JPH0221251A - Surface inspecting device - Google Patents

Surface inspecting device

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JPH0221251A
JPH0221251A JP17059288A JP17059288A JPH0221251A JP H0221251 A JPH0221251 A JP H0221251A JP 17059288 A JP17059288 A JP 17059288A JP 17059288 A JP17059288 A JP 17059288A JP H0221251 A JPH0221251 A JP H0221251A
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JP
Japan
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laser
light
filter
mixed
mixed beam
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JP17059288A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Wakita
武 脇田
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details

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  • Textile Engineering (AREA)
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  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PURPOSE:To achieve a higher defect detecting capacity by arranging more than one laser oscillators to oscillate laser lights with varied wavelengths and a mixing means which mix laser lights thereof to form one mixed beam. CONSTITUTION:A laser oscillator 10 oscillates an Ar laser while a laser oscillator 11 oscillates a He-Ne laser. An ND filter 12 controls a power of a blue laser light 14 released from the laser oscillator 10 while an ND filer 13 controls a power of a red laser light 16 released from the laser oscillator 11. When a red laser light 16 is transmitted through a halfmirror 28, it is mixed with the blue laser light 14 reflected with the halfmirror 28 and travels as mixed beam 29. The mixed beam 29 is reflected with a reflection mirror 31 toward a rotary mirror 32. The mixed beam 29 passing through a web 30 is received with a light receiver 35 to be converted into a light signal thereby performing the detection of a defective product.

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は表面検査装置に関し、更に詳しくは２以上のレ
ーザ光を用いたフライングスポット方式の表面検査装置
の改善に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a surface inspection apparatus, and more particularly to an improvement of a flying spot type surface inspection apparatus using two or more laser beams.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のフライングスポット方式の表面検査装置としては
、特願昭６２−２３３７９５号において提案された２以
上の波長のレーザ光、例えばＨｅ−Ｎｅレーザ（波長６
３３　ｎａ＋　　赤色）とＡｒ＋レーザ（波長４８８ｎ
−青色）を発振し、これをハーフミラ−等を用いて一本
のビームに混合し、これを被検査物に照射しながら走査
することにより欠陥検出を行うものがある。As a conventional flying spot type surface inspection device, a laser beam with two or more wavelengths, such as a He-Ne laser (wavelength 6
33 na+ red) and Ar+ laser (wavelength 488n)
There is a device that detects defects by oscillating blue light, mixing it into a single beam using a half mirror, and scanning the object while irradiating it with the beam.

このような表面検査装置によれば欠陥部の色による欠陥
検出不能を防止することができる。例えば赤系統の色の
欠陥に対してＨｅ−Ｎｅレーザを照射した場合、このレ
ーザ光は欠陥部を透過してしまうため正常部を透過して
きたレーザ光と同じ強度を示す。このとき受光される光
強度に所期のノイズが生じないこ゛とから、Ｈｅ−Ｎｅ
レーザのみではこの欠陥を検出できない。しかし、Ａ　
ｒ　＋レーザはこの欠陥部を透過できず強度変化を生じ
させることができる。このようにしてどのような色の欠
陥の検出も可能となる。また、透明な被検査物の表面と
裏面の反射、更に内面での多重反射等の重なり合いによ
る信号光の乱れを防止することができ、欠陥検出の信頼
性を高めることができる。According to such a surface inspection apparatus, it is possible to prevent defects from being impossible to detect due to the color of the defective portion. For example, when a He-Ne laser is irradiated onto a red-colored defect, this laser light passes through the defective part and exhibits the same intensity as the laser light that has passed through the normal part. Since the expected noise does not occur in the light intensity received at this time, He-Ne
This defect cannot be detected using a laser alone. However, A
The r + laser cannot pass through this defect and can cause an intensity change. In this way it is possible to detect defects of any color. Further, it is possible to prevent signal light disturbance due to overlapping reflections on the front and back surfaces of the transparent object to be inspected, as well as multiple reflections on the inner surface, thereby increasing the reliability of defect detection.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら上述したような従来の表面検査装置では、
例えばＨｅ−ＮｅレーザとＡｒ”　レーザを混合して混
合ビームとする場合、Ｈｅ−ＮｅレーザとＡｒ＋レーザ
の光量比は各発振器の出力パワーによって決まってしま
う。したがって、検査条件、例えば青色フィルムの赤色
欠陥を検出したい場合、あるいは欠陥の色の頻度に応じ
て各レーザ光のパワー比を変更したい場合でもこれを変
更することは容易ではなかった。However, with the conventional surface inspection equipment as mentioned above,
For example, when mixing a He-Ne laser and an Ar'' laser to form a mixed beam, the light intensity ratio of the He-Ne laser and the Ar+ laser is determined by the output power of each oscillator. Even when it is desired to detect defects or to change the power ratio of each laser beam according to the frequency of defect colors, it is not easy to change this.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は上記のような問題点を解決するためになされた
もので、照射されるレーザ光と同系統色の欠陥の検出も
行うことができ、かつ検査対象物に応じてレーザ光のパ
ワー比を制御することにより検出能力を向上させること
のできる表面検査装置を提供することを目的とする。The present invention was made to solve the above-mentioned problems, and it is possible to detect defects of the same color as the irradiated laser beam, and the power ratio of the laser beam can be adjusted depending on the object to be inspected. An object of the present invention is to provide a surface inspection device that can improve detection ability by controlling

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は上記目的を達成するために、波長の異なる２以
上のレーザ光を混合して一本の混合ビームにする混合手
段と、この混合ビームにおけるレーザ光のパワー比を制
御する制御手段とを設けて表面検査装置を構成するよう
にした。In order to achieve the above object, the present invention includes a mixing means for mixing two or more laser beams with different wavelengths into a single mixed beam, and a control means for controlling the power ratio of the laser beams in this mixed beam. A surface inspection device is constructed by providing a surface inspection device.

なお、制御手段は透過率が連続的に変化するＮＤフィル
タとしてもよい。Note that the control means may be an ND filter whose transmittance changes continuously.

また、２つのレーザ光を混合する場合において、各々の
レーザ光に対応する２つのＮＤフィルタと、２つのＮＤ
フィルタの透過率を対象的に変動させることにより、混
合ビームの強度を一定に維持する調整手段とを設けるよ
うにしたものも好適である。In addition, when mixing two laser beams, two ND filters corresponding to each laser beam and two ND filters are used.
It is also suitable to provide an adjustment means for maintaining the intensity of the mixed beam constant by symmetrically varying the transmittance of the filter.

〔作用〕[Effect]

検査対象物の状態、欠陥の色あるいはその色の頻度等の
条件に応じ、制御手段によって混合ビームでの各レーザ
光のパワー比を制御し、常に最適のパワー比で混合ビー
ムを照射できるから検出能力を向上させることができる
。The power ratio of each laser beam in the mixed beam is controlled by the control means according to conditions such as the condition of the object to be inspected, the color of the defect or the frequency of the color, etc., and the mixed beam can always be irradiated with the optimal power ratio for detection. ability can be improved.

また、透過率が連続的に変化するＮＤフィルタを用いた
場合には、ＮＤフィルタを変化方向に移動させるだけで
簡単にレーザ光のパワー制御を行うことができる。Further, when an ND filter whose transmittance changes continuously is used, the power of the laser beam can be easily controlled by simply moving the ND filter in the direction of change.

更に、パワー比を変更しても混合ビームの強度を常に一
定にする調整手段を設けた場合には、基準とすべき混合
ビームのパワーを一度設定すれば、それ以降の混合ビー
ム全体のパワー変化を考慮する必要がないから、パワー
比の制御をより簡便に行うことができる。Furthermore, if an adjustment means is provided to keep the intensity of the mixed beam constant even when the power ratio is changed, once the reference mixed beam power is set, any subsequent power changes in the entire mixed beam can be adjusted. Since there is no need to take this into consideration, the power ratio can be controlled more easily.

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

〔実施例〕〔Example〕

本発明に係るスキャナ内部の概略を示した第１図におい
て、レーザ発振器１０はＡｒ“レーザを発振し、レーザ
発振器１１はＨｅ−Ｎｅレーザを発振する。符号１２．
１３はＮＤフィルタを示す。In FIG. 1 schematically showing the inside of the scanner according to the present invention, a laser oscillator 10 oscillates an Ar laser, and a laser oscillator 11 oscillates a He-Ne laser. Reference numeral 12.
13 indicates an ND filter.

ＮＤフィルタ１２はレーザ発振器ＩＯから放出される青
色レーザ光′１４のパワーを制御し、ＮＤフィルタ１３
はレーザ発振器１１から放出される赤色レーザ光１６の
パワーを制御する。ＮＤフィルタ１２と１３は同一仕様
のＮＤフィルタであり、ＮＤフィルタ１２は上方位置は
ど高濃度となり透過率を低下させ、逆にＮＤフィルタ１
３は下方位置はど高濃度となり透過率を低下させるよう
に配設されている。The ND filter 12 controls the power of the blue laser beam '14 emitted from the laser oscillator IO, and the ND filter 13
controls the power of the red laser beam 16 emitted from the laser oscillator 11. The ND filters 12 and 13 have the same specifications, and the upper position of the ND filter 12 has a higher concentration and lowers the transmittance.
No. 3 is arranged so that the lower position has a higher concentration and lowers the transmittance.

ＮＤフィルタ１２と１３は取付部材１７によって一体化
され、ＮＤフィルタ１３を保持する駆動棒１８の端部に
はラック１９が取り付けられている。ラック１９に開成
されたスロット２１にはピン２２が挿入されている。ラ
ック１９はピニオン２３の回動に応じて上下方向に移動
する。ピニオン２３は駆動装置２５から供給される駆動
力に応じて回動し、前記ＮＤフィルタ１２．１３を上下
方向にスライドさせる。The ND filters 12 and 13 are integrated by a mounting member 17, and a rack 19 is attached to the end of a drive rod 18 that holds the ND filter 13. A pin 22 is inserted into a slot 21 opened in the rack 19. The rack 19 moves in the vertical direction according to the rotation of the pinion 23. The pinion 23 rotates according to the driving force supplied from the driving device 25, and slides the ND filters 12, 13 in the vertical direction.

符号２４．２６は集光レンズであり、それぞれ青色レー
ザ光１４．赤色レーザ光１６が回折によって広がるのを
防止し、指向性を補完している。Reference numerals 24 and 26 are condensing lenses, and the blue laser beams 14 and 26 are condensing lenses, respectively. The red laser beam 16 is prevented from spreading due to diffraction and its directivity is complemented.

反射ミラー２７は青色レーザ光１４を反射して、ハーフ
ミラ−２８の方向へ進行させる。赤色レーザ光１６はハ
ーフミラ−２８を透過する際にハーフミラ−２日で反射
される青色レーザ光１４と混合され、混合ビーム２９と
なって進行する。反射ミラー３１は混合ビーム２９を回
転ミラー３２に向けて反射する。回転ミラー３２が回転
することにより混合ビーム２９は、検査対象となるウェ
ブ３０上に走査線３０ａを描く。ウェブ３０を透過した
混合ビーム２９は受光器３５によって受光される。受光
された混合ビーム２９は光電信号に変換され、この光電
信号が所定の処理回路に供給されることにより欠陥検出
が行われる。The reflecting mirror 27 reflects the blue laser beam 14 and causes it to travel toward the half mirror 28 . When the red laser beam 16 passes through the half mirror 28, it is mixed with the blue laser beam 14 reflected by the half mirror 28, and travels as a mixed beam 29. Reflection mirror 31 reflects mixed beam 29 towards rotating mirror 32 . As the rotating mirror 32 rotates, the mixed beam 29 draws a scanning line 30a on the web 30 to be inspected. The mixed beam 29 transmitted through the web 30 is received by a light receiver 35. The received mixed beam 29 is converted into a photoelectric signal, and this photoelectric signal is supplied to a predetermined processing circuit to perform defect detection.

以下、上記のような構成からなる本実施例の作用につい
て説明する。Hereinafter, the operation of this embodiment configured as described above will be explained.

図示の状態では各レーザ光１４．１６はＮＤフィルタ１
２．１３の中央部を透過し、ともに透過率５０％である
。検査対象物の状態、例えば青色の欠陥と赤色の欠陥が
存在し、その比率が青色欠陥を７とすると赤色欠陥が３
である場合には、駆動装置２５によってＮＤフィルタ１
２及び１３を上方へスライドさせる。そして、青色レー
ザ光１４の透過率が７０％となる所定位置でスライド停
止する。これによって赤色レーザ光１６はＮＤフィルタ
１３における透過率３０％の透過位置を透過することに
なる。In the illustrated state, each laser beam 14.16 is filtered by the ND filter 1.
It transmits through the central part of 2.13, and both have a transmittance of 50%. The condition of the object to be inspected, for example, if there are blue defects and red defects, and the ratio is 7 for blue defects, 3 for red defects.
In this case, the driving device 25 drives the ND filter 1
2 and 13 upward. Then, the slide stops at a predetermined position where the transmittance of the blue laser beam 14 becomes 70%. As a result, the red laser beam 16 passes through the ND filter 13 at a transmittance position of 30%.

更に検査対象物の状態が変化した場合には、それに応じ
て青色レーザ光１４の透過率を５０％、　３０％、・・
・と変更してゆくと、赤色レーザ光１６の透過率は５０
％、７０％、・・・と追従してゆき、混合ビーム２９全
体のパワーを一定に維持したままでそのパワー比を変更
することができる。Furthermore, when the condition of the object to be inspected changes, the transmittance of the blue laser beam 14 is changed to 50%, 30%, etc.
・The transmittance of the red laser beam 16 becomes 50.
%, 70%, etc., and the power ratio can be changed while keeping the power of the entire mixed beam 29 constant.

モウひとつの実施例を示した第２図において、円形ＮＤ
フィルタ４０はその回転角の基準となる基準半径４１か
らの角度に応じてほぼ完全にリニア相対濃度を持つ。円
形ＮＤフィルタ４０は基準半径４１からなす角度（０′
〜３６０°）に応じて、その透過位置での透過率が０％
〜１００％　まで変化するものである。円形ＮＤフィル
タ４０の中央部には取付部４２が設けられている。取付
部４２には回転軸部材４３が取り付けられている。回転
軸部材４３の先端にはギヤ４４が配設されている。In FIG. 2 showing an embodiment of one mou, a circular ND
The filter 40 has an almost completely linear relative density depending on the angle from the reference radius 41 that is the reference of its rotation angle. The circular ND filter 40 has an angle (0'
~360°), the transmittance at that transmission position is 0%
It varies up to 100%. A mounting portion 42 is provided at the center of the circular ND filter 40 . A rotating shaft member 43 is attached to the attachment portion 42 . A gear 44 is disposed at the tip of the rotating shaft member 43.

ギヤ４４は駆動装置２５から供給される駆動力に応じて
垂直面内で回転する。この回転にしたがって円形ＮＤフ
ィルタ４１が反時計方向に回転する。The gear 44 rotates in a vertical plane according to the driving force supplied from the drive device 25. According to this rotation, the circular ND filter 41 rotates counterclockwise.

これに応じて各レーザ光１４．１６の透過位置Ｐ。Accordingly, the transmission position P of each laser beam 14,16.

Ｑが属する半径である透過位置半径り、、Ｌ、が基準半
径４１となす角θ１とθ２は、それぞれ増加してゆく。The angles θ1 and θ2 that the transmission position radius L, which is the radius to which Q belongs, and the reference radius 41 increase, respectively.

円形ＮＤフィルタ４１の作用を示した第３図において、
実線は赤色レーザ光１６の透過率を示し破線は青色レー
ザ光１４の透過率を示している。In FIG. 3 showing the action of the circular ND filter 41,
The solid line indicates the transmittance of the red laser beam 16, and the broken line indicates the transmittance of the blue laser beam 14.

また、角度の表示のうち括弧内のものはθ２を示してい
る。例えばθ１が１３５　’のときには赤色レーザ光１
６の透過率は２５％、青色レーザ光１４の透過率は７５
％となり、θ、が３１５°のときには赤色レーザ光１６
の透過率は７５％、青色レーザ光１４の透過率は２５％
と変化し、透過率の合計は常に１００％となる。ところ
でθ２−θ、　＝１８０°となるから透過位置半径Ｐ、
Ｑは同一直径上にくるように設定すればよい。Also, among the angles displayed, those in parentheses indicate θ2. For example, when θ1 is 135', the red laser beam 1
The transmittance of laser beam 6 is 25%, and the transmittance of blue laser beam 14 is 75%.
%, and when θ is 315°, the red laser beam is 16
The transmittance of the blue laser beam 14 is 75%, and the transmittance of the blue laser beam 14 is 25%.
The total transmittance is always 100%. By the way, since θ2-θ, = 180°, the transmission position radius P,
Q may be set so that they are on the same diameter.

検査対象物の状態に応じて円形ＮＤフィルタ４０を回転
させることにより、容易に最適なパワー比で欠陥検出で
きる。By rotating the circular ND filter 40 according to the condition of the object to be inspected, defects can be easily detected with an optimal power ratio.

また、ウェブ等の連続的に移送される被検査物の状態の
変化を予め情報として格納しておくことにより、自動的
に駆動装置２５を駆動させ、被検査物について継続して
最適なパワー比の混合ビームを照射することができる。In addition, by storing in advance information on changes in the state of the object to be inspected that is continuously transported, such as a web, the drive device 25 can be automatically driven to continuously optimize the power ratio for the object to be inspected. It is possible to irradiate a mixed beam of

なお、用いられるレーザ光はＨｅ−ＮｅレーザとＡｒ”
　レーザの組み合わせ以外にも、Ｈｅ−Ｎｅレーザと赤
外レーザ、Ｈｅ−ＮｅレーザとＨｅ−Ｃｄレーザ等の組
み合わせでもよい。また混合するレーザ光の数を３以上
にすれば、更に広範囲に検査対象物の状態の変化に対応
することができる。また回転ミラー３２を振動ミラーや
Ａ１０素子に置き換えてもよい。The laser beams used are He-Ne laser and Ar”
In addition to the combination of lasers, a combination of a He-Ne laser and an infrared laser, a He-Ne laser and a He-Cd laser, etc. may be used. Furthermore, if the number of laser beams to be mixed is three or more, it is possible to respond to changes in the state of the object to be inspected over a wider range. Further, the rotating mirror 32 may be replaced with a vibrating mirror or an A10 element.

更にレーザ発振器から放出されたレーザ光の混合方法と
してはハーフミラ−を利用するものの他に被検査物の表
面の同一ポイントに同時に照射し、それぞれのレーザ光
を別個の受光手段で受光すものもある。また、各レーザ
光の透過率の合計が１００％を越えるように設定しても
よいことは当然である。Furthermore, as a method of mixing the laser beams emitted from a laser oscillator, in addition to using a half mirror, there is also a method of simultaneously irradiating the same point on the surface of the object to be inspected and receiving each laser beam with separate light receiving means. . Furthermore, it goes without saying that the total transmittance of each laser beam may be set to exceed 100%.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳説したように本発明の表面検査装置においては、
波長の異なるレーザ光を混合して一本の混合ビームにす
る混合手段と、この混合の際のレーザ光のパワー比を制
御する制御手段とを設けたから、検査対象物の状態に応
じて常に最適のパワー比で混合された混合ビームを照射
でき、欠陥検出能力を高めることができる。As explained in detail above, in the surface inspection device of the present invention,
Because we have a mixing means that mixes laser beams with different wavelengths into a single mixed beam, and a control means that controls the power ratio of the laser beams during this mixing, it is always optimal depending on the condition of the object to be inspected. It is possible to irradiate a mixed beam mixed with a power ratio of , improving defect detection ability.

また透過率が連続的に変化するＮＤフィルタを用いてパ
ワー比を制御する場合には、簡単な構成にしてパワー比
の制御を行うことができる。Further, when controlling the power ratio using an ND filter whose transmittance changes continuously, the power ratio can be controlled with a simple configuration.

更に、２つのレーザ光を混合する場合において、各々の
レーザ光に対応する２つのＮＤフィルタと、２つのＮＤ
フィルタの透過率を対象的に変動させることにより、混
合ビームの強度を一定に維持する調整手段とを設けた場
合には制御方法が簡易となり実用的である。Furthermore, in the case of mixing two laser beams, two ND filters corresponding to each laser beam and two ND filters are used.
If an adjusting means is provided to maintain the intensity of the mixed beam constant by symmetrically varying the transmittance of the filter, the control method becomes simple and practical.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明に係る表面検査装置のスキャナ内部の概
略図である。 第２図は本発明の他の実施例を示す概略図である。 第３図は第２図に示した実施例の作用説明図である。 ｌＯｌ　１ １２、１ １４　・　・ １６　・　・ ｌ　９　・　・ ２３　・　・ １・・レーザ発振器 ３・・ＮＤフィルタ 青色レーザ光 赤色レーザ光 ラック ピニオン ２４　・　２ ２５　・　・ ２７、３ ２８　・　・ ３２　・　・ ４０　・　・ ６・・集光レンズ 駆動装置 ■・・反射ミラー ハーフミラ− 回転ミラー 円形ＮＤフィルタ。 透謹償置半径ヂ暮１半斤条ヒクす山屋FIG. 1 is a schematic diagram of the inside of a scanner of a surface inspection apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram showing another embodiment of the invention. FIG. 3 is an explanatory diagram of the operation of the embodiment shown in FIG. 2. lOl 1 12, 1 14 ・ ・ 16 ・ ・ l 9 ・ ・ 23 ・ ・ 1 ・ ND filter Blue laser light Red laser light Rack and pinion 24 ・ 2 25 ・ ・ 27, 3 28 ・ ・ 32 ・・ 40 ・ ・ 6. Condensing lens drive device ■... Reflection mirror half mirror Rotating mirror circular ND filter. A mountain house with a radius of 1 and a half kilometres.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）レーザ光を被検査物に対して照射しながら走査し
、その反射光あるいは透過光を受光する受光手段を設け
た表面検査装置において、 波長の異なるレーザ光を発振する２以上のレーザ発振器
と、これらのレーザ光を混合して一本の混合ビームにす
る混合手段と、この混合の際のレーザ光のパワー比を制
御する制御手段とを設けたことを特徴とする表面検査装
置。(1) Two or more laser oscillators that oscillate laser beams with different wavelengths in a surface inspection device that is equipped with a light receiving means that scans the object to be inspected while irradiating it with laser light and receives the reflected or transmitted light. A surface inspection apparatus comprising: a mixing means for mixing these laser beams into a single mixed beam; and a control means for controlling the power ratio of the laser beams during this mixing. （２）前記制御手段は透過率が連続的に変化するＮＤフ
ィルタであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の表面検査装置。(2) The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the control means is an ND filter whose transmittance changes continuously. （３）２つのレーザ光を混合する場合において、各々の
レーザ光に対応する２つのＮＤフィルタと、２つのＮＤ
フィルタの透過率を対象的に変動させることにより、混
合ビームの強度を一定に維持する調整手段とを設けたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の表面検査装
置。(3) When mixing two laser beams, two ND filters corresponding to each laser beam and two ND filters
3. The surface inspection apparatus according to claim 2, further comprising an adjusting means for maintaining the intensity of the mixed beam constant by symmetrically varying the transmittance of the filter.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114144662A (en) * 2019-07-23 2022-03-04 科磊股份有限公司 Combined transmission and reflected light imaging of internal cracks in semiconductor devices

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114144662A (en) * 2019-07-23 2022-03-04 科磊股份有限公司 Combined transmission and reflected light imaging of internal cracks in semiconductor devices
CN114144662B (en) * 2019-07-23 2023-09-19 科磊股份有限公司 Imaging of combined transmitted and reflected light of internal cracks in semiconductor devices

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