JPH0221650U - - Google Patents
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- JPH0221650U JPH0221650U JP9848288U JP9848288U JPH0221650U JP H0221650 U JPH0221650 U JP H0221650U JP 9848288 U JP9848288 U JP 9848288U JP 9848288 U JP9848288 U JP 9848288U JP H0221650 U JPH0221650 U JP H0221650U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- frame
- protecting
- membrane
- view
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の一実施例を示すペリクルの平
面図、第2図は同ペリクルの断面図、第3図は従
来のペリクルの外観斜視図、第4図は同ペリクル
の断面図、第5図は本考案の他の実施例を示すペ
リクルの平面図、第6図は第5図におけるペリク
ル膜保護用フレームの変形例を示す図である。 11,21……ペリクル膜、12,22……ペ
リクルフレーム、13……粘着剤、14,24,
31……ペリクル膜保護用フレーム、15,23
……フオトマスク基板、26……アライメントマ
ーク。
面図、第2図は同ペリクルの断面図、第3図は従
来のペリクルの外観斜視図、第4図は同ペリクル
の断面図、第5図は本考案の他の実施例を示すペ
リクルの平面図、第6図は第5図におけるペリク
ル膜保護用フレームの変形例を示す図である。 11,21……ペリクル膜、12,22……ペ
リクルフレーム、13……粘着剤、14,24,
31……ペリクル膜保護用フレーム、15,23
……フオトマスク基板、26……アライメントマ
ーク。
Claims (1)
- ペリクルフレームにペリクル膜を保護するフレ
ームを配設するようにしたことを特徴とするペリ
クル膜保護用フレーム付ペリクル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9848288U JPH0221650U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9848288U JPH0221650U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0221650U true JPH0221650U (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=31324791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9848288U Pending JPH0221650U (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0221650U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0559048U (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-03 | 石川ガスケット株式会社 | 内燃機関用ガスケットの保護装置 |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP9848288U patent/JPH0221650U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0559048U (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-03 | 石川ガスケット株式会社 | 内燃機関用ガスケットの保護装置 |