JPH02253137A - フローセル洗浄装置 - Google Patents
フローセル洗浄装置Info
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- JPH02253137A JPH02253137A JP1074616A JP7461689A JPH02253137A JP H02253137 A JPH02253137 A JP H02253137A JP 1074616 A JP1074616 A JP 1074616A JP 7461689 A JP7461689 A JP 7461689A JP H02253137 A JPH02253137 A JP H02253137A
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- 238000005406 washing Methods 0.000 title abstract description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 claims abstract description 35
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 11
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims description 6
- 238000012921 fluorescence analysis Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000003758 nuclear fuel Substances 0.000 description 2
- 239000012857 radioactive material Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 210000003734 kidney Anatomy 0.000 description 1
- 239000006193 liquid solution Substances 0.000 description 1
- 210000004185 liver Anatomy 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B17/00—Methods preventing fouling
- B08B17/02—Preventing deposition of fouling or of dust
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/02—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by distortion, beating, or vibration of the surface to be cleaned
- B08B7/026—Using sound waves
- B08B7/028—Using ultrasounds
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、吸光、螢光分析用フローセルにおいて、光
を透過する窓ガラスに付着した汚れを除去するためのフ
ローセル洗浄装置に関するものである。
を透過する窓ガラスに付着した汚れを除去するためのフ
ローセル洗浄装置に関するものである。
核燃料物質等を含有した溶液をフローセルに導いて吸光
、螢光分析を行う場合、光が透過する窓ガラスの接液面
には溶媒や微粒子によって曇り等の汚れを生じ、この汚
れのため分析結果に誤差を生じることがある。そこで従
来は定期的にアルコール等の洗浄液を流すことによって
フローセルの窓ガラス接液面の洗浄ヲ行っていた。
、螢光分析を行う場合、光が透過する窓ガラスの接液面
には溶媒や微粒子によって曇り等の汚れを生じ、この汚
れのため分析結果に誤差を生じることがある。そこで従
来は定期的にアルコール等の洗浄液を流すことによって
フローセルの窓ガラス接液面の洗浄ヲ行っていた。
上記した従来の洗浄方法では、時間をかけて洗浄しても
完全には綺麗にならななかったし、洗浄廃液が多量に発
生するため放射性物質廃棄処理上好ましくないといった
問題があった。 この発明の目的は、上記した従来の欠点を改善して、比
較的短時間の間に確実に窓ガラス接液面の曇り等汚れを
除去することができるフローセル洗浄装置を提供するこ
とにある。
完全には綺麗にならななかったし、洗浄廃液が多量に発
生するため放射性物質廃棄処理上好ましくないといった
問題があった。 この発明の目的は、上記した従来の欠点を改善して、比
較的短時間の間に確実に窓ガラス接液面の曇り等汚れを
除去することができるフローセル洗浄装置を提供するこ
とにある。
この発明は、上記の目的を達成するため超音波洗浄技術
の応用を考え、吸光、螢光分析用フローセルの測定領域
直上に当るケーシング個所に、窓ガラスを底部とし且つ
内部に注水可能とした液柱槽を形成し、その液柱槽内に
超音波振動子装置のホーンをホーンの先端面が上記窓ガ
ラスに対向するように挿入し、そのホーンの無振幅個所
に取付けたフランジで上記ケーシングに固定するように
したものである。
の応用を考え、吸光、螢光分析用フローセルの測定領域
直上に当るケーシング個所に、窓ガラスを底部とし且つ
内部に注水可能とした液柱槽を形成し、その液柱槽内に
超音波振動子装置のホーンをホーンの先端面が上記窓ガ
ラスに対向するように挿入し、そのホーンの無振幅個所
に取付けたフランジで上記ケーシングに固定するように
したものである。
液柱槽に液を入れて超音波発振器を作動すると、超音波
振動子で発生した超音波はホーンの先端開口から液柱槽
中の液、ホーンの先端面が対向する窓ガラス、更には窓
ガラスに接するフローセル側の液に効果的に伝送され、
フローセルの窓ガラス面の洗浄を行なう。フランジはホ
ーンの無振幅個所に取付けているので、超音波洗浄中、
フランジを介してフローセルケーシングの共振は生じな
い。
振動子で発生した超音波はホーンの先端開口から液柱槽
中の液、ホーンの先端面が対向する窓ガラス、更には窓
ガラスに接するフローセル側の液に効果的に伝送され、
フローセルの窓ガラス面の洗浄を行なう。フランジはホ
ーンの無振幅個所に取付けているので、超音波洗浄中、
フランジを介してフローセルケーシングの共振は生じな
い。
この発明のフローセル洗浄装置の概略を示す図面を第１
図に、またその要部の破断図を第２図に示す。 フローセルのケーシング１内には、測定すべき液が流れ
る液流路２の側方から光を照射し、そのときの吸光状態
および蛍光状態を調べるため、液流路２の一部分には光
照射用の窓ガラス３と吸光が出ていく窓ガラス４を左右
に対設し、また前記の窓ガラス３．４とほぼ直交する下
側に、蛍光が出ていく窓ガラス５を配設して、７１１１
１定領域を構成している。 この発明では、上記した測定領域の直上に当るグー２２
フ１個所に、蛍光が出ていく窓ガラス５と対向させた窓
ガラス６を底部とする液柱槽７を形成するのである。液
柱槽７の深さは後述するホーン２の挿入長さから適宜法
めることができる。液柱槽７の上部囲繞個所９には人波
管１０及び廃液管１１を設けていて、液柱槽７内に水を
入れたり出したりすることができるようになっている。 液柱槽７内の液は液柱槽７底部の窓ガラス６を介してフ
ローセル液流路２内の液と接することになるから、窓ガ
ラス６の取付けは液密でなければならないこと、いうま
てもない。図中、８は窓ガラス６用のステンレス製窓枠
であってケーシング−に固定される。 次にこの発明では、超音波振動子１２にホーン１３を取
付けたものが使用される。このホン１３にはホーン１３
の無振幅部に相当する部位にフランジ１４を取付ける。 フランジ１４より突出しているホーン先端部分を液柱槽
７内に挿入することで、ホーン１３の先端面は上記した
窓ガラス６に対向して配置されることになる。 フランジ１４は上記した上部囲繞個所９の上端面に止着
される。止着するに際しては、０リング］５といったシ
ール部材を介装してボルト１６等でしっかり取付ける。 一般に、取扱うものが核燃料物質等を含有した溶液であ
る場合には、第１図に示すように、フローセルおよびフ
ローセルに取付く前記超音波振動子１２等は遮蔽壁１７
によって仕切られた高放射線量区域の室内に設備され、
遮蔽壁１７を貫通するコード１８によって超音波振動子
１２は室外に設備された超音波発振器１９と連結される
。 本装置の使用法を説明すると、人波管１０より水等の液
体を液柱槽７に充満させ、一方、フローセルの液流路２
にも希硝酸溶液あるいは試料液等を充満又は通液させて
おいて、超音波発振器１９を操作して洗浄を開始する。 振動子３で発生した超音波はホーン１３の先端から液柱
槽７中の液及び窓ガラス６、そして窓ガラス６に接する
フローセル液流路２内の液に伝送される。こうしてフロ
ーセル液流路２内の液は超音波振動するので、フローセ
ルの窓ガラス３．４．５の接液面は短時間のうちに綺麗
に洗浄される。 かかる洗浄操作は分析の合間に行なってもよいし、ある
時間を開けて集中的、定期的に行なってもよい。 尚、光照射用の窓ガラス３、吸光が出ていく窓ガラス４
および蛍光が出ていく窓ガラス５も石英ガラス板とした
ほうが広範囲の波長の光を透過できるため、好ましい。
図に、またその要部の破断図を第２図に示す。 フローセルのケーシング１内には、測定すべき液が流れ
る液流路２の側方から光を照射し、そのときの吸光状態
および蛍光状態を調べるため、液流路２の一部分には光
照射用の窓ガラス３と吸光が出ていく窓ガラス４を左右
に対設し、また前記の窓ガラス３．４とほぼ直交する下
側に、蛍光が出ていく窓ガラス５を配設して、７１１１
１定領域を構成している。 この発明では、上記した測定領域の直上に当るグー２２
フ１個所に、蛍光が出ていく窓ガラス５と対向させた窓
ガラス６を底部とする液柱槽７を形成するのである。液
柱槽７の深さは後述するホーン２の挿入長さから適宜法
めることができる。液柱槽７の上部囲繞個所９には人波
管１０及び廃液管１１を設けていて、液柱槽７内に水を
入れたり出したりすることができるようになっている。 液柱槽７内の液は液柱槽７底部の窓ガラス６を介してフ
ローセル液流路２内の液と接することになるから、窓ガ
ラス６の取付けは液密でなければならないこと、いうま
てもない。図中、８は窓ガラス６用のステンレス製窓枠
であってケーシング−に固定される。 次にこの発明では、超音波振動子１２にホーン１３を取
付けたものが使用される。このホン１３にはホーン１３
の無振幅部に相当する部位にフランジ１４を取付ける。 フランジ１４より突出しているホーン先端部分を液柱槽
７内に挿入することで、ホーン１３の先端面は上記した
窓ガラス６に対向して配置されることになる。 フランジ１４は上記した上部囲繞個所９の上端面に止着
される。止着するに際しては、０リング］５といったシ
ール部材を介装してボルト１６等でしっかり取付ける。 一般に、取扱うものが核燃料物質等を含有した溶液であ
る場合には、第１図に示すように、フローセルおよびフ
ローセルに取付く前記超音波振動子１２等は遮蔽壁１７
によって仕切られた高放射線量区域の室内に設備され、
遮蔽壁１７を貫通するコード１８によって超音波振動子
１２は室外に設備された超音波発振器１９と連結される
。 本装置の使用法を説明すると、人波管１０より水等の液
体を液柱槽７に充満させ、一方、フローセルの液流路２
にも希硝酸溶液あるいは試料液等を充満又は通液させて
おいて、超音波発振器１９を操作して洗浄を開始する。 振動子３で発生した超音波はホーン１３の先端から液柱
槽７中の液及び窓ガラス６、そして窓ガラス６に接する
フローセル液流路２内の液に伝送される。こうしてフロ
ーセル液流路２内の液は超音波振動するので、フローセ
ルの窓ガラス３．４．５の接液面は短時間のうちに綺麗
に洗浄される。 かかる洗浄操作は分析の合間に行なってもよいし、ある
時間を開けて集中的、定期的に行なってもよい。 尚、光照射用の窓ガラス３、吸光が出ていく窓ガラス４
および蛍光が出ていく窓ガラス５も石英ガラス板とした
ほうが広範囲の波長の光を透過できるため、好ましい。
上記した構成からなるこの発明のフローセル洗浄装置は
、吸光、螢光分析用フローセルの測定領域直上に当るケ
ーシング個所に、窓ガラスを底部とし且つ内部に注水可
能としだ液柱槽を形成するのであるが、これは比較釣部
ｉ１ｔなケーシングの改造て実施可能であり、フローセ
ル液流路内に液の滞留個所を作らなくすることは容易に
できる。そして液柱槽内に超音波振動子のホーンを装置
することによって随時に窓ガラス接液面の汚れ除去を超
音波洗浄で可能とする。 また、超音波振動子のホーンの先端面が石英ガラスに向
くことと相俟って、フローセルの内部液への超音波伝送
は良好に行われて、フローセルの窓ガラスの汚れを確実
かつ短時間に洗浄することができる。その結果、従来の
洗浄廃液量と比較すると遥かに少ない液量で済むので放
射性物質廃棄処理上甚だ有効である。更にフローセルの
ケーシングに固定されるホーンのフランジはホーンの無
振幅部に取（＝Ｊけているので、ホーンの振動でフロー
セルを共振させない。そこで共振によって肝腎のフロー
セル測定装置に種々の悪い影響を与えるといった虞はな
い。
、吸光、螢光分析用フローセルの測定領域直上に当るケ
ーシング個所に、窓ガラスを底部とし且つ内部に注水可
能としだ液柱槽を形成するのであるが、これは比較釣部
ｉ１ｔなケーシングの改造て実施可能であり、フローセ
ル液流路内に液の滞留個所を作らなくすることは容易に
できる。そして液柱槽内に超音波振動子のホーンを装置
することによって随時に窓ガラス接液面の汚れ除去を超
音波洗浄で可能とする。 また、超音波振動子のホーンの先端面が石英ガラスに向
くことと相俟って、フローセルの内部液への超音波伝送
は良好に行われて、フローセルの窓ガラスの汚れを確実
かつ短時間に洗浄することができる。その結果、従来の
洗浄廃液量と比較すると遥かに少ない液量で済むので放
射性物質廃棄処理上甚だ有効である。更にフローセルの
ケーシングに固定されるホーンのフランジはホーンの無
振幅部に取（＝Ｊけているので、ホーンの振動でフロー
セルを共振させない。そこで共振によって肝腎のフロー
セル測定装置に種々の悪い影響を与えるといった虞はな
い。
第１図はこの発明のフローセル洗浄装置の一例を概略的
に示す説明一部断面斜視図、第２図は第１図の装置の一
部断面斜視図である。 １・・・ケーシング、６・・・窓ガラス、７・・・液柱
槽、１０・・・人液管、１１・・・廃液管、１２・・・
超音波振動子、１３・・・ホーン、１４・・・フランジ
。
に示す説明一部断面斜視図、第２図は第１図の装置の一
部断面斜視図である。 １・・・ケーシング、６・・・窓ガラス、７・・・液柱
槽、１０・・・人液管、１１・・・廃液管、１２・・・
超音波振動子、１３・・・ホーン、１４・・・フランジ
。
Claims (1)
- １、吸光、螢光分析用フローセルの測定領域直上に当る
ケーシング個所に、窓ガラスを底部とし且つ内部に注水
可能とした液柱槽を形成し、その液柱槽内に超音波振動
子装置のホーンを挿入してホーン先端面を上記窓ガラス
窓に対向せしめ、そのホーンの無振幅個所に取付けたフ
ランジで上記ケーシングに固定したことを特徴とするフ
ローセル洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1074616A JPH02253137A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | フローセル洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1074616A JPH02253137A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | フローセル洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253137A true JPH02253137A (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=13552286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1074616A Pending JPH02253137A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | フローセル洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02253137A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996005000A1 (fr) * | 1994-08-16 | 1996-02-22 | Systemes D'applications Industrielles De L'ionisation | Dispositif de nettoyage de la face d'entree d'un detecteur de particules |
| JP2001296241A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-10-26 | Wyatt Technol Corp | 光学フローセルおよびその洗浄方法 |
| JP2004045113A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
| JP2013088302A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-13 | Dkk Toa Corp | 検出器及び水質測定装置 |
| WO2014060023A1 (en) * | 2012-10-16 | 2014-04-24 | Statoil Petroleum As | Method and system for ultrasonic cavitation cleaning in liquid analysis systems |
| JP6163696B1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-07-19 | 本多電子株式会社 | 超音波液体処理装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5732459U (ja) * | 1980-07-31 | 1982-02-20 | ||
| JPS62165127A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-21 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 光学機器における防塵方法 |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP1074616A patent/JPH02253137A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5732459U (ja) * | 1980-07-31 | 1982-02-20 | ||
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| FR2723788A1 (fr) * | 1994-08-16 | 1996-02-23 | Systemes D Applic Ind De L Ion | Dispositif de nettoyage de la face d'entree d'un detecteur de particules. |
| JP2001296241A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-10-26 | Wyatt Technol Corp | 光学フローセルおよびその洗浄方法 |
| JP4680402B2 (ja) * | 2000-03-10 | 2011-05-11 | ワイアット テクノロジー コーポレイション | 光学フローセルおよびその洗浄方法 |
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| NO20150580A1 (en) * | 2012-10-16 | 2015-05-11 | Statoil Petroleum As | Method and system for ultrasonic cavitation cleaning in liquid analysis systems |
| GB2521327A (en) * | 2012-10-16 | 2015-06-17 | Statoil Petroleum As | Method and system for ultrasonic cavitation cleaning in liquid analysis systems |
| US20150285733A1 (en) * | 2012-10-16 | 2015-10-08 | Statoil Petroleum As | Method and System for Ultrasonic Cavitation Cleaning in Liquid Analysis Systems |
| GB2521327B (en) * | 2012-10-16 | 2018-01-03 | Statoil Petroleum As | Method and system for ultrasonic cavitation cleaning in liquid analysis systems |
| US9880091B2 (en) * | 2012-10-16 | 2018-01-30 | Statoil Petroleum As | Method and system for ultrasonic cavitation cleaning in liquid analysis systems |
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| JP6163696B1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-07-19 | 本多電子株式会社 | 超音波液体処理装置 |
| JP2017213498A (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 本多電子株式会社 | 超音波液体処理装置 |
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