JPH02226497A - Disaster prevention supervising device for precise environmental space - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To prevent a disaster from occurring beforehand by forecasting a danger based on gas leakage on an initial stage before an alarm level. CONSTITUTION:A previous forecast inferring means 13 forecasts the gas leakage on the initial stage before the alarm level, and the measures against the gas leakage, etc., are instructed on the initial stage based on the forecast. In addition, an intention determination supporting means 14 estimates the dangerous degree and the magnitude of damage from sensor information and the initialized information after the initial measures, supports intention determination whether a processing should be continued in the precise environmental space or an operator should be evacuated, and ensures the judgment of the operator. Thus the suitable disaster preventing measures can be taken on the initial stage, and safety and productivity can be increased.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体工場のクリーンルームのような精密環
境空間に適用される防災監視装置に関し、さらに詳しく
は、精密環境下で使用される危険性の高いガス漏れなど
が生じた時、これによる災害の程度を初期の段階で予測
し適切な対策が講じられるようにした精密環境空間の防
災監視装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a disaster prevention monitoring device applied to a precision environment space such as a clean room of a semiconductor factory, and more specifically, to a disaster prevention monitoring device applied to a precision environment space such as a clean room of a semiconductor factory. This invention relates to a precision environmental space disaster prevention monitoring system that is capable of predicting the extent of a disaster caused by a gas leak at an early stage and taking appropriate measures when a gas leak occurs.

〔従来の技術］ 近年の精密加工技術は、半導体を代表とするエレクトロ
ニクス、あるいはバイオテクノロジーなどの研究・生産
施設に見られる如く多くの高度化支援技術によって支え
られている。その支援技術の１つとして、研究又は生産
施設の空間を超精密作業環境にする、いわゆるクリーン
ルーム化がある。[Prior Art] Recent precision processing technology is supported by many advanced support technologies, as seen in research and production facilities for electronics, typified by semiconductors, and biotechnology. One of the supporting technologies is the creation of a so-called clean room, which turns the space of a research or production facility into an ultra-precision working environment.

一方、クリーンルーム化された半導体工場、各種研究所
などでは、半導体デバイスなどの生産に際し、アルシン
、水素、モノシラン、塩化水素などのような毒性、可燃
性、自燃性あるいは腐食性の強い危険なガスや薬品を多
種、多量に使用するため、これらのガスまたは薬品が微
量でもクリーンルーム中に漏れ出すと、これが基で施設
従業者のガス中毒、火災、爆発などの災害発生の原因と
なる。従って、ガス漏れが生じた場合には、これを早期
に発見し適切な緊急処置を行なうことが重要であり、こ
れが災害を未然に防止してクリーンルームの安全性を向
上することになる。On the other hand, in semiconductor factories and various laboratories that have clean rooms, when producing semiconductor devices, they use highly toxic, flammable, self-combustible, or corrosive dangerous gases such as arsine, hydrogen, monosilane, and hydrogen chloride. Since many kinds of chemicals are used in large quantities, if even a small amount of these gases or chemicals leaks into the clean room, this can cause gas poisoning of facility workers, fire, explosion, and other disasters. Therefore, when a gas leak occurs, it is important to discover it early and take appropriate emergency measures, which will prevent disasters and improve the safety of the clean room.

従来、半導体工場用クリーンルーム等に対する防災監視
システムは、クリーンルーム内の必要箇所に使用する材
料ガスに応じた各種のセンサを設置し、これらセンサが
ガス漏れなどに対し設定値以上のガス漏れなどを検出し
た時警報を発し、ガス遮断などの局所的な対策をとって
いた。Conventionally, disaster prevention monitoring systems for semiconductor factory clean rooms, etc. have installed various sensors depending on the material gas used at necessary locations in the clean room, and these sensors detect gas leaks that exceed a set value. When this occurred, an alarm was raised and local countermeasures were taken, such as shutting off the gas.

〔発明が解決しようとする課題］ ところで、上述のような従来の防災監視システムでは、
どこの場所で、何のガスが漏れたか、というセンサから
の限られた情報に基づいて対処方法を判断するものであ
るため、オペレータの〃）純度により、事故発生時の対
応策に差が生し、対処に遅れが生じた場合には、大きな
二次災害に発展するおそれがある。また、ガス漏れを検
知して警報を発するのみでは、ガス漏れ部所の対応が可
能であるとしても、これに関連する他室などの状態がど
のように推移し、どのように対処したら良いのか、ガス
漏れの初期の段階で適切な対応策が得られないという問
題があり、さらに、センサの誤動作により正常な生産設
備へのガス供給を遮断した場合には、生産活動を阻害し
、多大な損失を与える結果となる。[Problem to be solved by the invention] By the way, in the conventional disaster prevention monitoring system as described above,
Since the response method is determined based on limited information from the sensor such as where and what kind of gas leaked, the response measures in the event of an accident may differ depending on the operator's purity. However, if there is a delay in dealing with the situation, there is a risk that it will develop into a major secondary disaster. Furthermore, even if it is possible to respond to the gas leak by simply detecting a gas leak and issuing an alarm, it is not possible to deal with the gas leak in other rooms, and how to deal with it. However, there is the problem that appropriate countermeasures cannot be taken at the initial stage of a gas leak.Furthermore, if the gas supply to normal production equipment is cut off due to sensor malfunction, production activities will be hindered and a large amount of damage will be caused. This will result in a loss.

本発明は、上述のような問題点を解決するためになされ
たもので、初期の段階で災害の程度を予測し適切な防災
対策が講じられるようにすると共に、安全性及び生産効
率の向上を図るようにした精密環境空間の防災監視装置
を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is possible to predict the extent of a disaster at an early stage and take appropriate disaster prevention measures, as well as to improve safety and production efficiency. The purpose of the present invention is to provide a disaster prevention monitoring device for a precise environmental space.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明に係る精密環境空間の防災監視装置は、専門知識
を所望のルールにより知識表示形式で構成した原因と結
果の関係、精密環境空間に使用されるガス、設備等の初
期設定情報及びセンサ情報を知識ベースとして格納する
メモリ手段と、前記メモリ手段から得られるセンサ情報
に基づいて、その検知限界を越えた初期の検知情報から
危険を予測して初期対策を指示する事前予測推論手段と
、 初７１１１対策後のセンサ情報及び初１すＩ設定情報に
基づいて生産活動の停止や避難決定基の対策決断を支援
する意思決定支援手段と、 を備えてなるものである。The disaster prevention monitoring device for a precision environmental space according to the present invention has cause-and-effect relationships configured in a knowledge display format using specialized knowledge according to desired rules, initial setting information on gases used in the precision environment space, equipment, etc., and sensor information. a memory means for storing the information as a knowledge base; a pre-prediction inference means for predicting danger from initial detection information exceeding the detection limit and instructing initial countermeasures based on sensor information obtained from the memory means; A decision-making support means for supporting decisions on measures to stop production activities or make evacuation decisions based on sensor information after taking 7111 measures and initial I setting information.

〔作　用〕[For production]

事前予測推論手段が警報しベルに達する前の初期段階の
ガス漏れなどから危険を予測し、これによって初期の段
階でガス漏れ等に対する対策を指示する。The advance prediction inference means predicts the danger from the gas leak in the initial stage before the alarm is issued, and accordingly instructs countermeasures against the gas leak in the early stage.

また、意思決定支援手段は、初期対策後のセンサ情報と
初期設定１５報から危険度及び被害の太きさを推定して
精密環境空間にとどまって処理を続行すべきか避難すべ
きかの意思決定を支援し、オペレータの決断を確実にす
る。In addition, the decision-making support means estimates the degree of danger and severity of damage from the sensor information after the initial measures and the initial setting of 15 reports, and makes a decision on whether to remain in the precise environment space and continue processing or to evacuate. support and ensure operator decisions.

従って、本発明にあっては、初期の段階で適切な防災対
策を講じることができ、かつ安全性及び生産効率を向上
することが可能になる。Therefore, according to the present invention, appropriate disaster prevention measures can be taken at an early stage, and safety and production efficiency can be improved.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.

第１図は、本発明による防災監視装置を半導体工場のク
リーンルームに適用した場合の例を示す全体の構成図で
ある。FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an example in which a disaster prevention monitoring device according to the present invention is applied to a clean room of a semiconductor factory.

図において、防災監視用のシステム１０は、クリーンル
ーム外の中央監視室に設置されるもので、全体を制御す
る中央処理装置（以下、ＣＰＵという）１１と、専門知
識をｆ　Ｆ−ＴＨＥＮのような知識表現形式で構成され
た原因と結果の関係、半導体生産に使用されるガス／薬
品の特性及び設備の状況を表す初期設定情報、設備・セ
ンサ情報を知識ベースとして格納するメモリ１２と、Ｃ
ＰＵ１１を通してメモリ１２から得られるセンサ情報に
基づいて、その検知限界を越えた初期の検知情報から危
険を予測して初期対策を指示するための事前予測推論手
段１３と、初期対策後のセンサ情報及び初期設定情報に
基づいてオペレータに対する生産活動の停止や避難決定
などの重大な決断を迅速かつ適切に支援するための意思
決定支援手段１４と、災害発生の場所や大きさに応じて
適切な避難方向を推論し指示するための避難経路推論手
段１５と、ＣＰＵＩＩとクリーンルームシステム間での
各種データの多重伝送制御を行なうデータ伝送制御装置
１６と、ＣＰＵ１１との間でデータの授受を行なうチャ
ネル装置１７を介して接続した周辺装置１８とからなっ
ている。In the figure, a disaster prevention monitoring system 10 is installed in a central monitoring room outside the clean room, and includes a central processing unit (hereinafter referred to as CPU) 11 that controls the entire system, and a system that uses specialized knowledge such as fF-THEN. a memory 12 that stores, as a knowledge base, cause-and-effect relationships configured in a knowledge expression format, initial setting information representing characteristics of gases/chemicals used in semiconductor production and equipment status, and equipment/sensor information;
Based on the sensor information obtained from the memory 12 through the PU 11, there is an advance prediction inference means 13 for predicting danger from the initial detection information exceeding the detection limit and instructing initial countermeasures; A decision support means 14 for quickly and appropriately supporting operators in making important decisions such as stopping production activities or evacuation decisions based on initial setting information, and determining an appropriate evacuation direction depending on the location and size of the disaster. an evacuation route inference means 15 for inferring and giving instructions; a data transmission control device 16 for controlling multiplex transmission of various data between the CPU II and the clean room system; and a channel device 17 for exchanging data with the CPU 11. and a peripheral device 18 connected through the computer.

周辺装置１８は、マルチウィンド表示機能を備えたＣＲ
７表示装置１８ａ、推論に必要なプログラムや初期設定
情報等のデータの人力を行なうキーボード１８ｂ１表示
データやプログラムリスト等を印字するプリンタ１８Ｃ
，プログラムや表示データ等を保存するためのディスク
装置１８ｄからなり、各装置はチャネル装置エフに接続
されている。The peripheral device 18 is a CR equipped with a multi-window display function.
7 Display device 18a, keyboard 18b for manually inputting data such as programs and initial setting information necessary for inference; 1 printer 18C for printing display data, program list, etc.;
, a disk device 18d for storing programs, display data, etc., and each device is connected to a channel device F.

第１図において、クリーンルーム１内には、半導体デバ
イスの生産装置２０、漏れガス等をクリーンルーム１外
へ緊急排出する緊急排気ファン２１、緊急排気時に開動
作される排気ダンパ２２、クリーンルーム１内を清浄状
態に空気調和する空調機２３及び生産装置２０へのガス
遮断弁２４が設けられており、これら設備機器は、中央
監視室内のデータ伝送制御装置１６と信号線２５を介し
て接続された伝送入出力装置２６に接続され、中央監視
室のシステム１０から送出される指令信号を各設備機器
に出力するようになっていると共に、各設備機器の状態
信号はデータ伝送入出力装置２６に取り込まれ、システ
ム１０へ伝送されるようになっている。また、データ伝
送入出力装置２６には、ガス供給ラインの供給元を遮断
する緊急遮断弁２７が接続され、この緊急遮断弁２７も
上記設備機器と同様な態様になっている。In FIG. 1, inside the clean room 1, there is a semiconductor device production equipment 20, an emergency exhaust fan 21 that urgently exhausts leaked gas etc. to the outside of the clean room 1, an exhaust damper 22 that is opened during emergency exhaust, and a clean room 1 that cleans the inside of the clean room 1. An air conditioner 23 for air conditioning and a gas cutoff valve 24 for the production equipment 20 are installed. It is connected to the output device 26 and outputs command signals sent from the system 10 in the central monitoring room to each equipment, and status signals of each equipment are taken into the data transmission input/output device 26. It is adapted to be transmitted to system 10. Further, an emergency shutoff valve 27 that shuts off the supply source of the gas supply line is connected to the data transmission input/output device 26, and this emergency shutoff valve 27 has a similar configuration to the above-mentioned equipment.

データ伝送装置２８は、センサ１ｎ報をシステム１０側
へリアルタイムに伝送するもので、システム１０のデー
タ伝送制御装置１６に信号線２５を介して接続され、そ
してデータ伝送装置２８の入力端には、各種のガス検知
用のセンサ２９、温度センサ３０、圧力センサ３Ｉ及び
地震センサ３２等が接続されている。The data transmission device 28 transmits sensor 1n information to the system 10 side in real time, and is connected to the data transmission control device 16 of the system 10 via a signal line 25. Various gas detection sensors 29, temperature sensors 30, pressure sensors 3I, earthquake sensors 32, etc. are connected.

クリーンルーム１内に設けされたコミュニケーションパ
ネル３３は、中央監視室と現場との綿密な情報伝達及び
避難時の方向表示を行なうもので、情報伝達盤３３ａと
避難方向指示盤３３ｂからなっている。The communication panel 33 provided in the clean room 1 is used to closely communicate information between the central monitoring room and the site and to display direction during evacuation, and is composed of an information transmission board 33a and an evacuation direction board 33b.

情報伝達盤３３ａは、異常事態の発生、その災害モード
、現在の状況及び予測値をプラズマ両面などにて表示で
きるようになっていると共に、音声合成装置によって音
声も発するようになっており、さらに現場と中央型室間
での音声による直接対話を可能にするインターホン機能
を備えている。The information transmission panel 33a is capable of displaying the occurrence of an abnormal situation, its disaster mode, current situation, and predicted values on both sides of the plasma display, and is also capable of emitting sound using a voice synthesizer. It is equipped with an intercom function that enables direct voice communication between the field and the central room.

また、避難方向指示１３３ｂは、クリーンルーム内では
パーティションの天井又は床付近に、船室、廊下等では
壁、天井、床に設置される。Further, the evacuation direction instruction 133b is installed near the ceiling or floor of a partition in a clean room, and on the wall, ceiling, or floor in a ship cabin, hallway, or the like.

上述のようなコミュニケーションパネル３３は、データ
伝送入出力装置３４及び信号線３５を介してシステム１
０のデータ伝送制御装置１６に接続され、システム１０
側で得た対策指示の決定結果及びこれに基づく避難方向
指示のデータがコミュニケーションパネル３３に送出す
るようになってい。さらに、コミュニケーションパネル
３３の情報伝達盤３３ｂは、現場と中央監視室間でオペ
レータ同志が直接対話できるように中央監視室に設置し
た電話器３６と直結されている。The communication panel 33 as described above is connected to the system 1 via the data transmission input/output device 34 and the signal line 35.
The system 10 is connected to the data transmission control device 16 of the system 10.
The decision result of the countermeasure instructions obtained by the side and the data of the evacuation direction instruction based thereon are sent to the communication panel 33. Further, the information transmission board 33b of the communication panel 33 is directly connected to a telephone set 36 installed in the central monitoring room so that operators can directly communicate between the site and the central monitoring room.

次に、上記のように構成された本実施例による防災監視
システムの動作を第２図〜第５図について説明する。Next, the operation of the disaster prevention monitoring system according to this embodiment configured as described above will be explained with reference to FIGS. 2 to 5.

第２図は、予測・判断支援及び避難経路推論の手順を示
すフローチャートで、クリーンルーム内でガス漏れが生
じた場合の例である。FIG. 2 is a flowchart showing the steps of prediction/judgment support and evacuation route inference, and is an example of a case where a gas leak occurs in a clean room.

システム１０のプログラムがスタートすると、まず、ス
テップ１００において、各センサの情報をデータ伝送入
出力装置２６及びデータ伝送側’＜Ｉｒｌ装置１６を通
してＣＰＵＩ　１に順次取り込み、事前予測推論手段１
３において各センサの漏れ検知濃度レベルが検知限界を
越えたかを判定する（ステップ１０１）。そして、次の
ステップ１０２において、検知限界を越えた時点からの
データを所定時間毎（例えば１分毎）にストックし、こ
れから濃度勾配の推移を予測演算する。次のステップ１
０３では、濃度勾配の推移から、実際の漏洩か、ノイズ
かを判定する。ノイズの可能性がありと判断された時は
、ステップ１０４に進み、漏れを検知した現場確認の指
示を中央監視室の表示装置１８ａに表示すると共に、ク
リーンルームのコミュニケーションパネル３３にその旨
のメツセージを送る。これを受けたクリーンルームの作
業員等は、指示された場所のセンサ及びその周辺の状態
をチエツクする。When the program of the system 10 starts, first, in step 100, the information of each sensor is sequentially fetched into the CPUI 1 through the data transmission input/output device 26 and the data transmission side'<Irl device 16, and the advance prediction inference means 1
3, it is determined whether the leakage detection concentration level of each sensor exceeds the detection limit (step 101). Then, in the next step 102, data from the time when the detection limit is exceeded is stored at predetermined time intervals (for example, every minute), and the transition of the concentration gradient is predicted and calculated from this data. Next step 1
In step 03, it is determined from the transition of the concentration gradient whether it is an actual leak or noise. If it is determined that there is a possibility of noise, the process proceeds to step 104, where an instruction to check the spot where a leak has been detected is displayed on the display device 18a in the central monitoring room, and a message to that effect is displayed on the communication panel 33 in the clean room. send. A clean room worker or the like who receives this information checks the state of the sensor and its surroundings at the designated location.

一方、ステップ１０３において、漏れの可能性がありと
判断された場合は、ステップ１０５に進み、予測された
濃度勾配の推移から、どのような性状のガス（又は薬品
）がどのような漏れ方をするかを漏洩時のＩ　Ｆ−ＴＨ
ＥＮルールに基づいて事前予測推論手段Ｉ３により推定
し、初期対策のための支援処理を行なう。そして、漏れ
の可能性があると判定された最も初期の段階では、ステ
ップ１０６に進み、フィードフォワード制御による早期
対策を取るための推定原因、例えば、「現在、どこでシ
ランガスが何ｐｐｍ漏れていて、何分後には何ｐｐｍに
なる」という情報及びこれに対応する対策指示を中央監
視室の表示装置１８ａに表示すると共に、クリーンルー
ム内のコミュニケーションパネル３３に表示し、かつそ
の旨を音声でも出力する。これに伴いクリーンルーム内
のオペレータは、その情報をもとにガス供給ラインの停
止もしくは漏れ場所のチエツクや配管接続部の増し締め
等の初期対策を講じる。そして、その旨をインターホン
を利用して中央監視室へ連絡する。On the other hand, if it is determined in step 103 that there is a possibility of leakage, the process proceeds to step 105, and from the predicted transition of the concentration gradient, what type of gas (or chemical) is leaked and how it is leaked is determined. IF-TH when leaking information
The pre-prediction inference means I3 estimates based on the EN rule, and performs support processing for initial countermeasures. At the earliest stage when it is determined that there is a possibility of a leak, the process proceeds to step 106 to determine the probable cause for taking early countermeasures using feedforward control, such as "Where is the silane gas currently leaking and how many ppm?" Information such as "What ppm will be in a few minutes" and corresponding countermeasure instructions are displayed on the display device 18a in the central monitoring room, and are also displayed on the communication panel 33 in the clean room, and the information is also output by voice. Based on this information, the operator in the clean room takes initial measures such as stopping the gas supply line, checking for leaks, and tightening pipe connections. Then, use the intercom to notify the central monitoring room.

もし、ガス洩れの濃度勾配が急で即時に避難が必要と判
定された場合は、ステップ１１２へ飛び、避難経路の推
論のステップに移る。If it is determined that the concentration gradient of the gas leak is steep and immediate evacuation is necessary, the process jumps to step 112 and moves to the step of inferring an evacuation route.

次のステップ１０７では、初期対策後の処理を評価し、
次のステップ１０８において、ガス漏れ濃度が低下した
かを判定する。ここで、初期対策を講したが、ガス漏れ
濃度が低下せず、上昇していると判定された時は、生産
装置２０の停止や避難の決定を下すべき検討を行ない、
かつ本格的対策への支援および処理を意思決定支援手段
１４にて実行する。ステップ１０９〜１１１がこれに相
当する。In the next step 107, the processing after the initial measures is evaluated,
In the next step 108, it is determined whether the gas leakage concentration has decreased. Here, even though initial measures have been taken, if it is determined that the gas leakage concentration has not decreased and is rising, we will consider whether to stop the production equipment 20 or decide to evacuate.
Further, the decision support means 14 executes support and processing for full-scale countermeasures. Steps 109 to 111 correspond to this.

即ち、ガス・薬品の性状、センサ計測及び生産装置の状
濡から現時点での危険度を算定し、その点数によって取
るべき対策を表示装置１８ａの画面に表示する。例えば
、生産を停止すべきか、するとすれば、何時、どのよう
にするか。また、しないとすれば、どのように安全を確
保するのか。That is, the current degree of danger is calculated from the properties of gases and chemicals, sensor measurements, and the state of the production equipment, and measures to be taken are displayed on the screen of the display device 18a based on the score. For example, should production be stopped, and if so, when and how? And if not, how will you ensure safety?

また、避難すべきか、するとすれば一部の人か、全員か
、避難の前にすべきことは何か、という対策の指示を与
える。It also gives instructions on whether to evacuate, whether some or all of the people should evacuate, and what to do before evacuating.

一方、クリーンルーム内の危険物使用状況及び作業員の
状況から被害の大きさを推定し、これを避難対策決定の
ための支援情報とする。例えば、人命にかかわるか、損
害を受けるウェハの枚数、生産設備のダメージなどであ
る。On the other hand, the magnitude of damage is estimated from the use of hazardous materials in the clean room and the situation of workers, and this is used as support information for determining evacuation measures. For example, the number of wafers that are lost or damaged, or the damage to production equipment.

第３図（ａ）、　（ｂ）、　（ｃ）は、危険度を推定し
、対策決定のための支援情報を画面に表した場合の一例
を示す説明図である。FIGS. 3(a), 3(b), and 3(c) are explanatory diagrams showing an example of a case where the degree of risk is estimated and support information for determining countermeasures is displayed on the screen.

また、意思決定支援手段１４による危険度評価ルールと
しては、例えば次のように設定される。Furthermore, the risk evaluation rules by the decision-making support means 14 are set as follows, for example.

ａ、ガスボンへ　　（１０点満点） 容量　４７Ａ以上　　　　　　−−−−−−１０点ＬＯ
１ノ／　４７ｆｆ未満・・−−−−−−・・　７点３Ｉ
！、〃１０ｆｆｉｌノーーーー　　５点３未満　　　　
　　−一一一一一・−３点す。残量　　（１０点満点） 残量　７０％以上　　　　　−・・−−−−−−−１０
点４０％以上７０％未満−・−−−−−−−−７点４０
％未満　　　　　・・−−−−−−・−５点Ｃ，ガス性
状　　（２０点満点） （１〕毒性　　２０点×Ａ Ａ：ＴＬＶ（許容濃度）が１　ｐｐｍ未満＝−Ａ　＝　
１１以上５〃−・・−・−Ａ＝０．５ ５以上　　　　Ａ＝０．３ （２）自燃性 １０点　加算 （３）腐食性 ３点　加算 （４）可燃性 ５点　加算 （５）爆発性 １０点加算 （６）支燃性 ５点　加算 上述のようにして得られた支援情報を参考にして、実際
に取るべき対策を決定し、これをクリーンルーム内のコ
ミュニケーションパネル３３に表示する。a. To gas cylinder (out of 10 points) Capacity 47A or more -------10 points LO
1 no/less than 47ff・・・・・・・・・・・・ 7 points 3I
! ,〃10ffil no--5 points less than 3
-1111・-3 points. Remaining amount (out of 10 points) Remaining amount 70% or more −・・−−−−−−10
Points: 40% or more and less than 70%-----7 points: 40
Less than %...--------5 points C, gas properties (out of 20 points) (1) Toxicity 20 points x A A: TLV (tolerable concentration) less than 1 ppm = -A =
11 or more 5〃-・・・-A=0.5 5 or more A=0.3 (2) Self-flammability 10 points Addition (3) Corrosion 3 points Addition (4) Flammability 5 points Addition (5) Explosion (6) Addition of 5 points for combustibility (6) Addition of 5 points for combustibility With reference to the support information obtained as described above, the measures to be actually taken are determined and displayed on the communication panel 33 in the clean room.

また、上記対策決定に伴い緊象、排気やガス供給ライン
の供給元からの遮断といった生産に多大な影響を与える
行為については、責任者による支持待ちとする。ただし
、指示がシステム１０による対策表示からある時間（例
えば５分）以上ない場合は、強制的に上記行為が中央監
視室からの速調操作によってなされる。In addition, as a result of the decision on the above measures, actions that have a significant impact on production, such as emergency situations and cutting off exhaust and gas supply lines from suppliers, will be subject to approval by the person in charge. However, if the instruction is not given for a certain period of time (for example, 5 minutes) or more after the countermeasure display by the system 10, the above action is forcibly performed by a speed control operation from the central monitoring room.

上記事前予測推論手段１３及び意思決定支援手段１４に
よる支援情報にもとづき避難の必要性があると判断され
た場合（ステップＩＩＩＡ）は、ステップ１１２に進み
、最適避難方法の推論を避難経路推論手段１５により実
行する。If it is determined that there is a need for evacuation based on the support information provided by the advance prediction inference means 13 and the decision support means 14 (step IIIA), the process proceeds to step 112, and the evacuation route inference means 15 infers the optimal evacuation method. Execute by.

即ち、センサ情報と、クリーンルーム内におけるトラブ
ルの発生した場所（部屋）の位置、扉の位置及び数等の
初期設定情報から最短避難経路を推論しくステップ１１
２Ｌこれにより避難方向のルートを決定しくステップ１
１３）、これを中央監視室の表示装置１８ａにモニター
表示する。That is, in step 11, the shortest evacuation route is inferred from sensor information and initial setting information such as the location of the location (room) where the trouble occurred in the clean room, and the location and number of doors.
2L This will determine the evacuation route.Step 1
13) This is displayed on the display device 18a in the central monitoring room.

これと同時にクリーンルーム内の避難方向指示盤３３ｂ
にデータ伝送制御装置１６及びデータ伝送入出力装置３
４を通して方向指示データを出力し、避難方向指示盤３
３ｂを矢印表示することで、避難する作業員等に対し避
難方向を指示する（ステップ１１４）。従って、作業員
等は矢印表示された方向に移動すれば、スムーズにかつ
安全に避難することが可能になる。At the same time, the evacuation direction board 33b inside the clean room
data transmission control device 16 and data transmission input/output device 3
Output the direction instruction data through the evacuation direction indication board 3.
By displaying 3b as an arrow, the evacuation direction is instructed to the evacuating workers and the like (step 114). Therefore, workers and the like can evacuate smoothly and safely by moving in the direction indicated by the arrow.

第４図は、中央監視室の表示装置１８ａに表示された避
難経路のモニタ画面の一例を示すもので、ハンチングを
施した部屋にガス漏れ等のトラブルが発生した時、その
部屋及びこれに隣接する各部屋の避難経路は矢印に示す
ようにクリーンルーム出口に向けて表示されることにな
る。Figure 4 shows an example of the evacuation route monitor screen displayed on the display device 18a in the central monitoring room. The evacuation route for each room will be displayed pointing toward the clean room exit as shown by the arrow.

また、第５図は、刀゛ス漏れ発生時のクリーンルームの
状態をマルチウィンド表示方式により表示装置１８ａの
画面に表示した場合の例を示すものである。Further, FIG. 5 shows an example in which the state of the clean room at the time of a gas leak is displayed on the screen of the display device 18a using a multi-window display method.

図において、ハンチング族した部分が漏洩ゾーンであり
、色分は表示される。また、ガス漏洩をキャンチしたセ
ンサ２９に相当する部分はフリッカされる。また、ガス
漏洩トレンドグラフを表示した領域には、ガス漏れ濃度
の推移を示すグラフが拡大表示されるようになっている
。In the figure, the hunting area is the leakage zone, and the color is displayed. Further, a portion corresponding to the sensor 29 that detected the gas leak is flickered. Further, in the area where the gas leakage trend graph is displayed, a graph showing the change in gas leakage concentration is enlarged and displayed.

なお、事前予測推論手段１３において、ガス漏洩時のＩ
Ｆ−ＴＨＥＮルールによる漏れ方の予測推論方法として
は、次に述べる方式が取られる。In addition, in the advance prediction inference means 13, I
As a predictive inference method for leakage based on the F-THEN rule, the following method is used.

例えば、毒性のガスの場合、その漏れ方は次表のように
して推論される。For example, in the case of toxic gas, the way it leaks can be inferred as shown in the table below.

表　　　■ これに対する対策として、もし漏れたガスが毒性の場合
、 ケース■　ｉ激方−もれであるなら 〔対策〕 ・緊急遮断弁を閉じよ。Table ■ As a countermeasure against this, if the leaked gas is toxic, Case ■ i Gekiho - If it is a leak [Countermeasures] - Close the emergency shutoff valve.

・全員避難させよ。・Evacuate everyone.

・緊急排気モードに切替えよ。・Switch to emergency exhaust mode.

・酸素マスクを付けよ。・Wear an oxygen mask.

・シランの場合、火災に注意せよ。- Be careful of fire when using silane.

ケース■　９゛ＷｓＪ８′でゆるやかな漏れであるなら
〔対策〕 ・緊急遮断弁を閉じよ。Case ■ If there is a slow leak in 9゛WsJ8' [Countermeasures] - Close the emergency shutoff valve.

・漏れた工程の人を避難させよ。・Evacuate the people working on the leaked process.

・緊急排気モードに切替えよ。・Switch to emergency exhaust mode.

・酸素マスクを付けよ。・Wear an oxygen mask.

ケース■　氏゛′庁でするやかな漏れであるなら〔対策
〕 ・検知した付近の生産装置へのガス供給を停止せよ。Case ■ If it is a small leak in the office [Countermeasures] - Stop the gas supply to the production equipment in the vicinity where it was detected.

・漏れた付近の人を避難させよ。・Evacuate people near the leak.

・酸素マスクを付けよ。・Wear an oxygen mask.

・ガス漏洩チエツクせよ。・Check for gas leaks.

ケース■　ｉ−漏れであるなら 〔対策〕 ・ガス漏洩チエツクせよ。Case■　i-If it is a leak 〔countermeasure〕 ・Check for gas leaks.

・再度濃度が上昇してこないか注意して見守ること。- Carefully monitor whether the concentration increases again.

上述のような予測推論の段階において、即時避難が必要
となった場合は、直ちに避難経路推論のステップへ移行
して、所定の最短避難経路の推論が実行されることにな
る。If immediate evacuation is required at the predictive inference stage as described above, the process immediately moves to the evacuation route inference step, where a predetermined shortest evacuation route is inferred.

上述のような本実施例においては、初期のガス漏れから
危険を予測するから、その状態を警報レベルに達する前
から作業員等に知らせることができ、これに伴い、より
早期の対策に役立てることができる。In this embodiment as described above, danger is predicted from the initial gas leak, so workers can be informed of the situation before it reaches the alarm level, and this can be useful for earlier countermeasures. Can be done.

また、意思決定支援手段１４によって生産活動の停止や
避難の決定などの重大な決断を支援するから、クリーン
ルームに留まって処置を続行すべきか、避難すべきかと
いう意思決定を迅速にかつ合理的に行なうことができ、
これに伴い誤った生産活動の停止による稼動率の低下を
防止できると共に、生産装置へのダメージや損害が減少
し、生産効率も向上できる。In addition, since the decision support means 14 supports important decisions such as stopping production activities or deciding to evacuate, decisions about whether to remain in the clean room and continue treatment or whether to evacuate can be made quickly and rationally. It is possible,
Accordingly, it is possible to prevent a decrease in the operating rate due to erroneous stoppage of production activities, reduce damage to production equipment, and improve production efficiency.

さらにまた、災害発生の場所や大きさに応して適切な避
難方向を推論指示し、クリーンルーム内のコミュニケー
ションパネル３３にＭ難方向を表示するから、作業員等
の避難行動がスムーズにでき、避難の安全性も向上でき
るほか、人災などの災害を未然に防止し得る。Furthermore, the appropriate evacuation direction is inferred and instructed according to the location and size of the disaster, and the M direction is displayed on the communication panel 33 in the clean room, allowing workers and others to take smooth evacuation actions. In addition to improving safety, it can also prevent man-made disasters and other disasters.

なお、上記実施例では、半導体生産におけるシランガス
の漏れについては述べたが、これに限定されるものでは
なく、その他のガス、例えばアルシン、シボラン、塩素
、塩化水素、アンモニア等のガスについても同様になし
得るほか、半導体生産に限定されない。In the above example, the leakage of silane gas in semiconductor production was described, but the leakage is not limited to this, and the same applies to other gases such as arsine, ciborane, chlorine, hydrogen chloride, and ammonia. In addition, it is not limited to semiconductor production.

また、上記実施例では、避難方向を避難経路推論手段１
５で推論し、これをコミュニケーションパネル３３に表
示させる場合について述べたが、これに限定されるもの
ではなく、従来と同様に中央監視室のオペレータからの
音声による指示にしたがって避難させるようにしても良
いことは勿論である。Further, in the above embodiment, the evacuation direction is determined by the evacuation route inference means 1.
Although we have described the case where the inference is made in Section 5 and this is displayed on the communication panel 33, the invention is not limited to this, and it is also possible to evacuate according to voice instructions from the operator in the central monitoring room as in the past. Of course it's a good thing.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明した通り、本発明によれば、警報レベルに達す
る前の初期の段階のガス漏れなどから危険を予測するか
ら、災害に対する対策を初期の段階で講じることができ
、これに伴い災害の発生を最小限にかつ未然に防止でき
る。As explained above, according to the present invention, danger is predicted from gas leaks in the early stages before reaching the alarm level, so countermeasures against disasters can be taken at an early stage, and as a result, disasters occur. can be minimized and prevented.

また、初期対策後のガス漏れ等に対しては、センザ情報
及び初期設定情報とから危険度及び被害の大きさを推定
して対策を指示するようになっているから、生産活動の
停止や避難決定などの重大な決断に対するオペレータ等
の意思決定が迅速かつ容易となり、適６ｆな判断が可能
になる。In addition, in the event of a gas leak after initial countermeasures have been taken, the system estimates the degree of risk and damage caused by sensor information and initial setting information and instructs countermeasures, such as stopping production activities or evacuation. This makes it possible for operators and the like to quickly and easily make decisions on important decisions, such as decisions, and to make appropriate decisions.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明による防災監視装置の一例を示す全体の
構成図である。 第２図は本実施例における動作説明用のフローチャート
である。 第３図（ａ）〜（Ｃ）は本実施例における対策決定のた
めの支援情報を画面に表した場合の一例を示す説明図で
ある。 第４図は本実施例における避難経路のモニタ画面の一例
を示す説明図である。 第５図は本実施例におけるガス漏れ発生時のクリーンル
ームの状態をマルチウィンド表示した場合の例を示す説
明図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 ■・・・クリーンルーム（精密環境空間）１０・・・防
災監視用システム １１・・・中央処理装置 １２・・・メモリ １３・・・事前予測推論手段 １４・・・意思決定支援手段 １５・・・避難経路推論手段 １６・・・データ伝送制御装置 １８・・・周辺装置 １８ａ・・・表示装置 ２０・・・生産装置 ２３　・　・　・　空言周七（ ２６，３４・・・データ伝送入出力装置２日・・・デー
タ伝送装置 ２９．３０．３１・・・センサ ３３・・・コミュニケーションパネル ３６・・・電話器。FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an example of a disaster prevention monitoring device according to the present invention. FIG. 2 is a flowchart for explaining the operation in this embodiment. FIGS. 3(a) to 3(C) are explanatory diagrams showing an example of the case where support information for determining countermeasures in this embodiment is displayed on a screen. FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of the evacuation route monitor screen in this embodiment. FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of a multi-window display of the state of the clean room at the time of gas leakage in this embodiment. [Explanation of symbols of main parts] ■...Clean room (precision environmental space) 10...Disaster prevention monitoring system 11...Central processing unit 12...Memory 13...Advance prediction inference means 14...・Decision support means 15...Evacuation route inference means 16...Data transmission control device 18...Peripheral device 18a...Display device 20...Production device 23 ...Data transmission input/output device 2 days...Data transmission device 29.30.31...Sensor 33...Communication panel 36...Telephone.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）専門知識を所望のルールにより知識表示形式で構
成した原因と結果の関係、精密環境空間に使用されるガ
ス、設備等の初期設定情報及びセンサ情報を知識ベース
として格納するメモリ手段と、前記メモリ手段から得ら
れるセンサ情報に基づいて、その検知限界を越えた初期
の検知情報から危険を予測して初期対策を指示する事前
予測推論手段と、 初期対策後のセンサ情報及び初期設定情報に基づいて生
産活動の停止や避難決定案の対策決断を支援する意思決
定支援手段と、 を備えなる精密環境空間の防災監視装置。(1) A memory means for storing, as a knowledge base, cause-and-effect relationships configured with specialized knowledge in a knowledge display format according to desired rules, initial setting information for gases used in precision environmental spaces, equipment, etc., and sensor information; Pre-prediction inference means for predicting danger and instructing initial countermeasures based on the sensor information obtained from the memory means from the initial detection information exceeding the detection limit; A precision environmental space disaster prevention monitoring device comprising: a decision-making support means for supporting measures to stop production activities or make evacuation decisions based on the above information;