JPH022121A - Wiring pattern - Google Patents
Wiring patternInfo
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Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は集積回路装置に使用される配線パターンに関す
るものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to wiring patterns used in integrated circuit devices.
従来の技術
近年、vy!細加工技術の進歩に伴い、集債回路中に含
まれる配線の本数や配線の長さは莫大なものになってい
る。Conventional technologyIn recent years, vy! With advances in fine processing technology, the number and length of wires included in a bond collection circuit has become enormous.
集積回路装置の低コスト化を図るためには、集積回路装
置の歩留りを向上させることが必要であり、その手段の
1つとして配線を断線しない様に形成することは重要で
ある。In order to reduce the cost of integrated circuit devices, it is necessary to improve the yield of integrated circuit devices, and one of the means for achieving this is to form wiring so that it does not break.
以下、従来の配線パターンについて、説明する。The conventional wiring pattern will be explained below.
第3図及び第6図は従来の配線パターンを示す図である
。3 and 6 are diagrams showing conventional wiring patterns.
第3図において、301.302.303はマスク上に
おける配線パターンであり、各々図に示す様な凸状の屈
折部A、B、C,Dを有する。In FIG. 3, 301, 302, and 303 are wiring patterns on the mask, each having convex bent portions A, B, C, and D as shown in the figure.
第6図において、501,502.503はマスク上に
形成される下層配線パターンであり、604.505.
506は下層配線パターン501゜502.503の上
に層間絶縁膜を介して形成される上層配線パターンであ
る。In FIG. 6, 501, 502, 503 are lower layer wiring patterns formed on the mask, 604, 505, 503, 501, 502, 503 are lower layer wiring patterns formed on the mask.
Reference numeral 506 denotes an upper layer wiring pattern formed on the lower layer wiring patterns 501, 502, and 503 via an interlayer insulating film.
以上第3図、第6図の様にマスク上に配線パターンを形
成後、パターン転写工程により配線を集積回路に組み込
む。After forming the wiring pattern on the mask as shown in FIGS. 3 and 6, the wiring is incorporated into the integrated circuit through a pattern transfer process.
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記従来の構成では以下に示す様な現寮が
見られることが分っている。Problems to be Solved by the Invention However, it has been found that current dormitories with the above-mentioned conventional structure are seen as shown below.
つまり、第3図の配線パターンによりバクーン伝写工程
を行うと、凸状の屈折部A、B、C,Dによる影響を受
けて第4図に示す様な細りが配線パターン401.40
2.403に生じ、また第6図の配線パターンによると
第6図に示す様に下層配線パターン(例えば601)と
上層配線パターン(例えば604)が交錯し段差を有す
る部分にて紬りが生じる現象が見られる。In other words, when the Bakun transfer process is performed using the wiring pattern shown in FIG. 3, the wiring pattern 401.40 becomes thinner as shown in FIG.
2.403, and according to the wiring pattern in FIG. 6, the lower layer wiring pattern (e.g. 601) and the upper layer wiring pattern (e.g. 604) intersect and a pongee occurs in the part where there is a step, as shown in FIG. A phenomenon can be seen.
以上の様な配線パターンに生じる細りは断線の原因とな
り集積回路装置の歩留りを低下させるという問題点を有
している。There is a problem in that the thinning that occurs in the wiring pattern as described above causes wire breakage and reduces the yield of integrated circuit devices.
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、集積回路
に配線を形成する際に細りによる断線が生じない様にパ
ターンを形成する配線パターンを提0(することを目的
とする。The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and aims to provide a wiring pattern that prevents wire breakage due to thinning when forming wires on an integrated circuit.
課題を解決するだめの手段
上記目的を達成するだめに本発明の配線パターンは、以
下に示す(1) 、 (2)の構成を有している。Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the wiring pattern of the present invention has the following configurations (1) and (2).
(1)第1と第2の配線パターンを有し、第1の配線パ
ターンの凸状の屈折部に対向する第2の配線パターンの
幅を他より大とする。(1) It has a first wiring pattern and a second wiring pattern, and the width of the second wiring pattern facing the convex bent portion of the first wiring pattern is made larger than the other wiring patterns.
に))下層配線パターンと交錯する上hΔ配線パターン
の交錯部の幅を他より大とする。b)) The width of the intersection of the upper hΔ wiring pattern that intersects with the lower layer wiring pattern is made larger than the width of the other parts.
作 用
上記(1) + (2)の構成によりパターン転写を行
うと、細りを生じる部分の配線幅が他の配線幅より大と
なる様に形成されているため、断線の心配がなくなる。Effect When pattern transfer is performed using the configurations (1) and (2) above, the wiring width of the portion where the thinning occurs is formed to be larger than the other wiring widths, so there is no fear of wire breakage.
実施例
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。EXAMPLE An example of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図は本発明の第1の実施例における配線パターンを
示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a wiring pattern in a first embodiment of the present invention.
第1図において、101.102.103はマスク上に
形成された配線パターンであり、屈折部ア、イ、つの配
線幅は他の配線幅より大となる様に形成されている。In FIG. 1, reference numerals 101, 102, and 103 are wiring patterns formed on the mask, and the wiring widths of the bent portions A, B, and B are formed to be larger than the width of the other wiring patterns.
第2図は本発明の第2の実施例における配線パターンを
示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a wiring pattern in a second embodiment of the present invention.
第2図において、201.202.203はマスク上に
形成される下層配線パターンであり、204.205.
206は下層配線パターン201゜202.203の上
に層間絶縁膜を介して形成される上層配線パターンであ
る。In FIG. 2, 201.202.203 are lower layer wiring patterns formed on the mask, 204.205.
Reference numeral 206 indicates an upper layer wiring pattern formed on the lower layer wiring patterns 201, 202, and 203 via an interlayer insulating film.
ここで下層配線パターン201.202.203と交錯
する上層配線パターン204.205 。Here, upper layer wiring patterns 204 and 205 intersect with lower layer wiring patterns 201, 202, and 203.
206の交錯部力、キ、りの配線幅は他の配線幅より大
となる様に形成されている。The wiring widths of the crossing portions 206, 206, and 206 are formed to be larger than the other wiring widths.
以上第1図、第2図の様に細りが生じる部分の配線幅を
他の配線幅より大となる様に配線パターンを形成するこ
とにより、パターン転写の際に細りが生じても断線する
心配はない、。As shown in Figures 1 and 2, by forming a wiring pattern so that the wiring width at the part where the thinning occurs is larger than the other wiring widths, there is no risk of wire breakage even if the thinning occurs during pattern transfer. There isn't.
発明の効果
以上の様に本発明tri、配線パターンの形成において
細りを生じる可能性のある部分の配線幅を他の配線幅よ
り大とするという極めて容易な方法により、断線を防止
し集積回路装置の歩留りを向上させることができる優れ
た配線パターンを実現できるものである。As described above, the present invention provides an integrated circuit device that prevents disconnection by using an extremely easy method of making the wiring width of a portion where thinning may occur in the formation of a wiring pattern larger than other wiring widths. This makes it possible to realize an excellent wiring pattern that can improve the yield.
第1図は本発明の第1の実施例における配線パターンを
示す図、第2図は本発明の第2の実施例における配線パ
ターンを示す図、第3図、第6図は従来の配線パターン
を示す図、第4図、第6図は従来の配線パターンにより
生じる細り現象を説明するだめのパターン図である。
101〜103・・・・・・配線パターン、ア〜つ・・
・・・・屈折部、201〜203・・・・・・下層配線
パターン、204〜206・・・・・・上層配線パター
ン、力〜り・・・・・・交錯部。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第
図
Y〜v3−−−一乙來シノザターノ
丁〜ウーーーイLrIT゛名干
第
図FIG. 1 is a diagram showing the wiring pattern in the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the wiring pattern in the second embodiment of the invention, and FIGS. 3 and 6 are conventional wiring patterns. FIGS. 4 and 6 are pattern diagrams for explaining the thinning phenomenon caused by conventional wiring patterns. 101-103...Wiring pattern, a...
...Bending portion, 201-203...Lower layer wiring pattern, 204-206...Upper layer wiring pattern, Force--...Intersection portion. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and one other person
Claims (2)
線パターンの凸状の屈折部に対向する前記第2の配線パ
ターンの幅を他より大とすることを特徴とした配線パタ
ーン。(1) A wiring having a first and a second wiring pattern, wherein the width of the second wiring pattern facing the convex bent portion of the first wiring pattern is larger than that of the other wiring patterns. pattern.
交錯部の幅を他より大とすることを特徴とした配線パタ
ーン。(2) A wiring pattern characterized in that the width of the intersecting portion of the upper layer wiring pattern that intersects with the lower layer wiring pattern is larger than that of the other portions.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14642888A JPH022121A (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Wiring pattern |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14642888A JPH022121A (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Wiring pattern |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH022121A true JPH022121A (en) | 1990-01-08 |
Family
ID=15407451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14642888A Pending JPH022121A (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Wiring pattern |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH022121A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102490629A (en) * | 2011-11-14 | 2012-06-13 | 唐山轨道客车有限责任公司 | Chair bed |
JP2015195077A (en) * | 2015-06-26 | 2015-11-05 | 大日本印刷株式会社 | Substrate for suspension |
-
1988
- 1988-06-14 JP JP14642888A patent/JPH022121A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102490629A (en) * | 2011-11-14 | 2012-06-13 | 唐山轨道客车有限责任公司 | Chair bed |
JP2015195077A (en) * | 2015-06-26 | 2015-11-05 | 大日本印刷株式会社 | Substrate for suspension |
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