JPH0220901U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0220901U JPH0220901U JP9827088U JP9827088U JPH0220901U JP H0220901 U JPH0220901 U JP H0220901U JP 9827088 U JP9827088 U JP 9827088U JP 9827088 U JP9827088 U JP 9827088U JP H0220901 U JPH0220901 U JP H0220901U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas flow
- trap
- passing
- trap device
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
本考案の別例の構成図である。第３図は従来例の
構成図である。 １……減圧容器（反応器）、２……吸引装置（
真空ポンプ）、３……トラツプ装置（コールドト
ラツプ）。
本考案の別例の構成図である。第３図は従来例の
構成図である。 １……減圧容器（反応器）、２……吸引装置（
真空ポンプ）、３……トラツプ装置（コールドト
ラツプ）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 減圧容器と、該減圧容器内を減圧する吸引装置
との間に、トラツプ装置が設けられているガス流
装置において、 上記トラツプ装置は、ガス流が該トラツプ装置
を通過する場合と否とを切換え自在に構成したこ
とを特徴とする トラツプ装置を有するガス流装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9827088U JPH0220901U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9827088U JPH0220901U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220901U true JPH0220901U (ja) | 1990-02-13 |
Family
ID=31324385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9827088U Pending JPH0220901U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220901U (ja) |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP9827088U patent/JPH0220901U/ja active Pending