JPH02263107A - 線状欠陥の検査方法 - Google Patents
線状欠陥の検査方法Info
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- JPH02263107A JPH02263107A JP8495389A JP8495389A JPH02263107A JP H02263107 A JPH02263107 A JP H02263107A JP 8495389 A JP8495389 A JP 8495389A JP 8495389 A JP8495389 A JP 8495389A JP H02263107 A JPH02263107 A JP H02263107A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子部品若しくは精密加工品の表面に存在す
るクラック、スクラッチ等の線状欠陥を画像処理によっ
て検査する方法に関するものである。
るクラック、スクラッチ等の線状欠陥を画像処理によっ
て検査する方法に関するものである。
従来、電子部品若しくは精密加工品の表面に存在するク
ランク、スクラッチ等の線状欠陥の検出を画像を利用し
て行なう方法として下記に示すものが提案されている。
ランク、スクラッチ等の線状欠陥の検出を画像を利用し
て行なう方法として下記に示すものが提案されている。
まず、特開昭59−37450号公報で提案されている
方法は、第5図(a) (b)に示すように、線状欠陥
〔第5図(a)〕に外接する長方形を求め〔第5図(b
)L該長方形をある量だけ拡大して他の近傍領域に存在
する長方形と接触せしめ、不連続欠陥画像から妥当な欠
陥長さを求めるものである。
方法は、第5図(a) (b)に示すように、線状欠陥
〔第5図(a)〕に外接する長方形を求め〔第5図(b
)L該長方形をある量だけ拡大して他の近傍領域に存在
する長方形と接触せしめ、不連続欠陥画像から妥当な欠
陥長さを求めるものである。
又、特開昭63−85432号公報で提案されている方
法を第6図(a) (b)に示すが、これは線状欠陥を
含む画像〔第6図(a)〕を複数ケの画素からなるセル
〔第6図(b)〕としてxy軸方向に複数個夫々行列に
設定し、夫々のセル内の欠陥画素数を計算し、欠陥画素
数が予め定めた数基上にあるセルを欠陥セルとして抽出
し、ごれらの欠陥セルの連結度を計算し、連続度が予め
定めた値以上のものを不良と判断する方法である。
法を第6図(a) (b)に示すが、これは線状欠陥を
含む画像〔第6図(a)〕を複数ケの画素からなるセル
〔第6図(b)〕としてxy軸方向に複数個夫々行列に
設定し、夫々のセル内の欠陥画素数を計算し、欠陥画素
数が予め定めた数基上にあるセルを欠陥セルとして抽出
し、ごれらの欠陥セルの連結度を計算し、連続度が予め
定めた値以上のものを不良と判断する方法である。
上記従来例のうち、外接直方形を用いるものでは、欠陥
の他にノイズが多(存在する場合、各々のノイズの外接
直方形を不用意に拡大すると線状欠陥のそれと接触して
しまい、本来の欠陥の検出ができなくなる。更には、外
接直方形の算出・拡大を各々のノイズに対して行なうた
め、処理時間がかかる。或は、装置が大がかりとなる問
題があった。
の他にノイズが多(存在する場合、各々のノイズの外接
直方形を不用意に拡大すると線状欠陥のそれと接触して
しまい、本来の欠陥の検出ができなくなる。更には、外
接直方形の算出・拡大を各々のノイズに対して行なうた
め、処理時間がかかる。或は、装置が大がかりとなる問
題があった。
又、欠陥セルを用いた例では、ノイズを除去する余り、
抽出した欠陥セルが不連続になってしまい、本来の線状
欠陥長を検出できないという問題があった。
抽出した欠陥セルが不連続になってしまい、本来の線状
欠陥長を検出できないという問題があった。
本発明は、上記のような従来技術に存在する問題点を解
消し、入力画像におけるノイズを除去すると共に、見か
け土工連続に表示される線状欠陥を完全に検査する信頼
性の高い線状欠陥の検査方法を提供することを目的とす
る。
消し、入力画像におけるノイズを除去すると共に、見か
け土工連続に表示される線状欠陥を完全に検査する信頼
性の高い線状欠陥の検査方法を提供することを目的とす
る。
上記問題点を解決するため本発明においては、A、撮像
手段を介して得た被検査物の撮像信号をXY軸方向の2
値化画素データとして画像メモリに記憶する。
手段を介して得た被検査物の撮像信号をXY軸方向の2
値化画素データとして画像メモリに記憶する。
B、中央制御装置を介して前記2値化画素データについ
て、複数個の画素からなるセルをXY軸方向に複数個夫
々行列に設定する。
て、複数個の画素からなるセルをXY軸方向に複数個夫
々行列に設定する。
C1夫々のセル内の欠陥候補画素に対して、下記処理を
行ない、線状欠陥の一部か、ノイズの一部か判断する。
行ない、線状欠陥の一部か、ノイズの一部か判断する。
即ち、検査ラインに隣接するライン以外で、検査ライン
を中心とする上下複数のラインにあって、欠陥候補画素
を中心とする予め定めた弁別領域内の欠陥画素を調べる
。
を中心とする上下複数のラインにあって、欠陥候補画素
を中心とする予め定めた弁別領域内の欠陥画素を調べる
。
D、すべての弁別領域に欠陥画素がある場合欠陥候補画
素は欠陥画素と判断する。そして該画素が含まれるセル
を欠陥セルとして抽出する。
素は欠陥画素と判断する。そして該画素が含まれるセル
を欠陥セルとして抽出する。
E、欠陥セルのY軸方向度数分布を作成する。
F0度数分布において、予め定めたスライスレベルを越
える値をもつものの累積を算出し、線状欠陥全長とする
。
える値をもつものの累積を算出し、線状欠陥全長とする
。
という技術的手段を採用したものである。
上記の構成により、被検査物の入力画像中におけるノイ
ズは、通常は、点状、塊状となっているため、ノイズの
場合は上記弁別領域には欠陥画素が存在しておらず、欠
陥セルの抽出段階において殆んど除去され、本来欠陥で
はないノイズを欠陥であると認識する誤りを排除する作
用がある。
ズは、通常は、点状、塊状となっているため、ノイズの
場合は上記弁別領域には欠陥画素が存在しておらず、欠
陥セルの抽出段階において殆んど除去され、本来欠陥で
はないノイズを欠陥であると認識する誤りを排除する作
用がある。
また、線状欠陥に不連続部があっても、欠陥セル度数値
の累積算出することで線状欠陥全長算出には殆んど影響
を与えないようにできる。
の累積算出することで線状欠陥全長算出には殆んど影響
を与えないようにできる。
上記のようにしてノイズ除去後、線状欠陥からなる欠陥
セルの度数値を累積することで、線状欠陥全長を正確に
算出することが出来るのである。
セルの度数値を累積することで、線状欠陥全長を正確に
算出することが出来るのである。
第3図は本発明の実施例における装置のブロック図であ
る。第3図において、まず被検査物31をレンズ32を
介してTVカメラ等の撮像装置33に結像する。次に撮
像装置33からの撮像信号^D変換装置34により2値
化画素データに変換して、メモリ35に入力する。36
はメモリ35の内容を処理する処理回路、37は処理回
路による処理結果を記憶するメモリである。
る。第3図において、まず被検査物31をレンズ32を
介してTVカメラ等の撮像装置33に結像する。次に撮
像装置33からの撮像信号^D変換装置34により2値
化画素データに変換して、メモリ35に入力する。36
はメモリ35の内容を処理する処理回路、37は処理回
路による処理結果を記憶するメモリである。
次に第1図(a) (c) (d)第2図(b) (c
)は夫々本発明の処理手順の要部を示す模式図である。
)は夫々本発明の処理手順の要部を示す模式図である。
まず第1図(a)は、前記第3図においてメモリ35内
に記憶された2値化画素データの一部を示す。
に記憶された2値化画素データの一部を示す。
第1図(a)において1はスクラッチであり、被検査物
31の表面に存在する。線状欠陥の一種である。
31の表面に存在する。線状欠陥の一種である。
而してスクラッチ1は本来連続しているのであるが、2
値化画素データとしては一部が不連続部2で示されるよ
うに不連続状態となっている。
値化画素データとしては一部が不連続部2で示されるよ
うに不連続状態となっている。
3はノイズであり、被検査物31の表面の地肌ムラその
他に起因して2値化画素データとして記憶されている。
他に起因して2値化画素データとして記憶されている。
次に第2図(b)は本実施例で設定したセルと欠陥セル
の抽出を計算している状態を示す。即ら、21はセルで
あり、例えば本実施例でば8×1−8の画素からなり、
中央制御装置(図示せず)を介してxYy軸方向複数個
をそれぞれ行列に設定する。第2図(b)において22
は無欠陥画素(例えば白画素)であり、23は欠陥画素
(同黒画素)であり、24ば検査ラインにおける黒画素
であるものの、ノイズの一部か欠陥の一部か判断ずべき
画素であり、欠陥候補画素24であることを示す。
の抽出を計算している状態を示す。即ら、21はセルで
あり、例えば本実施例でば8×1−8の画素からなり、
中央制御装置(図示せず)を介してxYy軸方向複数個
をそれぞれ行列に設定する。第2図(b)において22
は無欠陥画素(例えば白画素)であり、23は欠陥画素
(同黒画素)であり、24ば検査ラインにおける黒画素
であるものの、ノイズの一部か欠陥の一部か判断ずべき
画素であり、欠陥候補画素24であることを示す。
即ち、ノイズであれば無欠陥画素、欠陥であれば欠陥画
素となる画素である。この判断は第2(b)に示す弁別
領域25を用いて行なう。弁別領域はy軸方向幅は検査
ライン26に隣接するラインを越える上下の複数ライン
、本実施例ではそれぞれ2ラインであって、χ軸方向幅
は欠陥候補画素24を中心とする数画素幅、本実施例で
は7画素の幅30をもつ領域である。弁別領域25は欠
陥候補画素24の移動に伴って場所が変わる。
素となる画素である。この判断は第2(b)に示す弁別
領域25を用いて行なう。弁別領域はy軸方向幅は検査
ライン26に隣接するラインを越える上下の複数ライン
、本実施例ではそれぞれ2ラインであって、χ軸方向幅
は欠陥候補画素24を中心とする数画素幅、本実施例で
は7画素の幅30をもつ領域である。弁別領域25は欠
陥候補画素24の移動に伴って場所が変わる。
この弁別領域25において、領域(イ) (TI) (
ハ)(ニ)のすべてに亘って欠陥画素23がある場合に
限り、欠陥候補画素24は欠陥画素23であると判断す
る。次に欠陥候補画素24を含むセル27は欠陥セル2
日とする。本判断では、第2図(b)で示すノイズ3ば
欠陥セルとならない。
ハ)(ニ)のすべてに亘って欠陥画素23がある場合に
限り、欠陥候補画素24は欠陥画素23であると判断す
る。次に欠陥候補画素24を含むセル27は欠陥セル2
日とする。本判断では、第2図(b)で示すノイズ3ば
欠陥セルとならない。
上記処理をすべての画素に対して行なうと第2図(c)
に示す欠陥セル画像となる。
に示す欠陥セル画像となる。
本願出願人が実施して抽出した欠陥セル画像を第1図(
c)に示す。ノイズ3はほとんど排除され、線状欠陥に
よる欠陥セル28だけが残っていることがわかる。
c)に示す。ノイズ3はほとんど排除され、線状欠陥に
よる欠陥セル28だけが残っていることがわかる。
第1図(c)で示す欠陥セル画像において2に対応する
4の不連続部があるが、次に、かかる不連続部4をもつ
欠陥セル画像(c)から線状欠陥の全長を算出する方法
を第1図(d)に示す。即ち、第1図(d)は横軸はX
軸方向位置であり、縦軸は各々のX軸位置におけるy軸
方向に数えた欠陥セル画像28の度数分布を示したもの
である。かかる度数分布において予め定めたスライスレ
ヘル5と比較し、越える度数値の累積を計算すると欠陥
全長が算出できる。
4の不連続部があるが、次に、かかる不連続部4をもつ
欠陥セル画像(c)から線状欠陥の全長を算出する方法
を第1図(d)に示す。即ち、第1図(d)は横軸はX
軸方向位置であり、縦軸は各々のX軸位置におけるy軸
方向に数えた欠陥セル画像28の度数分布を示したもの
である。かかる度数分布において予め定めたスライスレ
ヘル5と比較し、越える度数値の累積を計算すると欠陥
全長が算出できる。
第1図(c)に示す不連続部4に示すように一般に、線
状欠陥の不連続部は欠陥全長に比べると無視できる程小
であるため、本方法により線状欠陥の全長を正確に求め
ることができる。
状欠陥の不連続部は欠陥全長に比べると無視できる程小
であるため、本方法により線状欠陥の全長を正確に求め
ることができる。
なお、本実施例では、弁別領域25 (() 、、(o
) (ハ)(ニ)中に黒画素の取扱いを、すべて黒画素
がある場合該セルを欠陥セルとしたが、本願出願人によ
る実施によれば、その取扱いを下記のように変えること
によりノイズと線状欠陥の弁別度合を自由に変えること
ができる。
) (ハ)(ニ)中に黒画素の取扱いを、すべて黒画素
がある場合該セルを欠陥セルとしたが、本願出願人によ
る実施によれば、その取扱いを下記のように変えること
によりノイズと線状欠陥の弁別度合を自由に変えること
ができる。
(1)領域(0)と(ハ)に黒画素があれば欠陥セルと
する。
する。
第4図(a)に示すようにノイズが増えている。
2値画像作成時点でノイズが減れば本判断でも可能
(11)領域(イ)と(ニ)に黒画素があれば欠陥セル
とする。
とする。
第4図(b)に示すようにノイズがかなり残っている。
がまだ残っている。
(iii)本実施例で示したように、領域(イ) (0
) (ハ)(ニ)に黒画、素があれば欠陥セルとする。
) (ハ)(ニ)に黒画、素があれば欠陥セルとする。
第4図(c)に示すようにノイズが大巾に減っており、
しかも線状欠陥の欠陥セル化は損われていない。
しかも線状欠陥の欠陥セル化は損われていない。
本発明は以上記述のような構成および作用であるから、
下記に示す効果がある。
下記に示す効果がある。
(1)入力画像信号中に本来の線状欠陥以外のノイズが
含まれていても、検査ラインに隣接するラインを越える
弁別領域を使って、欠陥の一部かノイズの一部か判断し
てノイズ除去するため、欠陥検出の信頼性が極めて高い
。
含まれていても、検査ラインに隣接するラインを越える
弁別領域を使って、欠陥の一部かノイズの一部か判断し
てノイズ除去するため、欠陥検出の信頼性が極めて高い
。
(2)入力画像信号において、不連続な線状欠陥であっ
ても、度数分布の累積値にて欠陥全長を算出するため、
本来連続した状態の線状欠陥全長を信頼性高く求めるこ
とができる。
ても、度数分布の累積値にて欠陥全長を算出するため、
本来連続した状態の線状欠陥全長を信頼性高く求めるこ
とができる。
(3)弁別領域の大きさ、領域内黒画素取扱い方法によ
って自由にノイズと線状欠陥の弁別度合を変える事がで
きるため、融通性に冨んでいる。
って自由にノイズと線状欠陥の弁別度合を変える事がで
きるため、融通性に冨んでいる。
第1図、第2図は夫々本発明の処理手順の要部を示す模
式図である。 第3図は本発明の実、施例における装置のブロック図で
ある。 第4図は本発明の弁別領域内の黒画素の取扱いによるノ
イズと線状欠陥の弁別度合の違いを示す図である。 第5図、第6図はそれぞれ従来例である。 (C) 第2 (a) (c) 第4 図 (a) (b) 第 図 (b) 第 図
式図である。 第3図は本発明の実、施例における装置のブロック図で
ある。 第4図は本発明の弁別領域内の黒画素の取扱いによるノ
イズと線状欠陥の弁別度合の違いを示す図である。 第5図、第6図はそれぞれ従来例である。 (C) 第2 (a) (c) 第4 図 (a) (b) 第 図 (b) 第 図
Claims (1)
- 撮像手段を介して得た被検査物の撮像信号をXY軸方向
の2値化画素データとして画像メモリに記憶し、中央制
御装置を介して前記2値化画素データについて複数個の
画素からなるセルをXY軸方向に複数個夫々行列に設定
し、夫々のセル内の欠陥候補画素について、欠陥の一部
かノイズの一部かを、y軸方向は検査ラインに隣接する
ラインを除き、該検査ラインを中心とする上下複数のラ
インにあって、x軸方向は欠陥候補画素を中心とする複
数画素の範囲からなる弁別領域を設け、判断することに
より、欠陥セルを抽出し、これらの欠陥セルの度数分布
を求めて、予め定めたスライスレベルを越える値をもつ
ものの累積を算出して欠陥全長とすることを特徴とする
線状欠陥の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8495389A JPH02263107A (ja) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | 線状欠陥の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8495389A JPH02263107A (ja) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | 線状欠陥の検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02263107A true JPH02263107A (ja) | 1990-10-25 |
Family
ID=13844999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8495389A Pending JPH02263107A (ja) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | 線状欠陥の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02263107A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08201305A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Nec Yamagata Ltd | 半導体ウェーハスリップライン検査方法および半導体ウ ェーハの評価方法 |
-
1989
- 1989-04-04 JP JP8495389A patent/JPH02263107A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08201305A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-09 | Nec Yamagata Ltd | 半導体ウェーハスリップライン検査方法および半導体ウ ェーハの評価方法 |
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