JPH02263025A - Air conditioning device for clean room - Google Patents
Air conditioning device for clean roomInfo
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- JPH02263025A JPH02263025A JP8533689A JP8533689A JPH02263025A JP H02263025 A JPH02263025 A JP H02263025A JP 8533689 A JP8533689 A JP 8533689A JP 8533689 A JP8533689 A JP 8533689A JP H02263025 A JPH02263025 A JP H02263025A
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- clean room
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- air conditioner
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、在室人員数により清浄空気量と外気取入量を
変化させるようにしたクリーンルームの空調装置に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an air conditioner for a clean room that changes the amount of clean air and the amount of outside air taken in depending on the number of people in the room.
従来から既に提案されているクリーンルームの空調装置
は、吹出口に取り付けたブースタファンを定風量運転と
し、かつ空調機人口の外気取入口とリターンエア取入口
には固定式のボリュームダンパーを取り付けるように構
成されていた。The clean room air conditioners that have already been proposed use a booster fan attached to the outlet to operate at a constant air volume, and a fixed volume damper is attached to the outside air intake and return air intake of the air conditioner. It was configured.
しかしながら、従来のこのような構成にあっては次のよ
うな欠点があった。すなわち、クリーンルーム内での発
塵源の１つの要素に人間があり、発塵量の変動は在室人
員数に起因する。しかしながら、従来にあっては、クリ
ーンルームの内部に発塵がないにも拘わらず、多量の清
浄空気を常にクリーンルーム内に供給しているため、ブ
ースタファンの消費エネルギーが大きくなってしまう。However, such a conventional configuration has the following drawbacks. That is, humans are one of the sources of dust generation in a clean room, and fluctuations in the amount of dust generation are caused by the number of people in the room. However, conventionally, even though there is no dust inside the clean room, a large amount of clean air is always supplied into the clean room, resulting in a large amount of energy consumed by the booster fan.
また、クリーンルームの熱消費エネルギーの大きな要素
として外気があり、必要外気取入量は建築基準法により
１人１時間当り２０ｍ′以上と決められているため、人
数分だけ供給すればよい。しかしながら、従来にあって
は、クリーンルームの内部に外気を供給する必要がない
のにも拘わらず、常にピークの在室人員数分の外気を取
入れ、空調機にて温調後室内に供給しているため、温調
用のエネルギー消費量が大きくなってしまうという欠点
があった。Furthermore, outside air is a major factor in the thermal energy consumption of a clean room, and the required amount of outside air intake is determined by the Building Standards Act to be 20 m' or more per person per hour, so it is only necessary to supply it for the number of people. However, in the past, although there was no need to supply outside air to the inside of a clean room, outside air was always taken in for the number of people in the room at its peak, and after being temperature-controlled by an air conditioner, it was then supplied into the room. This has the drawback of increasing energy consumption for temperature control.
本発明は上述した欠点に鑑みなされたもので、内部の発
塵量及び必要外気量に合った清浄空気量及び外気取入量
を供給する省エネルギー型のクリーンルームの空調装置
を提供することを目的とする。The present invention was made in view of the above-mentioned drawbacks, and an object of the present invention is to provide an energy-saving clean room air conditioner that supplies an amount of clean air and an amount of outside air intake that matches the amount of internal dust generation and the amount of outside air required. do.
前記目的を達成するために、本発明に係るクリーンルー
ムの空調装置は、出口側がクリーンルームの吹出口に連
通されたブースタファンを備えた第１の通路と、出口側
がブースタファンの入口側に連通されかつ入口側が外気
取入口に連通された空調機を備えた第２の通路と、クリ
ーンルームのリターンエア取出口と空調機の入口側とを
連通ずる第３の通路と、リターン取出口とブースタファ
ンの入口側とを連通ずる第４の通路と、第２の通路の空
調機の出口側に設けられた定風量装置と、クリーンルー
ム内の人員を検出する検出手段と、人員が少なくなるに
従って外気取入口からの外気取入量を少なくすると共に
ブースタファンの回転数が低下するように制御する制御
手段と、を備えたものである。In order to achieve the above object, a clean room air conditioner according to the present invention includes a first passage including a booster fan whose outlet side communicates with the air outlet of the clean room, and whose outlet side communicates with the inlet side of the booster fan. a second passageway equipped with an air conditioner whose inlet side communicates with the outside air intake; a third passageway which communicates the return air outlet of the clean room with the inlet side of the air conditioner; and the return outlet and the inlet of the booster fan. a fourth passage communicating with the clean room, a constant air volume device installed on the outlet side of the air conditioner in the second passage, a detection means for detecting the number of people in the clean room, and a fourth passage communicating with the air conditioner from the outside air intake as the number of people decreases. and control means for controlling the booster fan to reduce the amount of outside air taken in and the rotational speed of the booster fan.
このように本発明にあっては、クリーンルーム内の在室
人員数に応じてブースタファンの回転数を変化させるよ
うにしているため、ブースタファンの消費エネルギーを
低減できる。また、外気取入量を在室人員数に合わせて
変化しているため、温調のために消費するエネルギーを
低減できる。In this way, in the present invention, the rotation speed of the booster fan is changed depending on the number of people in the clean room, so that the energy consumption of the booster fan can be reduced. Additionally, since the amount of outside air intake is changed according to the number of people in the room, the energy consumed for temperature control can be reduced.
以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細な説明する
。Hereinafter, the present invention will be explained in detail using embodiments shown in the drawings.
第１図は本発明に係るクリーンルームの空調族≧
置の一実施例を示す概略構成図である。クリーンルーム
１の前室２内にはエアシャワー３が配置されている。こ
のエアシャワー３には人数カウンター用センサ４とカウ
ンタ５が取り付けられている。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the present invention in which the air conditioning group of a clean room is ≧. An air shower 3 is arranged in an antechamber 2 of a clean room 1. A number counter sensor 4 and a counter 5 are attached to the air shower 3.
該人数カウンター用センサ４及びカウンタ５は信号線６
を介して演算器７に接続されている。The number counter sensor 4 and the counter 5 are connected to a signal line 6.
It is connected to the arithmetic unit 7 via.
また、クリーンルーム１の上部には吹出口８が設けられ
ており、該吹出口８には第１のダクト９を介してインバ
ータ１０を具備するブースタファン１１が接続されてい
る。ブースタファンの圧力は−２０〜３ ＱｍｍＡｑで
ある。さらに、該ブースタファン１１は第２のダクト１
２を介して外気取入口１３に接続されており、該第２の
ダクト１２の途中には空調機１４が配設されている。一
方、該空調機１４の出口側には定風量装置１５が設けら
れており、これによって空調機１４自体の制御はクリー
ンルーム１内の在室人員数の変化による制御を行う必要
がなくなり、空調機１４は単に温室度制御のみ行えばよ
くなる。空調機１４内のファンによる圧力は一３Ｑｍｍ
Ａｑである。また、前記クリーンルーム１にはリターン
エア取出口１６が設けられている。このリターンエア取
出口１６は第３のダクト１７を介して第２のダクト１２
の空調機１４の入口側に接続されている。これら第２の
ダクト１２、第３のダクト１７にはそれぞれ第１、第２
のモータダンパ１８．１９が配設されており、これら第
１、第２のモータダンパ１８．１９は信号線２０を介し
て前記演算器７に接続されている。Further, an air outlet 8 is provided in the upper part of the clean room 1, and a booster fan 11 equipped with an inverter 10 is connected to the air outlet 8 via a first duct 9. The pressure of the booster fan is -20 to 3 QmmAq. Further, the booster fan 11 is connected to the second duct 1
The second duct 12 is connected to an outside air intake port 13 via a second duct 12, and an air conditioner 14 is disposed in the middle of the second duct 12. On the other hand, a constant air volume device 15 is provided on the outlet side of the air conditioner 14, which eliminates the need to control the air conditioner 14 itself based on changes in the number of people in the clean room 1. 14, it is sufficient to simply control the greenhouse temperature. The pressure caused by the fan in the air conditioner 14 is -3 Qmm.
It is Aq. Further, the clean room 1 is provided with a return air outlet 16. This return air outlet 16 is connected to the second duct 12 via the third duct 17.
It is connected to the inlet side of the air conditioner 14. These second ducts 12 and third ducts 17 have first and second ducts, respectively.
Motor dampers 18 and 19 are provided, and these first and second motor dampers 18 and 19 are connected to the arithmetic unit 7 via a signal line 20.
また、前記ブースタファン１１も信号線２１を介して前
記演算器７に接続されている。したがって、前記カウン
タ５とブースタファン１１及び第１、第２のモータダン
パ１８．１９は演算器７を介して信号線６．２０．２１
にて接続された構成となっている。なお、前記第２のダ
クト１２と第３のダク・ト１７は第４のダクト２２を介
して接続されている。Further, the booster fan 11 is also connected to the arithmetic unit 7 via a signal line 21. Therefore, the counter 5, the booster fan 11, and the first and second motor dampers 18, 19 are connected to the signal lines 6, 20, 21 through the calculator 7.
The configuration is connected by . Note that the second duct 12 and the third duct 17 are connected via a fourth duct 22.
次に、本実施例の作用について説明する。まず、エアシ
ャワー３に取り付けられたカウンタ５にてクリーンルー
ム１内の在室人員数をカウントする。Next, the operation of this embodiment will be explained. First, a counter 5 attached to the air shower 3 counts the number of people in the clean room 1.
在室人員数が設定人員数より増加している場合は、外気
取入量を多くするよう制御する必要がある。If the number of people in the room is greater than the set number of people, it is necessary to control the amount of outside air intake to increase.
このため、第１のモータダンパ１８の開度を大きくし、
一方、第２のモータダンパ１９の開度を小さくする。さ
らに、ブースタファン１１の駆動モータ（図示せず）の
回転数をインバータ１０により多くする。このようにす
ることにより、空調機１４の処理するエアは外気分の割
合が多くなると共に、ブースタファン１１の風量が多く
なって、リターンエアのバイパス量が増加する。したが
って、クリーンルーム１内に供給されるエアの風速と０
□量が増加して、増加人員による発塵とＣＯ２の増加に
対する処理が可能となる。For this reason, the opening degree of the first motor damper 18 is increased,
On the other hand, the opening degree of the second motor damper 19 is reduced. Furthermore, the rotation speed of the drive motor (not shown) of the booster fan 11 is increased by the inverter 10. By doing so, the proportion of the air processed by the air conditioner 14 is increased from outside air, and the air volume of the booster fan 11 is increased, so that the amount of bypassed return air is increased. Therefore, the wind speed of the air supplied into the clean room 1 and 0
□ The amount increases, making it possible to deal with increased dust generation and CO2 due to increased personnel.
一方、在室人員数が設定人員数より減少している場合は
、外気取入量が少なくなるように制御する必要がある。On the other hand, if the number of people in the room is less than the set number of people, it is necessary to control the amount of outside air intake to be smaller.
このため、第１のモータダンパ１８の開度を小さくし、
一方、第２のモータダンパ１９の開度を大きくする。さ
らに、ブースタファン１１の駆動モータの回転数をイン
バータ１０にり少なくする。このようにすることにより
、空調機１４の処理するエアはリターンエア分の割合が
多くなり、空調負荷が減少すると共に、ブースタファン
１１の風量が少なくなってリターンエアのバイパス量が
減少する。したがって、クリーンルーム１内に供給され
るエアの風速と０２量が減少して、減少した人員に適合
した発塵とＣＯ２処理が可能となる。For this reason, the opening degree of the first motor damper 18 is reduced,
On the other hand, the opening degree of the second motor damper 19 is increased. Further, the rotation speed of the drive motor of the booster fan 11 is reduced by the inverter 10. By doing so, the proportion of return air in the air processed by the air conditioner 14 increases, reducing the air conditioning load and reducing the air volume of the booster fan 11, thereby reducing the bypass amount of return air. Therefore, the wind speed and amount of air supplied into the clean room 1 are reduced, making it possible to perform dust generation and CO2 treatment suitable for the reduced number of personnel.
なお、外気取入量に見合う排気は、例えばクリーンルー
ム１の側壁に設けたリリーフダンパ等を用いて排気すれ
ばよい。Note that exhaust gas corresponding to the amount of outside air intake may be exhausted using, for example, a relief damper provided on the side wall of the clean room 1.
以上説明したように本発明に係るクリーンルームの空調
装置によれば、クリーンルーム内の在室人員数を検出し
、該在室人員数が設定人員数に比較して、増加している
か減少しているか判断し、モータダンパの開度及びブー
スタファンの駆動モータの回転数を変化させるよう構成
したので、従来に比べて温調のために消費するエネルギ
ー及びブースタファンの消費エネルギーを大幅に低減で
きるという優れた効果を奏する。As explained above, according to the clean room air conditioner according to the present invention, the number of people in the clean room is detected and whether the number of people in the room is increasing or decreasing compared to the set number of people. The system is configured to change the opening degree of the motor damper and the rotational speed of the booster fan's drive motor, making it possible to significantly reduce the energy consumed for temperature control and the energy consumed by the booster fan compared to conventional systems. be effective.
また、空調機の出口に定風量装置を設けたので、空調機
自体の制御してクリーンルーム在室人員数の変化による
制御を行う必要がなくなり、単に温室度の制御のみ行え
ばよくなり、制御が容易になる。In addition, since a constant air volume device is installed at the outlet of the air conditioner, there is no need to control the air conditioner itself to control changes in the number of people in the clean room, and it is now necessary to simply control the greenhouse temperature. becomes easier.
第１図は本発明に係るクリーンルームの空調装置の一実
施例を示す概略構成図である。
１・・・クリーンルーム、
３・・・エアシャワー
４・・・人数カウンター用センサ、
５・・・カウンタ、
６．２０．２１・・・信号線、
７ ・・演算器、
１０・・・インバータ、
１１・・・ブースタファン、
１３・・・外気取入口、
１４・・・空調機、
１５・・・定風量装置、
１６・・・リターンエア取出口、
１８・・・第１のモータダンパ、
１９・・・第２のモータダンパ。FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a clean room air conditioner according to the present invention. 1...Clean room, 3...Air shower 4...Sensor for people counter, 5...Counter, 6.20.21...Signal line, 7...Arithmetic unit, 10...Inverter, 11... Booster fan, 13... Outside air intake, 14... Air conditioner, 15... Constant air volume device, 16... Return air outlet, 18... First motor damper, 19. ...Second motor damper.
Claims (1)
ースタファンを備えた第１の通路と、出口側がブースタ
ファンの入口側に連通されかつ入口側が外気取入口に連
通された空調機を備えた第２の通路と、クリーンルーム
のリターンエア取出口と空調機の入口側とを連通する第
３の通路と、リターン取出口とブースタファンの入口側
とを連通する第４の通路と、第２の通路の空調機の出口
側に設けられた定風量装置と、クリーンルーム内の人員
を検出する検出手段と、人員が少なくなるに従って外気
取入口からの外気取入量を少なくすると共にブースタフ
ァンの回転数が低下するように制御する制御手段と、を
備えたクリーンルームの空調装置。(1) A first passageway equipped with a booster fan whose outlet side communicates with the air outlet of the clean room, and a first passageway equipped with an air conditioner whose outlet side communicates with the inlet side of the booster fan and whose inlet side communicates with the outside air intake port. a third passage communicating between the return air intake port of the clean room and the inlet side of the air conditioner; a fourth passage communicating the return air intake port and the inlet side of the booster fan; and a second passageway. A constant air volume device installed on the outlet side of the air conditioner, a detection means for detecting the number of people in the clean room, and a system that reduces the amount of outside air taken in from the outside air intake port and increases the rotation speed of the booster fan as the number of people decreases. A clean room air conditioner comprising: a control means for controlling the air conditioner to cool down;
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8533689A JPH02263025A (en) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | Air conditioning device for clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8533689A JPH02263025A (en) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | Air conditioning device for clean room |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02263025A true JPH02263025A (en) | 1990-10-25 |
Family
ID=13855799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8533689A Pending JPH02263025A (en) | 1989-04-04 | 1989-04-04 | Air conditioning device for clean room |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02263025A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5597354A (en) * | 1995-06-13 | 1997-01-28 | Johnson Service Company | Indoor air quality control for constant volume heating, ventilating and air conditioning units |
| JP2007127338A (en) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ventilation device |
| JP2012206940A (en) * | 2012-07-30 | 2012-10-25 | Panasonic Corp | Oxygen-enriched air utilization system |
-
1989
- 1989-04-04 JP JP8533689A patent/JPH02263025A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5597354A (en) * | 1995-06-13 | 1997-01-28 | Johnson Service Company | Indoor air quality control for constant volume heating, ventilating and air conditioning units |
| JP2007127338A (en) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ventilation device |
| JP4618099B2 (en) * | 2005-11-04 | 2011-01-26 | パナソニック株式会社 | Ventilation equipment |
| JP2012206940A (en) * | 2012-07-30 | 2012-10-25 | Panasonic Corp | Oxygen-enriched air utilization system |
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