例
えばそれぞれインピーダンスがZ工、I2゜・・・・・
・なるいくつかの部品が接続されている。このような場
合には、ガードピン7を必要数だけ併用して測定を行う
。
えばそれぞれインピーダンスがZ工、I2゜・・・・・
・なるいくつかの部品が接続されている。このような場
合には、ガードピン7を必要数だけ併用して測定を行う
。
「ガードモード」
上記第4図(A)〜第4図(C)に示すように、例えば
ガードピンを併用して測定を行うことをガードモード測
定、又は単にガードモードと言う。
ガードピンを併用して測定を行うことをガードモード測
定、又は単にガードモードと言う。
「論理ガードモード」
例えば理論上必要とみなされるガードピンを併用して測
定することを論理ガードモード測定、又は単に論理ガー
ドモードと言う。
定することを論理ガードモード測定、又は単に論理ガー
ドモードと言う。
「ランダムガードモード」
例えば使用可能とみなされる複数のガードピンがある場
合、それらを併用して測定を行うことをランダムガード
モード測定、又は単にランダムガードモードと言う。
合、それらを併用して測定を行うことをランダムガード
モード測定、又は単にランダムガードモードと言う。
「Hピンガード」、「Lピンガード」
上記第4図(C)に示すように、例えば被検査部品4へ
それぞれ測定用ピン3,5を介して信号源1と測定部2
1を接続した場合、信号源側回路のインピーダンスZ□
、22等に対するガードピン7をHピン、測定部側回路
のインピーダンス2.、24等に対するガードピン7を
Lピンと称することにする。
それぞれ測定用ピン3,5を介して信号源1と測定部2
1を接続した場合、信号源側回路のインピーダンスZ□
、22等に対するガードピン7をHピン、測定部側回路
のインピーダンス2.、24等に対するガードピン7を
Lピンと称することにする。
このHピンを併用して測定を行うことを例えばHピンガ
ード測定、又は単にHピンガードと言い、Lビンを併用
した測定をLビンガード測定、又は単にLピンガードと
言う。これらのHピンガード、Lピンガード測定のうち
、第4図(A)、(B)に示すように、並列抵抗など電
流の回り込みが予想される素子へのガードピンについて
は優先的に測定を行う。
ード測定、又は単にHピンガードと言い、Lビンを併用
した測定をLビンガード測定、又は単にLピンガードと
言う。これらのHピンガード、Lピンガード測定のうち
、第4図(A)、(B)に示すように、並列抵抗など電
流の回り込みが予想される素子へのガードピンについて
は優先的に測定を行う。
データ類について
「ランダムモードデータ」
例えば前記ランダムモードによる測定を行ってデータを
収集し、その中から抽出した最良の測定条件データをラ
ンダムモードデータと言う。
収集し、その中から抽出した最良の測定条件データをラ
ンダムモードデータと言う。
ここで、測定条件データとは例えば次の各項のデータを
指すものとする。
指すものとする。
イ、測定値
口、測定値の基準値に対する最大絶対誤差ハ、測定値相
互間のばらつき等による最大相対誤差 二、測定ルーチン ホ、使用した信号源の種類(CCモード、CVモード、
ACモード等) へ、直流信号源モードの場合にはその正、負極性 ト、使用したガードピンの種類(Hピン、Lピン等)と
その個数及びピン番号 チ、測定時における待ち時間 また、最良の測定条件データとは、例えば測定値の最大
絶対誤差及び最大相対誤差が下記に示す判定要件り〜ル
のうち、1つ以上を満足したときの当該測定値(イ)、
最大絶対誤差(ロ)、最大相対誤差(ハ)の各データと
、そのとき適用された測定条件に関するデータ、すなわ
ち上記測定ルーチン(ニ)ないし待ち時間(チ)の中の
該当するデータを指すものとする。なお、この場合上記
イ〜ハのデータを最良データと言うことにする。
互間のばらつき等による最大相対誤差 二、測定ルーチン ホ、使用した信号源の種類(CCモード、CVモード、
ACモード等) へ、直流信号源モードの場合にはその正、負極性 ト、使用したガードピンの種類(Hピン、Lピン等)と
その個数及びピン番号 チ、測定時における待ち時間 また、最良の測定条件データとは、例えば測定値の最大
絶対誤差及び最大相対誤差が下記に示す判定要件り〜ル
のうち、1つ以上を満足したときの当該測定値(イ)、
最大絶対誤差(ロ)、最大相対誤差(ハ)の各データと
、そのとき適用された測定条件に関するデータ、すなわ
ち上記測定ルーチン(ニ)ないし待ち時間(チ)の中の
該当するデータを指すものとする。なお、この場合上記
イ〜ハのデータを最良データと言うことにする。
最良データ(有効データ)の判定要件
例えば前の測定データ、もしくはあらかじめ装置に入力
した比較用のデータ(以下、「前」と言う、)に対して
、その後測定して得たデータ(以下、「後」と言う、、
)が次に示すり〜ルのうち1つ以上を満足したとき、後
の測定データを有効データと判断し、その後更に測定デ
ータが得られたならばそれと上記有効データとの比較を
行い、最終的に得るられた有効データを最良データと判
定する。
した比較用のデータ(以下、「前」と言う、)に対して
、その後測定して得たデータ(以下、「後」と言う、、
)が次に示すり〜ルのうち1つ以上を満足したとき、後
の測定データを有効データと判断し、その後更に測定デ
ータが得られたならばそれと上記有効データとの比較を
行い、最終的に得るられた有効データを最良データと判
定する。
す、最大絶対誤差(前)〉最大絶対誤差(後)で、かつ
最大相対誤差(前)〉最大相対誤差(後)ヌ、最大絶対
誤差(前)〉最大絶対誤差(後)で、かつ 基準値X O,01≧最大相対誤差(後)ル、最大相対
誤差(前)〉最大相対誤差(後)で、かつ 基準値×0.1≧最大絶対誤差(後) 上記りは、例えば後の測定条件により測定して得たデー
タの最大絶対誤差と最大相対誤差が、前の測定条件によ
り測定して得たデータのそれよりも小さくなった場合で
ある。ヌは、後の測定条件により測定して得たデータの
最大絶対誤差が、前の測定条件にて得たデータのそれよ
りも小さく、かつ、最大相対誤差が所定値以下、例えば
基準値の1%以下となった場合であり、ルは後の測定条
件により測定して得たデータの最大相対誤差が前の測定
条件にて得たデータのそれよりも小さく、かつ、最大絶
対誤差が所定値以下、例えば基準値の10%以下となっ
た場合を表している。
誤差(前)〉最大絶対誤差(後)で、かつ 基準値X O,01≧最大相対誤差(後)ル、最大相対
誤差(前)〉最大相対誤差(後)で、かつ 基準値×0.1≧最大絶対誤差(後) 上記りは、例えば後の測定条件により測定して得たデー
タの最大絶対誤差と最大相対誤差が、前の測定条件によ
り測定して得たデータのそれよりも小さくなった場合で
ある。ヌは、後の測定条件により測定して得たデータの
最大絶対誤差が、前の測定条件にて得たデータのそれよ
りも小さく、かつ、最大相対誤差が所定値以下、例えば
基準値の1%以下となった場合であり、ルは後の測定条
件により測定して得たデータの最大相対誤差が前の測定
条件にて得たデータのそれよりも小さく、かつ、最大絶
対誤差が所定値以下、例えば基準値の10%以下となっ
た場合を表している。
「論理モードデータJ
例えば現在フロッピー等の外部メモリに保有している測
定値のデータとその誤差データを装置内のメモリにコピ
ーして参照データとなし、まず前記論理モードによる測
定を行って得たデータと比較する。この測定データが上
記の要件を満足する最良デーであれば、参照データをこ
のデータに更新する。
定値のデータとその誤差データを装置内のメモリにコピ
ーして参照データとなし、まず前記論理モードによる測
定を行って得たデータと比較する。この測定データが上
記の要件を満足する最良デーであれば、参照データをこ
のデータに更新する。
次に、前記ランダムモード↓こよる測定を行って得たデ
ータと上記更新した参照データとを比較し、この測定デ
ータが最良データであれば同様に上記参照データをこの
データに更新する。以下、ランダムモードの各測定ステ
ップにおいて同様の比較を行い、最終ステップが終了し
たとき参照データとしてメモリに保持されている最良デ
ータとそのときの測定条件データを論理モードデータと
言う。
ータと上記更新した参照データとを比較し、この測定デ
ータが最良データであれば同様に上記参照データをこの
データに更新する。以下、ランダムモードの各測定ステ
ップにおいて同様の比較を行い、最終ステップが終了し
たとき参照データとしてメモリに保持されている最良デ
ータとそのときの測定条件データを論理モードデータと
言う。
「論理ガードデータ」
例えば現在外部メモリに保有している測定値のデータと
その誤差データを取り込んで参照データとなし、まず前
記Hピンガードによる測定を行って得たデータと比較す
る。この測定データが上記要件を満足する最良データで
あれば、このデータを参照データとする。
その誤差データを取り込んで参照データとなし、まず前
記Hピンガードによる測定を行って得たデータと比較す
る。この測定データが上記要件を満足する最良データで
あれば、このデータを参照データとする。
次に、前記Lピンガードによる測定を行って得たデータ
と上記ステップにおける参照データとを比較し、この測
定データが最良であれば参照データを更新する。
と上記ステップにおける参照データとを比較し、この測
定データが最良であれば参照データを更新する。
更に、HピンとLピンの組合せによる測定を行って得た
データと前ステップにおける参照データとを比較し、こ
の測定データが最良であれば同様に参照データを更新す
る。以下、組合せ測定の各ステップにおいて、同様の比
較を行い、最終ステップ終了のとき参照データとして保
持されている最良データとそのときの測定条件データを
論理ガードデータと言う。
データと前ステップにおける参照データとを比較し、こ
の測定データが最良であれば同様に参照データを更新す
る。以下、組合せ測定の各ステップにおいて、同様の比
較を行い、最終ステップ終了のとき参照データとして保
持されている最良データとそのときの測定条件データを
論理ガードデータと言う。
「論理データ」
例えば上記論理モードデータを生成したのち、このデー
タを参照データとして上記論理ガードデータを生成し、
両データを比較して得た最良の測定データとそのときの
測定条件データを論理データと言う。
タを参照データとして上記論理ガードデータを生成し、
両データを比較して得た最良の測定データとそのときの
測定条件データを論理データと言う。
[論理モードガードデータ」
例えば現在有している測定値のデータとその誤差データ
を参照データとなし、前記論理モードの状態において上
記論理ガードデータの生成を行い、上記参照データもし
くはその更新データと比較して得た最良のデータとその
ときの測定条件データを論理モードガードデータと言う
。
を参照データとなし、前記論理モードの状態において上
記論理ガードデータの生成を行い、上記参照データもし
くはその更新データと比較して得た最良のデータとその
ときの測定条件データを論理モードガードデータと言う
。
[ランダムモード論理ガードデータ」
例えば現在有している測定値のデータとその誤差データ
を参照データとなし、前記ランダムモードの状態におい
て上記論理ガードデータの生成を行い、上記参照データ
もしくはその更新データと比較して得た最良のデータと
そのときの測定条件データをランダムモード論理ガード
データと言う。
を参照データとなし、前記ランダムモードの状態におい
て上記論理ガードデータの生成を行い、上記参照データ
もしくはその更新データと比較して得た最良のデータと
そのときの測定条件データをランダムモード論理ガード
データと言う。
「論理組合せデータ」
例えば上記論理モードガードデータの生成により最良デ
ータを求めた後、このデータを参照データとして上記ラ
ンダムモード論理ガードデータを生成して最良データを
求める。次に、例えば前記待ち時間を測定ステップごと
に一定の割合で増加させながら順次与えて上記のデータ
生成を所定回実行し、その過程で得られた最良の測定デ
ータとそのときの測定条件データを論理組合せデータと
言う。
ータを求めた後、このデータを参照データとして上記ラ
ンダムモード論理ガードデータを生成して最良データを
求める。次に、例えば前記待ち時間を測定ステップごと
に一定の割合で増加させながら順次与えて上記のデータ
生成を所定回実行し、その過程で得られた最良の測定デ
ータとそのときの測定条件データを論理組合せデータと
言う。
「ランダムデータ」
例えば現在有している測定値のデータとその誤差データ
を参照データとなし、前記ランダムモードの状態におい
て前記ランダムガードモードの測定によりデータを生成
し、最良データを求める。
を参照データとなし、前記ランダムモードの状態におい
て前記ランダムガードモードの測定によりデータを生成
し、最良データを求める。
次に、上記論理組合せデータ生成の場合と同様に例えば
一定の割合で増加する待ち時間を測定ステツブごとに順
次与えてデータ生成を所定回実行し。
一定の割合で増加する待ち時間を測定ステツブごとに順
次与えてデータ生成を所定回実行し。
その過程で得られた最良の測定データとそのときの測定
条件データをランダムデータと言う。
条件データをランダムデータと言う。
「リミット値、基準値データ」
例えば上記論理データ、論理組合せデータ、及びランダ
ムデータ生成の過程で得られた各部品の最良データとそ
の測定条件データによりそれぞれ当該部品の測定を1ス
テップ行い、測定データが有効であれば当初設定された
リミット値データと基準値データを良と確認する。
ムデータ生成の過程で得られた各部品の最良データとそ
の測定条件データによりそれぞれ当該部品の測定を1ス
テップ行い、測定データが有効であれば当初設定された
リミット値データと基準値データを良と確認する。
また、測定データが有効でなかった場合には例えば前記
論理モードデータ、論理ガードデータ、及び上記論理モ
ードガードデータ、ランダムモード論理ガードデータ、
ランダムデータの生成を実行し、その生成したデータに
基づいてリミット値もしくは基準値などを調整する。こ
の確認又は調整したデータをリミット値、基準値データ
と言う。
論理モードデータ、論理ガードデータ、及び上記論理モ
ードガードデータ、ランダムモード論理ガードデータ、
ランダムデータの生成を実行し、その生成したデータに
基づいてリミット値もしくは基準値などを調整する。こ
の確認又は調整したデータをリミット値、基準値データ
と言う。
「連続測定データ」
例えば上記論理データ、論理組合せデータ、ランダムデ
ータ、及びリミット値、基準値データの生成過程で得ら
れたそれぞれの部品の最良測定データと測定条件データ
に基づいて全部品を連続的に測定し、測定データが有効
であればその測定条件データは最良と確認する。
ータ、及びリミット値、基準値データの生成過程で得ら
れたそれぞれの部品の最良測定データと測定条件データ
に基づいて全部品を連続的に測定し、測定データが有効
であればその測定条件データは最良と確認する。
また、測定データが有効でなかった場合には、例えば測
定回数に応じて一定の割合で増加する充電用待ち時間を
当該部品の測定ステップに与え、もしくは同様に一定の
割合で増加する放電用の待ち時間をその荊の部品の測定
ステップに与えて所定回連続測定し、このようにして待
ち時間の付加、あるいは既に設定された待ち時間の確認
もしくはその調整を行った測定条件データと測定データ
を連続測定データと言う。
定回数に応じて一定の割合で増加する充電用待ち時間を
当該部品の測定ステップに与え、もしくは同様に一定の
割合で増加する放電用の待ち時間をその荊の部品の測定
ステップに与えて所定回連続測定し、このようにして待
ち時間の付加、あるいは既に設定された待ち時間の確認
もしくはその調整を行った測定条件データと測定データ
を連続測定データと言う。
この発明の実施例が示されている第5図を参照すると、
前記第25図の従来装置におけるユニットとほぼ同様の
信号g工ないし信号設定器10と、測定部21、比較手
段22、データ保持手段25等を備えている。
前記第25図の従来装置におけるユニットとほぼ同様の
信号g工ないし信号設定器10と、測定部21、比較手
段22、データ保持手段25等を備えている。
更に、この実施例においては前記した最良の測定条件デ
ータを得るため、例えば次に示す(イ)ないしく二)の
手段を備えている。
ータを得るため、例えば次に示す(イ)ないしく二)の
手段を備えている。
(イ)、論理データ生成ルーチン29a、論理組合せデ
ータ生成ルーチン29b、ランダムデータ生成ルーチン
29c、リミット値、基準値データ生成ルーチン29d
、連続測定データ生成ルーチン29e等、最良測定条件
データ収集のための測定ルーチンを有するデータ生成ル
ーチン保持手段29゜(ロ)、上記データ生成ルーチン
保持手段29内の論理データ生成ルーチン29aないし
連続測定データ生成ルーチン29eを順次切り換えて測
定を実行させるためのルーチン設定手段28゜ (ハ)、上記各データ生成ルーチンの実行により得られ
た測定データが所定の要件を満足するか否かにより当該
測定データの有効性の有無を判断するとともに、有効デ
ータから最良のデータを抽出する最良データサーチ手段
26゜ (ニ)、基準値データ27a、リミット値データ27b
、ルーチンデータ27c等を有し、上記最良データサー
チ手段26が抽出した最良の測定データとそのときの測
定ルーチンデーとを更新可能に保持する最良測定条件デ
ータ保持手段27゜ 〔作 用〕 上記ルーチン設定手段28及びデータ生成ルーチン保持
手段29により、良品基板を構成している各部品に対し
て必要と考えられるほとんどすべての測定を実行するこ
とができる。
ータ生成ルーチン29b、ランダムデータ生成ルーチン
29c、リミット値、基準値データ生成ルーチン29d
、連続測定データ生成ルーチン29e等、最良測定条件
データ収集のための測定ルーチンを有するデータ生成ル
ーチン保持手段29゜(ロ)、上記データ生成ルーチン
保持手段29内の論理データ生成ルーチン29aないし
連続測定データ生成ルーチン29eを順次切り換えて測
定を実行させるためのルーチン設定手段28゜ (ハ)、上記各データ生成ルーチンの実行により得られ
た測定データが所定の要件を満足するか否かにより当該
測定データの有効性の有無を判断するとともに、有効デ
ータから最良のデータを抽出する最良データサーチ手段
26゜ (ニ)、基準値データ27a、リミット値データ27b
、ルーチンデータ27c等を有し、上記最良データサー
チ手段26が抽出した最良の測定データとそのときの測
定ルーチンデーとを更新可能に保持する最良測定条件デ
ータ保持手段27゜ 〔作 用〕 上記ルーチン設定手段28及びデータ生成ルーチン保持
手段29により、良品基板を構成している各部品に対し
て必要と考えられるほとんどすべての測定を実行するこ
とができる。
また、上記最良データサーチ手段26により、例えば上
記各データ生成ルーチンにおける測定実行の過程で得ら
れた有効データ中からより良いデータを収集することが
できる。
記各データ生成ルーチンにおける測定実行の過程で得ら
れた有効データ中からより良いデータを収集することが
できる。
よって、その収集したより良い測定データとそのときの
測定ルーチンデータを上記最良測定条件データ保持手段
27に逐次更新しながら保持させれば、測定終了時点で
保持しているデータが最良の測定条件データとなること
は明らかである。このデータを生産ロットの基板検査に
適用することにより、その良否判定を高精度で行うこと
ができる。
測定ルーチンデータを上記最良測定条件データ保持手段
27に逐次更新しながら保持させれば、測定終了時点で
保持しているデータが最良の測定条件データとなること
は明らかである。このデータを生産ロットの基板検査に
適用することにより、その良否判定を高精度で行うこと
ができる。
再び第5図を参照すると、まず良品基板4′を装置にセ
ットして各部品に対する測定を行い、それぞれ最良の測
定データと測定条件データを収集して最良測定条件デー
タ保持手段27に保持させる。
ットして各部品に対する測定を行い、それぞれ最良の測
定データと測定条件データを収集して最良測定条件デー
タ保持手段27に保持させる。
しかるのち、生産ロット基板4を装置にセットし。
良品基板から収集した上記最良の測定条件に基づいて測
定を行い、その良否を判定する。
定を行い、その良否を判定する。
良品基板4′の測定においては、例えばデータ生成ルー
チン保持手段29が備えている論理データ生成ルーチン
29aないし連続測定データ生成ルーチン29eをこの
順にすべて実行するようになっており、第6図にその一
例が示されている。このデータ生成ルーチンの切換え設
定は例えばルーチン設定手段28にて自動的に行われる
が、外部から所望のルーチンを指定してそのルーチンを
実行させることもできる。
チン保持手段29が備えている論理データ生成ルーチン
29aないし連続測定データ生成ルーチン29eをこの
順にすべて実行するようになっており、第6図にその一
例が示されている。このデータ生成ルーチンの切換え設
定は例えばルーチン設定手段28にて自動的に行われる
が、外部から所望のルーチンを指定してそのルーチンを
実行させることもできる。
良品基板4′上の1つの部品に対して例えば上記論理デ
ータ生成ルーチン29aに基づく測定が行われると、当
該部品からの応答信号は例えば測定部21に取り込まれ
て測定され、演算手段24を介して得られたそのデータ
はデータ保持手段25へ一時的に保持されるようになっ
ている。なお、この場合、フロッピーなど外部メモリに
現在保有している上記部品の基準値とリミット値の各デ
ータは、例えば最良測定条件データ保持手段27内の基
準値データ27a及びリミット値データ27bへそれぞ
れあらかじめコピーしておくようにする。
ータ生成ルーチン29aに基づく測定が行われると、当
該部品からの応答信号は例えば測定部21に取り込まれ
て測定され、演算手段24を介して得られたそのデータ
はデータ保持手段25へ一時的に保持されるようになっ
ている。なお、この場合、フロッピーなど外部メモリに
現在保有している上記部品の基準値とリミット値の各デ
ータは、例えば最良測定条件データ保持手段27内の基
準値データ27a及びリミット値データ27bへそれぞ
れあらかじめコピーしておくようにする。
上記データ保持手段25に保持された測定データは、例
えば比較手段22において、上記コピーされたデータと
比較され、最良データサーチ手段26においては第12
図に示すように、前記3つの要件り〜ルに基づいて測定
データが有効であるかどうか判定されるようになってい
る。そして、もし有効であった場合にはこのデータをこ
の測定ステップにおける最良データとなし、基準値デー
タ27a内の上記コピーデータをこの測定データ↓こ更
新するとともに、例えばこの測定ステップ(論理データ
生成ルーチン)のルーチン番号、及びその他の測定条件
をルーチンデータ27cに入れて記憶させるようにする
。
えば比較手段22において、上記コピーされたデータと
比較され、最良データサーチ手段26においては第12
図に示すように、前記3つの要件り〜ルに基づいて測定
データが有効であるかどうか判定されるようになってい
る。そして、もし有効であった場合にはこのデータをこ
の測定ステップにおける最良データとなし、基準値デー
タ27a内の上記コピーデータをこの測定データ↓こ更
新するとともに、例えばこの測定ステップ(論理データ
生成ルーチン)のルーチン番号、及びその他の測定条件
をルーチンデータ27cに入れて記憶させるようにする
。
以下、同様にして論理組合せデータ生成ルーチン29b
(第13図参照)、ランダムデータ生成ルーチン29c
(第16図参照)、リミット値、基準値データ生成ルー
チン29d(第19図参照)、連続測定データ生成ルー
チン29e(第21図参照)による測定が順次に行われ
る。この場合、例えば先に実行されたデータ生成ルーチ
ンにおいて収集した最良の測定データを参照データとし
て最良測定条件データ保持手段27に保持させるととも
に、後から実行されたデータ生成ルーチンにおける測定
データを上記参照データと比較し、どちらか良い方の測
定データとそのときの測定条件データを参照データとす
るようにしている。
(第13図参照)、ランダムデータ生成ルーチン29c
(第16図参照)、リミット値、基準値データ生成ルー
チン29d(第19図参照)、連続測定データ生成ルー
チン29e(第21図参照)による測定が順次に行われ
る。この場合、例えば先に実行されたデータ生成ルーチ
ンにおいて収集した最良の測定データを参照データとし
て最良測定条件データ保持手段27に保持させるととも
に、後から実行されたデータ生成ルーチンにおける測定
データを上記参照データと比較し、どちらか良い方の測
定データとそのときの測定条件データを参照データとす
るようにしている。
このようにして参照データをより良いデータに逐次更新
すると、最終のデータ生成ルーチン、すなわち連続測定
データ生成ルーチン29eの実行が終了したときの参照
データが最良の測定条件データとなることは明らかであ
る。
すると、最終のデータ生成ルーチン、すなわち連続測定
データ生成ルーチン29eの実行が終了したときの参照
データが最良の測定条件データとなることは明らかであ
る。
ちなみに、第6図ないし第24図にはソフトウェアを利
用して最良の測定データと測定条件データを求める場合
の一例が流れ線図で示されている。
用して最良の測定データと測定条件データを求める場合
の一例が流れ線図で示されている。
なお、図中、待ち時間等の数値は、実際に使用される部
品に応じて適宜室めるものとする。
品に応じて適宜室めるものとする。
以上、詳細に説明したように、この実施例においては例
えばデータ生成ルーチン保持手段29が有する論理デー
タ生成ルーチン29aないし連続測定データ生成ルーチ
ン29eによる測定を良品基板に対して順次実行するよ
うになっている。
えばデータ生成ルーチン保持手段29が有する論理デー
タ生成ルーチン29aないし連続測定データ生成ルーチ
ン29eによる測定を良品基板に対して順次実行するよ
うになっている。
この実行過程においては、例えば測定用ピンのみによる
測定、ガードピンを併用した測定、信号源の種類を変え
た測定、直流信号源の場合にはその+、−の極性を変え
た測定、良否判定用のリミット値及び基準値の確認もし
くは調整のための測定、充電及び放電用の待ち時間によ
る影響を確認するための測定等、考えられるほとんどす
べての測定が自動的に、もしくはマニアルで行われ、そ
れらの全測定データから所定の要件を満足する最良の測
定データとそのデータが得られたときの測定条件データ
がメモリに収集されるようになっている。
測定、ガードピンを併用した測定、信号源の種類を変え
た測定、直流信号源の場合にはその+、−の極性を変え
た測定、良否判定用のリミット値及び基準値の確認もし
くは調整のための測定、充電及び放電用の待ち時間によ
る影響を確認するための測定等、考えられるほとんどす
べての測定が自動的に、もしくはマニアルで行われ、そ
れらの全測定データから所定の要件を満足する最良の測
定データとそのデータが得られたときの測定条件データ
がメモリに収集されるようになっている。
したがって、このメモリに収集された最良のデータを生
産ロットの基板検査に適用して測定を行えば、良品範囲
を外れた部品の検出はもちろん、並列部品による影響や
部品抜け、ショート、有極性部品又は整流特性を有する
部品等の逆差しの検出、及び適正待ち時間の設定などが
簡単にでき、極めて高精度で、かつ、信頼性の高い良否
判定を行うことができる。
産ロットの基板検査に適用して測定を行えば、良品範囲
を外れた部品の検出はもちろん、並列部品による影響や
部品抜け、ショート、有極性部品又は整流特性を有する
部品等の逆差しの検出、及び適正待ち時間の設定などが
簡単にでき、極めて高精度で、かつ、信頼性の高い良否
判定を行うことができる。
第1図ないし第24図はこの発明の実施例に係り、第1
図は基準値、リミット値、実装値、及び測定値等の用語
説明図、第2図及び第3図は測定用信号源に関する用語
説明用の回路図、第4図はガードピンに関する用語説明
用の回路図、第5図はこの発明を適用した回路基板検査
装置の構成を示すブロック線図、第6図ないし第24図
はソフトウェアを利用して最良測定条件データを生成す
る場合の一例を示すフローチャート、第25図は従来装
置のブロック線図、第26図(A)及び(B)はその良
否判定方法の説明図である。 図中、4は被検査基板、4′は良品基板、21は測定部
、26は最良データサーチ手段、27は最良測定条件デ
ータ保持手段、29はデータ生成ルーチン保持手段、2
9aは論理データ生成ルーチン、29bは論理組合せデ
ータ生成ルーチン、29cはランダムデータ生成ルーチ
ン、29dはリミット値、基準値データ生成ルーチン、
29eは連続測定データ生成ルーチンである。
図は基準値、リミット値、実装値、及び測定値等の用語
説明図、第2図及び第3図は測定用信号源に関する用語
説明用の回路図、第4図はガードピンに関する用語説明
用の回路図、第5図はこの発明を適用した回路基板検査
装置の構成を示すブロック線図、第6図ないし第24図
はソフトウェアを利用して最良測定条件データを生成す
る場合の一例を示すフローチャート、第25図は従来装
置のブロック線図、第26図(A)及び(B)はその良
否判定方法の説明図である。 図中、4は被検査基板、4′は良品基板、21は測定部
、26は最良データサーチ手段、27は最良測定条件デ
ータ保持手段、29はデータ生成ルーチン保持手段、2
9aは論理データ生成ルーチン、29bは論理組合せデ
ータ生成ルーチン、29cはランダムデータ生成ルーチ
ン、29dはリミット値、基準値データ生成ルーチン、
29eは連続測定データ生成ルーチンである。
Claims (2)
- (1)異なった多通りの測定条件によりそれぞれ測定を
実行してその測定データを収集するための複数のデータ
生成手段と、該データ生成手段を介して収集した測定デ
ータの中から所定の要件を満足する最良のデータを抽出
する最良データサーチ手段とを回路基板検査装置に備え
、 あらかじめ良品と確認された部品で構成した良品基板上
の測定対象部品を上記装置により所定順序のデータ生成
手段にて測定し、それぞれのデータ生成手段及びデータ
生成手段相互間において上記最良データサーチ手段によ
り最良データを順次抽出して該データをより良いデータ
に更新するとともに、最終順序のデータ生成手段が実行
終了した時点で得られている最良の測定データと、この
データが生成されたときの測定条件データとを最良測定
条件データとなして生産ロット基板の検査に適用するこ
とを特徴とする回路基板検査装置における最良測定条件
データの生成方法。 - (2)データ生成手段は、論理データ生成手段と論理組
合せデータ生成手段と、ランダムデータ生成手段と、リ
ミット値、基準値データ生成手段、及び連続測定データ
生成手段とからなる請求項第1項記載の回路基板検査装
置における最良測定条件データの生成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1093058A JP2866965B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 回路基板検査装置における最良測定条件データの生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1093058A JP2866965B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 回路基板検査装置における最良測定条件データの生成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02272368A true JPH02272368A (ja) | 1990-11-07 |
JP2866965B2 JP2866965B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=14071912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1093058A Expired - Fee Related JP2866965B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 回路基板検査装置における最良測定条件データの生成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2866965B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007205934A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Hioki Ee Corp | 検査装置 |
JP2011154006A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-11 | Toyota Motor Corp | 回路検査装置 |
JP2013117423A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6462463B2 (ja) * | 2015-04-01 | 2019-01-30 | 日置電機株式会社 | データ生成装置およびデータ生成方法 |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP1093058A patent/JP2866965B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007205934A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Hioki Ee Corp | 検査装置 |
JP2011154006A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-11 | Toyota Motor Corp | 回路検査装置 |
JP2013117423A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
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JP2866965B2 (ja) | 1999-03-08 |
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