JPH02218536A - 穴加工位置の補正方法 - Google Patents
穴加工位置の補正方法Info
- Publication number
- JPH02218536A JPH02218536A JP3524289A JP3524289A JPH02218536A JP H02218536 A JPH02218536 A JP H02218536A JP 3524289 A JP3524289 A JP 3524289A JP 3524289 A JP3524289 A JP 3524289A JP H02218536 A JPH02218536 A JP H02218536A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- marks
- cameras
- pitch
- workpiece
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005553 drilling Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000012937 correction Methods 0.000 title abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 101100518501 Mus musculus Spp1 gene Proteins 0.000 abstract 1
- 101100119193 Schizosaccharomyces pombe (strain 972 / ATCC 24843) eta2 gene Proteins 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Drilling And Boring (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Control Of Cutting Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は多層配線基板に設けられる基準穴のように、相
対位ＴｔＷ＃度が高精度であることを求められる複数個
の穴を加工する際の穴加工位置の補正方法に関する。
対位ＴｔＷ＃度が高精度であることを求められる複数個
の穴を加工する際の穴加工位置の補正方法に関する。
多層配線基板のような被加工材に基準穴を設ける場合に
は、その基準穴の位置は絶対的な位置として決定される
のではなく、被加工材に形成された配線パターンとの間
の相対的な位置で決定される。このために、このような
被加工材に複数個の基準穴を形成する場合、配線パター
ンの形成時に基準穴を設けるべき位置にマーキングを施
しておき、このマーキングを元に穴をあけることが行わ
れる。しかし、このように施された複数個のマーキング
間のピッチ寸法にはどうしても誤差があるために、穴を
あける際に、マーキング位置を元に補正を行わなければ
ならない。 第８図にこのための装置の一例を示す。図中２はカメラ
であって、移動装置３のスライダー３０に装着されてい
る。このスライダー３０は送りねじ３１との螺合とガイ
ド軸３２との係合によって、モータ３３による送りねじ
３１の回転で移動するものとされている。図中４はカメ
ラ２の位置を読み取るためのエンコーダーである。 さて、被加工材１に施されているマーク１１゜１２の相
対位置精度は、上記従来例の場合、まず一方のマーク１
１を撮像して、その時のカメラ２位置を記憶し、次いで
カメラ２を動かして、他方のマーク１２を撮像する。こ
の間にエンコーダー４から得られるカメラ２の移動量と
各マーク１１゜１２の撮像位置とから、両マーク１１．
１２間のピッチ寸法データを得ることによって決定し、
これを元に穴をあける位置の補正を行う。
は、その基準穴の位置は絶対的な位置として決定される
のではなく、被加工材に形成された配線パターンとの間
の相対的な位置で決定される。このために、このような
被加工材に複数個の基準穴を形成する場合、配線パター
ンの形成時に基準穴を設けるべき位置にマーキングを施
しておき、このマーキングを元に穴をあけることが行わ
れる。しかし、このように施された複数個のマーキング
間のピッチ寸法にはどうしても誤差があるために、穴を
あける際に、マーキング位置を元に補正を行わなければ
ならない。 第８図にこのための装置の一例を示す。図中２はカメラ
であって、移動装置３のスライダー３０に装着されてい
る。このスライダー３０は送りねじ３１との螺合とガイ
ド軸３２との係合によって、モータ３３による送りねじ
３１の回転で移動するものとされている。図中４はカメ
ラ２の位置を読み取るためのエンコーダーである。 さて、被加工材１に施されているマーク１１゜１２の相
対位置精度は、上記従来例の場合、まず一方のマーク１
１を撮像して、その時のカメラ２位置を記憶し、次いで
カメラ２を動かして、他方のマーク１２を撮像する。こ
の間にエンコーダー４から得られるカメラ２の移動量と
各マーク１１゜１２の撮像位置とから、両マーク１１．
１２間のピッチ寸法データを得ることによって決定し、
これを元に穴をあける位置の補正を行う。
しかし、上記方法であると、次のような問題を有してい
る。すなわち、送りねじ３１やエンコーダー４の精度の
影響を受けるために、これらを非常に高精度なものとし
ておかなくてはならず、設備コストが高くなる上に、こ
れらの設備の使用環境も精度を損なうことないようなも
のとしておかなくてはならない、また、カメラ２の被加
工材１に対する真直度が移動中に変わってしまうことが
あり、このような時には第１０図に示すように、カメラ
２の位置検出中心から被加工材１までの距離を！、角度
誤差をθとすると、検出誤差εξｌ・θを生じる。 第９図に示すように、カメラ２を動かすのではなく、被
加工材１を動かすとともにカメラ２の移動量に代えて被
加工材１の送り量を検出することによって、マーク１１
．１２の相対位置精度を検出するようにしたものもある
が、この場合においても被加工材１の送り部材及び送り
量検出用のエンコーダーの精度に関して、上記の場合の
同じ問題を有しており、また被加工材ｌ側の平面度のば
らつきによって、カメラ２の真直度が変化する場合と同
じ問題を招いている。 本発明はこのような点に鑑み為されたものであり、その
目的とするところは設備側にさほどの精度を要求しない
にもかかわらず、マークの高精度な位置測定を行うこと
ができるために、正確な穴あけ位置の設定を行うことが
できる穴加工位置の補正方法を提供するにある。
る。すなわち、送りねじ３１やエンコーダー４の精度の
影響を受けるために、これらを非常に高精度なものとし
ておかなくてはならず、設備コストが高くなる上に、こ
れらの設備の使用環境も精度を損なうことないようなも
のとしておかなくてはならない、また、カメラ２の被加
工材１に対する真直度が移動中に変わってしまうことが
あり、このような時には第１０図に示すように、カメラ
２の位置検出中心から被加工材１までの距離を！、角度
誤差をθとすると、検出誤差εξｌ・θを生じる。 第９図に示すように、カメラ２を動かすのではなく、被
加工材１を動かすとともにカメラ２の移動量に代えて被
加工材１の送り量を検出することによって、マーク１１
．１２の相対位置精度を検出するようにしたものもある
が、この場合においても被加工材１の送り部材及び送り
量検出用のエンコーダーの精度に関して、上記の場合の
同じ問題を有しており、また被加工材ｌ側の平面度のば
らつきによって、カメラ２の真直度が変化する場合と同
じ問題を招いている。 本発明はこのような点に鑑み為されたものであり、その
目的とするところは設備側にさほどの精度を要求しない
にもかかわらず、マークの高精度な位置測定を行うこと
ができるために、正確な穴あけ位置の設定を行うことが
できる穴加工位置の補正方法を提供するにある。
しかして本発明は、被加工材に施されている穴あけ位置
指示用の複数のマークの間隔に略対応する間隔で設置さ
れて各マークを撮像する複数のカメラ間の間隔を、これ
らカメラによる基準スケールの撮像により決定しておき
、これらカメラで撮像される被加工材のマークの位置座
標を上記カメラ間の間隔を元に算出して、この算出され
た位置座標を、設計位置データを元に補正して穴あけ位
置を決定することに特徴を有している。 ［作用］ すなわち、本発明においては、第１図に示すように、予
定されている被加工材１におけるマーク１１．１２のピ
ッチ寸法に合わせた間隔で一対のカメラ２，２を設置し
、そして両カメラ２．２によって、ピッチ寸法Ｌｓが既
知である二つの基準マーク５１．５２を持つ基準スケー
ル５を撮像する。この時、両カメラ２，２の画面視野中
における両基準マーク５１．５２の各像５１ａ、５２ａ
の座標位置が第２図に示すようにξ、η３．ξ２η２で
あれば、２台のカメラ２．２の中心０１ ＋ ０２間の
ピッチＬｃは Ｌｃ＝（Ｌｓ” （７７２７７１）２）−”−ξ襲十
ξ２で求めることができる。 次に、第３図に示すように、被加工材１のマーク１１．
１２を両カメラ２．２の画面視野内に入れた時、両マー
ク１１．，１２の像１１ａ、１２ａの画面視野内におけ
る座標位置が第４図に示すように、ｘｌｙｌ、Ｘ２ｙ２
であったならば、被加工材１のマーク間ピッチＬ。及び
カメラ間中心線との傾き角αは、先に求めたＬｃを用い
て ＬＨ＝（（ＬＣ＋Ｘ２ ｘｌ＞２＋＜Ｙ２ ’！＋＞
２）−２ａ ＝ｔａｎ−’（（ｙ ２− ’／ １）／
（Ｌ ｃ 十Ｘ２− Ｘ ｌ））によって計算すること
ができ、このために、ピッチずれをはじめとして、被加
工材１のマーク１１゜１２間の相対関係を正確に検出す
ることができる。 また、このようにして得なマーク１１．１２の位置が、
設計時のものと異なっていれば、マーク１１．１２の位
置がずれているわけであるがら、この誤差の値をもとに
、穴あけ位置をマーク１１゜１２の位置からずらす補正
を行うことができる。 ［実施例］ 第５図は、多層配線基板である被加工材１の２カ所に基
準穴加工を行う場合の装置構成の一例を示している。２
台のカメラ２．２のうちの１台は固定された状態で配設
されているのに対して、残る１台のカメラ２は前記従来
例で示したものと同様に、移動装置３に取り付けられて
おり、両カメラ２．２間のピッチが被加工材１の品種変
更に応じて変えることができるようにされている。 被加工材１は施されているマーク１１．１２がおおよそ
両カメラ２．２の各直下に位置するようにセットされ、
押え具６．６によって固定される。 被加工材１がセットされる位置の下方には、上記両カメ
ラ２．２に略対応する位置にドリルユニット７．７が設
置されている。このドリルユニット７は、モータとカム
とからなる昇降ユニット８によって、持ち上げられるこ
とで、被加工材１に対する穴あけを行う、また、ドリル
ユニット７及び昇降ユニット８は、穴あけ位置の補正を
行うために、ＸＹ子テーブルニット９に載せられている
。 尚、移動側のカメラ２に対応するドリルユニット７には
昇降ユニット８及びＸＹ子テーブルニット９を図示して
いないが、このドリルユニット７用のＸＹ子テーブルニ
ット９には、カメラ２の移動ストロークに匹敵するスト
ロークを一軸方向にもつものが使用されている０図中２
０はカメラ２の撮像画面を表示するデイスプレーである
。 しかして、この装置において、被加工材１のマーク１１
．１２の位置に穴あけを行うにあたっては、この被加工
材１のマーク１１．１２間のピッチに略対応する間隔に
両カメラ２，２をセットし、この状態で基準スケールを
利用して、前述のように両カメラ２．２の中心間ピッチ
Ｌｃを正確に求めておく、その後、穴あけを行うべき被
加工材１をセットして、マーク１１．１２間のとッチＬ
。 を測定する。設計時の目標ピッチ寸法ＬＯと測定された
ピッチＬ、どの間のピッチ誤差Δｘ ＝ Ｌ ５−Ｌｏ
は、たとえば第６図に示すように、各マーク１１．１２
の中心を結ぶ線上で且つ各マーク１１．１２からそれぞ
れΔｘ／２ずれたところに対して、実際の穴あけを行う
ことで処理する。 固定側のカメラ２の場合について説明すると、第７図に
示すように、マーク１１の像１１ａがカメラ２の画面視
野中の座標Ｘ１ｙ１にある時、前述のように求めたマー
ク間ピッチＬ９及び角度αと、設計ピッチ寸法ＬＯとか
ら、 Δｘ／２＝ （Ｌ、−Ｌｏ）／２ を求めることができるものであり、穴加工すべき位置の
座標Ｘ、Ｙ、は Ｘ１＝ｘ１＋ｃｏｓα・Δｘ／２ Ｙ 、＝ ｙ 、−５ｉｎα・Δｘ／２で決定され、ド
リルユニット７はこの位置まで移動した後、穴あけを行
う。 こうして形成された基準孔のピッチは、マーク１１．１
２の位置の誤差にかかわりなく、設計寸法を確保するこ
とができ、しかも被加工材１上における基準穴の相対位
置は、どちらか一方のマーク側にずれてしまうこともな
い。 尚、基準スケールとしては、温度等の影響を受けにくい
セラミックスあるいはガラス等が用いられる。またドリ
ルユニットとそれに対応するカメラとの相対位置関係の
較正方法としては、ドリル先端をカメラで撮像し、その
位置を認識して行う方法を採用することができる。
指示用の複数のマークの間隔に略対応する間隔で設置さ
れて各マークを撮像する複数のカメラ間の間隔を、これ
らカメラによる基準スケールの撮像により決定しておき
、これらカメラで撮像される被加工材のマークの位置座
標を上記カメラ間の間隔を元に算出して、この算出され
た位置座標を、設計位置データを元に補正して穴あけ位
置を決定することに特徴を有している。 ［作用］ すなわち、本発明においては、第１図に示すように、予
定されている被加工材１におけるマーク１１．１２のピ
ッチ寸法に合わせた間隔で一対のカメラ２，２を設置し
、そして両カメラ２．２によって、ピッチ寸法Ｌｓが既
知である二つの基準マーク５１．５２を持つ基準スケー
ル５を撮像する。この時、両カメラ２，２の画面視野中
における両基準マーク５１．５２の各像５１ａ、５２ａ
の座標位置が第２図に示すようにξ、η３．ξ２η２で
あれば、２台のカメラ２．２の中心０１ ＋ ０２間の
ピッチＬｃは Ｌｃ＝（Ｌｓ” （７７２７７１）２）−”−ξ襲十
ξ２で求めることができる。 次に、第３図に示すように、被加工材１のマーク１１．
１２を両カメラ２．２の画面視野内に入れた時、両マー
ク１１．，１２の像１１ａ、１２ａの画面視野内におけ
る座標位置が第４図に示すように、ｘｌｙｌ、Ｘ２ｙ２
であったならば、被加工材１のマーク間ピッチＬ。及び
カメラ間中心線との傾き角αは、先に求めたＬｃを用い
て ＬＨ＝（（ＬＣ＋Ｘ２ ｘｌ＞２＋＜Ｙ２ ’！＋＞
２）−２ａ ＝ｔａｎ−’（（ｙ ２− ’／ １）／
（Ｌ ｃ 十Ｘ２− Ｘ ｌ））によって計算すること
ができ、このために、ピッチずれをはじめとして、被加
工材１のマーク１１゜１２間の相対関係を正確に検出す
ることができる。 また、このようにして得なマーク１１．１２の位置が、
設計時のものと異なっていれば、マーク１１．１２の位
置がずれているわけであるがら、この誤差の値をもとに
、穴あけ位置をマーク１１゜１２の位置からずらす補正
を行うことができる。 ［実施例］ 第５図は、多層配線基板である被加工材１の２カ所に基
準穴加工を行う場合の装置構成の一例を示している。２
台のカメラ２．２のうちの１台は固定された状態で配設
されているのに対して、残る１台のカメラ２は前記従来
例で示したものと同様に、移動装置３に取り付けられて
おり、両カメラ２．２間のピッチが被加工材１の品種変
更に応じて変えることができるようにされている。 被加工材１は施されているマーク１１．１２がおおよそ
両カメラ２．２の各直下に位置するようにセットされ、
押え具６．６によって固定される。 被加工材１がセットされる位置の下方には、上記両カメ
ラ２．２に略対応する位置にドリルユニット７．７が設
置されている。このドリルユニット７は、モータとカム
とからなる昇降ユニット８によって、持ち上げられるこ
とで、被加工材１に対する穴あけを行う、また、ドリル
ユニット７及び昇降ユニット８は、穴あけ位置の補正を
行うために、ＸＹ子テーブルニット９に載せられている
。 尚、移動側のカメラ２に対応するドリルユニット７には
昇降ユニット８及びＸＹ子テーブルニット９を図示して
いないが、このドリルユニット７用のＸＹ子テーブルニ
ット９には、カメラ２の移動ストロークに匹敵するスト
ロークを一軸方向にもつものが使用されている０図中２
０はカメラ２の撮像画面を表示するデイスプレーである
。 しかして、この装置において、被加工材１のマーク１１
．１２の位置に穴あけを行うにあたっては、この被加工
材１のマーク１１．１２間のピッチに略対応する間隔に
両カメラ２，２をセットし、この状態で基準スケールを
利用して、前述のように両カメラ２．２の中心間ピッチ
Ｌｃを正確に求めておく、その後、穴あけを行うべき被
加工材１をセットして、マーク１１．１２間のとッチＬ
。 を測定する。設計時の目標ピッチ寸法ＬＯと測定された
ピッチＬ、どの間のピッチ誤差Δｘ ＝ Ｌ ５−Ｌｏ
は、たとえば第６図に示すように、各マーク１１．１２
の中心を結ぶ線上で且つ各マーク１１．１２からそれぞ
れΔｘ／２ずれたところに対して、実際の穴あけを行う
ことで処理する。 固定側のカメラ２の場合について説明すると、第７図に
示すように、マーク１１の像１１ａがカメラ２の画面視
野中の座標Ｘ１ｙ１にある時、前述のように求めたマー
ク間ピッチＬ９及び角度αと、設計ピッチ寸法ＬＯとか
ら、 Δｘ／２＝ （Ｌ、−Ｌｏ）／２ を求めることができるものであり、穴加工すべき位置の
座標Ｘ、Ｙ、は Ｘ１＝ｘ１＋ｃｏｓα・Δｘ／２ Ｙ 、＝ ｙ 、−５ｉｎα・Δｘ／２で決定され、ド
リルユニット７はこの位置まで移動した後、穴あけを行
う。 こうして形成された基準孔のピッチは、マーク１１．１
２の位置の誤差にかかわりなく、設計寸法を確保するこ
とができ、しかも被加工材１上における基準穴の相対位
置は、どちらか一方のマーク側にずれてしまうこともな
い。 尚、基準スケールとしては、温度等の影響を受けにくい
セラミックスあるいはガラス等が用いられる。またドリ
ルユニットとそれに対応するカメラとの相対位置関係の
較正方法としては、ドリル先端をカメラで撮像し、その
位置を認識して行う方法を採用することができる。
以上のように本発明においては、設置された後の複数の
カメラの状態を基準スケールを利用して測定しているこ
とから、カメラの設置精度が穴あけ位置のずれに影響を
与えることがないものであり、特に高精度化を図る必要
がなく、また被加工材のセットについてもカメラの撮像
視野内にマークが入ればよいものであって、セツティン
グについての正確さを求められることもなく、基準スケ
ールの精度さえ高ければ、設備の設計製作やその取り扱
いに高度な技術を必要とせず、比較的低コストで正確な
補正を行うことができるものである。
カメラの状態を基準スケールを利用して測定しているこ
とから、カメラの設置精度が穴あけ位置のずれに影響を
与えることがないものであり、特に高精度化を図る必要
がなく、また被加工材のセットについてもカメラの撮像
視野内にマークが入ればよいものであって、セツティン
グについての正確さを求められることもなく、基準スケ
ールの精度さえ高ければ、設備の設計製作やその取り扱
いに高度な技術を必要とせず、比較的低コストで正確な
補正を行うことができるものである。
第１図及び第２図は本発明における基準スケール撮像時
の状態を示す斜視図と画面視野図、第３図及び第４図は
同上における被加工材撮像時の状態を示す斜視図と画面
視野図、第５図は同上に係る装置の一例を示す斜視図、
第６図及び第７図は同上の説明図、第８図は従来例に係
る装置の斜視図、第９図は他の装置の斜視図、第１０図
は同上の問題点を示す説明図であって、１は被加工材、
２はカメラ、５は基準スケール、１１．１２はマーク、
５１．５２は基準マークを示す。 代理人 弁理士 石 １）長 七 第３図 １ａ 第４図 ■・・・被加工材 ２・・・カメラ ５・・・基準スケール 第２図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図 第１０図
の状態を示す斜視図と画面視野図、第３図及び第４図は
同上における被加工材撮像時の状態を示す斜視図と画面
視野図、第５図は同上に係る装置の一例を示す斜視図、
第６図及び第７図は同上の説明図、第８図は従来例に係
る装置の斜視図、第９図は他の装置の斜視図、第１０図
は同上の問題点を示す説明図であって、１は被加工材、
２はカメラ、５は基準スケール、１１．１２はマーク、
５１．５２は基準マークを示す。 代理人 弁理士 石 １）長 七 第３図 １ａ 第４図 ■・・・被加工材 ２・・・カメラ ５・・・基準スケール 第２図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図 第１０図
Claims (1)
- （１）被加工材に施されている穴あけ位置指示用の複数
のマークの間隔に略対応する間隔で設置されて各マーク
を撮像する複数のカメラ間の間隔を、これらカメラによ
る基準スケールの撮像により決定しておき、これらカメ
ラで撮像される被加工材のマークの位置座標を上記カメ
ラ間の間隔を元に算出して、この算出された位置座標を
、設計位置データを元に補正して穴あけ位置を決定する
ことを特徴とする穴加工位置の補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3524289A JPH0657381B2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 穴加工位置の補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3524289A JPH0657381B2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 穴加工位置の補正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02218536A true JPH02218536A (ja) | 1990-08-31 |
| JPH0657381B2 JPH0657381B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=12436371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3524289A Expired - Fee Related JPH0657381B2 (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | 穴加工位置の補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0657381B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0531609A (ja) * | 1991-07-23 | 1993-02-09 | Nec Corp | 穴あけ装置 |
| JP2005349505A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Muraki:Kk | 基準穴穴開け機、及びその誤差補正方法 |
| JP2007123724A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | コネクタ部の打ち抜き装置、コネクタ部の打ち抜き方法およびコネクタ部の打ち抜き方法を実現するためのプログラム |
| JP2007201349A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Seiko Precision Inc | 穴開け方法及び穴開け装置 |
| JP2010133831A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 製函用シート材のジョイント部検査装置及び方法 |
| JP2018027589A (ja) * | 2016-08-18 | 2018-02-22 | 株式会社オーエム製作所 | 溝入れ工具の刃幅計測方法 |
-
1989
- 1989-02-15 JP JP3524289A patent/JPH0657381B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0531609A (ja) * | 1991-07-23 | 1993-02-09 | Nec Corp | 穴あけ装置 |
| JP2005349505A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Muraki:Kk | 基準穴穴開け機、及びその誤差補正方法 |
| JP2007123724A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | コネクタ部の打ち抜き装置、コネクタ部の打ち抜き方法およびコネクタ部の打ち抜き方法を実現するためのプログラム |
| JP4514690B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2010-07-28 | ヤマハファインテック株式会社 | コネクタ部の打ち抜き装置、コネクタ部の打ち抜き方法およびコネクタ部の打ち抜き方法を実現するためのプログラム |
| JP2007201349A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Seiko Precision Inc | 穴開け方法及び穴開け装置 |
| JP4542046B2 (ja) * | 2006-01-30 | 2010-09-08 | セイコープレシジョン株式会社 | 穴開け方法及び穴開け装置 |
| JP2010133831A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 製函用シート材のジョイント部検査装置及び方法 |
| JP2018027589A (ja) * | 2016-08-18 | 2018-02-22 | 株式会社オーエム製作所 | 溝入れ工具の刃幅計測方法 |
| US10198826B2 (en) | 2016-08-18 | 2019-02-05 | O-M Ltd. | Method for measuring blade width of grooving tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0657381B2 (ja) | 1994-08-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10751883B2 (en) | Robot system with supplementary metrology position coordinates determination system | |
| EP2381214B1 (en) | Optical measurement system | |
| KR100857257B1 (ko) | 스크린 인쇄장치 및 화상 인식 위치 맞춤방법 | |
| US11002529B2 (en) | Robot system with supplementary metrology position determination system | |
| US10399233B2 (en) | Robot | |
| JPS59119204A (ja) | マ−ク位置検出方法 | |
| CN105928946B (zh) | 检测设备的补偿方法 | |
| JPH02218536A (ja) | 穴加工位置の補正方法 | |
| JP2007333556A (ja) | 逐次多点式真直度測定法および測定装置 | |
| CN110490941B (zh) | 一种基于法向量的远心镜头外参数标定方法 | |
| JP4515814B2 (ja) | 装着精度測定方法 | |
| CN112529969B (zh) | 贴片机xy轴定位补偿方法 | |
| JP3286105B2 (ja) | 実装機の装着位置補正方法 | |
| JP2007064698A (ja) | 画像処理装置および画像処理装置のキャリブレーション方法 | |
| US7177460B2 (en) | Structure for sophisticated surveying instrument with coordinate board for position identification | |
| JP3614529B2 (ja) | 計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 | |
| JP3334568B2 (ja) | 位置検出装置 | |
| JP2000258121A (ja) | 複数カメラ校正用のマスター基板及び画像認識カメラの校正方法 | |
| JPH116711A (ja) | 計測用撮像装置の校正値測定方法 | |
| JP3291176B2 (ja) | 回路パターンの検査方法および検査装置 | |
| JP2016205958A (ja) | Ｘ−ｙ基板検査装置の可動ヘッド位置補正方法およびｘ−ｙ基板検査装置 | |
| JP7070712B2 (ja) | リニアスケールの検出値の補正方法 | |
| WO2023236069A1 (zh) | 对位校正***及其方法 | |
| JP2680135B2 (ja) | プリント配線板の孔加工方法 | |
| JP2006113931A (ja) | 高精度マーク位置・姿勢検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |