JPH02250591A - ホログラフィテレビジョン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、真の三次元画像を検出・伝送・再生するテレ
ビジ１ン（一定の視角範囲内では任意の視点からの観察
を許すテレビジーンを意味し、以下ホログラフィテレビ
ジ四ンまたは三次元ＴＶと略記する）に関するものであ
る。

従来の技術 近年、コンビエータグラフイクスの発展と共に立体画像
表示法の研究が盛んになっている。立体画像表示法とし
ては、現在次の３つの基本的な手法が存在する。（１）
二眼ステレオ立体視（「図形と画像Ｊ　１９８２年春号
Ｐ、８１参照）、（２）バリフォーカルミラー［Ｖａｒ
ｌｆｏｃａｌ　ｍ１ｒｒｏｒコ方式（日経エレクトロニ
クス、　１９８１年１２月７日号Ｐ、２５５参照）（３
）ホログラフィ技術を用いる方式（ｒＰＩＸＥＬＪ　１
Ｂ８３年８−１０月号（ＮＯ，１４）　Ｐ、１１０参照
）、これらの方式の中で、（３）のホログラフィ技術は
一種の写真的な手法によっているためその利用が非常に
限定されているが、立体画像表示法としては原理的に最
も優れた方式である。

第９図は従来のホログラフィの原理を示すものである。

第９図において、９０１はレーザー　９０２はミラー　
９０３はミラー、９０４はビームスプリッタ、９０５は
レンズ、９０６はレンズ、９０７はレンズ、９０８は写
真フィルムである。

以上のように構成されたホログラフィ装置について以下
にその動作について説明する。レーザー９０１から出る
レーザービームをビームスプリッタ９０４により２つの
方向に分割し、それぞれのビームをレンズ９０５．９０
８．９０７により広げ、あるいは空間的に重なるように
する。このレーザー光の重なった空間（図の斜線の部分
）では斜線の方向に干渉縞が形成される。この空間内で
両方からのレーザー光が記録面に当たるように高分解能
写真フィルム９０８をセットし、レーザー光による露光
を行いその面における干渉縞のパターンを記録する。（
この干渉縞の間隔は、サブミクロンから２〜３μ程度で
あり、このパターンを記録壷現像処理した写真フィルム
をホログラムと呼ぶ。また、このパターンを以下ホログ
ラム情報と呼ぶ。）次に、第１０図（ａ）のように、こ
のホログラム１００１を第９図のレーザ°−光束のどち
らか一方、例えばレンズ９０６を通過する平行光（平行
参照光）で照明するとレーザー光の一部は回折光となっ
てレンズ９０７を通過する物体光と同じ方向に広がって
進む光となる。この結果、点物体Ａの位置に虚像Ａ’が
生じ、ホログラムの再生が実現する。

第１０図（ｂ）ように、ホログラムを照明するレーザー
光を同図（ａ）と全く逆の方向より同じ波面（この場合
は平行光束）で行うと、回折光も同図（ａ）と逆の方向
に進み一点Ａ”　（実像）に収束する。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記の構成では、（１）ホログラム情報
の電気的な検出手段として利用できる撮像装置の分解能
（解像力で表し、約０．１本／μｍ）がホログラムとし
て用いる写真材料（解像力は、約１〜２本／μｍ）に比
べてはるかに低いので、ホログラム情報の検出が困難で
あり、（２）ホログラム情報を電気的に表示する実用的
な映像表示装置がない、という欠点のためにホログラフ
ィ技術を用いたリアルタイム動作のホログラフィテレビ
ジョンの実用的な提案は未だになされていない。

本発明は上記従来の問題点を解決するものでホログラム
情報を電気的に検出・再生することができる撮像装置・
映像表示装置を実現し、変位付与装置と組み合わせるこ
とでホログラフィテレビジョンを提供することを目的と
する。

課題を解決するための手段 この目的を達成するために本発明のホログラフィテレビ
ジョンは、変位付与装置を備えた撮像装置より成る三次
元ホログラム情報の検出手段と、変位付与装置を備えた
映像表示装置より成る三次元ホログラム情報の再生手段
と、検出手段で得られた信号を再生手段に与えるための
伝送手段とで構成され、撮像装置から一画面の信号を読
みだす間隔および映像表示装置に一画面の信号を送り込
む間隔に同期して変位付与装置が一定量の変位を撮像装
置の撮像面および映像表示装置の映像表示面の法線方向
に与えるように動作する。

作用 この構成と動作により、三次元ホログラム情報を一度複
数の二次元ホログラム情報に分解して読み込んだ後、順
次伝送し、再度合成して三次元ホログラム情報とするこ
とで、リアルタイムに近い速度で動作するホログラフィ
テレビシロンを実現することができる。

実施例 本発明のホログラフィテレビジョンの基ＥＥ　＋Ｍ　成
を第１図に示す。これは、（ａ）二次元方向（これをＸ
方向、Ｙ方向あるいは水平方向、垂直方向と呼ぶ）に配
列された光電変換部（または受光部）を有する撮像装置
１０１と、（ｂ）二次元方向に配列された電光変換部（
または発光部）を有する映像表示装置１０２と、（Ｃ）
上記撮像装置１０１の信号出力端と上記映像表示装置ｉ
！１０２の信号入力端とを結ぶ伝送系１０３（この一部
に電磁波の形態で空中伝送される場合も含む）とを備え
ている。

しかも、撮像装置１０１と映像表示装置１０２とは第三
の方向（これをＺ方向または厚み方向と呼ぶ）に矢印の
ように人間の眼の応答速度より早い速度で変位すること
ができる。つまり、参照光［Ｒからの参照光Ａｉと物体
０からの物体光Ａ。

とにより形成される三次元の干渉縞１０４が変位する撮
像装置１０１（これは人間の眼で観測する限り三次元ホ
ログラムと等価である）で検出され、伝送系１０３で変
位する映像表示装置１０２（これも人間の眼で観測する
限り三次元ホログラムと等価である）まで伝えられ、三
次元の干渉縞１０５（これは干渉縞１０４に等しい）を
再生する。

この干渉縞１０５に再生光源Ｒ″として参照光源Ｒと同
じものを用いれば、再生光ＡＲと一致し、三次元再生像
ＯＩが観測される。

＼　この基本構成による真の三次元再生像は、ホログラ
フィの原理の適用により得られる。すなわち、参照光Ａ
ｍ（ｘ＋ｙ＋ｚ）と物体光Ａ　ｏ　（Ｘ　＋　Ｙ　＋　
Ｚ　）が三次元空間で干渉することにより生じる干渉縞
１０４の強度Ｉ　（ｘ＋ｙ＋ｚ）は、次式で表される。

１　（Ｘ＋ｙ＋Ｚ）＝　ｌ　ＡＲＩ　”　＋　Ｉ　ＡＯ
ｌ　２＋ＡＲＩＡＯ”　＋Ａｌｌ”ｌＡＯ・・・（１）
ここで、 ＡＯ（ｘ＋ｙ＋ｚ）＝　ａ　Ｒ（ｘ＋ｙ、ｚ）ｅｘｐ（
ｉφ＊（Ｘ＋ｙ＋Ｚ）１・・・（２） Ａｏ（ｘ＋ｙ＋ｚ）＝　ａｏ（ｘ＋ｙ＋ｚ）ｅｘｐ［ｉ
φｏ（ｘ＋ｙ＋ｚ））・・・（３） というように、振幅と位相を分離した表現（ただし、慣
例に従いｅｘｐ（・ｌωｔ）は省略している）を用いれ
ば、式（１）は次のようになる。

Ｉ　（ｘ＋ｙ＋ｚ）　＝　　ａＲ”（ｘ＋ｙ＋ｚ）＋　
Ａｏ２（ｘ＋ｙ＋ｚ）＋　２ａ＊”ａａ　ｃｏｓ（φＲ
−φｏ）　　　　　”・（４）式（４）の第１項、第２
項はそれぞれ参照光ＡＲＮ物体光Ａｏが単独に到達した
時の強度に等しい。

ただし、ａＯは物体における回折によって緩やかに変化
する量となるので、 ａｔ＋　　＞　　　ａｏ　　　　　　　　　　　　　　
　・ｔｓ）の条件を満足させる必要がある。

式（４）の第三項は、直流的な平均強度を表す（＆−＋
　　ａｏりを中心とし、２ａｌＩ曝ａＯの振幅で振動す
る交流会で、位置情由（φＲ−φ０）を有する干渉縞を
表す。この干渉縞は、参照光Ａ１１番物体光Ａｏが撮像
装置にそれぞれ角度θ霞　　θ０で入射する場合、両方
の光がＣＸ−Ｚ面］となす角をθ９とすれば、 φｐ（Ｘ＋ｙ＋ｚ）　＝　Ｒ（ｘｌｃｏｓθ’ｓｌｎθ
Ｒ＋　ｙｌｓｌｎθ′＋　ｚ−ｃｏｓθ’ｃｏｓθＲ）
　　　　・（８）φｏ（ｘ＋ｙ＋ｚ）　＝”Ｒ（ｘ−ｃ
ｏｓθ’ｓｌｎθｏ　＋　ｙ１ｓｔｎθゝ＋　　ｚＩＣ
Ｏ８θ　’ｃｏｓ　θ　０）ｅＩｌｌ（））となる（た
だし、Ｒは三次元ホログラム内の波数）。

両波の位相差δ（ｘ＋ｙ＋ｚ）は、 δ（ｘ、ｙ、ｚ）＝Ｒ１ｘＩＣＯｓθ’（ｓｓｉｎθＲ
−ｓｌｎθ０）＋　Ｒ−ｚ−ａｏｓθ’（ｃｏｓθＲ−
ｃｏｓθ０）・・・（８） 最も強い輝度を有する場所は、 δ（×かｙ＋ｚ）＝２ｍπ　　　　　　　　　　　　・
・・（９）［ｍは整数コ したがって、干渉縞の生じる位置は、 Ｘ：（（００８θＲ−ＣＯ５θｏ）／（ｓｌｎｅａ−８
ｌｎθ、）ｌ・Ｚ＋　（２＋ａｉ　／Ｒ）／（（ｓｌｎ
ＯＲ−ｓ４ｎθ＠）−ｃｏｓθ′）・・・（１０） これより、干渉縞が２軸となす角αは、ａ＝ｔａｎ−’
［（ｃｏｓθｑ　−ｃｏｓθａ）／（ｓｌｎＯＲ−ｓｌ
ｎｅａ））＝　（θＲ−θｏ）／　２　　　　・・・（
１１）三次元ホログラムでは、θ０〜０″　　θＲ〜１
８０″が普通であるため、α〜９０°となり、１１、Ｘ
−Ｙコ面（受光面、表示面に対応する）に平行な干渉縞
が形成される。

この性質は撮像装置１０１、映像表示装置１０２に変位
を付与する場合に極めて有利な条件となる。つまり、２
方向を撮像装置および映像表示装置に変位を付与する方
向と考えれば、〔Ｘ−７１面内での分解能は緩和されＺ
方向の分解能は変位付与装置で決めることが可能になる
。

磁歪材料では　δＬ／Ｌ＝　１０”程度であり、三次元
ホログラムに対する分解能を２．５〜２５本７μｍ　と
することが可能である。これは、電歪材料でも同様であ
る。

次に、干渉縞１０５を用いて真の三次元再生像を得るた
めに、再生照面光源Ｒ°として参照光源Ｒと等価なもの
を用いれば、再生光ＡＲ’は参照光ＡＲと等しくなる。

この時、映像表示装置に入射する光は式（１）を用いる
と次式で表される。

Ｉ　（Ｌ）’＋Ｚ）　”　ＡＩＩ＝　Ｉ　ＡＲＩ　”　
＊　ＡＲ＋１Ａａｌ”＊ＡＲ＋ＡＲ＊Ａｏ”＊ＡＲ＋　
Ａｌｌ”・Ａｏ＠Ａ代：　ｌＡ１１Ｉ”１ｌＡ１１＋Ｉ
Ａａｌ”ｅＡＲ＋ｔＡ＊　　Ｉ”ｅＡ。

＋ＩＡＲ＋”・Ａｏ”　　　　　　　　　　　・・・（
１２）式（１２）の第１項は再生光ＡＲがホログラムを
透過する光波に相当し、第２項は物体光強度ａｏ”に比
例して空間的に緩やかに変化し、また物体光の振幅情報
を含んでいるが、位相の情報を失っているので物体光の
再生には関係ない透過光に相当する。式（１２）の第３
項は、物体光Ａｏが現れているので、物体の再生像を形
成する。これは真の三次元再生像である。式（１２）の
第４項は、物体光Ａ。

と共役な再生像を形成する。この共役像は、Ａｓ”　＝
　　ａＩＩ”　ｅｘｐ（２１φＲ）　　　　　　　”・
０３）の変化を受けた歪んだ像となっている。

さらに、映像表示装置１０２は三次元ホログラムと考え
られるので、ブラッグ回折と同様な波長選択性を備えて
おり、再生照明光源Ｒ゛として白色光も利用できる。ま
た、多色のレーザー光で異なる方向からの参照光により
、多重化された干渉縞を形成するならば、カラーの三次
元像も形成できる。再生照明光としては、対応する多色
のレーザー光を用いてもよいし三次元ホログラムの波長
選択性を利用する白色光を用いてもよい。

第１図に示した基本構成を具体化した本発明の具体的な
実施例を第２図〜第８図を用いて、以下に説明する。

第２図は第１図の撮像装置１０１の撮像面の接線方向と
異なる方向（例えば法線方向）に変位を付与する変位付
与装置を組み込んだ三次元ホログラム情報の検出装置の
実施例である。変位付与装置は一定量毎に変化する電場
または磁場の信号発生回路２０１と信号発生回路の信号
変化に対応して一定量毎の変位を生じるような電歪材料
または磁歪材料２０２からなる。撮像装置１０１の信号
は映像信号処理回路２０３により所要の映像信号Ｓ　ｏ
ｕｔに変換される。

第３図は第１図の映像表示装置１０２に映像表示面の接
線方向と異なる方向（例えば法線方向）に変位を付与す
る変位付与装置を組み込んだ三次元ホログラム情報の再
生装置の実施例である。変位付与装置は一定量毎に変化
する電場または磁場の信号発生回路３０１と信号発生回
路の信号変化に対応して一定量毎の変位を生じるような
電歪材料または磁歪材料３０２からなる。外部から入力
される映像信号Ｓｉｎは映像信号処理回路３０３により
映像表示装置の駆動に適した信号に変換される。

第４図は第２図の信号発生回路２０１の出力信号および
映像信号Ｓ　ｏｕｔと第３図の信号発生回路３０１の出
力信号および映像信号Ｓｌｎの関禦を示したものである
。

第４図のＳｖは映像信号５ｏｕｔ、Ｓｉｎに対応してお
り、ＮＴＳＣ方式の場合には信号の繰り返し周期Ｔとし
て垂直走査期間を用いるのが普通である。ただし、水平
走査方法が並列出力あるいは並列入力の場合には級り返
し周期Ｔとして垂直走査期間より短い時間を用いること
も可能である。

第４図のＥｃ（またはＨａ）およびＥｃ”　（またはＨ
ｃＩ　）は信号発生回路２０１．３０１の出力信号の波
形の例を示したもので、繰り返し周期Ｔに対応して階段
状に一定量毎の増加または減少する電場（または磁場）
となる。

これまで説明してきた撮像装置は撮像管（または撮像管
を用いたカメラ）でも、固体撮像素子（または固体撮像
素子を用いたカメラ）でも良いが、繰り返し周期Ｔとし
て水平走査期間を用いることが可能な新しい固体撮像素
子の実施例および製造方法を第５図、第６図をもとに説
明する。

第５図（ａ）は並列出力固体撮像素子（Ｐａｒａｌｌｅ
ｌ　Ｒｅａｄｏｕｔ　５ｏｌｌｄ−ｓｔａｔｅ　Ｉｍａ
ｇｅｒｌ　　以下略してＰＲ撮像素子と呼ぶ）の実施例
で、水平走査方向に直角な断面図を示す。第５図（ｂ）
（ｃ）は水平走査方向に平行な断面図で第５図（ａ）の
に−Ｋ　’断面およびＬ−Ｌ　’断面に相当する。第５
図（ｄ）は第５図（Ｃ）の端子Ｆ、Ｆ’およびＩｔ、Ｈ
’に接続する回路構成を示す。第５図（ｅ）は第５図（
ａ）のに−Ｋ”断面のチャネル領域の水平走査方向に沿
ったポテンシャル分布を示す。

第５図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示されたＰＲ撮像素子は、
ｐ基板５０１の上に信号読みだし線となるｎ中領域５０
２、チャネル領域であるｐ領域５０３、光電変換領域の
ｎ領域５０４、半導体表面を水平走査方向に沿ってエツ
チングして形成された凹形状のトレンチ溝６０５、半導
体表面に形成された絶縁膜５０６、）レンチ溝６０５に
絶縁ｇｓｏｅおよび絶縁膜５０７を隔てて形成された第
１の抵抗性ゲート電極５０８、絶縁膜６０９を隔てて形
成された第２の抵抗性ゲート電極５１０で構成される。

第５図（ｃ）の第１の抵抗性ゲート電極５０８の両端の
端子Ｈ，Ｈ’および第２の抵抗性ゲート電極５１０の両
端の端子Ｆ、Ｆ’に第５図（ｄ）の回路（これは、直流
電圧電源５１Ｌ５１２と図に示すような繰り返し周期が
水平走査期間であるような鋸歯状波を発生する信号発生
器５１３．５１４で構成されている）を接続すれば、チ
ャネル領域５０Ｂの中で水平走査方向にポテンシャル分
布Ｗ！およびＷ２が誘起され、１Ｆ！およびＷ２がＷＯ
より大きい領域（図のＧ区間）でｎ領域６０４とｎ中領
域５０２との間の導通が生じる。しかも、第５図（ｅ）
の矢印Ｍの方向にＧ区間は水平走査期間内に移動するの
で水平走査が同時並列に行われる。

撮像装置として本実施例を用いるならば、一画面情報を
１水平走査期間で出力できるため三次元ホログラム情報
を読み出すのに必要な時間が短くてよいため、よりリア
ルタイムに近いホログラフィテレビシロンの実現が可能
になる。

第８図（ａ）〜（ｆ）は、第５図のＰＲ撮像素子の製造
方法を示したものである。ｐ型基板５０１の上にｎ十型
の半導体層５０２をエピタキシャル成長した後、ｐ型の
半導体層５０３をエピタキシャル成長する。この後に形
成する予定のトレンチ溝５０５の形成方向と直角な方向
にｎ型の帯状の複数の半導体領域５０４を形成する（こ
の半導体領域５０４は、トレンチ形成後でも良い。）［
第６図（ａ）参照］。

次に表面に絶縁膜５０６を形成しする［第８図（ｂ）参
照コ。さらに、層間絶縁膜６０１を堆積する［第６図（
ｃ）参照］。この層間絶縁膜８０１を、選択性エツチン
グによりｐ空領域５０３とｎ十領域６０２の境界までを
残し、他を取り除いて絶縁膜５０７とする［第６図（ｄ
）参照コ。続いて、ＣＶＤ法で抵抗性ゲート電極とする
ためのポリシリコンロ０２を堆積する（シート抵抗率は
１５〜２００Ω／口程度の値を用いる。）［第６図（ｅ
）参照コ。このポリシリコンロ０２を、選択性エツチン
グによりｐ空領域５０３の一部分のｎ十型領域５０２寄
りに残るようにして抵抗性ゲート電極５０８とする［第
８図（ｆ）参照コ。この後、第６図（ｃ）〜＜１）を繰
り返すことにより第５図（ａ）のＰＲｔＪｌ像素子が完
成する。以上で新しい固体撮像素子の構成および製造方
法に関する説明を終わる。

次に、これまで説明してきた映像表示装置はプ。

ラウン管（Ｃａｔｈｏｄｅ　Ｒａｙ　ＴｕｂｅまたはＣ
ＲＴと呼ぶ。

あるいはＣＲＴを用いた映像表示装置）でも、固体映像
表示素子（またはＥＬｌ　ＬＥＤなどの固体映像表示素
子を用いた映像表示装置）でも良いが、繰り返し周期Ｔ
として水平走査期間を用いることが可能な新しい固体映
像表示素子の実施例および製造方法を第７図、第８図を
もとに説明する。

第７図（ａ）は並列出力固体映像表示素子（Ｐａｒａ　
ｌ　Ｉｅｌ　Ｒｅａｄｏｕｔ　５ｏ１１ｄ−ｓｔａｔｅ
　Ｄｌｓｐｌａｙｅｒｌ　　以下略してＰＲ表示素子と
呼ぶ）の実施例で、水平走査方向に直角な断面図を示す
。第７図（ｂ）（（りは水平走査方向に平行な断面図で
第５図（ａ）のに−に’断面およびＬ−Ｌ’断面に相当
する。第７図（ｄ）は第７図（Ｃ）の端子Ｆ、Ｆ’およ
びＨ，Ｈ’に接続する回路構成を示す。第７図（ｅ）は
第７図（ａ）のに−に’断面のチャネル領域の水平走査
方向に沿ったポテンシャル分布を示す。

第７図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示されたＰＲ表示素子は、
ｐ基板７０１の上に信号読みだし線となるｎ十領域７０
２、チャネル領域であるｐ領域７０３、発光表示のため
の蛍光体領域７０４、半導体表面を水平走査方向に沿っ
てエツチングして形成された凹形状のトレンチ溝７０５
、半導体表面に形成された絶縁膜７０６、トレンチ溝７
０５に絶縁膜７０６および絶縁膜７０７を―てて形成さ
れた第１の抵抗性ゲート電極７０８、絶縁膜７０θを隔
てて形成された第２の抵抗性ゲート電極７１０で構成さ
れる。

第７図（ｃ）の第１の抵抗性ゲート電極７０８の両端の
端子１１．Ｈ’および第２の抵抗性ゲート電極７１０の
両端の端子Ｆ、Ｆ’に第７図（ｄ）の回路（これは、直
流電圧電源７１１．７１２と図に示すような繰り返し周
期が水平走査期間であるような鋸歯状波を発生する信号
発生器７１３．７１４で構成されている）を接続すれば
、チャネル領域７０３の中で水平走査方向にポテンシャ
ル分布ＶｔおよびＷ２が誘起され、ＷｌおよびＷ２が１
ＶＯより大きい領域（図のＧ区間）で蛍光体領域７０４
とｎ＋領域７０２との間の導通が生じる。

しかも、第７図（ｅ）の矢印Ｍの方向にＧ区間は水平走
査期間内に移動するので水平走査が同時並列に行われる
。表示装置として本実施例を用いるならば、一画面情報
を１水平走査期間で入力できるため三次元ホログラム情
報を読み出すのに必要な時間が短くてよいため、よりリ
アルタイムに近いホログラフィテレビジョンの実現が可
能になる。

さらに、発光領域が蛍光体であり荷電キャリアの非散乱
走行を利用するなめ従来のＣＲＴに優るとも劣らない映
像表示性能が実現可能である。

第８図（ａ）〜（ｆ）は、第７図のＰＲ表示素子の製造
方法を示したものである。ｐ型基板７０１の上にｎ十型
の半導体層７０２をエピタキシャル成長した後、ｐ型の
半導体層７０３をエピタキシャル成長する。この時、半
導体層の厚さは荷電キャリア（例えば電子など）の平均
自由行程と同程度の寸法とする。続いて、蛍光体領域７
０４を形成する（この蛍光体領域７０４は、トレンチ°
形成後でも良い。）［第８図（ａ）参照コ。

次に表面に絶縁膜７０６を形成しする［第８図（ｂ）参
照コ。さらに、層間絶縁膜８０１を堆積する［第８図（
ｃ）参照］。この層間絶縁膜８０１を、選択性エツチン
グによりｐ空領域７０３とｎ十領域７０２の境界までを
残し、他を取り除いて絶縁膜７０７とする［第８図（ｄ
）参照コ。続いて、ＣＶＤ法で抵抗性ゲート電極とする
ためのポリシリコン８０２を堆積する（シート抵抗率は
１５〜２００Ω／口程度の値を用いる。）［第８図（ｅ
）参照］。

このポリシリコン８０２を、選択性エツチングによりｐ
空領域７０３の一部分のｎ十型領域７０２寄りに残るよ
うにして抵抗性ゲート電極７０８とする［第８図＜ｆ＞
参照コ。この後、第８図（ｃ）〜（ｆ）を繰り返すこと
により第７図（ａ）のＰＲ表示素子が完成する。

以下本発明の構成要素として好ましい構造および製造法
を示す。

（１）半導体基板の表面に一方向に長く形成された複数
の凹形状のトレンチ溝と、前記トレンチ溝に挟まれた前
記半導体基板の表面に形成された光電変換（受光）部と
、前記トレンチ溝内に溝に沿って連続して形成された複
数の抵抗性ゲート電極から成ることを特徴とする固体撮
像装置。

（２）半導体基板の表面に一方向に長く形成された複数
の凹形状のトレンチ溝と、前記トレンチ溝に挟まれた前
記半導体基板の表面に形成された電光変換（発光）部と
、前記トレンチ溝内に溝に沿って連続して形成された複
数の抵抗性ゲート電極から成ることを特徴とする固体映
像表示装置。

（３）第一導電型の半導体・基板に第二導電型の低抵抗
半導体層と第一導電型の高抵抗半導体層をエピタキシャ
ル成長する第一の工程と、前記第一導電型の高抵抗半導
体層の表面から前記半導体基板まで達するように凹形状
のトレンチ溝を形成する第二の工程と、前記トレンチ溝
に挟まれた前記第一導電型の高抵抗半導体層の表面にト
レンチ溝と直角方向に複数の帯状の第二導電型の低抵抗
半導体層を形成する第三の工程と、半導体表面に絶縁膜
を形成する第四の工程と、前記トレンチ溝に前記絶縁膜
を隔てて抵抗性ゲート電極を形成する第五の工程から成
ることを特徴とする固体撮像装置の製造法。

（４）第一導電型の半導体基板に第二導電型の低抵抗生
導体層と第一導電型の高抵抗半導体層をエピタキシャル
成長する第一の工程と、前記第一導電型の高抵抗半導体
層の表面から前記半導体基板まで達するように凹形状の
トレンチ溝を形成する第二の工程と、前記トレンチ溝に
挟まれた前記第一導電型の高抵抗半導体層の表面全体に
蛍光体層を形成する第三の工程と、表面に絶縁膜を形成
する第四の工程と、前記トレンチ溝に前記絶縁膜を隔て
て抵抗性ゲート電極を形成する第五の工程から成り、第
一導電型の高抵抗層をキャリアの平均自由行程の厚さに
することを特徴とする固体映像表示装置の製造法。

発明の効果 以上のように、本発明のホログラフィテレビシロン装置
においては真の三次元画像を再現することができるもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のホログラフィテレビシロン
の基本構成図、第２図は同装置の一部となる撮像装置と
変位付与装置からなる撮像手段の構成図、第３図は同装
置の一部となる。映像表示装置と変位付与装置からなる
映像表示手段の構成図、第４図は同変位付与装置の駆動
波形図、第Ｓ図は本発明一実施例のホログラフィテレビ
シロン装置の構成要素である撮像素子を示す図、第６図
は同撮像素子の製造法を示す図、第７図本発明のホログ
ラフィテレビジ日ソ装置の構成要素である映像表示素子
を示す図、第８図は同映像表示素子の製造法を示す図、
第９図は従来のホログラフィの原理図、第１０図は従来
のホログラフィでホログラムの再生を行う原理図である
。 １０１・・・撮像装置、１０２・・・映像表示装置、１
０３・・・伝送装置、１０４．１０５・・・三次元ホロ
グラム、２０１．３０１・・・電場・磁場の信号発生回
路、２０２．３０２・・・電歪・磁歪材料、２０３．３
０３・・・映像信号処理回路、５０１．７０１・・・ｐ
型基板、５０２．７０２　・・・ｎ十型領域、５０３．
７０３・・・ｐ型チャネル領域、５０４・・・受光用ｎ
型領域、７０４・・・発光用蛍光体領域、５０８．７０
８・・・第１抵抗性ゲート電極、５１０．７１０・・・
第２抵抗性ゲート電極、５１１．５１２．７１１．７１
２・・・直流電圧電源、５１３．５１４．７１３．７１
４・・・鋸歯状波発生回路。 代理人の氏名　弁理士　栗野重孝　ほか１名第１図 粥 図 第 図 第 図 第 図 第 図 ｌｌ 第 図 第 図 第 図 ７／２ 第 因 ７ｕ’ｔ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）三次元ホログラム情報の検出手段と伝送手段と再
   生手段とを有し、前記検出手段を撮像装置と変位付与装
   置により構成し、前記再生手段を映像表示装置と前記変
   位付与装置により構成したことを特徴とするホログラフ
   ィテレビジョン装置。
2. （２）検出手段は、撮像装置から一画面の信号を読み出
   す間隔に同期して、変位付与装置が一定量の変位を前記
   撮像装置の撮像面の接線方向と異なる方向に与えること
   を特徴とする請求項１記載のホログラフィテレビジョン
   装置。
3. （３）再生手段は、映像表示装置に一画面の信号を送り
   込む間隔に同期して、変位付与装置が一定量の変位を前
   記映像表示装置の表示面の接線方向と異なる方向に与え
   ることを特徴とする請求項１記載のホログラフィテレビ
   ジョン装置。
4. （４）変位付与装置は、一定量毎に変化する電場または
   磁場発生回路と前記発生回路の信号が印加される電歪ま
   たは磁歪材料からなり、前記電歪または磁歪材料に接し
   た物体に一定量毎の変位を付与することを特徴とする請
   求項１記載のホログラフィテレビジョン装置。