JPH02228265A - リニアアクチュエータ駆動制御装置 - Google Patents

リニアアクチュエータ駆動制御装置

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JPH02228265A
JPH02228265A JP1048344A JP4834489A JPH02228265A JP H02228265 A JPH02228265 A JP H02228265A JP 1048344 A JP1048344 A JP 1048344A JP 4834489 A JP4834489 A JP 4834489A JP H02228265 A JPH02228265 A JP H02228265A
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政行 梨木
Motosumi Yura
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、精密な速度制御１位置決め制御ができるリニ
アアクチュエータ駆動制御装置に関する。
（従来の技術） 従来、精密な直線駆動を実現する手段としては、千−夕
やりニアモータを利用する手段や、圧電素子等の微動ア
クチュエータを利用する手段等がある。
第９図はモータを利用して間接的に直線駆動力を得る手
段の一例を示す概略断面図であり、モータ１によって得
られる回転駆動力は、ブー９２゜３及びベルト４を介し
てボールネジ５に伝達され、ボールネジ５に螺合するポ
ールネジナツト６により直線駆動力に変換され、支えブ
ラケット７を介して被駆動体８を直線駆動させる。
第１０図はリニア千−夕を利用して直接的に直線駆動力
を得る手段の一例を示す概略断面図であり、被駆動体１
１には支えブラケット１２を介してリニアモータ１３の
スライダ１３１が固定されており、リニアモータ１３の
直線駆動力により被駆動体１１を直線駆動させる。
第１１図は圧電素子等の微動アクチュエータを利用して
直接的に直線駆動力を得る手段の一例を示す概略断面斜
視図であり、円筒形であって、その軸方向に伸縮する駆
動用微動アクチュエータ２１の両端に同様の固定分離用
微動アクチュエータ２２゜２３の側面が固定され、一方
の固定分離用微動アクチュエータ２２の側面には棒状の
被駆動体２４がその長手方向が駆動用微動アクチュエー
タ２１の伸縮方向となるように固定されている。このよ
うな構成のアクチュエータユニットは被駆動体２４が箱
状の支えブラケット２５の一端面を貫装し、固定分離用
アクチュエータ２２．２３が仲状態で支えブラケット２
５内面を支持し、線状態で支えブラケット内面から離れ
るように支えブラケット２５内に収納されている。
第１３図は第１１図に示す直線駆動手段の駆動装置例を
示すブロック図であり、位置制御回路４１４は、速度指
令ＶＳを人力し、伸縮指令ＳＳ３．ＳＳ４．Ｓ５５を各
ドライバ４３３，４３４．４：１５に出力する。各ドラ
イバ４３３，４３４，４３５は各伸縮指令５５３．５５
４　、ＳＳ５を電力増幅して微動アクチュエータ２１，
２２．２３へ供給する。各伸縮指令及び各ドライバ出力
の例は第１２図のタイムチャートのようになり、速度指
令と各伸縮指令の周波数とが比例する。以下、その動作
シーケンスを第１２図に示すタイムチャートに従い説明
する。
（１）時点ｔ０〜時点ｔ。
駆動用微動アクチュエータ２１は線状態で停止し、固定
分離用微動アクチュエータ２３が線状態から伸状態へ、
即ち支えブラケット２５内面から離れる状態（以下、分
離モードという）から支えブラケット２５内面を支持し
ている状態（以下、固定モードという）へ動作し、固定
分離用微動アクチュエータ２２が固定モードから分離モ
ードへ動作する。したがって、被駆動体２４は停止した
ままとなる。
（２）時点ｔ、〜時点ｔ。
固定分離用微動アクチュエータ２３が固定モードの状態
で、固定分離用微動アクチュエータ２２が分離モードの
状態で駆動用微動アクチュエータ２里が線状態から伸状
態へ動作する。このことに、より、固定分離用微動アク
チュエータ２２およびこれに固定されている被駆動体２
４は駆動される。
（３）時点し、〜時点ｔ３ 駆動用微動アクチュエータ２１は伸状態で停止し、固定
分離用微動アクチュエータ２２が分離モードから固定モ
ードへ動作し、固定分離用微動アクチュエータ２３が固
定モードから分離モードへ動作する。したがって、被駆
動体２４は停止したままとなる。
（４）時点１３〜時点ｔ４ 固定分離用微動アクチュエータ２２が固定モードの状態
で、固定分ｌＩ！Ｉｔ用微動アクチュエータ２３が分離
モードの状態で駆動用微動アクチュエータ２１が伸状態
から線状態へ動作する。このことにより固定分離用微動
アクチュエータ２３は駆動されるが、被駆動体２４は停
止したままとなる。
以上が従来の微動アクチュエータを利用する直線駆動手
段の１サイクルとなる。
（発明が解決しようとする課題） 上述したモータを利用する直線駆動手段では、被駆動体
８に直線駆動力を与えるためにボールネジ等の機械的な
変換機構を常に必要とする。したがフて、変換機構の機
械的なひずみやガタのために精密な動きができず、また
変換機構の機械的なロスのために伝達効率が悪くなるな
どの問題点がある。さらにまた、モータは電磁気力を使
用しているため、そのトルクを発生させるにはそれに見
合う大気さ（直径と長さ）が必要であり、そのため小型
化には自ずから限界がある。
上述したりニアモータを利用する直線駆動手段では、第
１Ｏ図に示す例のように機械的な変換機構は必要とせず
、簡素化された機構となるが、全ストロークで駆動力を
得るにはりニアモータ１３のスライダ１３１に対向する
ステータ１３２がストローク分だけ必要となり、また駆
動原理的に大きくて高価なものになってしまうという問
題点がある。
上述した微動アクチュエータを利用する直線駆動手段で
は、小型で簡素化された機構となるが、被駆動体２４の
動きは移動、停止の繰返しで間欠的なものとなり、スム
ーズな動きが得られない欠点がある。
本発明は上述のような事情から成されたものであり、本
発明の目的は、高速でスムーズに動作し、高精度かつ高
加減速可能で高推力な小型のリニアアクチュエータ駆動
制御装置を提供することにある。
（ｙＡ題を解決するための手段） 本発明は精密な速度制御１位置決め制御ができるリニア
アクチュエータ駆動制御装置に関するものであり、本発
明の上記目的は、微動手段を備え、当該微動手段により
被駆動体を固定２分離可能な構造であって、当該固定１
分離を順次繰返して前記被駆動体を駆動する１個若しく
は複数個の駆動部と、前記被駆動体の速度を検出する速
度検出手段と前記微動手段の速度を制御する速度制御手
段とで成る駆動制御部とを具備することによって、又は
微動手段を備え、当該微動手段により被駆動体を固定９
分離可能な構造であって、当該固定１分離を順次繰返し
て前記被駆動体を駆動する１個若しくは複数個の駆動部
と、前記微動手段の速度を検出する速度検出手段と前記
微動手段の速度を制御する速度制御手段とで成る駆動制
御部とを具備することによって達成される。
（作用） 本発明のリニアアクチュエータ駆動制御装置は、電歪素
子等の微動アクチュエータを利用しているので、従李の
電磁気力等を利用したモータやりニアモータに比べては
るかに小さい体積で夫きな駆動力を得ることができる。
また、微動アクチュエータと被駆動体の固定９分離を繰
返しているので広いストローク範囲にわたって被駆動体
の駆動が可能となり、さらにこの固定１分離の動作を微
動アクチュエータの速度と被駆動体の速度がほぼ等しい
時に行なうことで、固定５分離動作時における速度急変
によるショックの発生を抑制し、被駆動体を滑らかに駆
動することができる。
そして、微動アクチュエータの速度を制御することで被
駆動体の速度を高精度に制御することができる。
（実施例） 第１図は本発明のリニアアクチュエータ駆動制御装置の
駆動部の一例を示す概略斜視図であり、円筒形であフて
、その軸方向に伸縮する固定分離用微動アクチュエータ
３２の一端がコの字形の支えブラケット３３の一方の内
側面３３１に固定され、固定分離用微動アクチュエータ
３２の他端と支えブラケット３３の他方の内側面との間
に棒状の被駆動体３４が挿入されている。また、固定分
離用微動アクチュエータ３２と同様の駆動用微動アクチ
ュエータ３１の一端が別のコの字形の支えブラケット３
５の一方の内側面３５１に固定され、圧縮バネ３６の一
端が支えブラケット３５の他方の内側面に固定されてい
る。そして、固定分離用微動アクチュエータ３２の伸縮
方向と駆動用微動アクチュエータ３１の伸縮方向とが直
交するように、支えブラケット３３の足３３２が駆動用
微動アクチュエータ３１の他端と圧縮バネ３６の他端と
に挟持、固定されている。
このリニアアクチュエータ駆動制御装置の駆動部の動作
シーケンスは第２図に示すタイムチャートのようになり
、以下時間を追って説明する。
（１）時点ｔ０〜時点ｔｌｌ 駆動用微動アクチュエータ３１が線状態から伸状態へ動
作し、被駆動体３４の慣性力による移動（詳細は後述）
の速度と駆動用微動アクチュエータ３１の移動速度、即
ち支えブラケット３３の移動速度との偏差が所定の許容
値以下になった時点で固定分離用微動アクチュエータ３
２が被駆動体３４から離れている状態（以下、分離モー
ドという）から被駆動体３４を支持している状態（以下
、固定モードという）へ動作し、固定分離用微動アクチ
ュエータ３２は固定モードとなる。
（２ン時点ｔ、〜時点ｔ１２ 被駆動体３４と支えブラケット３３とは固定分層用微動
アクチュエータ３２により固定されているので、被駆動
体３４は駆動用微動アクチュエータ３１の伸び動作によ
り精密に制御され駆動される。
（３）時点ｔ１２〜時点ｔ１３ 固定分離用微動アクチュエータ３２が固定モードから分
離モードへ動作するので被駆動体３４は支えブラケット
３３から分離される。したがって、被駆動体３４には駆
動用微動アクチュエータ３１の駆動力は伝わらなくなる
が、慣性力によりそのまま駆動を続ける。
（４）時点ｔ１３〜時点ｔ１４ 固定分離用微動アクチュエータ３２が分離モードである
ので、被駆動体３４は慣性力によりそのまま駆動を続け
る。そして、固定分離用微動アクチュエータ３２及び支
えブラケット３３は駆動用微動アクチュエータ３１の仲
状態から線状態への動作により次の駆動サイクルのため
被駆動体３４の移動方向と逆の方向に移動する。
以上が本発明のリニアアクチュエータ駆動制ｍ装置の駆
動部の一イ舛の１サイクルであり、（１）〜（４）を連
続的に繰返すことにより、被駆動体３４を停止させるこ
となく任意の距離だけ任意の速度で移動させることがで
きる。
第３図は第１図に示すリニアアクチュエータ駆動制御装
置の駆動部の駆動を制御する駆動制御部の一例を示すブ
ロック図であり、被駆動体であるスライダ４１に固定さ
れたテーブル４２には位置検出器スライダ４３が取付け
られており、テーブル４２の位置が位置検出器センサ４
４で検出されるようになっている。この位置検出器セン
サ４４で検出された検出位置ＯＰが微分器４５で微分さ
れて検出速度ＤＶとされ、この検出速度ＤＶと外部から
入力されたスライダ４■の速度指令Ｖ゛との偏差、ｆｇ
ち速度誤差Δｖ１が減算器４６で演算される。この速度
誤差ΔＶ″が誤差増幅器（例えばＰｉ増幅器）４７で増
幅されて加速度指令ａ″とされ、また微分器４５からの
検出速度Ｏｖが微分器４８で微分されて検出加速度０＾
とされ、上記加速度指令８１と検出加速度ＤＡとの偏差
。
即ち加速度誤差Δａ″が減算器４９で演算される。この
加速度誤差Δａ″が積分器５０で二重積分されて速度指
令ｖｖ”とされ、この速度指令ｖｖ’　と外部から入力
された速度指令Ｖ“とが加算器５１で加算され、速度指
令Ｖ。°として速度指令変換部５２に人力される。°°
そして、人力された速度指令Ｖ。′が駆動用微動アクチ
ュエータ３１の速度指令Ｖ♂に変換され、この速度指令
Ｖ、“と電流検出器５６で検出された駆動用微動アクチ
ュエータ３１に流入する電流値ＤＩとの偏差、即ち速度
誤差ΔＶ、“が減算器５３で演算される。上記電流値Ｄ
Ｉを用いる理由は、電歪素子においては流入する電荷量
が変位に比例、即ち流入する電流が速度に比例するから
である。この速度誤差ΔＶ、″が誤差増幅器５４で増幅
され、パワー増幅器５５に人力され、このパワー増幅器
５５の出力により駆動用微動アクチュエータ３１が駆動
されるようになっている。一方、微分器４５からの検出
速度ＤＶと電流検出器５６で検出された駆動用微動アク
チュエータ３１に流入する電流値ＤＩ、即ち駆動用微動
アクチュエータ３１の速度とが一致したか否かが比較器
５７で判定される。そして、速度指令変換部５２からの
スライダ４１の固定指令信号ＳＦと比較器５７からの速
度一致信号ＳＪとがアンド回路５８に入力され、両者の
アンド条件が成立するときのみ駆動指令がパワー増幅器
５９に人力され、このパワー増幅器５９の出力により固
定分離用微動アクチュエータ３２が駆動されるようにな
っている。
なお、上述した実施例において、速度指令ｖｖ”を求め
る際に加速度フィードバックを行なっているために二重
積分しているが、加速度フィードバックを行なわない場
合には加速度指令ａ１を単に積分すれば速度指令ｖｖ”
を得ることができる。
このような構成において、その動作例を第４図のタイム
チャートで説明すると、スライダ４１の速度指令Ｖ°に
基づいて、速度指令変換部５２は駆動用微動アクチュエ
ータ３１の速度指令ｖ１′及びスライダ４１の固定指令
信号ＳＦを出力する。電歪素子等の微動アクチュエータ
の可動範囲、即ちストロークが有限であるため、速度指
令Ｖｌ”は一定又はほぼ一定の周期で正負を繰返すので
、スライダ４１の固定指令信号ＳＦは速度指令ｖ　、　
＋１が反転する直前（例えば時点ｔ３＋、ｈ４）でオフ
になる。また、駆動用微動アクチュエータ３１の実速度
は速度指令ｖ１１に対して若干の誤差、即ち遅れを発生
しならが追従しており、駆動用微動アクチュエータ３１
の変位は伸縮を繰返している。そして、駆動用微動アク
チュエータ３１の実速度が速度指令ｖ　、　１１と等し
くなった時（例えば時点し、２）に速度一致信号ＳＪが
オンとなり、スライダ４１の固定指令信号ＳＦと速度一
致信号ＳＪのアンド条件が満たされた時間（例えば時点
ｔ３２〜時点ｔ３４）のみ固定用微動アクチュエータ３
２は固定状態側に駆動される。その結果、固定用微動ア
クチュエータ３２の変位は若干の遅れ（例えばｔ３３−
ｔ３２　）をもって動作し、駆動用微動アクチュエータ
３１の駆動力は図示斜線部（例えば時点ｔ３３〜時点ｔ
、３４）で示した時間のみスライダ４１に伝えられる。
なお、速度指令Ｖ、“の反転するタイミングを予め判っ
ている微動アクチュエータのストロークによって決定す
ることも可能であり、また、微動アクチュエータに印加
している電圧が所定値を越えたか否かで決定することも
可能である。
第５図は本発明のリニアアクチエエータ駆動制御装置の
駆動部の別の一例を示す概略斜視図であり、第１図に示
すリニアアクチュエータ駆動制御装置を２個（以下、第
１ユニツト、第２ユニツトという）並設したものである
。
このリニアアクチュエータ駆動制御装置の駆動部の動作
シーケンスは第６図に示すタイムチャートのようになり
、以下時間を追って説明する。
（１１時時点。〜時点ｔ２１ 被駆動体３４と第２ユニツトの支えブラケット３３とは
第２ユニツトの固定分離用微動アクチュエータ３２によ
り固定されているので、被駆動体３４は第２ユニツトの
駆動用微動アクチュエータ３１の伸び動作により駆動さ
れる。この間、第１ユニツトの駆動用微動アクチュエー
タ３１は縮状態から仲状態へ動作し、被駆動体３４の移
動速度と第１ユニツトの駆動用微動アクチエエータ３１
の移動速度、即ち支えブラケット３３の移動速度との偏
差が所定の許容値以下になった時点で第１ユニツトの固
定分離用微動アクチュエータ３２が分離モードから固定
モードへ動作し、第１ユニツトの固定分離用微動アクチ
ュエータ３２は固定モードとなる。
（２）時点１２１〜時点Ｌ２２ 被駆動体３４と第１ユニツトの支えブラケット３３およ
び第２ユニツトの支えブラケット３３とは各ユニットの
固定分離用微動アクチュエータ３２により固定されてい
るので、被駆動体３４は各ユニットの駆動用微動アクチ
ュエータ３１の伸び動作により駆動される。
（３）時点ｔ２２〜時点ｔ２３ 被駆動体３４と第１ユニツトの支えブラケット３３とは
第１ユニツトの固定分離用微動アクチュエータ３２によ
り固定されているので、被駆動体３４は第１ユニツトの
駆動用微動アクチュエータ３１の伸び動作により駆動さ
れる。この間、第２ユニツトの駆動用微動アクチュエー
タ３１は縮状態から伸状態へ動作し、第２ユニツトの固
定分離用微動アクチュエータ３２が固定モードから分離
モードへ動作する。したがって、第２ユニツトの固定分
離用微動アクチエエータ３２が分離モードとなった時点
で被駆動体３４には第２ユニツトの駆動用微動アクチュ
エータ３１の駆動力は伝わらなくなる。
（り時点ｔｘｓ〜時点ｔ２４ 被駆動体３４と第１ユニツトの支えブラケット３３とは
第１ユニツトの固定分離用微動アクチュエータ３２によ
り固定されているので、被駆動体３４は第１ユニツトの
駆動用微動アクチュエータ３１の伸び動作により駆動さ
れる。この間、第２ユニツトの支えブラケット３３及び
固定分離用微動アクチュエータ３２は第２ユニツトの駆
動用微動アクチュエータ３１の伸状態から線状態への動
作により被駆動体３４の移動方向と逆の方向に移動する
。
（５）時点ｔ２４〜時点ｔ２％ 被駆動体３４と第１ユニツトの支えブラケット３３とは
第１ユニツトの固定分離用微動アクチュエータ３２によ
り固定されているので、被駆動体３４は′！Ｊ１ユニッ
トの駆動用微動アクチュエータ３１の伸び動作により駆
動される。この間、第２ユニツトの駆動用微動アクチュ
エータ３１は線状態から伸状態へ動作し、被駆動体３４
の移動速度と第２ユニツトの駆動用微動アクチュエータ
３１の移動速度、即ち支えブラケット３３の移動速度と
の偏差が所定の許容値以下になった時点で第２ユニツト
の固定分離用微動アクチュエータ３２が分離状態から固
定状態へ動作し、第２ユニツトの固定分離用微動アクチ
ュエータ３２は固定モードとなる。
（６）時点ｈｓ〜時点ｈａ 被駆動体３４と第１ユニツトの支えブラケット３３およ
び第２ユニツトの支えブラケット３３とは各ユニットの
固定分離用微動アクチュエータ３２により固定されてい
るので、被駆動体３４は各ユニットの駆動用微動アクチ
ュエータ３１の伸び動作により駆動される。
（７）時点ｔ２１１〜時点ｔ２？ 被駆動体３４と第２ユニツトの支えブラケット３３とは
第２ユニツトの固定分離用微動アクチュエータ３２によ
り固定されているので、被駆動体３４は第２ユニツトの
駆動用微動アクチュエータ３１の伸び動作により駆動さ
れる。この間、第１ユニツトの駆動用微動アクチュエー
タ３１は線状態から伸状態へ動作し、第１ユニツトの固
定分離用微動アクチュエータ３２が固定モードから分離
モードへ動作する。したがって、第１ユニツトの固定分
離用微動アクチュエータ３２が分館モードとなった時点
で被駆動体３４には第１ユニツトの駆動用微動アクチュ
エータ３１の駆動力は伝わらなくなる。
（８）時点ｔ２７〜時点し２♂ 被駆動体３４と第２ユニツトの支えブラケット３３とは
第２ユニツトの固定分離用微動アクチュエータ３２によ
り固定されているので、被駆動体３４は第２ユニツトの
駆動用微動アクチュエータ３１の伸び動作により駆動さ
れる。この間、第１ユニツトの支えブラケット３３及び
固定分離用微動アクチュエータ３２は第１ユニツトの駆
動用微動アクチュエータ３！の仲状態から線状態への動
作により被駆動体３４の移動方向と逆の方向に移動する
。
以上が本発明のリニアアクチュエータ駆動制御装置の駆
動部の別の一例の１サイクルであり、（１１〜（８）を
連続的に繰返すことにより、被駆動体３４を停止させる
ことなく、かつ慣性力によらず任意の距離だけ任意の速
度で常に精密に制御して移動させることができる。そし
て、駆動用微動アクチュエータ３１の動作速度及び駆動
用微動アクチュエータ３１と固定分離用微動アクチュエ
ータ３２との動作タイミングを変更することにより、被
駆動体３４の移動方向を逆方向に変えることかできる。
さらに、同方向に駆動できる複数個の微動アクチュエー
タを積み重ねること、すなわち被駆動体を駆動する駆動
用微動アクチュエータを支持する支えブラケットをもう
１つの駆動用微動アクチュエータにより駆動することに
より、ａ＋ａＸスピードを上げることができる。また、
複数個の駆動用アクチュエータを並設して駆動すること
により、推力を増大させることができる。
第７図は第５図に示すリニアアクチュエータ駆動制御装
置の駆動部の駆動を制御する駆動制御部の一例を第３図
に対応させて示すブロック図であリ、同一構成箇所は同
符号を付して説明を省略する。この駆動制御部は、位置
検出器センサ４４で検出された検出位置ＤＰと外部から
入力されたスライダ４１の位置指令ｐ“どの偏差、即ち
位置誤差Δｐ°が減算器６１で演算される。この位置誤
差Δｐ°が誤差増幅器６２で増幅されて速度指令Ｖ″と
され速度指令分配回路６３に人力される。そして、各ユ
ニットの駆動用微動アクチュエータ３１の速・・度指令
ｖ、°及びＶ、“が各ユニットの減算器５３に人力され
る。また、各ユニットの駆動用微動アクチュエータ３１
には例えば歪センサ等の変位センサと微分器とでなる速
度センサ６４が取付けられており、各速度センサ６４で
検出された駆動用微動アクチュエータ３１の速度ＤＶ＾
が各ユニットの減算器５３に人力されるようになってい
る。
このような構成において、その動作例を第８図のタイム
チャートで説明すると、スライダ４１の位置指令ｐ“に
基づいて、速度指令分配回路６３は各ユニットの駆動用
微動アクチュエータ３１の速度指令ｖ　、　Ｉｔ及びｖ
２　　、スライダ４１の固定指令信号ＳＦ、及びＳＦ、
を時間をあけて出力する（例えばｔ４４−ｔ４２）ので
、各ユニットの駆動用微動アクチュエータ３１の駆動力
は図示矢印で示すように（例えば時点ｔ４３〜時点ｔ４
６は第１ユニットの駆動力、時点ｔ４１〜時点ｔ４４及
び時点ｔ４Ｓ〜時点Ｌａは第２ユニツトの駆動力）交互
にスライダ４１に伝えられるので、結局くスライダ４１
に伝わる駆動力は連続したものとなる。
（発明の効果） 以上のように本発明のリニアアクチュエータ駆動制御装
置によれば、小型にもかかわらず高速で高精度かつ高加
減速可能で高推力の動作を得ることかできるので、例え
ば工作機械に利用すれば工作機械の小型化、高精度化、
低コスト化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のリニアアクチュエータ駆動制御装置の
駆動部の一例を示す斜視図、第２図はそのリニアアクチ
ュエータ駆動制御装置の駆動部の動作例を示すタイムチ
ャート、第３図は本発明のリニアアクチュエータ駆動制
御装置の駆動制御部の一例を示すブロック図、第４図は
そのリニアアクチュエータ駆動制御装置の駆動制御部の
動作例を示すタイムチャート、第５図は本発明のリニア
アクチュエータ駆動制御装置の駆動部の別の一例を示す
斜視図、第６図はそのリニアアクチュエータ駆動制御装
置の駆動部の動作例を示すタイムチャート、第７図は本
発明のリニアアクチュエータ駆動制御装置の駆動制御部
の別の一例を示すブロック図、第８図はそのリニアアク
チュエータ駆動制御装置の駆動制御部の動作例を示すタ
イムチャート、第９図〜第１１図はそれぞれ従来の直線
駆動力を得る手段の一例を示す断面斜視図、第１２図は
第１１図に示す手段の動作例を示すタイムチャート、第
１３図は第１１図に示す手段の制御部の一例を示すブロ
ック図である。 ｌ・・・モータ、５・・・ボールネジ、　１３・・・リ
ニア千−駆動体人２５，３：１，３５・・・支えブラケ
ット、３６・・・圧縮バネ、４１・・・スライダ、４２
・・・テーブル、４３・・・位置検出器スライダ、４４
・・・位置検出用センサ、４５．４８・・・微分器、４
６，４９，５３．６１・・・減算器、４７，５４．６２
・・・誤差増幅器、５０・・・積分器、５１・・・加算
器、５２・・・速度指令変換部、５５．５９・・・パワ
ー増幅器、５６・・・電流検出器、５７・・・比較器、
５８・・・アンド回路、６３・・・速度指令分配回路、
６４・・・速度センサ、４１４・・・位置制御回路、４
３３．４３４，４３５・・・ドライバ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. １．　微動手段を備え、当該微動手段により被駆動体を
    固定、分離可能な構造であって、当該固定、分離を順次
    繰返して前記被駆動体を駆動する１個若しくは複数個の
    駆動部と、前記被駆動体の速度を検出する速度検出手段
    と前記微動手段の速度を制御する速度制御手段とで成る
    駆動制御部とを備えたことを特徴とするリニアアクチュ
    エータ駆動制御装置。
  2. ２．　微動手段を備え、当該微動手段により被駆動体を
    固定、分離可能な構造であって、当該固定、分離を順次
    繰返して前記被駆動体を駆動する１個若しくは複数個の
    駆動部と、前記微動手段の速度を検出する速度検出手段
    と前記微動手段の速度を制御する速度制御手段とで成る
    駆動制御部とを備えたことを特徴とするリニアアクチュ
    エータ駆動制御装置。
  3. ３．　前記駆動制御部が、前記被駆動体の位置を検出す
    る位置検出手段を備えた請求項１又は２に記載のリニア
    アクチュエータ駆動制御装置。
  4. ４．　前記速度制御手段が、前記微動手段の加速度を制
    御する加速度制御手段を備えた請求項１、２又は３に記
    載のリニアアクチュエータ駆動制御装置。
  5. ５．　前記微動手段による前記被駆動体の固定は、当該
    微動手段の速度と当該被駆動体の速度との偏差が所定の
    許容値以下になった時に行なわれる請求項１、２、３又
    は４に記載のリニアアクチュエータ駆動制御装置。
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