JPH0226711Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0226711Y2 JPH0226711Y2 JP2876985U JP2876985U JPH0226711Y2 JP H0226711 Y2 JPH0226711 Y2 JP H0226711Y2 JP 2876985 U JP2876985 U JP 2876985U JP 2876985 U JP2876985 U JP 2876985U JP H0226711 Y2 JPH0226711 Y2 JP H0226711Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- paper
- suction
- circuit
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 8
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims description 6
- 244000145845 chattering Species 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は静電界によつて用紙等のシート状部材
を載置面上に吸着保持する静電吸着装置に関す
る。
を載置面上に吸着保持する静電吸着装置に関す
る。
用紙を載置面上に吸着する装置としては特公昭
52−44265号公報その他に開示されている吸気力
を利用したバキユームテーブルが従来より公知で
ある。また、静電界によつて用紙を載置面上に保
持する静電吸着板が従来より公知である。
52−44265号公報その他に開示されている吸気力
を利用したバキユームテーブルが従来より公知で
ある。また、静電界によつて用紙を載置面上に保
持する静電吸着板が従来より公知である。
上記バキユームテーブルはバキユーム面の全域
にバキユーム力を及ぼすと大容量のポンプが必要
なため仕切壁によつて複数の小バキユーム室に区
画し、用紙の寸法に応じて小バキユーム室を選択
して用紙にバキユーム力を作用させている。
にバキユーム力を及ぼすと大容量のポンプが必要
なため仕切壁によつて複数の小バキユーム室に区
画し、用紙の寸法に応じて小バキユーム室を選択
して用紙にバキユーム力を作用させている。
上記バキユームテーブルのエリア切換では、用
紙のあるエリアのみを吸引させる必要があり、他
の部分を吸引させると吸気力が抜けて吸引力が落
ちてしまう。従つて用紙がエリアの一部にかかつ
ている場合、そのエリアを吸引動作させると、吸
気装置の吸引力が落ちてしまうことになり、ま
た、そのエリアを動作させないと用紙の一部が吸
引されず、用紙をしつかりと載置面に固定するこ
とができない。また、静電吸着板は、従来、載置
面の全域にわたつて静電界を発生させていたた
め、電力消費量が大きく不経済であつた。
紙のあるエリアのみを吸引させる必要があり、他
の部分を吸引させると吸気力が抜けて吸引力が落
ちてしまう。従つて用紙がエリアの一部にかかつ
ている場合、そのエリアを吸引動作させると、吸
気装置の吸引力が落ちてしまうことになり、ま
た、そのエリアを動作させないと用紙の一部が吸
引されず、用紙をしつかりと載置面に固定するこ
とができない。また、静電吸着板は、従来、載置
面の全域にわたつて静電界を発生させていたた
め、電力消費量が大きく不経済であつた。
本考案は、上記バキユームテーブルと静電吸着
板の両方の欠陥を除去することを目的とするもの
である。
板の両方の欠陥を除去することを目的とするもの
である。
上記目的を達成するため本考案は載置面を複数
のエリアに区画し、該エリアのそれぞれに静電界
発生用の電極から成る吸着装置を配設し、該吸着
装置のうちの所望の吸着装置を選択的に動作させ
るためのエリア切換装置を設けたものである。
のエリアに区画し、該エリアのそれぞれに静電界
発生用の電極から成る吸着装置を配設し、該吸着
装置のうちの所望の吸着装置を選択的に動作させ
るためのエリア切換装置を設けたものである。
上記した構成において、用紙が載置面上の複数
のエリアのうちの１つのエリアの一部にかかつて
いる場合、そのエリアを動作させれば、吸引力を
落とすことなく、用紙の全域を載置面上に吸着さ
せることができる。
のエリアのうちの１つのエリアの一部にかかつて
いる場合、そのエリアを動作させれば、吸引力を
落とすことなく、用紙の全域を載置面上に吸着さ
せることができる。
以下に本考案の構成を添付図面に示す実施例を
参照して説明する。
参照して説明する。
２は絶縁板であり、これの上面には、帯状の銅
板から成るプラス電極４ａと、マイナス電極４ｂ
が所定のエリアＡ内に固着されている。上記電極
４ａ，４ｂは第１の吸着装置４を構成している。
同様の構成により、絶縁板２上のエリアＢには第
２の吸着装置６が固設され、エリアＣには第３の
吸着装置が固設されている。前記絶縁板２の上に
は、板状の絶縁材から成る表面板（図示省略）が
固着され、該表面板の表面は用紙等を載置するた
めの載置面を構成している。
板から成るプラス電極４ａと、マイナス電極４ｂ
が所定のエリアＡ内に固着されている。上記電極
４ａ，４ｂは第１の吸着装置４を構成している。
同様の構成により、絶縁板２上のエリアＢには第
２の吸着装置６が固設され、エリアＣには第３の
吸着装置が固設されている。前記絶縁板２の上に
は、板状の絶縁材から成る表面板（図示省略）が
固着され、該表面板の表面は用紙等を載置するた
めの載置面を構成している。
次に、エリア切換装置を第２図及び第３図を参
照して説明する。
照して説明する。
１０，１２，１４は切換スイツチであり、それ
ぞれ、上記吸着装置４，６，８に対応して設けら
れている。１６はチヤタリング防止回路、１８，
２０はオア回路、２２，２４は単安定マルチバイ
ブレータ、２６，２８は遅延回路、３０，３２は
アンド回路、３４は増幅回路、３６，３８，４０
はDCコンバータである。
ぞれ、上記吸着装置４，６，８に対応して設けら
れている。１６はチヤタリング防止回路、１８，
２０はオア回路、２２，２４は単安定マルチバイ
ブレータ、２６，２８は遅延回路、３０，３２は
アンド回路、３４は増幅回路、３６，３８，４０
はDCコンバータである。
次に本考案の作用について説明する。
スイツチ１０，１２，１４がオフの状態におい
て、スイツチ１０をオンと成すと、吸着装置４に
DCコンバータ３６から電圧が供給され、電極４
ａはプラスの電荷を荷電し、電極４ｂはマイナス
の電荷を荷電して、エリアＡ上に用紙吸着用の静
電界が発生する。スイツチ１０，１２，１４がオ
フの状態において、スイツチ１２をオンとする
と、このスイツチオンの電気信号がオアゲート１
８，２０に供給され、まず吸着装置が動作する。
一方スイツチ１２オンの信号によつて単安定マル
チバイブレータ２２は、ゼロの信号を所定時間出
力し、アンド回路３０を遮断する。単安定マルチ
バイブレータ３０がゼロを出力して微少時間経過
すると、スイツチオンの“１”の信号がアンド回
路３０ の一方の入力端に供給される。所定時間
が経過して単安定マルチバイブレータ２２の出力
が“１”に復帰変化すると、アンド回路３０は
“１”の電気信号を出力し、吸着装置６が動作す
る。上記の原理と同様の原理でスイツチ１０，１
２，１４がオフのとき、スイツチ１４をオンとす
ると、まず吸着装置４が動作してエリアＡに吸引
力が発生し、所定時間遅れて、吸着装置６が動作
してエリアＢに吸引力が発生し、最後に、所定時
間遅れて吸着装置８が動作してエリアＣに静電吸
引力が発生する。このように、エリアABCの順
で波状的に吸引力が発生することによつて、エリ
アABCの全てにまたがる大きな用紙を載置面に
吸着させる際用紙の下面から空気を押し出し、該
下面に空気がたまるのを防止している。
て、スイツチ１０をオンと成すと、吸着装置４に
DCコンバータ３６から電圧が供給され、電極４
ａはプラスの電荷を荷電し、電極４ｂはマイナス
の電荷を荷電して、エリアＡ上に用紙吸着用の静
電界が発生する。スイツチ１０，１２，１４がオ
フの状態において、スイツチ１２をオンとする
と、このスイツチオンの電気信号がオアゲート１
８，２０に供給され、まず吸着装置が動作する。
一方スイツチ１２オンの信号によつて単安定マル
チバイブレータ２２は、ゼロの信号を所定時間出
力し、アンド回路３０を遮断する。単安定マルチ
バイブレータ３０がゼロを出力して微少時間経過
すると、スイツチオンの“１”の信号がアンド回
路３０ の一方の入力端に供給される。所定時間
が経過して単安定マルチバイブレータ２２の出力
が“１”に復帰変化すると、アンド回路３０は
“１”の電気信号を出力し、吸着装置６が動作す
る。上記の原理と同様の原理でスイツチ１０，１
２，１４がオフのとき、スイツチ１４をオンとす
ると、まず吸着装置４が動作してエリアＡに吸引
力が発生し、所定時間遅れて、吸着装置６が動作
してエリアＢに吸引力が発生し、最後に、所定時
間遅れて吸着装置８が動作してエリアＣに静電吸
引力が発生する。このように、エリアABCの順
で波状的に吸引力が発生することによつて、エリ
アABCの全てにまたがる大きな用紙を載置面に
吸着させる際用紙の下面から空気を押し出し、該
下面に空気がたまるのを防止している。
本考案は上述の如く、用紙の寸法に応じて載置
面上のエリアを選択し、その選択エリアのみに吸
引力を作用させることができるので、電力消費量
を節約することができるとともに、選択したエリ
アの一部に用紙がかかつていても、バキユームテ
ーブルのように吸引力を減少させることなく、該
エリアの吸着装置によつて用紙を吸着することが
できる効果が存する。
面上のエリアを選択し、その選択エリアのみに吸
引力を作用させることができるので、電力消費量
を節約することができるとともに、選択したエリ
アの一部に用紙がかかつていても、バキユームテ
ーブルのように吸引力を減少させることなく、該
エリアの吸着装置によつて用紙を吸着することが
できる効果が存する。
図は本考案の好適な実施例を示し、第１図は平
面図、第２図はエリア切換手段の、概略ブロツク
電子回路図、第３図は同、電子回路図である。 ２……絶縁板、４ａ，４ｂ……電極、４，６，
８……吸着装置、１０，１２，１４……切換スイ
ツチ、１６……チヤタリング防止回路、１８，２
０……オア回路、２２，２４……単安定マルチバ
イブレータ、２６，２８……遅延回路、３０，３
２……アンド回路、３４……増幅回路、３６，３
８，４０……DCコンバータ。
面図、第２図はエリア切換手段の、概略ブロツク
電子回路図、第３図は同、電子回路図である。 ２……絶縁板、４ａ，４ｂ……電極、４，６，
８……吸着装置、１０，１２，１４……切換スイ
ツチ、１６……チヤタリング防止回路、１８，２
０……オア回路、２２，２４……単安定マルチバ
イブレータ、２６，２８……遅延回路、３０，３
２……アンド回路、３４……増幅回路、３６，３
８，４０……DCコンバータ。
Claims (1)
- 載置面を複数のエリアに区画し、該エリアのそ
れぞれに静電界発生用の電極から成る吸着装置を
配設し、該吸着装置のうちの所望の吸着装置を選
択的に動作させるためのエリア切換装置を設けた
ことを特徴とする静電吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2876985U JPH0226711Y2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2876985U JPH0226711Y2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61145682U JPS61145682U (ja) | 1986-09-08 |
| JPH0226711Y2 true JPH0226711Y2 (ja) | 1990-07-19 |
Family
ID=30526960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2876985U Expired JPH0226711Y2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0226711Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0698867B2 (ja) * | 1988-07-25 | 1994-12-07 | 株式会社アビサレ | 複数の被吸着物を積層吸着する静電吸着板を有する静電吸着装置 |
-
1985
- 1985-02-28 JP JP2876985U patent/JPH0226711Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61145682U (ja) | 1986-09-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4751609A (en) | Electrostatic holding apparatus | |
| JPH02285980A (ja) | 静電チャックの電圧印加方法および電圧印加装置 | |
| JPS6046636U (ja) | 多極リレ− | |
| JPH0226711Y2 (ja) | ||
| JPH0671944B2 (ja) | 静電保持装置 | |
| JPH04342155A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH0330970Y2 (ja) | ||
| JPS6226926U (ja) | ||
| JP2516020Y2 (ja) | 静電吸着装置 | |
| JPH0291436U (ja) | ||
| JPH0244884U (ja) | ||
| JPS59113942U (ja) | 圧電アクチユエ−タの駆動回路 | |
| JPH06112305A (ja) | 基板収納容器及びこれを用いた基板移し替え方法 | |
| JPS6213007U (ja) | ||
| JP2002127069A (ja) | 静電吸着板を用いた電子材料搬送における電子材料の脱離方法 | |
| JPS61107113U (ja) | ||
| JPS60184222U (ja) | 感圧スイツチ | |
| JPS6415909U (ja) | ||
| JPS58159140U (ja) | 省エネタイマ−スイツチ | |
| JPS5931449U (ja) | 静電選別装置 | |
| JPH02135139U (ja) | ||
| JPH0413050U (ja) | ||
| JPS6244713U (ja) | ||
| JPS6325156U (ja) | ||
| JPS61138249U (ja) |